JPH0551947A - 建設機械のアクチユエータ制御装置 - Google Patents

建設機械のアクチユエータ制御装置

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JPH0551947A
JPH0551947A JP3236900A JP23690091A JPH0551947A JP H0551947 A JPH0551947 A JP H0551947A JP 3236900 A JP3236900 A JP 3236900A JP 23690091 A JP23690091 A JP 23690091A JP H0551947 A JPH0551947 A JP H0551947A
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pilot
pressure
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throttle
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Masaki Egashira
雅樹 江頭
Yoshio Kunitoki
芳夫 国時
Toichi Hirata
東一 平田
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Hitachi Construction Machinery Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 アクチュエータ起動時あるいは停止時のショ
ックを軽減できるとともに、優れた応答性が得られる建
設機械のアクチュエータ制御装置の提供。 【構成】 主油圧源5と、この主油圧源5から供給され
る圧油によって駆動するアクチュエータ3と、主油圧源
5からアクチュエータ3に供給される圧油の流れを制御
する方向制御弁2と、この方向制御弁2の駆動を制御す
るパイロット弁1と、このパイロット弁1にパイロット
圧を供給するパイロット油圧源4とを備えた建設機械の
アクチュエータ制御装置において、パイロット弁1と方
向制御弁2の駆動部とを連絡する通路6に絞り弁8a、
9aを設けるとともに、これらの絞り弁8a、9aそれ
ぞれの上流側と下流側を連絡するバイパス通路8b、9
bを設け、これらのバイパス通路8b、9bに絞り弁8
a、9aの下流圧に応じてバイパス通路8b、9bを開
閉する開閉弁8d、9dを設けた。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、油圧ショベル等の建設
機械に備えられ、パイロット弁の操作により方向制御弁
の駆動を制御してアクチュエータを作動させる建設機械
のアクチュエータ制御装置に関する。
【0002】
【従来の技術】図9は、この種の従来の建設機械のアク
チュエータ制御装置の基本構成を示す回路図である。
【0003】この図9に示す従来技術にあっては、主油
圧源5と、この主油圧源5から供給される圧油によって
駆動するアクチュエータ3と、主油圧源5からアクチュ
エータ3に供給される圧油の流れを制御する方向制御弁
2と、この方向制御弁2の駆動を制御するパイロット弁
1と、このパイロット弁1にパイロット圧を供給するパ
イロット油圧源4とを備えるとともに、パイロット弁1
と方向制御弁2の駆動部とを連絡する通路に、パイロッ
ト弁1から方向制御弁2の駆動部に伝えられるパイロッ
ト圧の伝達速度を規制する規制手段7を設けてある。こ
の規制手段7はパイロット弁1と方向制御弁2の駆動部
とを連絡する通路中に設けた絞り弁7a、7bと、これ
らの絞り弁7a、7bのそれぞれの上流側と下流側を連
絡するバイパス通路に設けられ、方向制御弁2の駆動部
からパイロット弁1方向へのパイロット圧の逆流を防止
する逆止弁7c、パイロット弁1から方向制御弁2の駆
動部方向へのパイロット圧の逆流を防止する逆止弁7d
とを備えている。
【0004】一般に、この種の建設機械ではパイロット
弁1の操作量、すなわちレバーストロークに対するアク
チュエータ3の速度、すなわちアクチュエータスピード
は、直線的には変化せず、図10に示すように何らかの
特性を持たせるようにあらかじめ設定することが多い。
このような特性は、アクチュエータの種類によって適宜
