JPH0554869U - 真空処理装置用気密シールパッキン - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 真空処理装置本体とこれに開閉可能に連結さ
れる部分の間を気密にシールするための真空処理装置用
気密シールパッキンであって、該開閉部分の一部を押ば
ねでパッキンに向け押しつけたり、該部分にパッキン当
て板のような別途部材を設けたりする必要なく、装置本
体と開閉部分の間を容易、確実に気密シールすることが
できる安価な気密シール用パッキンを提供する。 【構成】 真空処理装置の本体９６及びこれに蝶番９５
１により連結され、ロック装置９５２により閉位置にロ
ックされる扉９５のうち本体９６に固定された被固定部
分１１と該部分から一体的に延びて扉内板９５４に気密
に当接する舌片状部分１２とを有し、該舌片状部分は扉
内板９５４に気密に当接するための凸曲面１２１とその
裏側の凹曲面１２２を有して、装置外側の大気側へ延び
るように柔軟、可撓性に形成されている真空処理装置用
気密シールパッキン。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は真空処理装置において使用する気密シールパッキンに関する。

【０００２】

【従来の技術】

真空処理装置は、物品を加熱しながら、所定真空状態下にさらして乾燥する 、２液性エポキシ樹脂や２液性ゴムを混合して用いるとき、該混合液から脱泡 するにあたり、該混合液を加熱して粘性を下げつつ、真空状態下で脱泡する、 物品を真空下で保管する等に用いられている。

【０００３】 かかる真空処理装置は、通常、装置本体に開閉可能に連結される部分を有して おり、例えば、真空槽内に物品を出し入れする開口を開閉するために開閉可能に 連結された扉、真空槽内の物品の様子を観察するために、装置本体に開閉可能に 連結された観測窓等を挙げることができる。 このような開閉部分については、それが気密に閉じられるように、装置本体と 該開閉部分との間に気密シール用パッキンが設けられるのが普通である。

【０００４】 図３は観測窓と真空装置本体との間に気密シール用パッキンとしてオーリング を介在させた場合を示している。この例では、真空槽９１の窓開口９１１を囲繞 する装置本体の一部９２の端面にオーリング９３が嵌められており、このオーリ ングに観測窓９４の強化ガラス９４１が当接している。窓枠９４０は蝶番９４２ により装置本体部分９２に開閉可能に連結され、ロック装置９４３で閉位置にロ ックされる。ガラス９４１は窓枠９４０内にあり、該窓枠に設けた押ばね９４４ により常時、オーリングの方へ押されている。

【０００５】 また、図４は真空槽９１へ物品を出し入れする開口９１２を開閉する扉９５と 装置本体の一部９６との間に気密シールパッキン９７を配置している状態を示し ている。この従来例では、扉９５は蝶番９５１により装置本体部分９６に開閉可 能に連結され、ロック装置９５２により閉位置にロックされる。また、このロッ ク時、扉９５の内面に設けたパッキン当て板９５３がパッキン９７に当接する。

【０００６】 パッキン当て板９５３は、扉９５の内板９５４を補強するために補強リブ９５ ５を溶接したため、内板９５４の表面が凹凸を呈し、そのため該内板表面がパッ キン９７にうまく当接しないので、パッキン９７への気密当接性を得るために設 けたものである。

【０００７】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、図３に示す例では、強化ガラス９４１が押ばね９４４に押され ているため、オーリング９３の表面に多少の凹凸があっても該押ばねの作用で強 化ガラス９４１は気密にオーリングに当接するものの、このような押ばねを設け なければならないので、それだけコスト高につくとともに、たとえこのような押 ばね９４４を設けたとしても、強化ガラスとオーリングが気密に接し合うように 、窓枠９４０と装置本体部分９２との蝶番９４２による連結及びロック装置９４ ３によるロック状態をうまく調節しなければならないので、組み立てに手間を要 するという問題がある。

【０００８】 図４に示す例では、補強リブ９５５の溶接による扉内板９５４表面の熱歪凹凸 にも拘らず気密シール性を得るために、わざわざパッキン当て板９５３を設けな ければならないので、それだけコスト高につくという問題がある。また、蝶番９ ５１による扉９５の連結、ロック装置９５２によるロック状態を、十分な気密シ ール性を得るように調節しなければならない。

