JPH0554844A - 電子顕微鏡用の金属膜蒸着装置 - Google Patents
電子顕微鏡用の金属膜蒸着装置Info
- Publication number
- JPH0554844A JPH0554844A JP3212574A JP21257491A JPH0554844A JP H0554844 A JPH0554844 A JP H0554844A JP 3212574 A JP3212574 A JP 3212574A JP 21257491 A JP21257491 A JP 21257491A JP H0554844 A JPH0554844 A JP H0554844A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- vacuum chamber
- deposition
- electron beam
- metal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000151 deposition Methods 0.000 title claims abstract description 11
- 239000002184 metal Substances 0.000 title claims description 17
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims abstract description 21
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 claims abstract description 10
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims abstract description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 4
- 239000002245 particle Substances 0.000 abstract description 3
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 abstract 4
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 abstract 4
- 238000001883 metal evaporation Methods 0.000 abstract 2
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 abstract 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 13
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】 試料を搭載して電子線光源から放射される電
子線に対して垂直な平面内において互いに直角な方向
（Ｘ方向およびＹ方向）の位置と電子線に対する傾斜角
とを変えることができる試料移動装置と、先端に金属蒸
着源を搭載して加熱するヒーターを有し真空チャンバの
隅部から中央の方に出し入れできる支持棒とを真空チャ
ンバに設ける。 【効果】 観察中に試料に帯電が生じて観察が困難にな
ったとき、試料を真空チャンバ内に保持した状態で試料
の金属蒸着不足の部分に集中的に金属蒸着を行うことが
でき、従って作業時間を短縮して効率的な観察を行うこ
とができる。
子線に対して垂直な平面内において互いに直角な方向
（Ｘ方向およびＹ方向）の位置と電子線に対する傾斜角
とを変えることができる試料移動装置と、先端に金属蒸
着源を搭載して加熱するヒーターを有し真空チャンバの
隅部から中央の方に出し入れできる支持棒とを真空チャ
ンバに設ける。 【効果】 観察中に試料に帯電が生じて観察が困難にな
ったとき、試料を真空チャンバ内に保持した状態で試料
の金属蒸着不足の部分に集中的に金属蒸着を行うことが
でき、従って作業時間を短縮して効率的な観察を行うこ
とができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、帯電防止のために、電
子顕微鏡用の試料の観察面に対して金属膜を蒸着させる
ための電子顕微鏡用の金属膜蒸着装置に関する。
子顕微鏡用の試料の観察面に対して金属膜を蒸着させる
ための電子顕微鏡用の金属膜蒸着装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】帯電防止のために、電子顕微鏡用の試料
の観察面に対して金属膜を蒸着させるための従来の手段
は、観察用の試料を電子顕微鏡に装着する前に、専用の
金属膜蒸着装置によってその試料の観察面全体に対して
金属膜の蒸着を行うという手段を用いている。
の観察面に対して金属膜を蒸着させるための従来の手段
は、観察用の試料を電子顕微鏡に装着する前に、専用の
