JPH0553834U - テーブル案内装置におけるヨーイング防止装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】テーブルに対するケーブルベアによる移動抵抗
によって、テーブルにヨーイングが発生し、テーブルの
位置決め精度や運動精度が悪くなるので、ケーブルベア
による移動抵抗を打ち消す力を与えること。 【構成】テーブル４にケーブルベア６が連結した部分を
テーブル４の移動方向に駆動するアクチュエータ９と、
前記テーブルを駆動するモータ１２と前記アクチュエー
タ９を同期制御する制御装置２２とを設ける。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、ケーブルベアを取り付けたテーブルのヨーイングを防止するテーブ ル案内装置におけるヨーイング防止装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

超精密加工機に用いられるテーブル案内装置は図４に示すように、ベッド１５ に固着された案内台２２の案内面にテーブル１７を移動可能に支持し、テーブル １７をボールねじ１６によって移動させるモータ２１を設け、テーブル１７とベ ッド１５に連結されるとともに、テーブル１７の移動によってＵの字に折れ曲が った場所が変化するケーブルベア１９を備えている。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

ケーブルベア１９は、テーブル１７の移動力によって駆動するので、逆にテー ブル１７には、ケーブルベア１９の移動抵抗が作用する。また、ケーブルベア１ ９の移動中心とテーブル１７の移動中心がオフセットしているため、ケーブルベ ア１９の移動抵抗によってテーブル１７にヨーイングを発生させるモーメントや 移動抵抗が作用する。以上の作用のために、超精密加工機において、テーブルの 位置決め精度や運動精度が悪くなるという問題点があった。

【０００４】

【課題を解決するための手段】

本考案は、上述した問題点を解決するためになされたもので、テーブルにケー ブルベアが連結した部分をテーブルの移動方向に駆動するアクチュエータと、前 記テーブルを駆動するモータと前記アクチュエータを同期制御する制御装置とを 設けたものである。

【０００５】

【作用】

制御装置によって、モータとアクチュエータが同期制御されると、前記モータ によって駆動されるテーブルの動きに同期して、アクチュエータによって前記ケ ーブルベアの移動抵抗を打ち消す力を与えることができる。このことにより、前 記テーブルにヨーイングを発生させるモーメントと移動抵抗が作用しなくなる。

【０００６】

【実施例】

以下本考案の実施例を図面に基づいて説明する。 超精密加工機に用いられる本考案の一実施例であるテーブル案内装置における ヨーイング防止装置を示す。 テーブル案内装置は、ベッド１、案内台２、モータ１２、ボールねじ１３から 構成されている。テーブル４は、ベッド１に固着された案内台２の案内面３に移 動可能に支持されモータ１２によって駆動するボールねじ１３によって移動する 。

【０００７】 また、テーブル４からの配線・配管（図示せず）を固定部（図示せず）に導く ために、テーブル案内装置には、ダクト５、ケーブルベア６、ブラケット１１が 設けてある。 ケーブルベア６は、テーブル４の移動方向に平行に設置され、一端をベッド１ の側面に取り付けられたブラケット１１に固定され、他端は、一端をテーブル４ に固定されるダクト５に連結している。ケーブルベア６の形状は、Ｕの字に折れ 曲がっており、この折れ曲がった場所がテーブル４の移動により変化する。

【０００８】 本考案の一実施例であるヨーイング防止装置は、ベッド１に設置されたアクチ ュエータ９、アクチュエータ９に直結したプーリー１０、ベッド１にブラケット １４を介して設置されたクラウニングローラー８、アクチュエータ９からケーブ ルベア６への力伝達手段であるスチールリボン７で構成されている。 スチールリボン７は、一端をダクト５に取り付けられ、他端をアクチュエータ ９に直結したプーリー１０に巻きつけられている。スチールリボンは途中でクラ ウニングローラ８に掛けられ、中央から両端に向かって曲線的に径が減少する形 状をもつクラウニングローラ８の形状に沿ってスチールリボン７が湾曲する。