最適なものが設定される。
【0005】ところで、このような特性を持つものにお
いては、何らの手段も設けない場合には、例えばアクチ
ュエータ3の起動時、パイロット弁1が急操作されたと
き図10の領域Aで示すように必然的にアクチュエータ
スピードが大きくなり、これに伴ってショックを生じ、
オペレータに与える操作感触が劣化する。
【0006】図9に示す従来技術にあってはこのような
観点から、上記した規制手段7を設けてあり、アクチュ
エータ3の起動時のパイロット弁1の急操作に際して、
パイロット弁1から方向制御弁2の駆動部に与えられる
パイロット圧を絞り弁7bで絞り、この起動時のパイロ
ツト圧の伝達速度を遅くし、アクチュエータ3の立上り
速度を遅くし、上記した起動時のショックを緩和するよ
うにしてあり、また、アクチュエータ3の停止時のパイ
ロット弁1の急操作に際して、減少するパイロット圧の
減少速度を絞り弁7aで規制し、この停止時のショック
を緩和するようにしてある。このときの時間tに対す
る、方向制御弁2の駆動部に与えられるパイロット圧P
2の関係は、図3の破線部分で示されるように緩やかに
増加する関係となる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】上記した図9に示す従
来技術にあっては、規制手段7の絞り弁7a、7bによ
ってアクチュエータ3の起動時あるいは停止時のショッ
クを緩和できるものの、絞り弁7a、7bの絞り作用の
ために図3のT1、T2で示すように、パイロット弁1の
操作を開始してからアクチュエータ3が駆動を開始、あ
るいは停止動作を開始する時点Bまでの時間がかかり、
この観点から応答性が劣化する問題がある。
【0008】本発明は、上記した従来技術における実情
に鑑みてなされたもので、その目的は、アクチュエータ
起動操作や停止操作に伴うショックを軽減できるととも
に、優れた応答性が得られる建設機械のアクチュエータ
制御装置を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明は、主油圧源と、この主油圧源から供給され
る圧油によって駆動するアクチュエータと、主油圧源か
らアクチュエータに供給される圧油の流れを制御する方
向制御弁と、この方向制御弁の駆動を制御するパイロッ
ト弁と、このパイロット弁にパイロット圧を供給するパ
イロット油圧源とを備えた建設機械のアクチュエータ制
御装置において、上記方向制御弁の駆動部と上記パイロ
ット弁とを連絡する通路に絞り手段を設けるとともに、
この絞り手段の上流側と下流側を連絡するバイパス通路
を設け、このバイパス通路に上記絞り手段の下流圧に応
じてバイパス通路を開閉する開閉手段を設けた構成にし
てある。
【0010】
【作用】本発明は、上記の構成にしてあることから、開
閉手段のセット圧を適宜設定することにより、たとえば
図10の領域Aで例示するようなショックの緩和が必要
な領域では、開閉手段が閉じて絞り手段により方向制御
弁の駆動部に与えられるパイロット圧を緩やかに増加あ
るいは減少させることができ、ショックの緩和が必要で
ない領域以外では、絞り弁の影響を受けることなく方向
制御弁の駆動部に与えられるパイロット圧を急激に増加
あるいは減少させることができ、これによりパイロット
弁の操作に対する優れたアクチュエータの作動の応答性
が得られる。
【0011】
【実施例】以下、本発明の建設機械のアクチュエータ制
御装置の実施例を図に基づいて説明する。
【0012】図1は本発明の一実施例を示す回路図であ
る。この図1において、前述した図9に示す従来技術と
同等のものは同一符号で示してある。すなわち、この図
1においても、主油圧源5と、この主油圧源5から供給
される圧油によって駆動するアクチュエータ3と、主油
圧源5からアクチュエータ3に供給される圧油の流れを
制御する方向制御弁2と、この方向制御弁2の駆動を制
御するパイロット弁1と、このパイロット弁1にパイロ
ット圧を供給するパイロット油圧源4とを備えている。
【0013】そして、この実施例では、方向制御弁2の
駆動部とパイロット弁1との間に、方向制御弁2の駆動
部に与えられるパイロット圧の大きさを制御するパイロ
ット圧制御手段8、9を設けてある。このうち、パイロ
ット圧制御手段8は、パイロット弁1と方向制御弁2の
駆動部とを連絡する通路6に設けられる絞り手段、すな
