JPH0563502A - 弾性表面波素子 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 移動体無線のバンドパスフィルタ等として使
用する弾性表面波素子に関し、リップルを抑えて広い帯
域に渡り一定の通過特性を有する弾性表面波素子を提供
することを目的とする。 【構成】 圧電体基板上に設けた複数の第１の櫛形電極
Ａ：1A〜6A;1A'〜6A' と、該第１の櫛形電極に対して交
互に入り組ませて配列した第２の櫛形電極Ｂ：1B〜7B;1
B'〜7B' とを具備し、各櫛形電極の櫛歯の周期をλ, 任
意の整数をｎ, βを0.17〜0.25として、前記第１の櫛形
電極と第２の櫛形電極と中心間距離ｄを、ｄ＝（ｎ＋
β）・λとした多電極構成の弾性表面波素子を鏡映対称
的に２組配置した弾性表面波素子であって、櫛形電極列
の最外側にある前記第２の櫛形電極7B,7B'のさらに外側
に、櫛形電極の中心間距離ｄ' として、ｄ' ＝ｎ・λも
しくは（ｎ＋1/2)・λの長さだけ離した位置に、少なく
とも１つ以上の弾性表面波を反射する反射器Ｃ：1C,1
C';2C,2C' を設けるように構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は弾性表面波素子に関し、
特に、移動体無線のバンドパスフィルタ等として使用す
る弾性表面波素子に関する。弾性表面波素子は、圧電体
基板と、該圧電体基板上に設けられ、電圧を弾性表面波
に変換または逆変換する櫛形電極とから構成されてい
る。この弾性表面波素子は、櫛形電極を用いることによ
り、高周波電圧を波長が10^-5倍程度の弾性表面波に変換
し、圧電体基板の表面を伝播させた後、再び櫛形電極を
用いて該弾性表面波を電圧に変換するようになってい
る。

【０００２】弾性表面波素子は、この２回の変換の際に
おいて、櫛形電極の形状による周波数選択が可能であ
り、フィルターとしての機能を有することになる。ここ
で、弾性表面波素子における櫛形電極を複数並べるか、
若しくは櫛形電極の両側に弾性表面波の反射器を設ける
ことにより、弾性表面波を共振させることができるた
め、弾性表面波素子に共振子としての機能を持たせるこ
ともできる。さらに、弾性表面波素子は、使用する圧電
材料により伝播速度を電磁波の10^-5倍程度に遅くするこ
とできるため遅延素子として使用することもできる。

【０００３】そして、弾性表面波素子は、上述した様々
な機能を利用して小型且つ安価で調整が不要なフィルタ
ー、共振子、および、遅延線等への応用が実用化されて
いる。例えば、中間周波数フィルタ（ＩＦフィルタ）、
発振器用の共振子、電圧制御発振器（ＶＣＯ）等に利用
されている。近年、弾性表面波素子は、高周波化が進め
られ、小形且つ安価である特徴を活かして、自動車電話
や携帯電話等の移動体無線のバンドパスフィルタ等とし
て利用されるようになり、広い帯域に渡って一定の通過
特性を有する弾性表面波素子が要望されている。

【０００４】

【従来の技術】従来、弾性表面波素子において、低損失
で且つ高い阻止域減衰量を得る方法として特願平３-661
19号が提案されている。しかし、特願平３-66119号にお
いては、帯域内のリップルの低減に関してはまだ十分と
はいえなかった。図５は従来の弾性表面波素子の一例を
概略的に示す図であり、図６は図５の弾性表面波素子に
おける１つのユニットの構成を示す図である。

【０００５】弾性表面波素子（フィルタ）は、図６に示
されるように、圧電材料であるリチウムタンタレート(L
iTO₃) 結晶上にアルミニウム・銅(Al-Cu) のスパッタ膜
（例えば、厚さ: 1000Å）で櫛形パターンを形成して構
成される。ここで、図６に示すユニットを図５における
ユニット10とすると、上方の入出力櫛形電極1Aは入力に
接続され、また、下方の櫛形電極は接地されることにな
る。

