JPH0562251A - 偏芯調整装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 光ディスク原盤用測定装置で被測定物の偏芯
を補正することにより、プリフォーマット信号変調度の
測定精度の向上を図る。 【構成】 測定時、光ディスク原盤のような円盤状物体
１を保持回転する回転テーブル２に装着し回転したと
き、回転テーブル２に固定され円盤状物体１の外周に接
するように配置された２個の位置決めストッパ３，４
と、２個の位置決めストッパ３，４の中心線５方向に移
動する移動調整機構６との円柱状リングとが均一に回転
するように、円盤状物体１の回転時の外周移動量を検出
するモニタ部７でモニタして移動調整機構６を移動させ
偏芯調整を行う。これにより、光ディスク原盤のプリフ
ォーマット信号変調度の測定が正確にできる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、偏芯調整装置、特に同
心円状あるいはスパイラル状にパターンが形成された円
盤状物体を保持回転する回転テーブルの回転中心と、前
記円盤状物体の外周中心との差が小さくなるように調整
する偏芯調整装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の偏芯調整装置は図５に示すよう
に、円盤状物体１を保持回転する回転テーブル２と、回
転テーブル２上に固定された円盤状物体１の位置決めピ
ン１０とで構成される。

【０００３】例えば、円盤状物体１を光ディスク原盤と
すると、光ディスク原盤用のガラス基板外径精度は±
０．１ｍｍ程度であるため、位置決めピン１０は最大径
が入るように固定される。従って、ガラス基板を位置決
めピン１０により位置決めしたときのズレは最大で２０
０μｍとなってしまうことになる。

【０００４】図６は、従来の偏芯調整装置を使用した光
ディスク原盤信号検査装置の一例を示すものである。こ
のものは、光ディスク原盤１を位置決めピン１０により
装着し回転する回転テーブル２と、光ディスク原盤１上
にレーザビーム３３を照射する光ヘッド３０と、レーザ
ビーム３３を光ディスク原盤１上に合焦集光するフォー
カスサーボ手段３４と、光ヘッド３０を光ディスク原盤
１のパターン領域にモータ３２の駆動により移動させる
スライダ３１と、光ヘッド３０からのセンサ信号ａを増
幅して再生信号ｃを出力するアンプ回路３６とで構成さ
れる。

【０００５】光ヘッド３０は光源として半導体レーザを
使用し、光ディスク原盤１にレーザビーム３３を照射し
て得られる反射ビームを検出する２分割あるいは４分割
センサにより構成する。従って、光ヘッド３０から得ら
れるセンサ信号ａは公知のフォーカスサーボ手段３４に
より駆動信号ｂを出力し光ヘッド３０の集光レンズを駆
動するアクチュエータ３５に印加されレーザビーム３３
を光ディスク原盤１上に合焦集光する。

【０００６】ここで、レーザビーム３３をフォーカスサ
ーボ手段３４により光ディスク原盤１上に合焦集光し、
スライダ３１により光ヘッド３０を光ディスク原盤１の
グルーブ領域に移動することにより、光ヘッド３０から
センサ信号ａが出力されアンプ回路３６により処理され
て再生信号ｃとして端子１０１に出力される。

【０００７】従って、光ヘッド３０がグルーブ上にあれ
ば再生信号ｃは溝横断信号を取り出すことができる。ま
た、例えば、光ディスク原盤１のパターンがＩＳＯフォ
ーマットのパターンであれば、ランド部に公知のトラッ
キング手段でトラッキングすることにより再生信号ｃか
らプリフォーマット信号を取り出すことができる。

【０００８】プリフォーマット信号は光ディスク原盤１
のパターンに偏芯がある場合、スピンドルの回転中心と
パターンとがずれることになり、偏芯量の大きい所でト
ラッキングの状態が悪くなるため、再生信号の信号変動
を起こすことになる。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】上述した従来の偏芯調
整装置は、光ディスク原盤の検査装置に使用した場合
に、回転テーブルの回転軸と光ディスク原盤の外径との
ズレが最大で２００μｍとなるため、パターン中心がズ
レ偏芯量が大きくなり、トラッキング状態が悪くなって
も偏芯調整ができず、プリフォーマット信号の信号変調
度の正確な測定ができないという欠点があった。

【００１０】本発明の目的は前記課題を解決した偏芯調
整装置を提供することにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明に係る偏芯調整装置においては、同心円状あ
るいはスパイラル状にパターンが形成された円盤状物体
を保持回転する回転テーブルと、該回転テーブルに固定
され、前記円盤状物体の外周に接するように配置された
２個の位置決めストッパと、前記円盤状物体を前記２個
の位置決めストッパの中心線方向に移動させる移動調整
機構と、前記円盤状物体の回転時の外周移動量を検出す
るモニタ部とを有するものである。

