JPH064912A - 原盤信号検査装置 - Google Patents
原盤信号検査装置Info
- Publication number
- JPH064912A JPH064912A JP16321692A JP16321692A JPH064912A JP H064912 A JPH064912 A JP H064912A JP 16321692 A JP16321692 A JP 16321692A JP 16321692 A JP16321692 A JP 16321692A JP H064912 A JPH064912 A JP H064912A
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- Japan
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- master
- center
- signal
- pattern
- patterns
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Abstract
(57)【要約】
【目的】原盤１の外形中心とパターン７の中心とがずれ
ていても、パターン７の中心と回転テーブル２を中心と
一致させることにより正確な信号検査を出来るようにす
る。 【構成】回転テーブル２に載置される原盤１の外周に接
するように配置されるとともに一方向に移動可能なロー
ラ３，４及び調芯ローラ６と、原盤１のパターン７の一
部に光を投射しその反射光を検知する光投光・検出ヘッ
ド９とを設け、この光投光・検出ヘッド９より得られた
信号によりモニタ部１０で前記パターンお一部をモニタ
リングしながら、調芯ローラ６を移動させ、回転テーブ
ル２の回転中心をパターンの中心のずれを修正する。
ていても、パターン７の中心と回転テーブル２を中心と
一致させることにより正確な信号検査を出来るようにす
る。 【構成】回転テーブル２に載置される原盤１の外周に接
するように配置されるとともに一方向に移動可能なロー
ラ３，４及び調芯ローラ６と、原盤１のパターン７の一
部に光を投射しその反射光を検知する光投光・検出ヘッ
ド９とを設け、この光投光・検出ヘッド９より得られた
信号によりモニタ部１０で前記パターンお一部をモニタ
リングしながら、調芯ローラ６を移動させ、回転テーブ
ル２の回転中心をパターンの中心のずれを修正する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、円心円状あるいはスパ
イラル状にパターンが形成された円盤状の原盤を回転し
ながら前記パターンより信号を収集し、信号を検査する
原盤信号検査装置に関し、特に前記原盤を回転させる機
構に関する。
イラル状にパターンが形成された円盤状の原盤を回転し
ながら前記パターンより信号を収集し、信号を検査する
原盤信号検査装置に関し、特に前記原盤を回転させる機
構に関する。
【０００２】
【従来の技術】図２（ａ）及び（ｂ）は従来の原盤信号
検査装置の一例を説明するための主要部を示すブロック
図及び回転テーブルを示す平面図である。従来、この種
の原盤信号検査装置は例えば、図２（ａ）に示すよう
に、原盤１を位置決めする位置決めピン１３が設けられ
るとともに回転する回転テーブル２と、原盤１上にレー
ザビームを投射し反射する光を捕捉する光ヘッド１２
と、レーザビームの焦点を合わせるフォーカスサーボ手
段と、原盤１のパターン領域内で光ヘッド１２を移動さ
せるスライダ１５及びモータ１６と、光ヘッド１２から
得られる光信号９を入力し増幅することで再生信号Ｃを
発生し端子１８に出力するアンプ回路１７を有してい
る。
検査装置の一例を説明するための主要部を示すブロック
図及び回転テーブルを示す平面図である。従来、この種
の原盤信号検査装置は例えば、図２（ａ）に示すよう
に、原盤１を位置決めする位置決めピン１３が設けられ
るとともに回転する回転テーブル２と、原盤１上にレー
ザビームを投射し反射する光を捕捉する光ヘッド１２
と、レーザビームの焦点を合わせるフォーカスサーボ手
段と、原盤１のパターン領域内で光ヘッド１２を移動さ
せるスライダ１５及びモータ１６と、光ヘッド１２から
得られる光信号９を入力し増幅することで再生信号Ｃを
発生し端子１８に出力するアンプ回路１７を有してい
る。
【０００３】また、光ヘッド１２は、光源として半導体
レーザを使用し、原盤１より反射する光を捕捉する光検
出部は２分割あるいは４分割されている。一方、フォー
カスサーボ手段は、光ヘッド１２の信号ａを入力し、出
力信号をアクチュエータ１４に入力させ、焦点レンズを
駆動させ、レーザビームを原盤１に焦点合せをする。
