JP2563830Y2 - 被検出体の回転角度検出装置 - Google Patents
被検出体の回転角度検出装置Info
- Publication number
- JP2563830Y2 JP2563830Y2 JP112792U JP112792U JP2563830Y2 JP 2563830 Y2 JP2563830 Y2 JP 2563830Y2 JP 112792 U JP112792 U JP 112792U JP 112792 U JP112792 U JP 112792U JP 2563830 Y2 JP2563830 Y2 JP 2563830Y2
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- Japan
- Prior art keywords
- light
- detected
- rotation angle
- metal diaphragm
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- Expired - Lifetime
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Description
【考案の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この考案は被検出体の回転角度検
出装置に関し、特に、円柱状をなす金属ダイアフラム上
に所望の形状の配線パターンを形成する際の金属ダイア
フラム上へのマスクの位置決め等に有効な被検出体の回
転角度検出装置に関するものである。
出装置に関し、特に、円柱状をなす金属ダイアフラム上
に所望の形状の配線パターンを形成する際の金属ダイア
フラム上へのマスクの位置決め等に有効な被検出体の回
転角度検出装置に関するものである。
【０００２】
【従来技術およびその問題点】一般に、圧力センサに用
いられる金属ダイアフラム上に所望の形状の配線パター
ンを形成するには、金属ダイアフラム上にスパッタ、蒸
着等の薄膜形成法により絶縁膜、ゲージ膜、配線膜を形
成した上で、その上に配線パターンの形状に形成したマ
スクを位置して、このマスクを介してフォトエッチング
法により露光・エッチングを行うことで、所望の形状の
配線パターンを形成するようになっている。
いられる金属ダイアフラム上に所望の形状の配線パター
ンを形成するには、金属ダイアフラム上にスパッタ、蒸
着等の薄膜形成法により絶縁膜、ゲージ膜、配線膜を形
成した上で、その上に配線パターンの形状に形成したマ
スクを位置して、このマスクを介してフォトエッチング
法により露光・エッチングを行うことで、所望の形状の
配線パターンを形成するようになっている。
【０００３】この場合、マスクの金属ダイアフラム上へ
の位置決め精度が品質に大きく影響を及ぼすため、金属
ダイアフラムとマスクをカメラで拡大して捕らえた上
で、作業者が金属ダイアフラム上の所定の位置にマスク
を位置決めするようになっていた。
の位置決め精度が品質に大きく影響を及ぼすため、金属
ダイアフラムとマスクをカメラで拡大して捕らえた上
で、作業者が金属ダイアフラム上の所定の位置にマスク
を位置決めするようになっていた。
【０００４】しかしながら、上記のようにカメラを使用
して作業者が金属ダイアフラム上の所定の位置にマスク
を位置決めする作業は、カメラの視野が非常に狭いため
に非常に手間がかかってしまい、したがって、生産性が
著しく低下してしまうという問題点があった。
して作業者が金属ダイアフラム上の所定の位置にマスク
を位置決めする作業は、カメラの視野が非常に狭いため
に非常に手間がかかってしまい、したがって、生産性が
著しく低下してしまうという問題点があった。
【０００５】この考案は前記のような従来のもののもつ
問題点を解決したものであって、金属ダイアフラム上の
所定の位置にマスクを位置決めする作業を容易化するこ
とによって、生産性を大幅に向上させることのできる被
検出体の回転角度検出装置を提供することを目的とする
ものである。
問題点を解決したものであって、金属ダイアフラム上の
所定の位置にマスクを位置決めする作業を容易化するこ
とによって、生産性を大幅に向上させることのできる被
検出体の回転角度検出装置を提供することを目的とする
ものである。
【０００６】
【問題点を解決するための手段】この考案は前記の問題
点を解決するために、円柱状をなす被検出体の周面の一
部に、中心を通る線と直交する平面状の切欠部を所定の
深さで形成するとともに、この被検出体を駆動源に連結
される回転台に装着して、駆動源の作動により軸線を中
心として回転可能とし、さらに、前記被検出体の法線上
に、上下方向に所定の間隔をおいて発光素子と受光素子
とを設け、発光素子から発した光が回転状態にある被検
出体の周面に入射すると、その光は被検出体の周面の形
状に応じた方向に反射し、このとき受光素子に入射する