わち絞り弁8aと、この絞り弁8aの上流側と下流側を
連絡するバイパス通路8b、8cと、バイパス通路8b
に設けられ、上記絞り弁8aの下流圧に応じてバイパス
通路8bを開閉する開閉手段、すなわち開閉弁8dと、
バイパス通路8cに設けられ、方向制御弁2の駆動部か
らパイロット弁1方向への圧油の逆流を防止する逆止弁
8eとを備えている。また、パイロット圧制御手段9
は、パイロット弁1と方向制御弁2の駆動部とを連絡す
る通路6に設けられる絞り手段、すなわち絞り弁9a
と、この絞り弁9aの上流側と下流側を連絡するバイパ
ス通路9b、9cと、バイパス通路9bに設けられ、上
記絞り弁9aの下流圧に応じてバイパス通路9bを開閉
する開閉手段、すなわち開閉弁9dと、バイパス通路9
cに設けられ、パイロット弁1から方向制御弁2の駆動
部方向への圧油の逆流を防止する逆止弁9eとを備えて
いる。
【0014】このように構成した実施例における動作は
以下のとおりである。すなわち、パイロット弁1のレバ
ーが操作される前は、パイロット圧、つまり絞り弁8a
の下流圧が開閉弁8dのばねのセット圧よりも小さく、
開閉弁8dは図1の下段位置に切り換えられ、閉位置に
保たれており、また、絞り弁9aの下流圧が開閉弁9d
のばねのセット圧よりも小さく、開閉弁9dは図1の下
段位置に切り換えられ、開位置に保たれる。
【0015】この状態からアクチュエータ3の起動を意
図してパイロット弁1のレバーを操作すると、図2の特
性線20に示すようにレバーストロークSの増加に伴っ
て、特性線21に示すようにパイロット弁1から出力さ
れるパイロット圧P1が上昇する。このとき、パイロッ
ト圧油はパイロット制御手段8のバイパス通路8c、逆
止弁8eを介して通路6を流れ、さらに、パイロット制
御手段9の開閉弁9dを介して、方向制御弁2の駆動部
に図2の特性線22に示すようにパイロット圧P2とし
て瞬時に与えられる。その後、パイロット圧P2が開閉
弁9d、8dのばねのセット圧よりも大きくなると、開
閉弁9d、8dは図2の上段位置に切り換えられ、バイ
パス通路9bはしゃ断され、バイパス通路8bは連通す
る。したがって、パイロット制御手段8を通過したパイ
ロット圧油は、絞り弁9aを介して方向制御弁2の駆動
部に与えられ、そのパイロット圧P2の増加の速度が絞
り弁9aで絞られることにより、緩やかになるように制
御される。パイロット弁1のレバーがフルストロークま
で操作されると、方向制御弁2の駆動部に与えられるパ
イロット圧P2も一定となり、図1に示すアクチュエー
タ3は一定の速度で駆動される。
【0016】このようにアクチュエータ3を駆動してい
る状態から、アクチュエータ3の停止を意図して、図2
の特性線20に示すようにパイロット弁1を戻すと、特
性線21に示すようにパイロット弁1から出力されるパ
イロット圧P1が減少する。このとき、パイロット圧P2
が開閉弁8d、9dのばねのセット圧より大きい間は、
通路6の圧油は逆止弁9e、パイロット制御手段8の開
閉弁8dを介して速い速度でタンクに戻され、そのパイ
ロット圧の減少速度は図2の特性線に示すように大き
い。パイロット圧P2が開閉弁8d、9dのばねのセッ
ト圧より小さくなると、開閉弁8d、9dはそれぞれ下
段位置に復帰し、バイパス通路8bはしゃ断され、バイ
パス通路9Bは連通する。したがって、通路6のパイロ
ット圧油は絞り弁8aを介してタンクに戻され、パイロ
ット圧P2の減少の速度が絞り弁8aで絞られることに
より、緩やかになるように制御される。
【0017】図3は図2に示した特性線20と特性線2
2とを対比させたもので、この図3中、Bは図1に示す
アクチュエータ3の駆動開始時点、及び停止動作開始時
点を示している。この図3の特性線22で示すように、
本実施例にあっては、アクチュエータ3の駆動開始時の
パイロツト弁1のレバーの操作開始直後のパイロット圧
2の増加、及びアクチュエータ3の駆動停止時のパイ
ロツト弁1のレバーの操作開始直後のパイロット圧P2
の減少は急激であり、アクチュエータ3の駆動時のパイ
ロツト弁1のレバーの操作開始時点からアクチュエータ
3の駆動開始時点Bまでの時間t1、及びアクチュエー
タ3の停止時のパイロツト弁1のレバーの操作開始時点
からアクチュエータ3の停止動作開始時点Bまでの時間
2を十分に短くすることができる。なお、この図3に
