JPH0557754B2 - - Google Patents
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- JPH0557754B2 JPH0557754B2 JP9972588A JP9972588A JPH0557754B2 JP H0557754 B2 JPH0557754 B2 JP H0557754B2 JP 9972588 A JP9972588 A JP 9972588A JP 9972588 A JP9972588 A JP 9972588A JP H0557754 B2 JPH0557754 B2 JP H0557754B2
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- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 40
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 22
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 22
- 238000005553 drilling Methods 0.000 claims description 8
- 238000011417 postcuring Methods 0.000 claims description 5
- 230000010354 integration Effects 0.000 claims description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 8
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 7
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 7
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 5
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 4
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 3
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 3
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 3
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 3
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 description 3
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 3
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 2
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 1
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- QGBSISYHAICWAH-UHFFFAOYSA-N dicyandiamide Chemical compound NC(N)=NC#N QGBSISYHAICWAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XXBDWLFCJWSEKW-UHFFFAOYSA-N dimethylbenzylamine Chemical compound CN(C)CC1=CC=CC=C1 XXBDWLFCJWSEKW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000009472 formulation Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 239000007800 oxidant agent Substances 0.000 description 1
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 1
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 1
- 229920006122 polyamide resin Polymers 0.000 description 1
- 229920001225 polyester resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004645 polyester resin Substances 0.000 description 1
- 238000007788 roughening Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 229920006337 unsaturated polyester resin Polymers 0.000 description 1
- 239000002966 varnish Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
Description
(産業上の利用分野)
この発明は、多層配線基板に関するものであ