受光量を検出することにより、被検出体の回転角度を検
出するという手段を採用したものである。
点を解決するために、円柱状をなす被検出体の周面の一
部に、中心を通る線と直交する平面状の切欠部を所定の
深さで形成するとともに、この被検出体を駆動源に連結
される回転台に装着して、駆動源の作動により軸線を中
心として回転可能とし、さらに、前記被検出体の法線上
に、上下方向に所定の間隔をおいて発光素子と受光素子
とを設け、発光素子から発した光が回転状態にある被検
出体の周面に入射すると、その光は被検出体の周面の形
状に応じた方向に反射し、このとき受光素子に入射する
受光量を検出することにより、被検出体の回転角度を検
出するという手段を採用したものである。
【０００７】
【作用】この考案は前記のような手段を採用したことに
より、回転状態にある被検出体に発光素子から光を発す
ると、その光は被検出体の周面の形状に応じた方向に反
射することになるので、受光素子が受光した光の量を検
出することによって、被検出体の回転角度を検出するこ
とができることになる。
より、回転状態にある被検出体に発光素子から光を発す
ると、その光は被検出体の周面の形状に応じた方向に反
射することになるので、受光素子が受光した光の量を検
出することによって、被検出体の回転角度を検出するこ
とができることになる。
【０００８】
【実施例】以下、図面に示すこの考案の実施例について
説明する。図１〜図４には、この考案による被検出体の
回転角度検出装置の一実施例が示されていて、図１は全
体を示す概略図、図２は図１に示すものの部分拡大図、
図３は図２の側面図、図４は図２の上面図である。
説明する。図１〜図４には、この考案による被検出体の
回転角度検出装置の一実施例が示されていて、図１は全
体を示す概略図、図２は図１に示すものの部分拡大図、
図３は図２の側面図、図４は図２の上面図である。
【０００９】すなわち、この被検出体の回転角度検出装
置は、円柱状をなす被検出体１を回転可能に支持する回
転台２と、回転台２に支持される被検出体１の法線上に
上下方向に所定の間隔をおいて設けられる発光素子３と
受光素子４とを具えている。
置は、円柱状をなす被検出体１を回転可能に支持する回
転台２と、回転台２に支持される被検出体１の法線上に
上下方向に所定の間隔をおいて設けられる発光素子３と
受光素子４とを具えている。
【００１０】前記回転台２はパルスモータ等の駆動源５
に連結されて、駆動源５の作動により水平方向に回転可
能、かつ、所望の回転角度に停止可能となっている。
に連結されて、駆動源５の作動により水平方向に回転可
能、かつ、所望の回転角度に停止可能となっている。
【００１１】前記発光素子３は、前記被検出体１にその
法線方向からレーザ光等のスリット光６を発するように
なっているとともに、前記受光素子４は前記発光素子３
から発して前記被検出体１の周面で反射した光６のう
ち、被検出体１の法線方向に反射した光６のみを受光す
るようになっている。
法線方向からレーザ光等のスリット光６を発するように
なっているとともに、前記受光素子４は前記発光素子３
から発して前記被検出体１の周面で反射した光６のう
ち、被検出体１の法線方向に反射した光６のみを受光す
るようになっている。
【００１２】前記被検出体１としては円柱状をなす種々
のものがあるが、例えば前記従来と同様に圧力センサに
用いられる金属ダイアフラム１を用いて説明すると、金
属ダイアフラム１上に所望の形状の配線パターンを形成
する際の金属ダイアフラム１上へのマスクの位置決め作
業にこの実施例による被検出体の回転角度検出装置が特
に有効となるものである。
のものがあるが、例えば前記従来と同様に圧力センサに
用いられる金属ダイアフラム１を用いて説明すると、金
属ダイアフラム１上に所望の形状の配線パターンを形成
する際の金属ダイアフラム１上へのマスクの位置決め作
業にこの実施例による被検出体の回転角度検出装置が特
に有効となるものである。
【００１３】すなわち、まず、円柱状をなす金属ダイア
フラム１の周面の一部に、中心を通る線と直交する方向
に延びる平面状の切欠部１ａを所定の深さで形成すると
ともに、このように周面の一部に切欠部１ａを形成した
金属ダイアフラム１を前記回転台２上に装着する。
フラム１の周面の一部に、中心を通る線と直交する方向
に延びる平面状の切欠部１ａを所定の深さで形成すると
ともに、このように周面の一部に切欠部１ａを形成した
金属ダイアフラム１を前記回転台２上に装着する。
【００１４】そして、駆動源５の作動により回転台２と
一体に前記金属ダイアフラム１を回転させるとともに、
前記発光素子３から光６を発して、金属ダイアフラム１
の周面に法線方向から入射させる。
一体に前記金属ダイアフラム１を回転させるとともに、
前記発光素子３から光６を発して、金属ダイアフラム１
の周面に法線方向から入射させる。
【００１５】この場合、発光素子３から発した光６が図
