JPH0552899A - 半導体集積回路 - Google Patents

半導体集積回路

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JPH0552899A
JPH0552899A JP3212407A JP21240791A JPH0552899A JP H0552899 A JPH0552899 A JP H0552899A JP 3212407 A JP3212407 A JP 3212407A JP 21240791 A JP21240791 A JP 21240791A JP H0552899 A JPH0552899 A JP H0552899A
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Takashi Aikyo
隆 相京
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Abstract

(57)【要約】 【目的】ゲートアレイ方式の半導体集積回路に関し、テ
スト及び診断回路の提供を目的とする。 【構成】相補型トランジスタを含む論理ゲートから成る
多数の基本セル(2)を備えたゲートアレイ半導体集積
回路のチップ領域(1)を、相互に同じ構成を有し前記
基本セル(2)を少なくとも一つ含む回路ブロック(3
1〜3n)毎に区分し、各回路ブロック(31〜3n)
に対し電源から流入する所定値以上の電流を夫々検出す
る電流検出手段(41〜4n)を前記各回路ブロック
(31〜3n)毎に備えるように構成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は半導体集積回路に関し、
更に詳しくは、CMOS或いはBiーCMOS集積回路
等、相補型トランジスタを備えるゲートアレイ方式の半
導体集積回路(LSI)のテスト及び診断回路に関す
る。
【0002】CMOS−LSIにおいては、基本セルが
相補型トランジスタを含む論理ゲートから構成されるた
め、静的状態では回路電流が流れないことから、消費電
流が極めて少ないという利点を有し、近年益々多用され
ている。
【0003】
【従来の技術】CMOSトランジスタから成る論理ゲー
トLSIでは、前記の如く、静止時には通常電流が流れ
ないが、論理信号が変化するとき並びに回路故障時には
Pチャネル及びNチャネルトランジスタ双方を貫通して
電流が流れる。図7(a)及び(b)は、電源からCM
OS論理回路に流れる貫通電流IDDを縦軸に、時間tを
横軸にとって示したものである。
【0004】図7(a)は、CMOSトランジスタが正
常の場合の電流の時間変化を示しており、図示の如く、
入力信号の変化に従って相補型トランジスタが作動する
と、双方のトランジスタを貫通して貫通電流IDDが流
れ、やがてこの電流は実質的にほぼ0に復帰する。とこ
ろが、同図(b)に示したように、CMOS回路に故障
が生ずると作動時に流れた電流が所定時間経過後におい
ても実質的に0にならず、このため回路の静止状態にお
いても双方のトランジスタを貫通してスタティックな貫
通電流(IDDQ)が流れるようになる。
【0005】CMOSトランジスタの前記性質を利用
し、CMOS−LSIについて、その信号変化に後続す
る静止時に電源ラインから流入する電流IDDQを検出
することにより、その故障の有無を検出することができ
る。この様な故障を検出するために、LSI内に電流セ
ンサを有する電流検出手段を組み込む手法が提案されて
いる。
【0006】図8は、LSI内に電流検出手段を組み込
む場合の前記提案された回路構成を示す概念図である。
同図において、この電流検出手段4は、電源ラインの電
流値を検出する電流センサ8及びその信号を検出して論
理信号として出力するコンパレータ9から構成されてお
り、CMOSモジュール全体の電流値を常時監視し或い
は必要時にチェックするのに利用される。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】前記提案されている電
流検出手段4によると、CMOSモジュール全体の消費
電流を一括して検出することから、LSI全体の故障の
有無を検出することが可能であるが、LSIのチップ領
域上のどの部分において故障が生じているかは検出でき
ない。
【0008】このため、前記提案された故障検出回路
は、その活用に一定の限界があり、特に、マスタースラ
イスが共通に製作され配線パターンによって所定の機能
を短納期で実現させる必要があるゲートアレイ方式のL
SIにおいて、その歩留り率を向上させるために故障箇
所を特定してその後の製品の改良に反映させたいとする
要請に応えることが困難であった。