金属膜蒸着装置によってその試料の観察面全体に対して
金属膜の蒸着を行うという手段を用いている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述したような帯電防
止のための電子顕微鏡用の試料に対する従来の金属膜蒸
着手段は、金属の蒸着膜が試料の観察面の全体に均一に
形成されないと、その試料を電子顕微鏡で観察している
とき、金属膜の蒸着が不充分な箇所に帯電が生じて観察
が困難になることがある。このときは、観察を中断して
試料を電子顕微鏡の真空チャンバ内から取出し、再度金
属膜蒸着装置によってその試料に対して金属膜の蒸着を
行わなければならないため、作業に多くの時間がかか
り、また、再蒸着が不要な箇所にも蒸着を行ってしまう
という欠点を有している。
止のための電子顕微鏡用の試料に対する従来の金属膜蒸
着手段は、金属の蒸着膜が試料の観察面の全体に均一に
形成されないと、その試料を電子顕微鏡で観察している
とき、金属膜の蒸着が不充分な箇所に帯電が生じて観察
が困難になることがある。このときは、観察を中断して
試料を電子顕微鏡の真空チャンバ内から取出し、再度金
属膜蒸着装置によってその試料に対して金属膜の蒸着を
行わなければならないため、作業に多くの時間がかか
り、また、再蒸着が不要な箇所にも蒸着を行ってしまう
という欠点を有している。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明の電子顕微鏡用の
金属膜蒸着装置は、試料を搭載して電子線光源から放射
される電子線に対して垂直な平面内において互いに直角
な方向の位置と前記電子線に対する傾斜角とを変えるこ
とができる試料移動装置と、先端に金属蒸着源を搭載し
て加熱するヒーターを有し真空チャンバの隅部から中央
の方に出し入れできる支持棒とを前記真空チャンバに設
けたものである。
金属膜蒸着装置は、試料を搭載して電子線光源から放射
される電子線に対して垂直な平面内において互いに直角
な方向の位置と前記電子線に対する傾斜角とを変えるこ
とができる試料移動装置と、先端に金属蒸着源を搭載し
て加熱するヒーターを有し真空チャンバの隅部から中央
の方に出し入れできる支持棒とを前記真空チャンバに設
けたものである。
【０００５】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
て説明する。
【０００６】図１は本発明の一実施例を示す断面図、図
２は図１の実施例の試料観察時の状態を示す断面図、図
３は図１のＡ部の拡大断面図である。
２は図１の実施例の試料観察時の状態を示す断面図、図
３は図１のＡ部の拡大断面図である。
【０００７】図１において、電子顕微鏡内に設けてある
真空チャンバ１は、中央上部に電子線光源２が設けてあ
り、ここから電子線４を放射する。電子顕微鏡で観察す
るための試料３は、試料台１３の上に載置されており、
試料台１３は、試料移動装置１２上に設けられており、
試料移動装置１２は、試料台１３を電子線４に対して垂
直な平面内において互いに直角な方向（Ｘ方向およびＹ
方向）の位置と電子線４に対する傾斜角とを変えること
ができる。支持棒８は、先端に金属蒸着源６を搭載して
加熱するヒーター７を有し、真空チャンバ１の右上の隅
から中央の方に出し入れ（矢印Ｂ）できる。
真空チャンバ１は、中央上部に電子線光源２が設けてあ
り、ここから電子線４を放射する。電子顕微鏡で観察す
るための試料３は、試料台１３の上に載置されており、
試料台１３は、試料移動装置１２上に設けられており、
試料移動装置１２は、試料台１３を電子線４に対して垂
直な平面内において互いに直角な方向（Ｘ方向およびＹ
方向）の位置と電子線４に対する傾斜角とを変えること
ができる。支持棒８は、先端に金属蒸着源６を搭載して
加熱するヒーター７を有し、真空チャンバ１の右上の隅
から中央の方に出し入れ（矢印Ｂ）できる。
【０００８】このように構成した電子顕微鏡において、
試料３を観察するときは、図２に示すように、支持棒８
を右上方に引上げて試料台１３から離しておき、試料移
動装置１２を駆動して試料台１３を水平にし、試料３の
観察点５を電子線光源２の直下に位置に移動して電子線
４を照射する。
試料３を観察するときは、図２に示すように、支持棒８
を右上方に引上げて試料台１３から離しておき、試料移
動装置１２を駆動して試料台１３を水平にし、試料３の
観察点５を電子線光源２の直下に位置に移動して電子線
４を照射する。
【０００９】試料３の観察中に帯電が生じて観察が困難
になったときは、図１にに示すように、試料移動装置１
２を駆動して試料台１３を傾斜させ、支持棒８を真空チ
ャンバ１の中央の方に移動させて支持棒８の先端に搭載
している金属蒸着源６を電子線光源２の直下の位置にす
る。このとき、試料３の観察点５が金属蒸着源６に対向
するようにその位置と傾斜角とを調整する。この状態に
おいてヒーター７によって金属蒸着源６を加熱し、同時
に電子線光源２から金属蒸着源６に対して電子線４を照