る。さらに詳しくは、この発明は、内層材と樹脂
含浸基材との界面におけるクラツク発生を防止
し、耐酸性を向上させた多層配線基板に関するも
のである。 (従来の技術) 計算機、通信機器、電子機器等に用いられる配
線基板については、高密度実装の傾向にあり、多
層配線基板に対する需要が高まつてきている。 このような多層配線基板としては、たとえば第
2図に示したように、回路アを有する内層材イの
上下の両面にガラスクロスに樹脂を含浸させた樹
脂含浸基材ウを配設し、金属箔エを有する外層材
オを配して積層一体化したものが知られている。
この多層配線基板については、第2図に示したよ
うに積層一体化した後にドリル、パンチ等によつ
て穴あけ加工し、スルホールメツキしてメツキ層
カを形成している。 このような多層配線基板については、通常は、
内層材イへの樹脂含浸基材ウの配設にあたつて特
に両者の接触界面の状態について留意することは
なかつた。 しかしながら、配線基板の高密度化と高速化へ
の要求が高まるにつれてその信頼性に注意が払わ
れるようになつた結果、多層配線基板の穴あけ加
工による衝撃によつて樹脂含浸基材ウの内層材接
触部にマイクロクラツクが発生し、このクラツク
にはメツキ加工時のメツキ液が侵入し、内層材イ
の回路アを侵食することが新たな問題として浮上
してきている。 (発明が解決しようとする課題) この発明は、以上の通りの事情に鑑みてなされ
たものであり、従来は特段の注意を払つてこなか
つた多層配線基板の内層材に設けた回路のメツキ
液による侵食を防止し、信頼性の高い多層配線基
板を提供することを目的としている。 さらに詳しくは、この発明は、従来の内層材と
接する硬化度100%の樹脂を付着させた樹脂含浸
基材を配設した多層配線基板の場合には避けられ
なかつた穴あけ加工による衝撃での内層材界面で
のクラツクの発生と、このクラツクへのメツキ液
の侵入による回路侵食を防止し、耐酸性を向上さ
せた信頼性の高い多層配線基板を提供することを
目的としている。 (課題を解決するための手段) この発明の多層配線基板は、上記の課題を解決
するために、内層材の上下の面に樹脂含浸基材を
介在させて外層材を配設一体化してなる多層配線
基板において、一体化後の樹脂硬化度を85〜90%
として穴あけ加工し、次いで後硬化して樹脂硬化
度を100%としてなることを特徴としている。 この発明の多層配設基板の要部を拡大して示し
たものが第1図である。この第1図に示したよう
に、内層材1の上下の面には銅等の金属箔から形
成した回路2を設けており、この回路2を有する
内層材1の上下の面には樹脂含浸基材3を配設し
ている。この配設に際して、この発明において
は、たとえばガラスクロス、ガラスマツト、紙な
どからなる基材4に含浸させたエポキシ樹脂、ポ
リイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリエステル樹
脂等の樹脂5の配設一体化後の樹脂の硬化度を85
〜90%としている。従来は、この硬化度は100%
であり、DSC(示差走査熱量計)測定によるTg値
は140〜142℃であるが、この発明においては硬化
度85〜90%(Tg127〜130℃)とする。 このため、この発明においては、積層成形時の
加熱温度または加熱時間は、完全硬化に要する条
件の85〜90%とする。 85%未満の場合には、接着力が低下して好まし
くなく、また90%を超える場合には応力緩和は期
待できない。 このように樹脂の硬化度を85〜90%とした後
に、この発明においては穴あけ加工を行う。さら
に、このドリル等によるNC穴あけ加工などを行
つた後に後硬化処理を行う。 この後硬化(アフターキユア)は、加圧なしで
行うこともできる。好ましくはTg以上の温度
(さらには最初の加熱温度以下が好ましい)に加
熱して後硬化させる。 このようなこの発明の多層配線基板において
は、通常、その内層材1としては、両面または片
面金属張積層板をエツチング等によつて表面に回
路2を形成したものを用いる。しかもこの内層材
1としては、樹脂含浸基材3との接着性を向上さ
せるため酸や酸化剤で表面粗化処理(黒化処理)
したものが好適に用いられる。 樹脂含浸基材3としては、上記のようにガラス
クロス、紙等の基材にはエポキシ樹脂、ポリイミ
ド樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、フエノール樹
脂等の樹脂ワニスを乾燥後の樹脂量が約40〜50重
量%程度となるように含浸したものを複数枚、た
とえば2〜3枚程度使用することができる。この
場合、内層材1に接する樹脂含浸基材3について
は、樹脂の付着量、すなわちレジン厚は20μm以
上とすることも有利である。このための樹脂の含
浸量は約50〜60重量%程度とするのが好ましい。 また、この発明の配線基板の外層材としては、
銅、アルミニウム等の金属箔や、片面金属張積層
板の金属側を最外層としたものを用いることがで
きる。 (作用) この発明の多層配線基板においては、配設一体
化後、すなわち二次積層成形後の樹脂の硬化度を
85〜90%とし、しかも穴あけ加工後に後硬化する
ことにより、樹脂の架橋度合を最適化し、ドリル
等による穴あけ加工時の衝撃をこの樹脂の層が応
力緩和し、内層材1の回路2部と樹脂含浸基材3
との剥離、クラツクの発生を防止する。これによ
りメツキ液の侵入による回路2の侵食も抑制す
る。 次にこの発明の実施例を示し、さらに詳しくこ
の発明の多層配線基板について説明する。もちろ
ん、この発明は以下の実施例によつて限定される
ものではない。 (実施例) 0.8mm厚の両面銅張ガラスクロスエポキシ積層
板の両面をエツチングおよび黒化処理して内層材
とした。 これとは別に、ガラスクロスに一次の配合から