おいて、特性線22部分に破線で示した特性線は、前述
したように図9に示す従来技術における特性線であり、
パイロツト弁1のレバーの操作開始時点から絞り弁の影
響をうけるためにパイロット圧の増加及び減少の程度は
緩やかであり、これに伴ってアクチュエータ3の駆動時
のパイロツト弁1のレバーの操作開始時点から、アクチ
ュエータ3の駆動開始時点までの時間T1が本実施例の
時間t1に比べて長くなっており、また、アクチュエー
タ3の停止時のパイロツト弁1のレバーの操作開始時点
から、アクチュエータ3の停止動作開始時点までの時間
2が本実施例の時間t2に比べて長くなっている。本実
施例では、パイロット弁1のレバーの操作開始時点から
時間t1後にはアクチュエータ3を駆動させることがで
き、また、時間t2後にはアクチュエータ3を停止動作
をおこなわせることができるとともに、絞り弁9a、8
aによる絞り作用により方向制御弁2の駆動部に与えら
れるパイロット圧を緩やかに増加させ、あるいは緩やか
に減少させ、これによりショックを緩和させることがで
きる。
【0018】このように、本実施例にあっては、アクチ
ュエータ3の駆動あるいは停止動作のためのパイロット
弁1の操作開始後、比較的短時間でアクチュエータ3を
駆動あるいは停止させることができ、優れた応答性が得
られるとともに、パイロット弁1の急操作に伴うアクチ
ュエータ起動時あるいは停止時に生じるショックを緩和
することができる。
【0019】図4は本発明の別の実施例を示す回路図で
ある。
【0020】この図4に示す実施例では、パイロット弁
1と方向制御弁2の駆動部とを連絡する通路6に設けら
れるパイロット圧制御手段10が、通路6に設けた絞り
弁10aと、この絞り弁10aの上流側と下流側を連絡
するバイパス通路10bと、このバイパス通路10bに
設けられ、絞り弁10aの下流圧に応じてバイパス通路
10bを開閉する開閉弁10cとを含む構成にしてあ
る。
【0021】このように構成した実施例では、アクチュ
エータ3の起動に際して、パイロット弁1が操作された
とき、絞り弁10aの下流圧が開閉弁10cのばねのセ
ット圧よりも小さい間は、開閉弁10cは同図4の下段
位置すなわち開位置に保たれ、方向制御弁2の駆動部に
与えられるパイロット圧P2の増加速度が速く、アクチ
ュエータ3を起動させるまでの時間が上記図1に示す実
施例と同様に短く、優れた応答性が得られ、絞り弁10
aの下流圧が開閉弁10cのばねのセット圧よりも大き
くなったとき、開閉弁10cは同図4の上段位置すなわ
ち閉位置に切り換えられ、したがって、絞り弁10aを
介してパイロット圧油が方向制御弁2の駆動部に供給さ
れ、この絞り弁10aの絞り作用によりパイロット圧P
2の増加速度が緩やかになるように制御され、ショツク
を緩和することができる。
【0022】また、アクチュエータ3の停止動作時に
は、パイロット弁1の操作に際し、絞り弁10aの下流
圧が開閉弁10cのばねのセット圧よりも大きい間は、
開閉弁10cは同図4の上段位置すなわち閉位置に保た
れ、絞り弁10aを介してパイロット圧油がタンクに戻
され、この絞り弁10aの絞り作用によりパイロット圧
2の減少速度が緩やかになるように制御され、ショッ
クを緩和することができ、絞り弁10aの下流圧が開閉
弁10cのばねのセット圧より小さくなると、開閉弁1
0cが同図4の下段位置すなわち開位置に切り換えら
れ、通路6のパイロット圧油が瞬時にタンクに戻され、
方向制御弁2は速やかに中立に復帰する。このように構
成した実施例にあっても、上記図1に示す実施例と同様
に、アクチュエータ3の駆動に際してのショックの緩和
と優れた応答性を得ることができる。
【0023】図5〜図8は、それぞれパイロット弁1と
方向制御弁2の駆動部とを連絡する通路6に設けられる
パイロット制御手段の別の例を示す図である。
【0024】図5に示すパイロット制御手段11は、通
路6に設けた絞り弁11aと、この絞り弁11aの上流
側と下流側を連絡するバイパス通路11bと、このバイ
パス通路11bに設けた開閉弁11cとを含む構成にし
てあり、開閉弁11cは、絞り弁11aの下流圧がばね
のセット圧よりも小さいときに閉位置に保たれ、下流圧
がばねのセット圧よりも大きいときに開位置に切換えら
れるようになっている。このパイロット制御手段11
は、特に、パイロット弁1のストロークが小さい領域で