５に示すように、金属ダイアフラム１のアール面１ｂに
入射すると、その光６は金属ダイアフラム１の法線方向
に反射して法線上に位置している受光素子４に入射し、
このときの受光素子４の受光量は図９の（Ａ）のように
なる。
５に示すように、金属ダイアフラム１のアール面１ｂに
入射すると、その光６は金属ダイアフラム１の法線方向
に反射して法線上に位置している受光素子４に入射し、
このときの受光素子４の受光量は図９の（Ａ）のように
なる。
【００１６】また、発光素子３から発した光６が図６に
示すように、金属ダイアフラム１のアール面１ｂと切欠
部１ａとの境界部に入射すると、その光６は金属ダイア
フラム１の法線と所定の角度をなす方向、すなわち切欠
部１ａの面と直交する方向に反射することになり、この
ときの反射光６は受光素子４に入射しないので、受光素
子４の受光量は図９の（Ｂ）のようになる。
示すように、金属ダイアフラム１のアール面１ｂと切欠
部１ａとの境界部に入射すると、その光６は金属ダイア
フラム１の法線と所定の角度をなす方向、すなわち切欠
部１ａの面と直交する方向に反射することになり、この
ときの反射光６は受光素子４に入射しないので、受光素
子４の受光量は図９の（Ｂ）のようになる。
【００１７】また、発光素子３から発した光６が図７に
示すように、金属ダイアフラム１の切欠部１ａに入射す
ると、その光６は金属ダイアフラム１の法線方向に反射
して法線上に位置している受光素子４に入射し、このと
きの受光素子４の受光量は図９の（Ｃ）のようになる。
示すように、金属ダイアフラム１の切欠部１ａに入射す
ると、その光６は金属ダイアフラム１の法線方向に反射
して法線上に位置している受光素子４に入射し、このと
きの受光素子４の受光量は図９の（Ｃ）のようになる。
【００１８】さらに、発光素子３から発した光６が図８
に示すように、金属ダイアフラム１のアール面１ｂと切
欠部１ａとの境界部に入射すると、その光６は金属ダイ
アフラム１の法線と所定の角度をなす方向、すなわち切
欠部１ａの面と直交する方向に反射することになり、こ
のときの反射光６は受光素子に入射しないので、受光素
子４の受光量は図９の（Ｄ）のようになる。
に示すように、金属ダイアフラム１のアール面１ｂと切
欠部１ａとの境界部に入射すると、その光６は金属ダイ
アフラム１の法線と所定の角度をなす方向、すなわち切
欠部１ａの面と直交する方向に反射することになり、こ
のときの反射光６は受光素子に入射しないので、受光素
子４の受光量は図９の（Ｄ）のようになる。
【００１９】このように、回転状態にある金属ダイアフ
ラム１の周面に発光素子３から光６を発すると、その光
６は金属ダイアフラム１の周面の形状に応じた方向に反
射することになるので、発光素子３から光６を発した際
の受光素子４の受光量を検出すれば、金属ダイアフラム
１の回転角度を検出することができることになる。
ラム１の周面に発光素子３から光６を発すると、その光
６は金属ダイアフラム１の周面の形状に応じた方向に反
射することになるので、発光素子３から光６を発した際
の受光素子４の受光量を検出すれば、金属ダイアフラム
１の回転角度を検出することができることになる。
【００２０】したがって、この受光素子４の受光量を検
出して処理するとともに、この受光素子４の受光量に応
じて回転台２の回転角度を制御すれば、回転台２上に装
着した金属ダイアフラム１を所望の回転角度に停止させ
ることができることになるので、金属ダイアフラム１と
金属ダイアフラム１上に位置決めされる図示しないマス
クとを、回転台２の上方に位置しているカメラ７で拡大
して捕らえて、マスクを金属ダイアフラム１上の所定の
位置に確実に位置決めすることができることになる。
出して処理するとともに、この受光素子４の受光量に応
じて回転台２の回転角度を制御すれば、回転台２上に装
着した金属ダイアフラム１を所望の回転角度に停止させ
ることができることになるので、金属ダイアフラム１と
金属ダイアフラム１上に位置決めされる図示しないマス
クとを、回転台２の上方に位置しているカメラ７で拡大
して捕らえて、マスクを金属ダイアフラム１上の所定の
位置に確実に位置決めすることができることになる。
【００２１】したがって、上記のように構成した被検出
体の回転角度検出装置を用いることによって、金属ダイ
アフラム１上へのマスクの位置決め作業を容易化するこ
とができるので、生産性を著しく向上させることができ
ることになる。
体の回転角度検出装置を用いることによって、金属ダイ
アフラム１上へのマスクの位置決め作業を容易化するこ
とができるので、生産性を著しく向上させることができ
ることになる。
【００２２】
【考案の効果】この考案は前記のように構成して、円柱
状をなす被検出体の周面の一部に、中心を通る線と直交
する切欠部を所定の深さで形成するとともに、この被検
出体を駆動源に連結される回転台に装着して、駆動源の
作動により軸線を中心として回転可能とし、さらに、被
検出体の法線上に上下方向に所定の間隔をおいて発光素