なる樹脂を含浸させた。 エポキシ樹脂(エピコート1001:シエル化学)
100(重量部) ジシアンジアミド 4 ベンジルジメチルアミン 0.2 メチルオキシトール 100 樹脂含浸ガラスクロスとしては、厚み0.1mm、
樹脂付着厚み5μmのガラスクロス(樹脂量45重
量%)を用いた。さらに最外層には、厚み35μm
の銅箔を配し、これからなる積層体を成形圧力40
Kg/cm2、165℃で85分間加熱加圧して4層の多層
配線基板を得た。これをドリルによつて穴あけ加
工した後に150℃で、さらに50分間後硬化させた。
ただし、この後硬化では加圧はしなかつた。 また、比較のために、加熱時間を100分間とし
た以外は上記と同様にして多層配線基板を製造し
た。 これらの多層配線基板について、ドリル穴あけ
部のメツキ液の侵入の大きさと、塩酸による腐食
を評価した。その結果を示したものが表1であ
る。この表1から明らかなように、この発明の実
施例の場合には、メツキ液のしみ込みは少なく、
かつ塩酸による回路腐食は認められなかつた。
る。さらに詳しくは、この発明は、内層材と樹脂
含浸基材との界面におけるクラツク発生を防止
し、耐酸性を向上させた多層配線基板に関するも
のである。 (従来の技術) 計算機、通信機器、電子機器等に用いられる配
線基板については、高密度実装の傾向にあり、多
層配線基板に対する需要が高まつてきている。 このような多層配線基板としては、たとえば第
2図に示したように、回路アを有する内層材イの
上下の両面にガラスクロスに樹脂を含浸させた樹
脂含浸基材ウを配設し、金属箔エを有する外層材
オを配して積層一体化したものが知られている。
この多層配線基板については、第2図に示したよ
うに積層一体化した後にドリル、パンチ等によつ
て穴あけ加工し、スルホールメツキしてメツキ層
カを形成している。 このような多層配線基板については、通常は、
内層材イへの樹脂含浸基材ウの配設にあたつて特
に両者の接触界面の状態について留意することは
なかつた。 しかしながら、配線基板の高密度化と高速化へ
の要求が高まるにつれてその信頼性に注意が払わ
れるようになつた結果、多層配線基板の穴あけ加
工による衝撃によつて樹脂含浸基材ウの内層材接
触部にマイクロクラツクが発生し、このクラツク
にはメツキ加工時のメツキ液が侵入し、内層材イ
の回路アを侵食することが新たな問題として浮上
してきている。 (発明が解決しようとする課題) この発明は、以上の通りの事情に鑑みてなされ
たものであり、従来は特段の注意を払つてこなか
つた多層配線基板の内層材に設けた回路のメツキ
液による侵食を防止し、信頼性の高い多層配線基
板を提供することを目的としている。 さらに詳しくは、この発明は、従来の内層材と
接する硬化度100%の樹脂を付着させた樹脂含浸
基材を配設した多層配線基板の場合には避けられ
なかつた穴あけ加工による衝撃での内層材界面で
のクラツクの発生と、このクラツクへのメツキ液
の侵入による回路侵食を防止し、耐酸性を向上さ
せた信頼性の高い多層配線基板を提供することを
目的としている。 (課題を解決するための手段) この発明の多層配線基板は、上記の課題を解決
するために、内層材の上下の面に樹脂含浸基材を
介在させて外層材を配設一体化してなる多層配線
基板において、一体化後の樹脂硬化度を85〜90%
として穴あけ加工し、次いで後硬化して樹脂硬化
度を100%としてなることを特徴としている。 この発明の多層配設基板の要部を拡大して示し
たものが第1図である。この第1図に示したよう
に、内層材1の上下の面には銅等の金属箔から形
成した回路2を設けており、この回路2を有する
内層材1の上下の面には樹脂含浸基材3を配設し
ている。この配設に際して、この発明において
は、たとえばガラスクロス、ガラスマツト、紙な
どからなる基材4に含浸させたエポキシ樹脂、ポ
リイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリエステル樹
脂等の樹脂5の配設一体化後の樹脂の硬化度を85
〜90%としている。従来は、この硬化度は100%
であり、DSC(示差走査熱量計)測定によるTg値
は140〜142℃であるが、この発明においては硬化
度85〜90%(Tg127〜130℃)とする。 このため、この発明においては、積層成形時の
加熱温度または加熱時間は、完全硬化に要する条
件の85〜90%とする。 85%未満の場合には、接着力が低下して好まし
くなく、また90%を超える場合には応力緩和は期
待できない。 このように樹脂の硬化度を85〜90%とした後
に、この発明においては穴あけ加工を行う。さら
に、このドリル等によるNC穴あけ加工などを行
つた後に後硬化処理を行う。 この後硬化(アフターキユア)は、加圧なしで
行うこともできる。好ましくはTg以上の温度
(さらには最初の加熱温度以下が好ましい)に加
熱して後硬化させる。 このようなこの発明の多層配線基板において
は、通常、その内層材1としては、両面または片
面金属張積層板をエツチング等によつて表面に回
路2を形成したものを用いる。しかもこの内層材
1としては、樹脂含浸基材3との接着性を向上さ
せるため酸や酸化剤で表面粗化処理(黒化処理)
したものが好適に用いられる。 樹脂含浸基材3としては、上記のようにガラス
クロス、紙等の基材にはエポキシ樹脂、ポリイミ
ド樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、フエノール樹
脂等の樹脂ワニスを乾燥後の樹脂量が約40〜50重
量%程度となるように含浸したものを複数枚、た
とえば2〜3枚程度使用することができる。この
場合、内層材1に接する樹脂含浸基材3について