【０００９】 そこで本考案は、真空処理装置本体とこれに開閉可能に連結される部分の間を 気密にシールするための真空処理装置用気密シールパッキンであって、該開閉部 分の一部を押ばねでパッキンに向け押しつけたり、該部分にパッキン当て板のよ うな別途部材を設けたりする必要なく、装置本体と開閉部分の間を容易、確実に 気密シールすることができる安価なパッキンを提供することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】

本考案は前記目的に従い、真空処理装置本体とこれに開閉可能に連結される部 分の間を気密にシールするための真空処理装置用気密シールパッキンであって、 前記本体及び開閉部分のいずれか一方のものに固定される被固定部分と、該部分 から一体的に延びて他方のものに当接する舌片状の部分とを有し、該舌片状部分 は前記他方のものに気密に当接するための凸表面とその反対側の凹裏面を有して 装置外側の大気側へ延びるように柔軟、可撓性に形成されていることを特徴とす るパッキンを提供するものである。

【００１１】

【作用】

本考案パッキンによると、該パッキンの被固定部分が真空処理装置本体及びこ れに対し開閉する部分のいずれか一方のものに固定され、該被固定部分から大気 側へ向かって延びる舌片状の部分が、他方のものに、たとえその他方のものが完 全に平坦でなくても、また、開閉部分と装置本体との相互の連結状態に多少の誤 差等があったとしても、柔軟に撓んで気密に接する。

【００１２】 真空引きの当初においてもこのように本考案のシールパッキンによって装置本 体とこれに対する開閉部分との間が、特に舌片状部分によって気密にシールされ るが、真空引きがある程度進んでくると、該開閉部分が装置本体側へ強く引かれ 、これによって被固定部分全体も装置本体又は開閉部分に気密に接し、気密シー ルが一層確実になるとともに、大気圧がパッキン舌片状部分の凹裏面側に作用し 、該舌片状部分を益々強くそれが当接している装置本体又は開閉部分に押しつけ るので、その点からも気密シールは確実となる。

【００１３】

【実施例】

以下本考案の実施例を図１、及び図２の（Ａ）図、（Ｂ）図を参照して説明す る。図１は一実施例パッキン１の断面を示している。図２の（Ａ）図は図４に示 す例において、パッキン９７に代えて本考案に係わるパッキン１を採用し、扉９ ５の内面にはパッキン当て板９５３を設けずに、直接、扉内板９５４表面をパッ キン１に当接させている状態を示している。また、この（Ａ）図に示す状態は、 扉９５を閉めて、ロック装置９５２にてロックしたばかりの状態を示し、これか ら真空引きを開始する状態を示している。

【００１４】 このパッキン１は装置本体部分９６に固定される被固定部分１１と該部分から 一体的に延びて扉内板に気密に当接するための舌片状部分１２とを備えている。 このパッキン１は真空槽９１の開口９１２を囲繞するように全体としてリング状 に延びており、その被固定部分１１の断面形状は図に示すようにほぼ矩形状をし ている。但し、扉内板９５４に向かう前面１１１は凸曲面に形成されている。

【００１５】 舌片状部分１２は該凸曲面１１１の端から装置外側の大気側へ向かって延びて いる。該舌片状部分は扉内板９５４に当接するための表面である凸曲面１２１と その反対側（裏面）の凹曲面１２２を有している。 これら被固定部分１１及び舌片状部分１２は本例ではシリコンゴムから一体的 に形成されており、図１に示すように、被固定部分１１の厚さ乃至幅Ｗは約８ｍ ｍであり、舌片状部分１２の厚さｔは約１ｍｍでその長さ乃至幅Ｌは約６ｍｍで あり、被固定部分１１は柔軟性を有し、舌片状部分１２は十分な柔軟性、可撓性 を備えている。

【００１６】 なお、本考案に係わるパッキンの材質はシリコンゴムに限定されるものではな く、他の材料でもよい。シリコンゴムで形成するときには高耐熱性のパッキンを 提供することができる。高耐熱性が必要でない場合には、ネオプレンゴム等で形 成することが考えられる。 さらに、本考案に係わるパッキンの各部寸法は、前記実施例のものに限定され ることはなく、使用する位置、真空槽９１における真空引きの程度等に応じて適 宜定めることができる。