【０００６】図５に示されるように、弾性表面波素子
は、入出力櫛形電極Ａ（1A〜6A,1A'〜6A')が６段ずつ設
けられ（ここで、櫛形電極の対数は、例えば、２２
対）、また、接続電極Ｂ（1B-1B'〜7B-7B') が７段ずつ
設けられ（ここで、櫛形電極の対数は、例えば、３０
対）て構成されている。また、両側の接続電極(1B-1B',
7B-7B') の外側には、弾性表面波を反射するための反射
器Ｃ（1C,1C',2C,2C')が合計４つ設けられている。さら
に、図５から明らかなように、櫛形電極1A〜6A, 接続電
極1B〜7B, 反射器1C,2C と、櫛形電極 1A'〜6A',接続電
極 1B'〜7B',反射器1C',2C' とは、直線Ｌに対して鏡映
対称となるように構成されている。

【０００７】ここで、図５に示されるように、入出力用
櫛形電極Ａと接続電極Ｂの中心間距離、例えば、入出力
用櫛形電極6A(6A') と接続電極7B(7B') の中心間距離ｄ
は、ｄ＝(30+1/4)λ＝ 30.25λの長さだけ隔てられてい
る。また、接続電極Ｂと反射器Ｃとの中心間距離、例え
ば、接続電極7B(7B') と反射器2C(2C') の中心間距離
は、入出力用櫛形電極Ａと接続電極Ｂの中心間距離ｄと
同じ長さとされている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】図７は図５の弾性表面
波素子におけるフィルタの通過特性を示す図である。同
図に示すフィルタ（弾性表面波素子）の通過特性おいて
は、リップルの状況がよくわかるようにインピーダンス
整合を取っていない場合が示されている。図７に示され
るように、図５の弾性表面波素子（フィルタ）の通過特
性では、通過帯域において約2.5dB のリップルを有する
ことがわかる。このように、フィルタの通過特性に大き
なリップルが存在していると、例えば、移動体無線の使
用帯域において、各チャネル毎に利得が異なることにな
り、好ましくない。

【０００９】本発明は、上述した従来の弾性表面波素子
が有する課題に鑑み、リップルを抑えて広い帯域に渡り
一定の通過特性を有する弾性表面波素子を提供すること
を目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明によれば、圧電体
基板上に設けた複数の第１の櫛形電極Ａ：1A〜6A;1A'〜
6A' と、該第１の櫛形電極に対して交互に入り組ませて
配列した第２の櫛形電極Ｂ：1B〜7B;1B'〜7B' とを具備
し、各櫛形電極の櫛歯の周期をλ, 任意の整数をｎ, β
を0.17〜0.25として、前記第１の櫛形電極と第２の櫛形
電極と中心間距離ｄを、ｄ＝（ｎ＋β）・λとした多電
極構成の弾性表面波素子を鏡映対称的に２組配置した弾
性表面波素子であって、前記２組の相対応する前記第２
の櫛形電極間をそれぞれ接続して接続電極1B-1B'〜7B-7
B'を構成し、前記一方の組の第１の櫛形電極1A〜6Aを入
力端とし、前記他方の組の第１の櫛形電極 1A'〜6A' を
出力端として構成し、前記各組の第１の櫛形電極の電極
段数Ｎ_A が前記各組の第２の櫛形電極の電極段数Ｎ_B と
同数か、或いは、１つ少ない構成の弾性表面波素子にお
いて、櫛形電極列の最外側にある前記第２の櫛形電極7
B,7B'のさらに外側に、櫛形電極の中心間距離ｄ' とし
て、ｄ' ＝ｎ・λもしくは（ｎ＋1/2)・λの長さだけ離
した位置に、少なくとも１つ以上の弾性表面波を反射す
る反射器Ｃ：1C,1C';2C,2C' を設けたことを特徴とする
弾性表面波素子が提供される。

【００１１】

【作用】本発明の弾性表面波素子によれば、櫛形電極列
の最外側にある第２の櫛形電極7B,7B'のさらに外側に、
櫛形電極の中心間距離ｄ'として、ｄ' ＝ｎ・λもしく
は（ｎ＋1/2)・λの長さだけ離した位置に、少なくとも
１つ以上の弾性表面波を反射する反射器Ｃ：1C,1C';2C,
2C' が設けられる。これにより、該反射器に伝えられた
表面波の位相を同相として反射することができる。ここ
で、反射器Ｃ：1C,1C';2C,2C' は、主応答波に対しては
影響を与えずに、遅れ波（第１次遅れ波）の位相を同相
として反射することになる。これによって、リップルを
抑えて広い帯域に渡り一定の通過特性を持たせることが
できる。

