JPH0567567A - レチクル収納ケース - Google Patents
レチクル収納ケースInfo
- Publication number
- JPH0567567A JPH0567567A JP22790091A JP22790091A JPH0567567A JP H0567567 A JPH0567567 A JP H0567567A JP 22790091 A JP22790091 A JP 22790091A JP 22790091 A JP22790091 A JP 22790091A JP H0567567 A JPH0567567 A JP H0567567A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reticle
- pellicle
- case
- pressing
- case lid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 半導体装置の製造に用いられる露光装置用の
レチクルを，ペリクルを貼付した状態で収納するレチク
ル収納ケースに関し，レチクルに貼付したペリクルが剥
がれるのを防止すると共にケース運搬時にレチクルに振
動が加わらないようにする。 【構成】 ケース底部１１およびケース蓋部１２に，ケ
ース蓋部１２を閉めたときに，レチクル１４の両面に貼
付したペリクル１５ａ，１５ｂの外周部に設けられたフ
レームを押圧するペリクル押さえ機構，例えば押さえバ
ネ１６ａ，１６ｂ，１６ｃ，１６ｄを設ける。
レチクルを，ペリクルを貼付した状態で収納するレチク
ル収納ケースに関し，レチクルに貼付したペリクルが剥
がれるのを防止すると共にケース運搬時にレチクルに振
動が加わらないようにする。 【構成】 ケース底部１１およびケース蓋部１２に，ケ
ース蓋部１２を閉めたときに，レチクル１４の両面に貼
付したペリクル１５ａ，１５ｂの外周部に設けられたフ
レームを押圧するペリクル押さえ機構，例えば押さえバ
ネ１６ａ，１６ｂ，１６ｃ，１６ｄを設ける。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は，レチクル収納ケースに
関する。
関する。
【０００２】
【従来の技術】従来，半導体装置の製造に用いられるス
テッパなどの露光装置用のレチクルは，ゴミなどの異物
が付着しないようにペリクルを貼付した後，レチクル収
納ケースに入れて保管していた。
テッパなどの露光装置用のレチクルは，ゴミなどの異物
が付着しないようにペリクルを貼付した後，レチクル収
納ケースに入れて保管していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来のレチクルの保管
方法では，ペリクルの外周部に設けられたフレームの歪
みのために，ペリクルの粘着力が時間の経過と共に弱ま
り，ついには剥がれが生じる。その結果，レチクル面と
ペリクルフレームとの間に隙間が生じ，この隙間からゴ
ミなどの異物が入り込み，レチクルの全チップ不良が発
生する，という問題があった。
方法では，ペリクルの外周部に設けられたフレームの歪
みのために，ペリクルの粘着力が時間の経過と共に弱ま
り，ついには剥がれが生じる。その結果，レチクル面と
ペリクルフレームとの間に隙間が生じ，この隙間からゴ
ミなどの異物が入り込み，レチクルの全チップ不良が発
生する，という問題があった。
【０００４】また，レチクル収納ケースの運搬時に，急
激な衝撃が加わった場合，レチクルのパターン形成面が
破損する，という問題もあった。本発明は，上記の問題
点を解決して，レチクルに貼付したペリクルが剥がれる
のを防止すると共にケース運搬時にレチクルに振動が加
わらないようにしたレチクル収納ケースを提供すること
を目的とする。
激な衝撃が加わった場合，レチクルのパターン形成面が
破損する，という問題もあった。本発明は，上記の問題
点を解決して，レチクルに貼付したペリクルが剥がれる
のを防止すると共にケース運搬時にレチクルに振動が加
わらないようにしたレチクル収納ケースを提供すること
を目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに，本発明に係るレチクル収納ケースは，半導体装置
の製造に用いられる露光装置用のレチクルを，ペリクル
を貼付した状態で収納するケースであって，ケース底部
およびケース蓋部に，ケース蓋部を閉めたときにペリク
ルの外周部に設けられたフレームを押圧する，ペリクル
押さえ機構を設けるように構成する。
めに，本発明に係るレチクル収納ケースは，半導体装置
