JPH0559221U - 被検出体の回転角度検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 円柱状をなす被検出体を所望の回転角度に位
置決めする。 【構成】 円柱状をなす被検出体１の周面の一部に、中
心を通る線と直交する方向に延びる平面状の切欠部１ａ
を所定の深さで形成し、この被検出体１を駆動源５に連
結される回転台２上に装着して、駆動源５の作動により
軸線を中心として回転可能とする。一方、被検出体１の
法線上に、上下方向に所定の間隔をおいて発光素子３と
受光素子４とを設ける。回転状態にある被検出体１に発
光素子３から光６を発すると、その光６は被検出体１の
周面の形状に応じた方向に反射するので、発光素子３か
ら光６を発した際の受光素子４の受光量を検出すれば、
被検出体１の回転角度を検出することができることにな
る。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は被検出体の回転角度検出装置に関し、特に、円柱状をなす金属ダイ アフラム上に所望の形状の配線パターンを形成する際の金属ダイアフラム上への マスクの位置決め等に有効な被検出体の回転角度検出装置に関するものである。

【０００２】

【従来技術およびその問題点】

一般に、圧力センサに用いられる金属ダイアフラム上に所望の形状の配線パタ ーンを形成するには、金属ダイアフラム上にスパッタ、蒸着等の薄膜形成法によ り絶縁膜、ゲージ膜、配線膜を形成した上で、その上に配線パターンの形状に形 成したマスクを位置して、このマスクを介してフォトエッチング法により露光・ エッチングを行うことで、所望の形状の配線パターンを形成するようになってい る。

【０００３】 この場合、マスクの金属ダイアフラム上への位置決め精度が品質に大きく影響 を及ぼすため、金属ダイアフラムとマスクをカメラで拡大して捕らえた上で、作 業者が金属ダイアフラム上の所定の位置にマスクを位置決めするようになってい た。

【０００４】 しかしながら、上記のようにカメラを使用して作業者が金属ダイアフラム上の 所定の位置にマスクを位置決めする作業は、カメラの視野が非常に狭いために非 常に手間がかかってしまい、したがって、生産性が著しく低下してしまうという 問題点があった。

【０００５】 この考案は前記のような従来のもののもつ問題点を解決したものであって、金 属ダイアフラム上の所定の位置にマスクを位置決めする作業を容易化することに よって、生産性を大幅に向上させることのできる被検出体の回転角度検出装置を 提供することを目的とするものである。

【０００６】

【問題点を解決するための手段】

この考案は前記の問題点を解決するために、円柱状をなす被検出体の周面の一 部に、中心を通る線と直交する平面状の切欠部を所定の深さで形成するとともに 、この被検出体を駆動源に連結される回転台に装着して、駆動源の作動により軸 線を中心として回転可能とし、さらに、前記被検出体の法線上に、上下方向に所 定の間隔をおいて発光素子と受光素子とを設け、発光素子から発した光が回転状 態にある被検出体の周面に入射すると、その光は被検出体の周面の形状に応じた 方向に反射し、このとき受光素子に入射する受光量を検出することにより、被検 出体の回転角度を検出するという手段を採用したものである。

【０００７】

【作用】

この考案は前記のような手段を採用したことにより、回転状態にある被検出体 に発光素子から光を発すると、その光は被検出体の周面の形状に応じた方向に反 射することになるので、受光素子が受光した光の量を検出することによって、被 検出体の回転角度を検出することができることになる。

【０００８】

【実施例】

以下、図面に示すこの考案の実施例について説明する。 図１〜図４には、この考案による被検出体の回転角度検出装置の一実施例が示 されていて、図１は全体を示す概略図、図２は図１に示すものの部分拡大図、図 ３は図２の側面図、図４は図２の上面図である。

【０００９】 すなわち、この被検出体の回転角度検出装置は、円柱状をなす被検出体１を回 転可能に支持する回転台２と、回転台２に支持される被検出体１の法線上に上下 方向に所定の間隔をおいて設けられる発光素子３と受光素子４とを具えている。

【００１０】 前記回転台２はパルスモータ等の駆動源５に連結されて、駆動源５の作動によ り水平方向に回転可能、かつ、所望の回転角度に停止可能となっている。

【００１１】 前記発光素子３は、前記被検出体１にその法線方向からレーザ光等のスリット 光６を発するようになっているとともに、前記受光素子４は前記発光素子３から 発して前記被検出体１の周面で反射した光６のうち、被検出体１の法線方向に反 射した光６のみを受光するようになっている。

【００１２】 前記被検出体１としては円柱状をなす種々のものがあるが、例えば前記従来と 同様に圧力センサに用いられる金属ダイアフラム１を用いて説明すると、金属ダ イアフラム１上に所望の形状の配線パターンを形成する際の金属ダイアフラム１ 上へのマスクの位置決め作業にこの実施例による被検出体の回転角度検出装置が 特に有効となるものである。

【００１３】 すなわち、まず、円柱状をなす金属ダイアフラム１の周面の一部に、中心を通 る線と直交する方向に延びる平面状の切欠部１ａを所定の深さで形成するととも に、このように周面の一部に切欠部１ａを形成した金属ダイアフラム１を前記回 転台２上に装着する。