【００１２】

【実施例】本発明の弾性表面波素子の実施例を説明する
前に、弾性表面波素子（フィルタ）において、リップル
が生じる原因を図８〜図１２を参照して説明する。ま
ず、帯域内にリップルが発生する理由は、例えば、特願
平２-69121号にも開示されているように、遅れ波（エコ
ー波）の存在にある。一般に、本発明で対象とする多電
極構成のフィルタ（弾性表面波素子）では、主応答波の
後から幾次かの遅れ波を次々と受信される。

【００１３】図８は弾性表面波素子におけるインパルス
応答を示す波形図であり、図９は弾性表面波素子におけ
るインパルス応答を説明するための図である。図８に示
されるように、図９に示す弾性表面波素子の出力端子に
は、主応答（波）Ｗ₀ に対して、時間τ₁ だけ遅れて第
１次遅れ波Ｗ₁,時間τ₂ だけ遅れて第２次遅れ波Ｗ₂,時
間τ₃だけ遅れて第３次遅れ波Ｗ₃,……がエコー波とし
て現出する。このエコー波は、図９に示す構成を有する
弾性表面波素子の入力端子にインパルス状の電圧を印可
した時に出力端子に現れる電気的応答でインパルス応答
と呼ばれるものである。

【００１４】このようなエコー波Ｗ₁,Ｗ₂,Ｗ₃,……が現
れる原因は、図９に示されるように、櫛形電極間での弾
性表面波の多重反射や透過にある。例えば、入力の櫛形
電極2Aから発生した弾性表面波は左右へ伝播して行く
が、そのうち右側のみに着目すると、経路P₁を経て接続
電極3Bに到り、ここで一旦電気信号に変換され、さら
に、接続線による経路P₂を経て、再び接続電極3B' から
弾性表面波が発生される（実際には、この時も両側へ発
生する）。そして、経路P₃を経て最終的に出力の櫛形電
極2A' に到り電気信号として出力端子に現出する。これ
は、インパルスに対する最短の応答で主応答波Ｗ₀ に対
応する。主応答（波）の経路は、上述した経路の他にも
多数あり、この主応答が最も振幅が大きく、その結果、
図８に示されるような主応答波Ｗ₀ となる。

【００１５】また、第１次遅れ波Ｗ₁ についても多くの
経路が考えられるが、いくつかの例を示すと、図９に示
すように、経路P₄→P₂→P₃（櫛形電極2Aと接続電極3B
との間での多重反射),経路P₅→P₂→P₃（接続電極3Bの
透過波が櫛形電極3Aで反射され接続電極3Bへ戻り、接続
電極3B' から櫛形電極2A' に伝わったもの),経路P₇→
P₈→P₉（接続電極3Bおよび櫛形電極3Aを透過し接続電極
4Bで受信した後、接続電極4B' から櫛形電極3A' へ伝わ
ったもの）等が考えられ、これらはすべて同じ時間遅れ
（例えば、τ₁ ）となる。また、１組目のフィルタを最
短経路（時間）で通過し、２組目のフィルタで多重反射
や透過した波も同じ時間遅れの遅れ波となる。そして、
これらの様々な波が重なりあって、第１次遅れ波Ｗ₁ と
なる。ここで、第１次遅れ波Ｗ₁ の振幅は、反射や透過
を経るために、その振幅は主応答に比べて小さくなる。
また、時間遅れτ₁ は次式から求められる。

【００１６】 τ₁ ＝２・ｄ／Ｖ ＝２・（ｎ＋β）・λ／Ｖ＝２・（ｎ＋β）・τ₀ …… (1) ここで、ｄは櫛形電極の中心間距離, Ｖはｄでの平均音
速, ｎは整数, βは１以下の実数, そして, τ₀ は櫛形
電極の１周期を伝播する時間で共振周波数ｆ₀ の逆数を
示している。