【００１７】 以上説明したパッキン１によると、図２の（Ａ）図に示すように、当初、扉９ ５を閉めて、ロック装置９５２にてロックした状態では、舌片状部分１２が柔軟 に撓んでその凸曲面１２１が扉内板９５４に気密に接する。この場合、たとえ扉 内板９５４の表面が補強リブ９５５の溶接等によって完全に平坦でなく、凹凸を 有していても、或いは蝶番９５１やロック装置９５２等による装置本体９６と扉 ９５との連結に誤差等があって、パッキン当たりの調節精度が悪くても、それら は、この舌片状部分１２の柔軟可撓性によって吸収され、該部分１２が気密に扉 内板９５４に接触することができる。図（Ａ）の例は、被固定部分１１の一部が 扉内板９５４から離れているが、舌片状部分１２が扉内板９５４に気密に接して いる状態を示している。

【００１８】 この状態で真空槽９１内を所定真空度へ真空引きしていくと、扉９５が大気圧 により真空装置本体に押しつけられ、図２の（Ｂ）図に示すように、扉内板９５ ４がパッキン１の被固定部分１１の凸曲面１１１全体にも接触するようになると ともに、舌片状部分１２の凹曲面１２２側に大気圧が作用することによって、該 舌片状部分が強く扉内板９５４に当接せしめられ、全体として確実な気密シール が得られる。

【００１９】 なお、以上説明した例では扉９５を閉めたとき、扉内板９５４の一部は未だ被 固定部分１１の凸曲面１１１全体に接触していないが、当初からこの凸曲面１１ １全体に接触していても何ら構わない。 また、以上説明したパッキン１によると、ロック装置９５２は、扉９５をパッ キン１へ完全に接触させるように引っ張り固定するほどのものでなくても、単に 扉を閉位置に止める程度のものでもよい。

【００２０】 以上説明したパッキン１は図１に示すような観測窓におけるガラス９４１と装 置本体部分９２との間に、オーリング９３に代えて使用することもでき、その場 合、押ばね９４４を省略しても、確実な気密シールが得られる。

【００２１】

【考案の効果】 本考案によると、真空処理装置本体とこれに開閉可能に連結される部分の間を 気密にシールするための真空処理装置用気密シールパッキンであって、該開閉部 分の一部を押ばねでパッキンに向け押しつけたり、該部分にパッキン当て板のよ うな別途部材を設けたりする必要なく、装置本体と開閉部分の間を容易、確実に 気密シールすることができる安価なパッキンを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例の断面図である。

【図２】（Ａ）図は、図１のパッキンを真空槽の開口を
閉じる扉と真空装置本体部分との間に配置して、真空槽
を真空引きする直前の状態で示しており、（Ｂ）図は該
真空槽を所定真空度まで真空引きした状態を示してい
る。

【図３】真空処理装置の観測窓に適用された従来例の説
明図である。

【図４】真空処理装置の開口を閉じる扉の部分に適用さ
れた従来例の説明図である。

【符号の説明】

１ 気密シールパッキン １１ 被固定部分 １１１ 部分１１の前面（凸曲面） １２ 舌片状部分 １２１ 部分１２の凸曲面 １２２ 部分１２の凹曲面 ９１ 真空槽 ９１２ 真空槽開口 ９５ 扉 ９５１ 蝶番 ９５２ ロック装置 ９５４ 扉内板 ９６ 真空処理装置本体の一部

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 真空処理装置本体とこれに開閉可能に連
   結される部分の間を気密にシールするための真空処理装
   置用気密シールパッキンであって、前記本体及び開閉部
   分のいずれか一方のものに固定される被固定部分と、該
   部分から一体的に延びて他方のものに当接する舌片状の
   部分とを有し、該舌片状部分は前記他方のものに気密に
   当接するための凸表面とその反対側の凹裏面を有して装
   置外側の大気側へ延びるように柔軟、可撓性に形成され
   ていることを特徴とするパッキン。