【００１４】 そして、駆動源５の作動により回転台２と一体に前記金属ダイアフラム１を回 転させるとともに、前記発光素子３から光６を発して、金属ダイアフラム１の周 面に法線方向から入射させる。

【００１５】 この場合、発光素子３から発した光６が図５に示すように、金属ダイアフラム １のアール面１ｂに入射すると、その光６は金属ダイアフラム１の法線方向に反 射して法線上に位置している受光素子４に入射し、このときの受光素子４の受光 量は図９の（Ａ）のようになる。

【００１６】 また、発光素子３から発した光６が図６に示すように、金属ダイアフラム１の アール面１ｂと切欠部１ａとの境界部に入射すると、その光６は金属ダイアフラ ム１の法線と所定の角度をなす方向、すなわち切欠部１ａの面と直交する方向に 反射することになり、このときの反射光６は受光素子４に入射しないので、受光 素子４の受光量は図９の（Ｂ）のようになる。

【００１７】 また、発光素子３から発した光６が図７に示すように、金属ダイアフラム１の 切欠部１ａに入射すると、その光６は金属ダイアフラム１の法線方向に反射して 法線上に位置している受光素子４に入射し、このときの受光素子４の受光量は図 ９の（Ｃ）のようになる。

【００１８】 さらに、発光素子３から発した光６が図８に示すように、金属ダイアフラム１ のアール面１ｂと切欠部１ａとの境界部に入射すると、その光６は金属ダイアフ ラム１の法線と所定の角度をなす方向、すなわち切欠部１ａの面と直交する方向 に反射することになり、このときの反射光６は受光素子に入射しないので、受光 素子４の受光量は図９の（Ｄ）のようになる。

【００１９】 このように、回転状態にある金属ダイアフラム１の周面に発光素子３から光６ を発すると、その光６は金属ダイアフラム１の周面の形状に応じた方向に反射す ることになるので、発光素子３から光６を発した際の受光素子４の受光量を検出 すれば、金属ダイアフラム１の回転角度を検出することができることになる。

【００２０】 したがって、この受光素子４の受光量を検出して処理するとともに、この受光 素子４の受光量に応じて回転台２の回転角度を制御すれば、回転台２上に装着し た金属ダイアフラム１を所望の回転角度に停止させることができることになるの で、金属ダイアフラム１と金属ダイアフラム１上に位置決めされる図示しないマ スクとを、回転台２の上方に位置しているカメラ７で拡大して捕らえて、マスク を金属ダイアフラム１上の所定の位置に確実に位置決めすることができることに なる。

【００２１】 したがって、上記のように構成した被検出体の回転角度検出装置を用いること によって、金属ダイアフラム１上へのマスクの位置決め作業を容易化することが できるので、生産性を著しく向上させることができることになる。

【００２２】

【考案の効果】

この考案は前記のように構成して、円柱状をなす被検出体の周面の一部に、中 心を通る線と直交する切欠部を所定の深さで形成するとともに、この被検出体を 駆動源に連結される回転台に装着して、駆動源の作動により軸線を中心として回 転可能とし、さらに、被検出体の法線上に上下方向に所定の間隔をおいて発光素 子と受光素子とを設けて、発光素子から発した光が回転状態にある被検出体に法 線方向から入射して、被検出体の周面の形状に応じた方向に反射するようにした ことにより、発光素子から光を発した際の受光素子の受光量を検出することで、 被検出体の回転角度を検出することができることになる。したがって、受光素子 の受光量を検出して処理して、その受光量により駆動源を制御するようにすれば 、被検出体を所望の回転角度に位置決めすることができることになる等の優れた 効果を有するものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】この考案による被検出体の回転角度検出装置の
一実施例を示した概略図である。

【図２】図１に示すものの部分拡大図である。

【図３】図２に示すものの側面図である。

【図４】図２に示すものの上面図である。

【図５】発光素子から被検出体に光を発した状態を示し
た説明図である。

【図６】発光素子から被検出体に光を発した状態を示し
た説明図である。

【図７】発光素子から被検出体に光を発した状態を示し
た説明図である。

【図８】発光素子から被検出体に光を発した状態を示し
た説明図である。

【図９】図５〜図８に示す状態における受光素子の受光
量を示した説明図である。

【符号の説明】

１……被検出体 １ａ……切欠部 １ｂ……アール面 ２……回転台 ３……発光素子 ４……受光素子 ５……駆動源 ６……光 ７……カメラ ８……露光装置

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 円柱状をなす被検出体（１）の周面の一
   部に、中心を通る線と直交する平面状の切欠部（１ａ）
   を所定の深さで形成するとともに、この被検出体（１）
   を駆動源（５）に連結される回転台（２）に装着して、
   駆動源（５）の作動により軸線を中心として回転可能と
   し、さらに、前記被検出体（１）の法線上に、上下方向
   に所定の間隔をおいて発光素子（３）と受光素子（４）
   とを設け、発光素子（３）から発した光（６）が回転状
   態にある被検出体（１）の周面に入射すると、その光
   （６）は被検出体（１）の周面の形状に応じた方向に反
   射し、このとき受光素子（４）に入射する受光量を検出
   することにより、被検出体（１）の回転角度を検出する
   ことを特徴とする被検出体の回転角度検出装置。