は、樹脂の付着量、すなわちレジン厚は20μm以
上とすることも有利である。このための樹脂の含
浸量は約50〜60重量%程度とするのが好ましい。 また、この発明の配線基板の外層材としては、
銅、アルミニウム等の金属箔や、片面金属張積層
板の金属側を最外層としたものを用いることがで
きる。 (作用) この発明の多層配線基板においては、配設一体
化後、すなわち二次積層成形後の樹脂の硬化度を
85〜90%とし、しかも穴あけ加工後に後硬化する
ことにより、樹脂の架橋度合を最適化し、ドリル
等による穴あけ加工時の衝撃をこの樹脂の層が応
力緩和し、内層材1の回路2部と樹脂含浸基材3
との剥離、クラツクの発生を防止する。これによ
りメツキ液の侵入による回路2の侵食も抑制す
る。 次にこの発明の実施例を示し、さらに詳しくこ
の発明の多層配線基板について説明する。もちろ
ん、この発明は以下の実施例によつて限定される
ものではない。 (実施例) 0.8mm厚の両面銅張ガラスクロスエポキシ積層
板の両面をエツチングおよび黒化処理して内層材
とした。 これとは別に、ガラスクロスに一次の配合から
なる樹脂を含浸させた。 エポキシ樹脂(エピコート1001:シエル化学)
100(重量部) ジシアンジアミド 4 ベンジルジメチルアミン 0.2 メチルオキシトール 100 樹脂含浸ガラスクロスとしては、厚み0.1mm、
樹脂付着厚み5μmのガラスクロス(樹脂量45重
量%)を用いた。さらに最外層には、厚み35μm
の銅箔を配し、これからなる積層体を成形圧力40
Kg/cm2、165℃で85分間加熱加圧して4層の多層
配線基板を得た。これをドリルによつて穴あけ加
工した後に150℃で、さらに50分間後硬化させた。
ただし、この後硬化では加圧はしなかつた。 また、比較のために、加熱時間を100分間とし
た以外は上記と同様にして多層配線基板を製造し
た。 これらの多層配線基板について、ドリル穴あけ
部のメツキ液の侵入の大きさと、塩酸による腐食
を評価した。その結果を示したものが表1であ
る。この表1から明らかなように、この発明の実
施例の場合には、メツキ液のしみ込みは少なく、
かつ塩酸による回路腐食は認められなかつた。
【表】
(発明の効果)
この発明の多層配線基板においては、穴あけ加
工時の内層材と樹脂含浸基材との剥離や該基材の
クラツク発生は防止され、メツキ液の侵入による
回路侵食は著しく抑制される。信頼性の高い多層
配線基板が実現される。
工時の内層材と樹脂含浸基材との剥離や該基材の
クラツク発生は防止され、メツキ液の侵入による
回路侵食は著しく抑制される。信頼性の高い多層
配線基板が実現される。
第1図は、この発明の多層配線基板について示
した要部断面図である。第2図は、従来の多層配
線基板の例を示した部分断面図である。 1……内層材、2……回路、3……樹脂含浸基
材、4……基材、5……樹脂。
した要部断面図である。第2図は、従来の多層配
線基板の例を示した部分断面図である。 1……内層材、2……回路、3……樹脂含浸基
材、4……基材、5……樹脂。
Claims (1)
- 1 内層材の上下の面に樹脂含浸基材を介在させ
て外層材を配設一体化してなる多層配線基板にお
いて、一体化後の樹脂硬化度を85〜90%として穴
あけ加工し、次いで後硬化して樹脂硬化度を100
%としてなることを特徴とする多層配線基板。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9972588A JPH01270396A (ja) | 1988-04-22 | 1988-04-22 | 多層配線基板 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9972588A JPH01270396A (ja) | 1988-04-22 | 1988-04-22 | 多層配線基板 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01270396A JPH01270396A (ja) | 1989-10-27 |
JPH0557754B2 true JPH0557754B2 (ja) | 1993-08-24 |
Family
ID=14255048
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9972588A Granted JPH01270396A (ja) | 1988-04-22 | 1988-04-22 | 多層配線基板 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01270396A (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01318288A (ja) * | 1988-06-20 | 1989-12-22 | Matsushita Electric Works Ltd | 多層配線基板 |
JP2010034142A (ja) * | 2008-07-25 | 2010-02-12 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 多層配線板の製造方法、多層配線板および半導体装置 |
-
1988
- 1988-04-22 JP JP9972588A patent/JPH01270396A/ja active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH01270396A (ja) | 1989-10-27 |
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