【0009】本発明は、CMOS−LSI等、相補型ト
ランジスタを含む論理ゲートから成る基本セルを備える
ゲートアレイ方式の半導体集積回路において、上記提案
されている電流センサを有する電流検出手段について改
良し、もって電流検出手段をモジュール全体の故障検出
以外に大いに活用できるゲートアレイ方式の半導体集積
回路を提供することを目的とする。
【0010】
【課題を達成するための手段】図1は本発明の半導体集
積回路の一実施例の回路ブロック図である。同図におい
て、1はチップ領域、2は基本セル、31〜3nは回路
ブロック、41〜4nは電流検出手段である。なお、同
図はセル列が各回路ブロックを構成する例である。
【0011】前記目的を達成するため、本発明の第一発
明の半導体集積回路は、相補型トランジスタを含む論理
ゲートから成る多数の基本セル(2)を備えたゲートア
レイ方式の半導体集積回路において、チップ領域(1)
を、相互に同じ構成を有し前記基本セル(2)を少なく
とも一つ含む回路ブロック(31〜3n)毎に区分し、
前記各回路ブロック(31〜3n)に対し電源から流入
する所定値以上の電流を夫々検出する電流検出手段(4
1〜4n)を前記各回路ブロック(31〜3n)毎に備
えたことを特徴とする。
【0012】図6は本発明の別の実施例の半導体集積回
路の回路図である。同図において、T1、T2は夫々P
チャネル及びNチャネルトランジスタ、4A、4Bは電
流検出手段、a1は信号線である。
【0013】本発明の第二発明の半導体集積回路は、図
6に示したように、相補型トランジスタを含む論理ゲー
トから成る多数の基本セルを備えた半導体ゲートアレイ
方式の集積回路において、一の信号線(a1)の電位を
プルアップ及びプルダウンする一対のPチャネル及びN
チャネルトランジスタ(T1、T2)と、前記Pチャネ
ル及びNチャネルトランジスタ(T1、T2)のいずれか
を経由して電源から流入する所定値以上の電流を検出す
る電流検出手段(4A・4B)とから構成されるテスト
回路を備えたことを特徴とする。
【0014】
【作用】本発明の第一発明の半導体集積回路では、相互
に同じ構成を有し基本セルを少なくとも一つ含む各回路
ブロック毎に所定値以上の電流を検出する電流検出手段
を設けることにより、電流測定を介してチップ領域上の
どの回路ブロックにおいて故障が生じているかが特定で
き、故障箇所の検出が容易であると共に、この電流検出
手段を介して回路ブロックの信号線の論理レベルを検出
するテスト回路の一部として利用することもできる。
【0015】また、本発明の第二発明の半導体集積回路
では、モニタしたい信号線を相補型トランジスタを構成
するプルアップ又はプルダウントランジスタを介して電
源に導通させ、このときに電源から流入する電流を電流
検出手段を介して検出し、プルアップのときに電流が流
れる場合には当該信号線の論理レベルが”0”、プルダ
ウンのときに電流が流れる場合には当該信号線の論理レ
ベルが”1”と判定でき、当該信号線の論理をこの相補
型トランジスタ及び電流検出回路によって調べることが
できる。
【0016】
【実施例】図面を参照して本発明を更に詳しく説明す
る。図1において、このゲートアレイCMOS−LSI
では、基本セル2がチップ領域1内においてセル列を成
して配列されており、各セル列が回路ブロック31〜3
nを構成し、この各セル列31〜3n毎に電流検出手段
41〜4nが配設されている。
【0017】各電流検出手段41〜4nは、夫々図8に
示した如き電流センサ8及びコンパレータ9を備え、例
えば、故障電流がコレクタ電流として流れる電流センサ
8における電位降下を、ECL回路を成すコンパレータ
9に入力されているレファレンス電圧VRと比較し、こ
れによって所定値以上の静止時貫通電流IDDQを検出
する。
【0018】上記第一の実施例のゲートアレイCMOS
−LSIでは、各セル列31〜3nにおいて所定値以上
の電流が検出された場合には、電流検出手段41〜4n
の信号が夫々論理信号としてI/OパッドPAD3 から取
り出される構成である。この実施例は、比較的小規模の
半導体集積回路に適用される。
【0019】図2は本発明の第二の実施例のゲートアレ
イCMOS−LSIのブロック図である。図2のLSI
では、各回路ブロック31〜3n毎に配された電流検出
手段41〜4nの出力が、夫々フリップフロップ51〜
5nに入力されており、更に、これら各フリップフロッ
プ51〜5nがシフトレジスタ5として構成されている
点において、図1の実施例のLSIと異なる。
【0020】シフトレジスタ5は、各フリップフロップ
51〜5nと、フリップフロップ51〜5n−1の正相
出力Qと次段の電流検出手段42〜4nからの入力とを