【００１７】同様に、第２次遅れ波Ｗ₂ に関しても多く
の経路が考えられるが、その振幅はさらに小さくなり、
且つ、時間遅れτ₂ はτ₁ の２倍となる。以下、第３次
以降の遅れ波（Ｗ₃,……）がτ₁ の間隔をおいて、順次
現れることになる。通常、この遅れ波は、通過帯域内に
リップルを生ずるため不要波として扱われており、如何
にこの不要波を抑制するかに注意が払われてきた。しか
し、これをうまく利用すると帯域を広げることができる
ことが特願平２-69121号に開示されている。

【００１８】図１０は弾性表面波素子における主応答波
と遅れ波との位相関係を示す図であり、図１１は図１０
に示すインパルス応答をフーリェ変換した通過特性を示
す図である。図１０(a) に示される波形（図８のインパ
ルス応答を示す波形図に対応）は、図１０(b) および
(c) に示されるように、第１, 第３, …の奇数次の遅れ
波Ｗ₁,Ｗ₃,…の位相を主応答波Ｗ₀ の位相と逆になるよ
うに構成（図１０(b) 参照）し、且つ、偶数次の遅れ波
Ｗ₂,Ｗ₄,…の位相を主応答波Ｗ₀ の位相と同じになるよ
うに構成（図１０(c) 参照）することで、図１１に示さ
れるような、通過帯域が平らな特性のフィルタ（弾性表
面波素子）を得ることができる。

【００１９】図１２は図１０に示すインパルス応答にお
いて、第１次遅れ波の位相が主応答波と同相の場合の通
過特性を示す図である。以上において、もし、奇数次の
遅れ波Ｗ₁,Ｗ₃,…も主応答波Ｗ₀ と同相になった場合
は、図１２に示されるように、通過帯域が山状になり、
平らな通過特性が得られない。従って、良好な通過帯域
を得るには、奇数次の遅れ波Ｗ₁,Ｗ₃,…を主応答波Ｗ₀
と逆相にすることが必須だが、これを具体的に実現する
手段が櫛形電極間の距離ｄを（ｎ＋β）・λ（β：0.17
〜0.25の値）とすることである。これにより、前記 (1)
式よりτ₁ に２βの項が現れるため、βが1/4(=0.25)の
時 1/2(=0.5 τ₀) の項が加わって奇数次の遅れ波Ｗ₁,
Ｗ₃,…が主応答波Ｗ₀ と逆相になるわけであるが、実際
にはβが0.17〜0.25の範囲で効果が見られることが実験
的に確かめられている。

【００２０】ところが、図１１に示すように、遅れ波の
振幅が適度な強さ（第１次遅れ波の電力が主応答電力の
約１／１０程度）と適度な時間遅れ（τ₁ の逆数が必要
な帯域幅程度）の場合には、通過帯域が平らになるが、
遅れ波の振幅が必要以上に大きい場合には、平らな通過
帯域に不要なリップルが現れることになる。そこで、何
らかの方法で第１次遅れ波Ｗ₁ の振幅を適当な強さに制
御してやる手段が必要となる。ここで、遅れ波（エコー
波）の中では、第１次遅れ波Ｗ₁ が最も振幅が大きく通
過帯域に与える影響も大きいため、この第１次遅れ波Ｗ
₁ を制御することで帯域におけるリップルを実用上問題
とならない程度に低減することができる。

【００２１】そのためには、逆相の遅れ波に同相の遅れ
波を少し加えることで第１次遅れ波Ｗ₁ の大きさ（振
幅）を調整する。この時、注意すべき点は、第１次遅れ
波Ｗ₁ の大きさの調整によって、主応答波Ｗ₀ の振幅を
弱めてはならないということである。すなわち、主応答
波Ｗ₀ の振幅が弱まると通過帯域の挿入損そのものが劣
化してしまうためである。