の製造に用いられる露光装置用のレチクルを，ペリクル
を貼付した状態で収納するケースであって，ケース底部
およびケース蓋部に，ケース蓋部を閉めたときにペリク
ルの外周部に設けられたフレームを押圧する，ペリクル
押さえ機構を設けるように構成する。
【０００６】
【作用】本発明に係るレチクル収納ケースには，ケース
底部およびケース蓋部に，ケース蓋部を閉めたときにペ
リクルの外周部に設けられたフレーム（ペリクルフレー
ム）を押圧する，ペリクル押さえ機構が設けられている
ので，ペリクルの粘着力が時間の経過と共に弱まっても
剥がれが生じることはない。したがって，ゴミなどの異
物に起因するレチクルのチップ不良が発生することがな
いので，全チップの完全性を保証することができる。
底部およびケース蓋部に，ケース蓋部を閉めたときにペ
リクルの外周部に設けられたフレーム（ペリクルフレー
ム）を押圧する，ペリクル押さえ機構が設けられている
ので，ペリクルの粘着力が時間の経過と共に弱まっても
剥がれが生じることはない。したがって，ゴミなどの異
物に起因するレチクルのチップ不良が発生することがな
いので，全チップの完全性を保証することができる。
【０００７】また，レチクル収納ケースの運搬時に，急
激な衝撃が加わっても，その衝撃をペリクル押さえ機構
が吸収するので，レチクルのパターン形成面が破損する
ことはない。
激な衝撃が加わっても，その衝撃をペリクル押さえ機構
が吸収するので，レチクルのパターン形成面が破損する
ことはない。
【０００８】
【実施例】図１は本発明の一実施例を示す図であり，図
（ａ）は要部断面図，図（ｂ）はケース全体斜視図であ
る。
（ａ）は要部断面図，図（ｂ）はケース全体斜視図であ
る。
【０００９】図中，１１はケース底部，１２はケース蓋
部，１３はストッパ，１４はレチクル，１５はペリク
ル，１６は押さえバネである。ケース底部１１には，４
個のストッパ１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，および１３ｄが
設けられており，これにより両面にペリクル１５ａおよ
び１５ｂが貼付されたレチクル１４が位置決め・固定さ
れる。
部，１３はストッパ，１４はレチクル，１５はペリク
ル，１６は押さえバネである。ケース底部１１には，４
個のストッパ１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，および１３ｄが
設けられており，これにより両面にペリクル１５ａおよ
び１５ｂが貼付されたレチクル１４が位置決め・固定さ
れる。
【００１０】さらに，ケース底部１１およびケース蓋部
１２に，それぞれ４個ずつの押さえバネ１６ａ，１６
ｂ，１６ｃ，１６ｄ，１６ｅ，１６ｆ，１６ｇ，および
１６ｈが設けられている。これにより，レチクル１４の
両面に貼付されたペリクル１５ａおよび１５ｂを上と下
から挟み込む。
１２に，それぞれ４個ずつの押さえバネ１６ａ，１６
ｂ，１６ｃ，１６ｄ，１６ｅ，１６ｆ，１６ｇ，および
１６ｈが設けられている。これにより，レチクル１４の
両面に貼付されたペリクル１５ａおよび１５ｂを上と下
から挟み込む。
【００１１】押さえバネによるペリクルの押さえ込みの
状態を，図２を用いてより具体的に説明する。図２は，
ペリクルフレームと押さえ部の位置関係を示す図であ
る。
状態を，図２を用いてより具体的に説明する。図２は，
ペリクルフレームと押さえ部の位置関係を示す図であ
る。
【００１２】図中，２１はペリクル，２２はペリクル２
１の外周部に設けられたフレーム（ペリクルフレー
ム），２３は押さえ部である。押さえ部２３ａ，２３
ｂ，２３ｃ，および２３ｄは，ペリクル２１の外周部に
設けられた４個のフレーム２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，お
よび２２ｄの角部に設定される。すなわち，図１の押さ
えバネ１６ａ，１６ｂ，１６ｃ，１６ｄ，１６ｅ，１６
ｆ，１６ｇ，および１６ｈは，この押さえ部２３ａ，２
３ｂ，２３ｃ，および２３ｄに相当する部分の上下に設
けられる。
１の外周部に設けられたフレーム（ペリクルフレー
ム），２３は押さえ部である。押さえ部２３ａ，２３
ｂ，２３ｃ，および２３ｄは，ペリクル２１の外周部に
設けられた４個のフレーム２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，お
よび２２ｄの角部に設定される。すなわち，図１の押さ
えバネ１６ａ，１６ｂ，１６ｃ，１６ｄ，１６ｅ，１６
ｆ，１６ｇ，および１６ｈは，この押さえ部２３ａ，２
３ｂ，２３ｃ，および２３ｄに相当する部分の上下に設