射する。これにより、図３に示すように、金属蒸着源６
から蒸発した蒸着粒子１０が、試料３の観察点５の帯電
している電子９に、静電力によって吸引されて付着す
る。したがって、試料３の観察点５の金属蒸着不足の部
分に集中的に蒸着を行うことができる。
になったときは、図１にに示すように、試料移動装置１
２を駆動して試料台１３を傾斜させ、支持棒８を真空チ
ャンバ１の中央の方に移動させて支持棒８の先端に搭載
している金属蒸着源６を電子線光源２の直下の位置にす
る。このとき、試料３の観察点５が金属蒸着源６に対向
するようにその位置と傾斜角とを調整する。この状態に
おいてヒーター７によって金属蒸着源６を加熱し、同時
に電子線光源２から金属蒸着源６に対して電子線４を照
射する。これにより、図３に示すように、金属蒸着源６
から蒸発した蒸着粒子１０が、試料３の観察点５の帯電
している電子９に、静電力によって吸引されて付着す
る。したがって、試料３の観察点５の金属蒸着不足の部
分に集中的に蒸着を行うことができる。
【００１０】蒸着が完了すると、再び図２に示した状態
に戻すことにより、容易に試料の観察を再開することが
できる。
に戻すことにより、容易に試料の観察を再開することが
できる。
【００１１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の電子顕微
鏡用の金属膜蒸着装置は、試料を搭載して電子線光源か
ら放射される電子線に対して垂直な平面内において互い
に直角な方向（Ｘ方向およびＹ方向）の位置と電子線に
対する傾斜角とを変えることができる試料移動装置と、
先端に金属蒸着源を搭載して加熱するヒーターを有し真
空チャンバの隅部から中央の方に出し入れできる支持棒
とを真空チャンバに設けることにより、観察中に試料に
帯電が生じて観察が困難になったとき、試料を真空チャ
ンバ内に保持した状態で試料の金属蒸着不足の部分に集
中的に金属蒸着を行うことができるという効果があり、
従って作業時間を短縮して効率的な観察を行うことがで
きるという効果がある。
鏡用の金属膜蒸着装置は、試料を搭載して電子線光源か
ら放射される電子線に対して垂直な平面内において互い
に直角な方向（Ｘ方向およびＹ方向）の位置と電子線に
対する傾斜角とを変えることができる試料移動装置と、
先端に金属蒸着源を搭載して加熱するヒーターを有し真
空チャンバの隅部から中央の方に出し入れできる支持棒
とを真空チャンバに設けることにより、観察中に試料に
帯電が生じて観察が困難になったとき、試料を真空チャ
ンバ内に保持した状態で試料の金属蒸着不足の部分に集
中的に金属蒸着を行うことができるという効果があり、
従って作業時間を短縮して効率的な観察を行うことがで
きるという効果がある。
【図１】本発明の一実施例を示す断面図である。
【図２】図１の実施例の試料観察時の状態を示す断面図
である。
である。
【図３】図１のＡ部の拡大断面図である。
【符号の説明】 １ 真空チャンバ ２ 電子線光源 ３ 試料 ４ 電子線 ５ 観察点 ６ 金属蒸着源 ７ ヒーター ８ 支持棒 ９ 電子 １０ 蒸着粒子 １２ 試料移動装置 １３ 試料台
Claims (1)
- 【請求項１】 試料を搭載して電子線光源から放射され
る電子線に対して垂直な平面内において互いに直角な方
向の位置と前記電子線に対する傾斜角とを変えることが
できる試料移動装置と、先端に金属蒸着源を搭載して加
熱するヒーターを有し真空チャンバの隅部から中央の方
に出し入れできる支持棒とを前記真空チャンバに設けた
ことを特徴とする電子顕微鏡用の金属膜蒸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3212574A JPH0554844A (ja) | 1991-08-26 | 1991-08-26 | 電子顕微鏡用の金属膜蒸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3212574A JPH0554844A (ja) | 1991-08-26 | 1991-08-26 | 電子顕微鏡用の金属膜蒸着装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0554844A true JPH0554844A (ja) | 1993-03-05 |
Family
ID=16624957
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3212574A Pending JPH0554844A (ja) | 1991-08-26 | 1991-08-26 | 電子顕微鏡用の金属膜蒸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0554844A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009216425A (ja) * | 2008-03-07 | 2009-09-24 | Mitsui Chemical Analysis & Consulting Service Inc | 異物分析用試料および異物の分析方法 |