生じ得るショックの緩和に有効であり、絞り弁11aの
下流圧が、ばねのセット圧よりも大きくなると方向制御
弁2の駆動部に速やかにパイロット圧を供給し、あるい
は通路6内のパイロット圧油をタンクに速やかに戻し、
優れた応答性が得られるようになっている。。
【0025】図6に示すパイロット制御手段9は、前述
した図1に示したものである。図1に示す回路におい
て、このパイロット制御手段9のみを設ける構成とする
こともできる。このように構成したものは、特に、アク
チュエータ3の駆動時のショックのみが懸念される場合
に有効であり、駆動時には絞り弁9aの下流圧が開閉弁
9dのばねのセット圧よりも小さい間はバイパス通路9
bを介して方向制御弁2の駆動部にパイロット圧を供給
して速やかにアクチュエータ3の駆動を開始させ、これ
により優れた応答性を確保し、絞り弁9aの下流圧が開
閉弁9dのばねのセット圧よりも大きくなったときに
は、開閉弁9dが切り換えられてバイパス通路9bがし
ゃ断され、絞り弁9aの絞り作用によりショックを緩和
するようになっている。また、アクチュエータ3の停止
動作時には、逆止弁9eを介してパイロット圧油が瞬時
にタンクに戻され、方向制御弁2は速やかに中立に復帰
するようになっている。
【0026】図7に示すパイロット制御手段9は、図6
に示す逆止弁9eの代わりに、方向制御弁2の駆動部か
らパイロット弁1方向への逆流を防止する逆止弁9fを
設けた構成にしてある。図1に示す回路において、この
図7に示すパイロット制御手段9のみを設ける構成とす
ることもできる。このように構成したものは、特に、ア
クチュエータ3の停止時のショックのみが懸念される場
合に有効であり、アクチュエータ3の駆動時には、逆止
弁9fを介してパイロット圧油が瞬時に方向制御弁2の
駆動部に供給され、直ちにアクチュエータ3を駆動する
ことができる。図8に示すパイロット制御手段12は、
通路6に設けた絞り弁12aと、この通路6の上流側と
下流側とを連絡するバイパス通路12b、12c、12
dと、バイパス通路12bに設けられ、絞り弁12aの
下流圧がばねのセット圧よりも大きくなると閉位置に切
り換えられる開閉弁12fと、バイパス通路12cに設
けられ、ばねのセット圧が前述の絞り弁12fのばねの
セット圧よりも大きく設定され、絞り弁12aの下流圧
がそのばねのセット圧よりも大きくなると開位置に切り
換えられる開閉弁12eと、バイパス通路12dに設け
られ、パイロット弁1から方向制御弁2の駆動部方向の
逆流を防止する逆止弁12gとを含む構成にしてある。
図1に示す回路において、この図8に示すパイロット制
御手段12のみを設ける構成とすることもできる。この
ように構成したものは、特に、アクチュエータ3の駆動
時のショックのみが懸念される場合に有効であり、また
ショックを生じやすい領域がアクチュエータ3の起動開
始後の特定領域であると予め想定される場合に有効であ
る。すなわち、駆動時には絞り弁12aの下流圧が開閉
弁12fのばねのセット圧よりも小さい間はバイパス通
路12bを介して方向制御弁2の駆動部にパイロット圧
を供給して速やかにアクチュエータ3の駆動を開始さ
せ、絞り弁9aの下流圧が開閉弁12fのばねのセット
圧よりも大きく、しかも開閉弁12eのばねのセット圧
よりも小さいときには、開閉弁12fが切り換えられて
バイパス通路12bがしゃ断され、開閉弁12eが閉位
置に保たれていることからバイパス通路12cもしゃ断
され、絞り弁12aの絞り作用によりショックを緩和す
るようになっており、絞り弁9aの下流圧が開閉弁12
eのばねのセット圧よりも大きくなったときには、開閉
弁12eも切り換えられて開位置になり、バイパス通路
12cを介して方向制御弁2の駆動部に速やかにパイロ
ット圧が供給され、これらの動作によって、優れた応答
性とショックの緩和とを確保することができる。なお、
アクチュエータ3の停止動作時には、逆止弁12gを介
して通路6内のパイロット圧油が瞬時にタンクに戻さ
れ、方向制御弁2は速やかに中立に復帰するようになっ
ている。
【0027】なお、本願発明は上記した図1、図4〜図
8に示した各種のパイロット制御手段、あるいはこれら
のパイロット制御手段に類似するパイロット制御手段
を、アクチュエータ3の作動態様に応じて選択的に組合
せ、ショックを緩和する領域と応答性を確保する領域を
種々に設定した構成とすることもできる。