【０００９】 モータ１２とアクチュエータ９を同期制御する制御装置２２は、中央処理装置 ２２ａ、同期回路２２ｂ、パルス発生回路２２ｃ、２２ｄ、アンプ２２ｅ、２２ ｆで構成されている。ここで、中央処理装置２２ａは、同期回路２２ｂに接続し 、同期回路２２ｂは、２つのパルス発生回路２２ｃ、２２ｄに夫々接続し、また 、２つのパルス発生回路２２ｃ、２２ｄは、夫々アンプ２２ｅ、２２ｆを介して 夫々モータ１２とアクチュエータ９に接続している。

【００１０】 上記のように構成されたテーブル案内装置におけるヨーイング防止装置の作動 について説明する。 制御装置２２において、中央処理装置２２ａから指令が同期回路２２ｂに出さ れ、同期回路２２ｂに接続された２つのパルス発生回路２２ｃ、２２ｄからパル スが夫々アンプ２２ｅ、２２ｆに送られ、アンプ２２ｅ、２２ｆからパルスに応 じた電流が同時に出力される。アンプ２２ｅからの電流は、テーブル４を駆動す るモータ１２に出力され、アンプ２２ｆからの電流は、ダクト５にケーブルベア ６が連結した部分を駆動するアクチュエータ９に出力される。

【００１１】 制御装置２２からモータ１２とアクチュエータ９に同時に電流が出力されると 、モータ１２によってボールねじ１３が駆動し、それによってテーブル４は、ベ ッド１に固着された案内台２の案内面３に沿って移動し、また、アクチュエータ ９によってテーブル４の動きに対して同方向に同期して、アクチュエータ９に直 結したプーリー１０で、一端をダクト５に取り付けられているスチールリボン７ の巻き取り、送り出しが行われるので、アクチュエータ９がスチールリボン７に よって、テーブル４にケーブルベア６の移動抵抗を打ち消す力を与えることにな る。このことにより、テーブル４にヨーイングを発生させるモーメントが作用し なくなる。

【００１２】 スチールリボン７は、中央から両端に向って曲線的に径が減少する形状を持つ クラウニングローラー８の形状に沿って湾曲しているので、図２に示すようにＸ 軸（−）方向移動時も座屈しない。 なお、ケーブルベアへのアクチュエータからの運動伝達手段は、例えば、ボー ルねじやリニアモータまたはワイヤーで両側から引張る機構でもよい。

【００１３】 また、上記実施例の移動テーブルの運動方向はＸ方向であったがＺ方向でもよ い。

【００１４】

【考案の効果】

以上述べたように本考案は、制御装置によって、モータとアクチュエータが同 期制御されると、前記モータによって駆動されるテーブルの動きに同期して、前 記アクチュエータによって前記テーブルにケーブルベアの移動抵抗を打ち消す力 を与えられ、前記テーブルにヨーイングを発生させるモーメントが作用しなくな り、超精密加工において、テーブルの位置決め精度や運動精度が良くなる効果が 得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例を備えた超精密加工機の正面
図を示す。

【図２】本考案の一実施例を備えた超精密加工機の側面
図を示す。

【図３】本考案の一実施例を備えた超精密加工機の平面
図を示す。

【図４】従来の超精密加工機の平面図を示す。

【符号の説明】

１ ベッド ４ テーブル ５ ダクト ６ ケーブルベア ７ スチールリボン ８ クラウニングローラ ９ アクチュエータ １０ プーリー １２ モータ １３ ボールねじ ２２ 制御装置

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 ベッド上の案内面にテーブルを移動可能
   に支持し、前記テーブルを移動させるモータを設け、前
   記テーブルと前記ベッドに連結されるとともに、テーブ
   ルの移動によってＵの字に折れ曲がった部分が変化する
   ケーブルベアを備えたテーブル案内装置において、前記
   テーブルの前記ケーブルベアが連結した部分を前記テー
   ブルの移動方向に駆動するアクチュエータと、前記モー
   タと前記アクチュエータを同期制御する制御装置とを設
   けたことを特徴とするテーブル案内装置におけるヨーイ
   ング防止装置。