レーザを使用し、原盤１より反射する光を捕捉する光検
出部は２分割あるいは４分割されている。一方、フォー
カスサーボ手段は、光ヘッド１２の信号ａを入力し、出
力信号をアクチュエータ１４に入力させ、焦点レンズを
駆動させ、レーザビームを原盤１に焦点合せをする。
【０００４】ここで、レーザビームをフォーカスサーボ
手段１１により光ディスクの原盤１上に合焦集光し、ス
ライダ１５により光ヘット１２を光ディスクの原盤１の
グルーブ領域に移動することにより、光ヘッド１２から
センサ信号ａが出力されアンプ回路１７により処理され
て再生信号Ｃとして端子１８に出力され、この再生信号
の所定の信号と比較し検査する。
手段１１により光ディスクの原盤１上に合焦集光し、ス
ライダ１５により光ヘット１２を光ディスクの原盤１の
グルーブ領域に移動することにより、光ヘッド１２から
センサ信号ａが出力されアンプ回路１７により処理され
て再生信号Ｃとして端子１８に出力され、この再生信号
の所定の信号と比較し検査する。
【０００５】このように光ディスクを製作する原盤１
は、光ディスクを製作する前に原盤１のパターンが正し
く形成されているか否かをこの原盤信号検査装置を使用
して検査を行っていた。
は、光ディスクを製作する前に原盤１のパターンが正し
く形成されているか否かをこの原盤信号検査装置を使用
して検査を行っていた。
【０００６】この原盤を検査する際に、原盤１を回転テ
ーブル２の中心と合うように搭載しなければならない。
従来は、図２（ｂ）に示すように、回転テーブル２に埋
設された位置決めピン１３を利用して原盤１の位置決め
を行っていた。また、この原盤１は製作方法によりその
外形精度は高々±０．１ｍｍ程度であった。従って、位
置決めピン１３の埋設位置は、最大の原盤１が入るよう
に、最大間隔でもって配置されていた。
ーブル２の中心と合うように搭載しなければならない。
従来は、図２（ｂ）に示すように、回転テーブル２に埋
設された位置決めピン１３を利用して原盤１の位置決め
を行っていた。また、この原盤１は製作方法によりその
外形精度は高々±０．１ｍｍ程度であった。従って、位
置決めピン１３の埋設位置は、最大の原盤１が入るよう
に、最大間隔でもって配置されていた。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の原盤信
号検査装置では、原盤の外形寸法を基準にして回転テー
ブルとの芯合せを行っているので、原盤の機械的中心と
回転テーブルの中心とは一致するものの、必ずしもパタ
ーンの中心とは合わず、しばしばプリフォーマット信号
の信号変調度の正確な測定ができなくなるという欠点が
あった。
号検査装置では、原盤の外形寸法を基準にして回転テー
ブルとの芯合せを行っているので、原盤の機械的中心と
回転テーブルの中心とは一致するものの、必ずしもパタ
ーンの中心とは合わず、しばしばプリフォーマット信号
の信号変調度の正確な測定ができなくなるという欠点が
あった。
【０００８】本発明の目的は、この問題を解消するため
に、パターンの中心と回転テーブルの中心とを一致させ
正確に測定できる原盤信号検査装置を提供することであ
る。
に、パターンの中心と回転テーブルの中心とを一致させ
正確に測定できる原盤信号検査装置を提供することであ
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の原盤信号検査装
置は、円心円状あるいはスパイラル状にパターンが形成
された原盤を回転させ、前記パターンに投光し、その反
射光を捕捉し、再生信号を得て、この再生信号を検査す
る原盤信号検査装置において、前記原盤の外周囲に接す
るとともに一方向に移動可能な３個のローラと、この３
個のローラの一つを一方向に移動させる機構と、前記パ
ターンの一部に投光するとともにその反射光を検知する
光投光・検出器と、この光投光・検出器の信号により前
記パターンの一部を表示するモニタ部とを備えている。
置は、円心円状あるいはスパイラル状にパターンが形成
された原盤を回転させ、前記パターンに投光し、その反
射光を捕捉し、再生信号を得て、この再生信号を検査す
る原盤信号検査装置において、前記原盤の外周囲に接す
るとともに一方向に移動可能な３個のローラと、この３
個のローラの一つを一方向に移動させる機構と、前記パ
ターンの一部に投光するとともにその反射光を検知する
光投光・検出器と、この光投光・検出器の信号により前
記パターンの一部を表示するモニタ部とを備えている。
【００１０】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
て説明する。
【００１１】図１（ａ）及び（ｂ）は本発明の原盤信号