切り換えて次段のフリップフロップ52〜5nに入力す
る切換スイッチS1〜Sn−1とで構成されている。
【0021】各切換スイッチS1〜Sn−1は、例えば
マルチプレクサ或いは制御入力を一方の入力とする二つ
のANDゲートの組合せ回路等によって構成され、電流
検出手段41〜4nの出力を一斉にフリップフロップ5
1〜5nに取込む最初の時点で電流検出手段42〜4n
の出力側に切り換えられ、その後シフトレジスタとして
動作するときには各フリップフロップ51〜5n−1の
正相出力Q側に切り換えられる。
【0022】上記構成により、図2の実施例のLSIで
は、各電流検出手段41〜4nの出力は最初のクロック
パルスCLKを介して一斉に対応するフリップフロップ5
1〜5nに入力され、その後各フリップフロップ51〜
5nに取り込まれた信号が、連続する各クロックパルス
CLKを介して順次にデータ出力パッドPad3 を介して外部
に取り出される。
【0023】大規模ゲートアレイLSIでは、そのセル
列は極めて数が多く、従って各セル列毎に電流検出手段
41〜4nからの出力を取り出すとI/O端子が膨大な
数になるため、このようにシフトレジスタ5を介して取
り出すことでI/O端子の数を小さく抑えることしてい
る。
【0024】図3は、本発明の第三の実施例のCMOS
−LSIにおけるシフトレジスタ5Aの構成を示す回路
ブロック図で、図2のシフトレジスタ5に代えて採用さ
れる回路である。同図のシフトレジスタ5Aは、制御入
力B1=B2=1のときリニアフィードバックレジスタ
(LFBR)から成る符号圧縮回路を構成している。
【0025】図3において、各フリップフロップ51〜
5nと、これに後続するフリップフロップ52〜5n+
1との相互間には、夫々ExORゲートEOR1〜EORnが配
されており、各ExORゲートEOR1〜EORnは、その一方
の入力が電流検出手段41〜4nを一方の入力とするA
NDゲートAND1−ANDnの出力に、他方の入力が前
段のフリップフロップ51〜5nの出力バーQを一方の
入力とするNANDゲートNAND1〜NANDnの出力
に、またその出力が後続するフリップフロップ52〜5
n1の入力に接続されている。
【0026】各ANDゲートAND1〜ANDnの他方の
入力には制御信号B1が、また各NANDゲートNAN
1〜NANDnの他方の入力には制御信号B2が、夫々
入力されており、制御信号B1=B2=1のときにはこの
シフトレジスタ回路5Aは前記の如くLFBR回路を構
成し、B1=B2=0のときには普通のシフトレジスタと
して働く。
【0027】最前段のフリップフロップ51の前段には
ExORゲートEOR0が配され、このExORゲートEOR0
の各入力は夫々、第二段目以降のNANDゲートNAN
2〜NANDnの出力に接続されている。最後段のフリ
ップフロップ5n+1の出力がこのシフトレジスタ5A
全体の出力を成す。
【0028】上記シフトレジスタ5Aは、通常の製品試
験のように良否判定のみでよいときにはB1=B2=1と
して各電流センサの出力が符号圧縮されて出力パッドPa
d3から取り出され、また、各電流検出手段41〜4n毎
の出力が必要なときには各制御入力をB1=B2=0とし
てシフトレジスタ出力が得られる。
【0029】図4は、本発明の第四の実施例のCMOS
−LSIの構成を示す回路ブロック図である。このLS
Iでは、全体としてn個の各セル列が段方向にm個に分
割されることでチップ領域全体が、相互に同じ構成を有
するn×mの回路ブロック311〜3n1、・・・、31m
3nmとして構成されている。
【0030】各回路ブロック311〜3n1、・・、31m
〜3nmには、夫々電流検出手段41 1〜4n1、・・・、4
m〜4nm及びこれと組合されてスイッチング手段Q1
1〜Qn1、・・・、Q1m〜Qnmが付属しており、この旨
は、図4の円内の部分詳細図として例示した図5に示さ
れている。
【0031】スイッチング手段を成す各トランジスタQ
1〜Qn1、・・、Q1m〜Qnmは、夫々行方向に延びる
プローブライン61〜6mから制御信号を入力されてお
り、行方向に並ぶ各スイッチング手段Q11〜Qn1、・・
・、Q1m〜Qnmが行プローブラインからの制御信号を
介して一斉に導通する。
【0032】また、各列方向に並ぶスイッチング手段は
夫々、その導通時において列方向に延びる列センスライ
ン71〜7nを介し対応する電流検出手段411〜4
m、・・・、4n1〜4nmの出力を列センスラインに対応
して配されるフリップフロップ51、・・・、5nに伝達
する。
【0033】行プローブライン61〜6mは、行選択信
号を介して作動する図示しない行選択リングカウンタに