| CN106676480A (zh) * | 2017-03-10 | 2017-05-17 | 南京大学 | 一种蒸发速率可控的电子束蒸发源 |
| US9899186B1 (en) | 2014-01-27 | 2018-02-20 | Mochii, Inc. | Charged-particle beam microscope with an evaporator |
| US9997331B1 (en) * | 2014-01-27 | 2018-06-12 | Mochii, Inc. | Charged-particle beam microscopy |
-
1991
- 1991-08-26 JP JP3212574A patent/JPH0554844A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009216425A (ja) * | 2008-03-07 | 2009-09-24 | Mitsui Chemical Analysis & Consulting Service Inc | 異物分析用試料および異物の分析方法 |
| US9899186B1 (en) | 2014-01-27 | 2018-02-20 | Mochii, Inc. | Charged-particle beam microscope with an evaporator |
| US9997331B1 (en) * | 2014-01-27 | 2018-06-12 | Mochii, Inc. | Charged-particle beam microscopy |
| CN106676480A (zh) * | 2017-03-10 | 2017-05-17 | 南京大学 | 一种蒸发速率可控的电子束蒸发源 |
| CN106676480B (zh) * | 2017-03-10 | 2019-11-08 | 南京大学 | 一种蒸发速率可控的电子束蒸发源 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US9053899B2 (en) | Method for imaging a sample in a charged particle apparatus | |
| US5223109A (en) | Ion beam processing method and apparatus | |
| TW200826167A (en) | Mechanical scanner | |
| KR20010006414A (ko) | 다용도 주사전자현미경으로써 사용되는 전자-빔 마이크로칼럼 | |
| JPH0554844A (ja) | 電子顕微鏡用の金属膜蒸着装置 | |
| EP0257685B1 (en) | Method for altering patterns provided at a surface of a carrier and apparatus for carrying it out | |
| JP3085390B2 (ja) | 荷電ビーム局所処理装置 | |
| JPH01500942A (ja) | イオンビーム装置において入射角を一定にする方法および装置 | |
| US20070018562A1 (en) | Field emitter arrangement and method of cleansing an emitting surface of a field emitter | |
| JPH0817154B2 (ja) | イオンビーム装置 | |
| CN104282517B (zh) | 带电粒子束系统和操作带电粒子束系统的方法 | |
| JPH01211848A (ja) | イオン注入方法およびイオン注入装置 | |
| JP2000100917A (ja) | 静電チャック装置 | |
| US12020893B2 (en) | Ion milling device | |
| JPH079333Y2 (ja) | イオン発生装置 | |
| JPS61124568A (ja) | イオンビ−ムスパツタ装置 | |
| JPS632236Y2 (ja) | ||
| JPH01143124A (ja) | 集束イオンビーム装置 | |
| JPH02168547A (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
| JPH0582695B2 (ja) | ||
| JPS6254076A (ja) | イオンプレ−テイング装置 | |
| JPS6269424A (ja) | 六硼化ランタン熱陰極 | |
| JPS6280264A (ja) | イオンプレ−テイング装置 | |
| JPH04274151A (ja) | カンチレバ−およびその製法 | |
| JPH0236207Y2 (ja) |