検査装置一実施例を説明するための位置決め機構を示す
図である。この原盤信号検査装置は、パターンの中心と
回転テーブルの回転中心とを一致させる位置決め機構を
設けたことである。
検査装置一実施例を説明するための位置決め機構を示す
図である。この原盤信号検査装置は、パターンの中心と
回転テーブルの回転中心とを一致させる位置決め機構を
設けたことである。
【００１２】すなわち、この位置決め機構は、図１
（ａ）に示すように、同心円状あるいはスパイラル状に
パターン７形成された円盤状の原盤１外周囲に接触し一
方向に移動可能な２つのローラ３，４と、これらローラ
３，４に対向する原盤１の外周囲の位置に接触し一方向
に移動する調芯ローラ６と、この調芯ローラ６を移動さ
せる移動機構５と、パターンに光を照射し反射する光を
検知する光投光・検出ヘッド９と、この光投光・検出ヘ
ッド９の光電流を撮像信号に変換する変換器８と、この
変換器８の出力を入力しパターンの一部を表示するモニ
タ部１０とを備えている。
（ａ）に示すように、同心円状あるいはスパイラル状に
パターン７形成された円盤状の原盤１外周囲に接触し一
方向に移動可能な２つのローラ３，４と、これらローラ
３，４に対向する原盤１の外周囲の位置に接触し一方向
に移動する調芯ローラ６と、この調芯ローラ６を移動さ
せる移動機構５と、パターンに光を照射し反射する光を
検知する光投光・検出ヘッド９と、この光投光・検出ヘ
ッド９の光電流を撮像信号に変換する変換器８と、この
変換器８の出力を入力しパターンの一部を表示するモニ
タ部１０とを備えている。
【００１３】また、ローラ３，４は、図１（ｂ）に示す
ように、回転自在に軸受１３に取付けられ、この軸受け
１３は一方向にスリーブ１１内を摺動するシャフトの一
端に取付けられている。さらに、スリーブ１１内にはス
プリング１２が挿入され、ローラ４に反揆力を与えてい
る。一方、調芯ローラ６は、微細な送りねじの一端に取
付けられ、この微細な送りねじに歯合うナットを回すこ
とにより一方向に調芯ローラ６を移動させることが出来
る。
ように、回転自在に軸受１３に取付けられ、この軸受け
１３は一方向にスリーブ１１内を摺動するシャフトの一
端に取付けられている。さらに、スリーブ１１内にはス
プリング１２が挿入され、ローラ４に反揆力を与えてい
る。一方、調芯ローラ６は、微細な送りねじの一端に取
付けられ、この微細な送りねじに歯合うナットを回すこ
とにより一方向に調芯ローラ６を移動させることが出来
る。
【００１４】次に、この位置決め機構による原盤と回転
テーブルの芯合せについて説明する。まず、ローラ３，
４に原盤１の側面を押し当てながら回転テーブル２に乗
せる。次に、調芯ローラ６を原盤１の側面に接触させ、
回転テーブル２を回転させる。
テーブルの芯合せについて説明する。まず、ローラ３，
４に原盤１の側面を押し当てながら回転テーブル２に乗
せる。次に、調芯ローラ６を原盤１の側面に接触させ、
回転テーブル２を回転させる。
【００１５】次に、光投光・検出ヘッド９で原盤１に形
成されたパターン７に光を照射し、反射光を入光する。
そして、入光される反射光を光電変換した後、変換器８
によりモニタ部１０に撮像信号として出力する。この
時、偏芯があると、光は何本ものパターンを横切ること
になるので、モニタ部１０に横切ったパターンの数だけ
の振幅信号が表示される。この振幅信号の山の数が多い
ほど偏芯量が大きいことになる。次に、この振幅信号を
モニタしながら移動機構５により調芯ローラ６を移動す
ることにより、モニタ部１０に表示される振幅信号の山
の数が少なくする。そして最終には一つにして芯合せを
完了させる。
成されたパターン７に光を照射し、反射光を入光する。
そして、入光される反射光を光電変換した後、変換器８
によりモニタ部１０に撮像信号として出力する。この
時、偏芯があると、光は何本ものパターンを横切ること
になるので、モニタ部１０に横切ったパターンの数だけ
の振幅信号が表示される。この振幅信号の山の数が多い
ほど偏芯量が大きいことになる。次に、この振幅信号を
モニタしながら移動機構５により調芯ローラ６を移動す
ることにより、モニタ部１０に表示される振幅信号の山
の数が少なくする。そして最終には一つにして芯合せを
完了させる。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、回転テー
ブル装着した原盤の外周囲に３点で接触するとともに前
記回転テーブルの中心に向って一方向に移動可能な回転
自在の３つのローラと、これらローラのいずれかの一つ
を移動させる機構と、前記原盤に形成されるパターンの
一部を撮像し表示する光学検出部及びモニタ部とを設
け、前記パターンの一部をモニタしながら前記ローラに