けられる。
【００１３】次に，図３を用いて，押さえバネの例を説
明する。図に示すように，ペリクルに当接する押さえバ
ネの頭部はシリコンゴムパッド３１で形成して，ペリク
ルに加わる衝撃を和らげるようにしている。ペリクルへ
の加圧および衝撃の吸収は，バネ３２によってなされ
る。
明する。図に示すように，ペリクルに当接する押さえバ
ネの頭部はシリコンゴムパッド３１で形成して，ペリク
ルに加わる衝撃を和らげるようにしている。ペリクルへ
の加圧および衝撃の吸収は，バネ３２によってなされ
る。
【００１４】
【発明の効果】本発明によれば，ケース底部およびケー
ス蓋部に，ケース蓋部を閉めたときにペリクルの外周部
に設けられたフレームを押圧する，ペリクル押さえ機構
を設けることにより，ペリクルの粘着力が時間の経過と
共に弱まっても剥がれが生じることのないレチクル収納
ケースを実現することができる。したがって，ゴミなど
の異物に起因するレチクルのチップ不良が発生すること
がないので，全チップの完全性を保証することが可能に
なる。
ス蓋部に，ケース蓋部を閉めたときにペリクルの外周部
に設けられたフレームを押圧する，ペリクル押さえ機構
を設けることにより，ペリクルの粘着力が時間の経過と
共に弱まっても剥がれが生じることのないレチクル収納
ケースを実現することができる。したがって，ゴミなど
の異物に起因するレチクルのチップ不良が発生すること
がないので，全チップの完全性を保証することが可能に
なる。
【００１５】また，レチクル収納ケースの運搬時に，急
激な衝撃が加わっても，その衝撃をペリクル押さえ機構
が吸収するので，レチクルのパターン形成面の破損を防
止することができる。
激な衝撃が加わっても，その衝撃をペリクル押さえ機構
が吸収するので，レチクルのパターン形成面の破損を防
止することができる。
【図１】本発明の一実施例を示す図である。
【図２】ペリクルフレームと押さえ部の位置関係を示す
図である。
図である。
【図３】押さえバネの例を示す図である。
１１ ケース底部 １２ ケース蓋部 １３ ストッパ １４ レチクル １５ ペリクル １６ 押さえバネ
Claims (1)
- 【請求項１】 半導体装置の製造に用いられる露光装置
用のレチクルを，ペリクルを貼付した状態で収納するケ
ースであって， ケース底部およびケース蓋部に，ケース蓋部を閉めたと
きにペリクルの外周部に設けられたフレームを押圧す
る，ペリクル押さえ機構を設けたことを特徴とするレチ
クル収納ケース。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22790091A JPH0567567A (ja) | 1991-09-09 | 1991-09-09 | レチクル収納ケース |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22790091A JPH0567567A (ja) | 1991-09-09 | 1991-09-09 | レチクル収納ケース |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0567567A true JPH0567567A (ja) | 1993-03-19 |
Family
ID=16868072
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22790091A Withdrawn JPH0567567A (ja) | 1991-09-09 | 1991-09-09 | レチクル収納ケース |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0567567A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014112126A (ja) * | 2012-12-05 | 2014-06-19 | Shin Etsu Chem Co Ltd | ガラス基板搬送台車 |
-
1991
- 1991-09-09 JP JP22790091A patent/JPH0567567A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014112126A (ja) * | 2012-12-05 | 2014-06-19 | Shin Etsu Chem Co Ltd | ガラス基板搬送台車 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19981203 |