【００１２】また、前記位置決めストッパと移動調整機
構とは、前記円盤状物体の周縁に接触し、動摩擦により
回転する円柱状リングを有するものである。

【００１３】

【作用】本発明では、回転テーブルに装着した円盤状物
体の外径中心と、回転テーブルの回転中心とのズレを移
動調整機構により補正するようにしたものである。

【００１４】

【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。

【００１５】図１は、本発明の一実施例を示す平面図で
ある。

【００１６】図１に示す偏芯調整機構は、同心円状ある
いはスパイラル状にパターン形成された円盤状物体１を
保持回転する回転テーブル２と、回転テーブル２に固定
され円盤状物体１の外周に接するように配置された２個
の位置決めストッパ３，４と、２個の位置決めストッパ
３，４の中心線５方向に移動する移動調整機構６と、円
盤状物体１の回転時の外周移動量を検出するモニタ部７
とで構成する。

【００１７】位置決めストッパ３，４は図２に示すよう
に、円盤状物体１の側面に当たる円柱状リング２０と、
円柱状リング２０を回転させる中心軸２１とから構成さ
れ、円盤状物体１が回転方向２２に回転することによる
動摩擦により、円柱状リング２０は回転方向２３に回転
する。

【００１８】移動調整機構６は図３に示すように、円柱
状リング２０と、円柱状リング２０を回転させる中心軸
２１と、中心軸２１を円盤状物体１の側面に対してｄ方
向又はｅ方向に移動させるマイクロメータ等の移動機構
２４で構成される。

【００１９】また、モニター部７は円盤状物体１の側面
に押し当てたダイヤルゲージ等で構成し、円盤状物体１
の回転時の外周移動量をモニタする。

【００２０】図４は、偏芯調整装置の動作を説明するた
めの図である。位置決めストッパ３，４に円盤状物体１
の側面を押し当て円盤状物体１を回転テーブル２により
回転する。

【００２１】このとき、円盤状物体１の外径の違いによ
って円盤状物体１の外径中心８と回転テーブル２の回転
中心軸９のズレが生じる。

【００２２】移動調整機構６をｄ又はｅの方向に移動す
ることにより、移動調整機構６の円柱状リングと位置決
めストッパ３，４の円柱状リングとが均一に回転するよ
うにモニタ部７を見ながら調整する。

【００２３】

【発明の効果】以上説明したように本発明は、回転テー
ブルに装着した円盤状物体の外径中心と、回転テーブル
の回転中心とのズレを移動調整機構により補正できるた
め、例えば、光ディスク原盤検査装置等に使用すること
によりトラッキングを安定にでき、プリフォーマット信
号変調度の正確な測定ができるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示す平面図である。

【図２】円柱状リングの説明図である。

【図３】移動調整機構の説明図である。

【図４】図１を左から見た側面図である。

【図５】従来の技術を示す平面図である。

【図６】従来の偏芯調整装置を使用した光ディスク原盤
検査装置を示す図である。

【符号の説明】

１ 円盤状物体 ２ 回転テーブル ３ 位置決めストッパ ４ 位置決めストッパ ５ 中心線 ６ 移動調整機構 ７ モニタ部 ８ 円盤状物体の外径中心 ９ 回転テーブルの回転中心 １０ 位置決めピン ２０ 円柱状リング ２１ 中心軸 ２２ 円盤状物体１の回転方向 ２３ 円柱状リング２０の回転方向 ３０ 光ヘッド ３１ スライダ ３２ モータ ３３ レーザビーム ３４ フォーカスサーボ手段 ３５ アクチュエータ ３６ アンプ回路 １０１ 出力端子 ａ センサ信号 ｂ 駆動信号 ｃ 再生信号 ｄ 移動機構の移動方向 ｅ 移動機構の移動方向

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 同心円状あるいはスパイラル状にパター
   ンが形成された円盤状物体を保持回転する回転テーブル
   と、 該回転テーブルに固定され、前記円盤状物体の外周に接
   するように配置された２個の位置決めストッパと、 前記円盤状物体を前記２個の位置決めストッパの中心線
   方向に移動させる移動調整機構と、 前記円盤状物体の回転時の外周移動量を検出するモニタ
   部とを有することを特徴とする偏芯調整装置。
2. 【請求項２】 前記位置決めストッパと移動調整機構と
   は、前記円盤状物体の周縁に接触し、動摩擦により回転
   する円柱状リングを有することを特徴とする請求項１に
   記載の偏芯調整装置。