【００２２】ところで、図９に示す弾性表面波素子にお
ける入出力電極Ａ，Ａ’と接続電極Ｂ，Ｂ’間の中心距
離ｄを１部変更し、 ｄ’＝ｎ・λ または ｄ’＝（ｎ＋1/2)・λ …… (2) とする方法が考えられるが、この方法は主応答（主応答
波Ｗ₀)の一部に 0.5λずれた応答が加わり、主応答その
ものが弱まってしまうため不適当である。そこで主応答
には直接関与しない方法を考える必要がある。

【００２３】以下、本発明に弾性表面波素子の実施例を
図１〜図４を参照して説明する。図１は本発明に係る弾
性表面波素子の一実施例を概略的に示す図である。同図
に示されるように、本実施例の弾性表面波素子は、入出
力櫛形電極Ａ（1A〜6A,1A'〜6A')が６段ずつ設けられ
（ここで、櫛形電極の対数は、例えば、２２対）、ま
た、接続電極Ｂ (1B-1B'〜7B-7B') が７段ずつ設けられ
（ここで、櫛形電極の対数は、例えば、３０対）で構成
されている。また、両側の接続電極(1B-1B',7B-7B') の
外側には、弾性表面波を反射するための反射器Ｃ(1C,1
C',2C,2C') が合計４つ設けられている。さらに、図１
から明らかなように、櫛形電極1A〜6A, 接続電極1B〜7
B, 反射器1C,2C と、櫛形電極 1A'〜6A',接続電極 1B'
〜7B',反射器1C',2C' とは、直線Ｌに対して鏡映対称と
なるように構成されている。この弾性表面波素子の構成
は、基本的には、図５に示す従来の弾性表面波素子と同
様のものである。ここで、反射器は、両側の接続電極1B
-1B',7B-7B' の外側の４ヵ所全てに設ける必要はなく、
例えば、接続電極1Bおよび7Bの外側にだけ反射器1Cおよ
び2Cを設けるように構成しても本実施例の効果を得るこ
とができる。

【００２４】ここで、弾性表面波素子（フィルタ）を構
成する各ユニットは、前述した図６と同様に、圧電材料
であるリチウムタンタレート(LiTO₃) 結晶上にアルミニ
ウム・銅(Al-Cu) のスパッタ膜（例えば、厚さ: 1000
Å）で櫛形パターンを形成して構成される。また、反射
器Ｃ(1C,1C',2C,2C') は、櫛形電極またはストリップ電
極で構成されている。尚、ストリップ電極は、複数の直
線状の電極パターンで構成されており、櫛形電極とは櫛
歯の根元部が共通に接続されていない点で異なってい
る。また、櫛形電極の対数は、入出力用櫛形電極Ａ（1A
〜6A,1A'〜6A')の対数と同一にする必要はない。

【００２５】以上において、図１に示されるように、入
出力用櫛形電極Ａと接続電極Ｂの中心間距離、例えば、
入出力用櫛形電極6A(6A') と接続電極7B(7B') の中心間
距離ｄは、ｄ＝ (30＋1/4)・λ＝ 30.25λの長さだけ隔
てられている。しかし、本実施例の弾性表面波素子にお
いては、接続電極Ｂと反射器Ｃとの中心間距離は、例え
ば、接続電極7B(7B') と反射器2C(2C') の中心間距離
ｄ’は、ｄ’＝３０λとなっている。このように、最外
側の反射器Ｃ(1C,1C',2C,2C') のみを、隣接する櫛形電
極Ｂ(1B,1B',7B,7B') との距離ｄ’を、ｄ' ＝ｎ・λも
しくは（ｎ＋1/2)・λの長さとして、主応答波に対して
は影響を与えずに、遅れ波（第１次遅れ波）の位相を同
相として反射するようになっている。尚、これはすべて
の反射器で行う必要はなく、多電極の構成段数と仕様に
応じて適宜調整することはいうまでもない。