子と受光素子とを設けて、発光素子から発した光が回転
状態にある被検出体に法線方向から入射して、被検出体
の周面の形状に応じた方向に反射するようにしたことに
より、発光素子から光を発した際の受光素子の受光量を
検出することで、被検出体の回転角度を検出することが
できることになる。したがって、受光素子の受光量を検
出して処理して、その受光量により駆動源を制御するよ
うにすれば、被検出体を所望の回転角度に位置決めする
ことができることになる等の優れた効果を有するもので
ある。
状をなす被検出体の周面の一部に、中心を通る線と直交
する切欠部を所定の深さで形成するとともに、この被検
出体を駆動源に連結される回転台に装着して、駆動源の
作動により軸線を中心として回転可能とし、さらに、被
検出体の法線上に上下方向に所定の間隔をおいて発光素
子と受光素子とを設けて、発光素子から発した光が回転
状態にある被検出体に法線方向から入射して、被検出体
の周面の形状に応じた方向に反射するようにしたことに
より、発光素子から光を発した際の受光素子の受光量を
検出することで、被検出体の回転角度を検出することが
できることになる。したがって、受光素子の受光量を検
出して処理して、その受光量により駆動源を制御するよ
うにすれば、被検出体を所望の回転角度に位置決めする
ことができることになる等の優れた効果を有するもので
ある。
【図１】この考案による被検出体の回転角度検出装置の
一実施例を示した概略図である。
一実施例を示した概略図である。
【図２】図１に示すものの部分拡大図である。
【図３】図２に示すものの側面図である。
【図４】図２に示すものの上面図である。
【図５】発光素子から被検出体に光を発した状態を示し
た説明図である。
た説明図である。
【図６】発光素子から被検出体に光を発した状態を示し
た説明図である。
た説明図である。
【図７】発光素子から被検出体に光を発した状態を示し
た説明図である。
た説明図である。
【図８】発光素子から被検出体に光を発した状態を示し
た説明図である。
た説明図である。
【図９】図５〜図８に示す状態における受光素子の受光
量を示した説明図である。
量を示した説明図である。
１……被検出体 １ａ……切欠部 １ｂ……アール面 ２……回転台 ３……発光素子 ４……受光素子 ５……駆動源 ６……光 ７……カメラ ８……露光装置
Claims (1)
- 【請求項１】 円柱状をなす被検出体（１）の周面の一
部に、中心を通る線と直交する平面状の切欠部（１ａ）
を所定の深さで形成するとともに、この被検出体（１）
を駆動源（５）に連結される回転台（２）に装着して、
駆動源（５）の作動により軸線を中心として回転可能と
し、さらに、前記被検出体（１）の法線上に、上下方向
に所定の間隔をおいて発光素子（３）と受光素子（４）
とを設け、発光素子（３）から発した光（６）が回転状
態にある被検出体（１）の周面に入射すると、その光
（６）は被検出体（１）の周面の形状に応じた方向に反
射し、このとき受光素子（４）に入射する受光量を検出
することにより、被検出体（１）の回転角度を検出する
ことを特徴とする被検出体の回転角度検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP112792U JP2563830Y2 (ja) | 1992-01-16 | 1992-01-16 | 被検出体の回転角度検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP112792U JP2563830Y2 (ja) | 1992-01-16 | 1992-01-16 | 被検出体の回転角度検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0559221U JPH0559221U (ja) | 1993-08-06 |
| JP2563830Y2 true JP2563830Y2 (ja) | 1998-02-25 |
Family
ID=11492783
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP112792U Expired - Lifetime JP2563830Y2 (ja) | 1992-01-16 | 1992-01-16 | 被検出体の回転角度検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2563830Y2 (ja) |
-
1992
- 1992-01-16 JP JP112792U patent/JP2563830Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0559221U (ja) | 1993-08-06 |
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