より前記原盤を移動することによって、原盤の機会中心
と前記パターンの中心とのずれがあっても、パターン中
心と前記回転テーブルの中心を一致させ、正確な信号検
査が出来るという効果がある。
ブル装着した原盤の外周囲に３点で接触するとともに前
記回転テーブルの中心に向って一方向に移動可能な回転
自在の３つのローラと、これらローラのいずれかの一つ
を移動させる機構と、前記原盤に形成されるパターンの
一部を撮像し表示する光学検出部及びモニタ部とを設
け、前記パターンの一部をモニタしながら前記ローラに
より前記原盤を移動することによって、原盤の機会中心
と前記パターンの中心とのずれがあっても、パターン中
心と前記回転テーブルの中心を一致させ、正確な信号検
査が出来るという効果がある。
【図１】本発明の原盤信号検査装置一実施例を説明する
ための位置決め機構を示す図である。
ための位置決め機構を示す図である。
【図２】従来の原盤信号検査装置の一例を説明するため
の主要部を示すブロック図及び回転テーブルを示す図で
ある。
の主要部を示すブロック図及び回転テーブルを示す図で
ある。
１ 原盤 ２ 回転テーブル ３，４ ローラ ５ 移動機構 ６ 調芯ローラ ７ パターン ８ 変換器 ９ 光投光・検出ヘッド １０ モニタ部 １１ スリーブ １２ スプリング １３ 軸受 １４ 位置決めピン １５ スライダ １６ モータ １７ 光ヘッド １８ アクチュエータ １９ フォーカスサーボ手段 ２０ アンプ回路 ２１ 端子
Claims (1)
- 【請求項１】 円心円状あるいはスパイラル状にパター
ンが形成された原盤を回転させ、前記パターンに投光
し、その反射光を捕捉し、再生信号を得て、この再生信
号を検査する原盤信号検査装置において、前記原盤の外
周囲に接するとともに一方向に移動可能な３個のローラ
と、この３個のローラの一つを一方向に移動させる機構
と、前記パターンの一部に投光するとともにその反射光
を検知する光投光・検出器と、この光投光・検出器の信
号により前記パターンの一部を表示するモニタ部とを備
えることを特徴とする原盤信号検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16321692A JPH064912A (ja) | 1992-06-23 | 1992-06-23 | 原盤信号検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16321692A JPH064912A (ja) | 1992-06-23 | 1992-06-23 | 原盤信号検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH064912A true JPH064912A (ja) | 1994-01-14 |
Family
ID=15769516
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16321692A Withdrawn JPH064912A (ja) | 1992-06-23 | 1992-06-23 | 原盤信号検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH064912A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5777979A (en) * | 1995-11-28 | 1998-07-07 | Balzers Und Leybold Deutschland Holding Ag | Apparatus for laser exposure of a substrate disk and a method for the centered mounting of a substrate disk |
-
1992
- 1992-06-23 JP JP16321692A patent/JPH064912A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5777979A (en) * | 1995-11-28 | 1998-07-07 | Balzers Und Leybold Deutschland Holding Ag | Apparatus for laser exposure of a substrate disk and a method for the centered mounting of a substrate disk |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990831 |