【００２６】ここで、図１の弾性表面波素子において、
外側の接続電極1B-1B'および7B-7B'を取り除き、代わり
に反射器1C,1C'2C,2C'の少なくとも１つ以上をｄ’＝ｎ
・λまたはｄ’＝ｎ／２・λの位置に設けた場合でも本
実施例の効果を同様に得ることができる。図２は本発明
に係る弾性表面波素子の他の実施例を概略的に示す図で
ある。同図に示されるように、本実施例の弾性表面波素
子は、図１に示す弾性表面波素子における反射器Ｃ(1C,
1C',2C,2C') の代わりに、接続電極Ｄ(1D-1D',2D-2D')
を設けたものである。ここで、接続電極Ｄ(1D-1D',2D-2
D') は、対数１６対の櫛形電極とされ、該接続電極1D-1
D'(2D-2D')と最外側の接続電極1B-1B'(7B-7B')との中心
間距離ｄ’は、ｄ’＝３０λとなっている。これによ
り、図２に示されるように、主応答の経路 P₁₁→ P₁₃→
P₁₅に対して、第１次遅れ波を経路 P₁₁→ P₁₂→ P₁₄→
P₁₆→ P₁₅に沿って発生させることができる。従って、
距離ｄ’を、ｄ' ＝ｎ・λもしくは（ｎ＋1/2)・λの長
さとすることにより、主応答波に対しては影響を与え
ず、遅れ波（第１次遅れ波）の位相を同相とすることが
できる。尚、この場合、接続電極Ｄ(1D-1D',2D-2D')
は、全ての段の両側部に設ける必要はなく、適宜調整す
ることができる。

【００２７】図３は本発明および従来の弾性表面波素子
におけるフィルタの通過特性を比較して示す図であり、
同図(a) は従来例の通過特性を示し、同図(b) は本実施
例の通過特性を示している。ここで、両者共にリップル
が比較し易いようインピーダンス整合は特別にとってい
ない。また、図３(b) の通過特性は、上述した図１およ
び図２に示す２つの実施例に共通のものである。

【００２８】図３(a) および(b) の比較から明らかなよ
うに、従来例では、2.5dB あったリップルが、本実施例
によれば、1.5dB へと約１dB改善されたことが示され
る。この効果をさらに確認するため、それぞれの逆フー
リエ変換をとり、時間軸上の応答（インパルス応答）を
求めた結果が図４に示される。図４は本発明および従来
の弾性表面波素子におけるフィルタ特性のインパルス応
答を比較して示す図であり、同図(a) は従来例のインパ
ルス特性を示し、同図(b) は本実施例のインパルス特性
を示している。ここで、両者共に応答振幅は、波のパワ
ー（振幅の二乗）の常用対数値で求めている。

【００２９】図４(a) および(b) の比較から明らかなよ
うに、従来例では、−８dBあった主応答（主応答波Ｗ₀)
に対する第１次遅れ波（Ｗ₁)の電力は、本実施例によれ
ば、−9.5dB とより小さく抑えられていることが示され
る。上述したように、本実施例によれば、主応答に対す
る第１次遅れ波の電力を調整することが可能であり、そ
の結果、適切な大きさの逆相波が第１次遅れ波として得
ることができる。その結果、通過帯域のリップルを低く
抑えて、しかも平坦な通過特性を得ることができる。

【００３０】

【発明の効果】以上、詳述したように、本発明の弾性表
面波素子によれば、最外側の接続電極と該接続電極のさ
らに外側に設けた反射器との中心間距離ｄ’を、ｄ’＝
３０λとすることによって、リップルを抑えて広い帯域
に渡り一定の通過特性を持たせることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る弾性表面波素子の一実施例を概略
的に示す図である。