【0028】
【発明の効果】本発明は以上のように構成したことか
ら、アクチュエータ起動時あるいは停止時のショックを
軽減できるとともに、優れた応答性が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の建設機械のアクチュエータ制御装置の
一実施例を示す回路図である。
【図2】図1に示す実施例で得られるパイロット弁のス
トローク特性、パロット弁と方向制御弁とを連絡する通
路に導かれるパイロット圧のうちのパイロット弁側のパ
イロット圧特性、方向制御弁側のパイロット圧特性をそ
れぞれ示す特性図である。
【図3】図2に示すパイロット弁のストローク特性と、
方向制御弁側のパイロット圧特性を対比して示した図で
ある。
【図4】本発明の建設機械のアクチュエータ制御装置の
別の実施例を示す回路図である。
【図5】本発明の建設機械のアクチュエータ制御装置を
構成するパイロット制御手段の別の例を示す図である。
【図6】本発明の建設機械のアクチュエータ制御装置を
構成するパイロット制御手段の別の例を示す図である。
【図7】本発明の建設機械のアクチュエータ制御装置を
構成するパイロット制御手段の別の例を示す図である。
【図8】本発明の建設機械のアクチュエータ制御装置を
構成するパイロット制御手段の別の例を示す図である。
【図9】従来の建設機械のアクチュエータ制御装置を示
す回路図である。
【図10】従来の建設機械のアクチュエータの駆動に際
し一般に考慮されるレバーストロークとアクチュエータ
スピードとの関係の一例を示す特性図である。
【符号の説明】
1 パイロット弁 2 方向制御弁 3 アクチュエータ 4 パイロット油圧源 5 主油圧源 6 通路 8 パイロット圧制御手段 8a 絞り弁(絞り手段) 8b バイパス通路 8c バイパス通路 8d 開閉弁(開閉手段) 8e 逆止弁 9 パイロット圧制御手段 9a 絞り弁(絞り手段) 9b バイパス通路 9c バイパス通路 9d 開閉弁(開閉手段) 9e 逆止弁 9f 逆止弁 10 パイロット圧制御手段 10a 絞り弁(絞り手段) 10b バイパス通路 10c 開閉弁(開閉手段) 11 パイロット圧制御手段 11a 絞り弁(絞り手段) 11b バイパス通路 11c 開閉弁(開閉手段) 12 パイロット圧制御手段 12a 絞り弁(絞り手段) 12b バイパス通路 12c バイパス通路 12d バイパス通路 12e 開閉弁(開閉手段) 12f 開閉弁(開閉手段) 12g 逆止弁

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 主油圧源と、この主油圧源から供給され
    る圧油によって駆動するアクチュエータと、主油圧源か
    らアクチュエータに供給される圧油の流れを制御する方
    向制御弁と、この方向制御弁の駆動を制御するパイロッ
    ト弁と、このパイロット弁にパイロット圧を供給するパ
    イロット油圧源とを備えた建設機械のアクチュエータ制
    御装置において、上記方向制御弁の駆動部と上記パイロ
    ット弁とを連絡する通路に絞り手段を設けるとともに、
    この絞り手段の上流側と下流側を連絡するバイパス通路
    を設け、このバイパス通路に上記絞り手段の下流圧に応
    じてバイパス通路を開閉する開閉手段を設けたことを特
    徴とする建設機械のアクチュエータ制御装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6878249B2 (en) 2000-06-16 2005-04-12 Anelva Corporation High frequency sputtering device
JP2008115942A (ja) * 2006-11-02 2008-05-22 Hitachi Constr Mach Co Ltd 作業機械の油圧駆動装置
JP2012122557A (ja) * 2010-12-09 2012-06-28 Bosch Rexroth Corp パイロット操作切換弁を備えたショック緩和回路
JP2017008501A (ja) * 2015-06-17 2017-01-12 日立建機株式会社 作業機械

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