よってその一つが選択され、列センスライン71〜7n
は、列選択信号を介して作動する図示しない列選択リン
グカウンタによってその一つが選択されることでその出
力が外部に取り出される。この行プローブライン及び列
センスラインの選択に関する構成は、特開昭61-42934号
公報に開示されている。
【0034】上記構成により、第四の実施例のLSIで
は比較的小さな各回路ブロック31 1〜n1、・・・、31m
〜3nm毎の静止時貫通電流IDDQを検出でき、故障
箇所の特定が容易にできる。また、この回路ブロック
は、最小単位として一つの基本セルを含む回路ブロック
とすることができ、この場合、故障箇所は各セル迄特定
できる。
【0035】図6は、本発明の第五の実施例のCMOS
−LSIにおけるテスト回路の要部回路図である。本実
施例では、出力をモニタしたい基本セルとして例示した
インバータINVの出力信号ラインa1に対して、一対のP
MOS及びNMOSトランジスタT1、T2からなるモ
ニタセルM1が設けられ、このモニタセルM1の出力ラ
インbがモニタしたい信号ラインa1に接続されてい
る。
【0036】インバータINVを含む回路ブロックには、
夫々電流検出手段4A、4Bが電源ラインVDD及びGN
Dとの間に設けられている。インバータを含むこの回路
ブロックにはかかる信号線a1及びモニタセルM1の組
が任意の数だけ、好適には各セル毎に設けられる。
【0037】上記モニタセルM1及び電流検出手段4
A、4Bは、信号ラインa1の出力の論理レベルをモニ
タするテスト回路を成しており、例えば図1又は図2の
実施例の回路を有するゲートアレイ方式のCMOS−L
SIに対してモニタセルが付加された構成である。
【0038】モニタしたい信号線a1に対応するモニタ
セルM1の制御入力TINに論理レベル”1”の信号を入
力すると、当該モニタセルM1のプルダウントランジス
タを構成するNチャネルトランジスタT2が導通し、信
号線a1の論理レベルが”1”のときにはこのNチャネ
ルトランジスタT2を経由してIDDQが流れ、このI
DDQが電流検出手段4Aにより検出される。
【0039】また、モニタセルM1の制御入力TINに論
理レベル”0”の信号を入力すると、プルアップトラン
ジスタを成すPチャネルトランジスタT1が導通し、信
号線a1の論理レベルが”0”のときには、このPチャ
ネルトランジスタT1を経由してIDDQが流れ、同様
に電流検出手段4Bよって検出される。
【0040】上記において、モニタセルM1の制御入力
INに論理”1”を入力すると当該信号線a1を出力側
に有する基本セルが属する回路ブロックにIDDQが流
れるならば、モニタされた信号線a1の論理は”1”で
あると判定でき、また、制御入力TINに論理”0”を入
力して回路ブロックにIDDQが流れるならば逆に、モ
ニタされた信号線a1の論理が”0”であると判定でき
る。
【0041】この様に、図1又は図2に示した各回路ブ
ロック毎の電流検出手段を双方の電源ラインとの間に設
け、且つ図6のモニタセルと組合せると、前記の如くC
MOSトランジスタの故障検出に利用することに加え
て、信号線の論理をモニタするテスト回路として構成す
ることができる。
【0042】本発明における電流検出手段或いはモニタ
セルは、ゲートアレイLSIに適用したことにより、回
路ブロックの分割をその周期的構造に合わせて行うこと
ができる。なお、回路ブロックは、その最小単位が論理
ゲートを構成する基本セルを一つ含むものとする。
【0043】また、本発明の実施例としてはCMOS集
積回路を例として掲げたが、相補型トランジスタを有す
る集積回路一般に適用でき、BiーCMOS、MIS集
積回路等に適用可能である。
【0044】
【発明の効果】以上説明したように本発明の第一発明の
半導体集積回路によると、半導体集積回路の領域の故障
箇所の特定を容易にし、その診断及びその結果に基づく
回路修正が容易になったことからゲートアレイ方式の半
導体集積回路の信頼性及び歩留率の向上が可能になった
という顕著な効果を奏する。
【0045】また本発明の第二発明の半導体集積回路に
よると、CMOS回路等の静止時貫通電流の測定を半導
体集積回路の論理信号検出に応用する新規なテスト回路
を提供できたという顕著な効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第一の実施例の回路図である。
【図2】本発明の第二の実施例の回路図である。
【図3】本発明の第三の実施例におけるシフトレジスタ
の回路図である。
【図4】本発明の第四の実施例の回路図である。
【図5】図4の実施例における部分詳細図である。
【図6】本発明の第五の実施例の回路図である。