【図２】本発明に係る弾性表面波素子の他の実施例を概
略的に示す図である。

【図３】本発明および従来の弾性表面波素子におけるフ
ィルタの通過特性を比較して示す図である。

【図４】本発明および従来の弾性表面波素子におけるフ
ィルタ特性のインパルス応答を比較して示す図である。

【図５】従来の弾性表面波素子の一例を概略的に示す図
である。

【図６】図５の弾性表面波素子における１つのユニット
の構成を示す図である。

【図７】図５の弾性表面波素子におけるフィルタの通過
特性を示す図である。

【図８】弾性表面波素子におけるインパルス応答を示す
波形図である。

【図９】弾性表面波素子におけるインパルス応答を説明
するための図である。

【図１０】弾性表面波素子における主応答波と遅れ波と
の位相関係を示す図である。

【図１１】図１０に示すインパルス応答をフーリェ変換
した通過特性を示す図である。

【図１２】図１０に示すインパルス応答において、第１
次遅れ波の位相が主応答波と同相の場合の通過特性を示
す図である。

【符号の説明】

Ａ：1A〜6A;1A'〜6A' …第１の櫛形電極 Ｂ：1B〜7B;1B'〜7B'(1B-1B'〜7B-7B') …第２の櫛形電
極（接続電極） Ｃ：1C,1C';2C,2C' …反射器 Ｄ：1D,1D';2D,2D'(1D-1D';2D-2D')…第３の櫛形電極
（接続電極）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 松田 隆志 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 (72)発明者 高松 光夫 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 圧電体基板上に設けた複数の第１の櫛形
   電極（Ａ：1A〜6A;1A'〜6A')と、該第１の櫛形電極に対
   して交互に入り組ませて配列した第２の櫛形電極（Ｂ：
   1B〜7B;1B'〜7B')とを具備し、各櫛形電極の櫛歯の周期
   をλ, 任意の整数をｎ, βを0.17〜0.25として、前記第
   １の櫛形電極と第２の櫛形電極と中心間距離ｄを、ｄ＝
   （ｎ＋β）・λとした多電極構成の弾性表面波素子を鏡
   映対称的に２組配置した弾性表面波素子であって、 前記２組の相対応する前記第２の櫛形電極間をそれぞれ
   接続して接続電極（1B-1B'〜7B-7B') を構成し、前記一
   方の組の第１の櫛形電極（1A〜6A）を入力端とし、前記
   他方の組の第１の櫛形電極(1A'〜6A')を出力端として構
   成し、前記各組の第１の櫛形電極の電極段数（Ｎ_A ）が
   前記各組の第２の櫛形電極の電極段数（Ｎ_B ）と同数
   か、或いは、１つ少ない構成の弾性表面波素子におい
   て、 櫛形電極列の最外側にある前記第２の櫛形電極（7B,7
   B') のさらに外側に、櫛形電極の中心間距離ｄ' とし
   て、ｄ' ＝ｎ・λもしくは（ｎ＋1/2)・λの長さだけ離
   した位置に、少なくとも１つ以上の弾性表面波を反射す
   る反射器（Ｃ：1C,1C';2C,2C')を設けたことを特徴とす
   る弾性表面波素子。
2. 【請求項２】 前記反射器は、櫛形電極またはストリッ
   プ電極で構成されていることを特徴とする請求項１の弾
   性表面波素子。
3. 【請求項３】 圧電体基板上に設けた複数の第１の櫛形
   電極（Ａ：1A〜6A;1A'〜6A')と、該第１の櫛形電極に対
   して交互に入り組ませて配列した第２の櫛形電極（Ｂ：
   1B〜7B;1B'〜7B')とを具備し、各櫛形電極の櫛歯の周期
   をλ, 任意の整数をｎ, βを0.17〜0.25として、前記第
   １の櫛形電極と第２の櫛形電極と中心間距離ｄを、ｄ＝
   （ｎ＋β）・λとした多電極構成の弾性表面波素子を鏡
   映対称的に２組配置した弾性表面波素子であって、 前記２組の相対応する前記第２の櫛形電極間をそれぞれ
   接続して接続電極（1B-1B'〜7B-7B') を構成し、前記一
   方の組の第１の櫛形電極（1A〜6A）を入力端とし、前記
   他方の組の第１の櫛形電極(1A'〜6A')を出力端として構
   成し、前記各組の第１の櫛形電極の電極段数（Ｎ_A ）が
   前記各組の第２の櫛形電極の電極段数（Ｎ_B ）と同数
   か、或いは、１つ少ない構成の弾性表面波素子におい
   て、 櫛形電極列の最外側にある前記第２の櫛形電極（7B,7
   B') のさらに外側に、櫛形電極の中心間距離ｄ' とし
   て、ｄ' ＝ｎ・λもしくは（ｎ＋1/2)・λの長さだけ離
   した位置に、第３の櫛形電極（Ｄ：1D,1D';2D,2D')を設
   け、該２組の相対応する該第３の櫛形電極間をそれぞれ
   接続して接続電極（1D-1D';2D-2D')を構成したことを特
   徴とする弾性表面波素子。