【図7】CMOSトランジスタの貫通電流の波形図で、
(a)は正常回路の場合、(b)は故障回路の場合を夫
々示す。
【図8】従来の集積回路における電流検出の例を示す回
路図である。
【符号の説明】
1:チップ領域 2:基本セル 31〜3n 311〜3n1、・・・、31m〜3nm:回路
ブロック 4、41〜4n:電流検出手段 5:シフトレジスタ 51〜5n:フリップフロップ 8:電流センサ 9:コンパレータ

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】相補型トランジスタを含む論理ゲートから
    成る多数の基本セル(2)を備えたゲートアレイ方式の
    半導体集積回路において、 チップ領域(1)を、相互に同じ構成を有し前記基本セ
    ル(2)を少なくとも一つ含む回路ブロック(31〜3
    n)毎に区分し、 前記各回路ブロック(31〜3n)に対し電源から流入
    する所定値以上の電流を夫々検出する電流検出手段(4
    1〜4n)を前記各回路ブロック(31〜3n)毎に備
    えたことを特徴とする半導体集積回路。
  2. 【請求項2】前記電流検出手段(41〜4n)の出力を
    夫々受けると共に全体としてシフトレジスタ(5)を構
    成するフリップフロップ(51〜5n)を更に備えるこ
    とを特徴とする請求項1記載の半導体集積回路。
  3. 【請求項3】前記シフトレジスタ(5)が、前記各電流
    検出手段(41〜4n)からの信号を順次に出力する順
    次モードと、前記各電流検出手段(41〜4n)からの
    信号を圧縮して出力する符号圧縮モードとにより作動す
    ることを特徴とする請求項2記載の半導体集積回路。
  4. 【請求項4】前記回路ブロック(311〜3n1、・・・、
    31m〜3nm)が前記チップ領域(1)上に列方向及び
    行方向に配列されており、 前記各電流検出手段(411〜4n1、・・・、41m〜4n
    m)の出力に夫々一端が接続されたスイッチング手段
    (Q11〜Qn1、・・・、Q1m〜Qnm)と、 前記行方向に並ぶ前記各スイッチング手段に制御信号を
    夫々伝達する行プローブライン(61〜6n)と、 前記列方向に並ぶ前記各スイッチング手段の他端に夫々
    接続されると共に、前記各フリップフロップ(51〜5
    n)の入力に夫々接続されて前記各電流検出手段からの
    信号を前記フリップフロップ(51〜5n)に伝達可能
    な列センスライン(71〜7m)とを更に備えることを
    特徴とする請求項2記載の半導体集積回路。
  5. 【請求項5】前記各回路ブロック(31〜3n)内の一
    の信号線(a1)の電位を夫々プルアップ及びプルダウ
    ンする一対のPチャネル及びNチャネルトランジスタ
    (T1、T2)を更に備え、該Pチャネル及びNチャネ
    ルトランジスタ(T1、T2)と前記電流検出手段(4
    A、4B)とから構成されるテスト回路により前記一の
    信号線(n1)の信号を検出することを特徴とする請求
    項1又は2記載の半導体集積回路。
  6. 【請求項6】相補型トランジスタを含む論理ゲートから
    成る多数の基本セルを備えたゲートアレイ方式の半導体
    集積回路において、 一の信号線(a1)の電位をプルアップ及びプルダウン
    する一対のPチャネル及びNチャネルトランジスタ(T
    1、T2)と、 前記Pチャネル及びNチャネルトランジスタ(T1
    2)のいずれかを経由して電源から流入する所定値以
    上の電流を検出する電流検出手段(4A・4B)とから
    構成されるテスト回路を備えたことを特徴とする半導体
    集積回路。
JP3212407A 1991-08-23 1991-08-23 半導体集積回路 Withdrawn JPH0552899A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005140759A (ja) * 2003-11-10 2005-06-02 Matsushita Electric Ind Co Ltd 半導体集積回路及び半導体集積回路の故障検出方法

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JP2005140759A (ja) * 2003-11-10 2005-06-02 Matsushita Electric Ind Co Ltd 半導体集積回路及び半導体集積回路の故障検出方法

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