JPH0551325B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、Ｗ及びMo等の昇華しやすい酸化物
を有する金属加工時に発生した粉塵を分離し回収
する高融点金属酸化物回収装置に関する。

［従来の技術］ 一般に、Ｗ及びMo板は、酸化物を形成し易
く、Ｗ及びMoの板、棒状の熱間加工時に昇華性
の粒径１〜5μｍの粉塵の発生が多い。このよう
な粉塵は、作業環境を悪化させ更に大気汚染の源
となるので、熱間加工装置の接地されている周囲
空間部には、種々の粉末集塵装置が設置され利用
されてきた。

集塵装置としては、例えば、過部材を有する
バグフイルタ集塵機や、通過する空気の流れを回
転させて、空気中に含まれる粉塵を遠心分離させ
るサイクロン集塵機が一般的に使用されている。
特に、サイクロン集塵機は設置面積が小さく、構
造が簡単で、設備費、設置費が安い等の種々の利
点を有する。

［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、バグフイルタ集塵機は、過速
度を0.02〜0.04ｍ／secと遅く設計しなければなら
ず、設置面積が大きくなるという欠点を有する。
また、目づまりの際のフイルタ交換が容易でなく
そして圧力損失も100〜150mmH₂Oと大きい。

一方、サイクロン集塵機は、捕集粒度が一般
に、10μｍ以上と粗く、Ｗ、Mo等の１〜5μｍ程
度の粉塵の回収が困難であつた。

本発明は上記欠点に鑑みてなされており、設置
面積が狭く、目づまりがなく、一定の粒度の高融
点金属酸化物からなる粉塵を安定に除去できる耐
久性フイルタを有し、分離した粉塵を容易に回収
できる高融点金属酸化物回収装置を提供すること
を目的とする。

［課題を解決するための手段］ 本発明によれば、高融点金属酸化物からなる粉
塵を含む空気を断続的に吸入し、吸入した空気を
多段に重畳したフイルタを重力方向と逆方向に通
過させることにより、特定の粒度の粉塵を分離し
清浄な空気を放出する乾式集塵手段と、上記フイ
ルタを自ら自動的に水で洗浄し、粉塵を洗い流し
高融点金属酸化物を回収する湿式粉塵回収手段と
を有し、上記フイルタは、塩化ビニールよりなる
ロツクフイルタであることを特徴とする高融点金
属酸化物回収装置が得られる。

ここで、本発明においては、上記湿式粉塵回収
手段は、回収した粉塵をスラリー状として貯蔵す
る水槽と、洗浄用の水を移動するポンプと、上記
フイルタに対向して設けられ、洗浄用の水を吹き
付け流し落とすシヤワーノズルと、上記各部を接
続する配管とを有することが好ましい。

［作用］ 本発明の作用について説明する。高融点金属酸
化物からなる粉塵を含む空気は、フアンにより集
塵塔や下方の吸入口から吸入され、多段に重畳し
たフイルタにより、粉塵が乾式分離される。粉塵
が除去された空気は、清浄空気として、集塵塔上
方のスタツクを通り大気中へ放出される。フイル
タは塩ビ系繊維ロツクフイルタである。フイルタ
の目詰り時は、機械的な払い落しであると、２次
粉塵が発生するので、行わず、湿式払い落しを行
う。そして、フイルタは集塵塔下部に設置された
水槽から、供給された洗浄水をシヤワーノズルか
ら吹き付けることにより洗浄される。

この洗浄により洗い流された粉塵は、洗浄水と
ともに漏斗により集められ水槽に回収される。こ
のようにフイルターが洗浄され、塩ビ系で材質を
有するため水切れも良く、集塵への手間がかから
ない。

また、水槽内に回収された粉塵は、スラリーと
して回収することができると共に、ポンプへの供
給は水槽の水の上澄みからなされるので、洗浄水
も再利用できる。

［実施例］ 本発明の実施例に係る高融点金属酸化物回収装
置の具体的構成について述べる。第１図は、高融
点金属酸化物回収装置の具体的構成の一例を示す
図である。図示された高融点金属酸化物回収装置
は、吸込部１０、過部２０及び排気部３０とか
ら構成されている。この図において、吸入口とし
て集塵塔１下方側部に金属酸化物粉塵を含む汚染
され空気の吸入筒２が突出して設けられている。
集塵塔１中間部の過部２０には塩ビ系繊維から
なるロツクフイルタ３が二層横断するように設け
られている。

このフイルタの段数は粉塵量より計算され、決
定されている。さらに過部２０内にはフイルタ
３を上方及び下方から挾むようにシヤワーノズル
４が配置されている。シヤワーノズル４は、ポン
プ１１から配管が施されていて、ボンプより供給
された洗浄水をフイルタ３に噴出する。フイルタ
３の上方にある排気部３０にはスタツク５が設け
られている。この排気部３０は吸込部１０の吸入
筒２とその横断面積が等しく形成されている。更
に、排気部３０内には、フアンが設けられてい
る。このフアンは、集塵塔１内の空気導入及び集
塵塔１外への排気用に設けられており、清浄空気
６はスタツク５の開口部より放出される。

また高融点金属酸化物回収装置下部の集塵塔底
部には、漏斗状の洗浄液回収部材７と、回収部材
からの水を貯え、粉塵を沈澱させる水槽８が設け
られている。水槽上部に、ホンプ１１に接続する
吸込管９が設けられている。

次に具体的に実施例に係る高融点金属酸化物回
収装置の動作について説明する。

乾式集塵手段は、吸込筒２、この吸込筒２に連
設した集塵塔１の空間部、フイルタ３、フイルタ
３の空間部に連設したスタツク５、スタツクに設
けられたフアンによつて構成される。乾式集塵手
段では、排気部３０内のフアンにより吸気された
Moの粉塵を含む空気は、集塵塔１外から吸込部
１０へ導入され、この集塵塔１の空間部から過
部にはいる。ここで、フイルタ３で過し、Mo
粉塵を含む空気は過されて、その大部分の粉塵
が取り除かれ、清浄空気となつて排気部のスタツ
ク５内に移動する。さらにフアンにより、スタツ
ク内の空気は、上端に設けられた開口部から放出
される。

このときの動作条件を説明すると、Mo粉塵の
粒度は、１〜5μｍであり、塩ビ系繊維ロツクフ
イルタは、50mmの厚さを有するフイルタ板４板
で、２枚重ねられて一つのフイルタ部が構成され
ている。集塵塔内の空気の流速を４〜５ｍ／sec
程度とした。

一方、上記したシヤワーノズル４と、漏斗状の
洗浄液回収部材７、集塵塔の底部の水槽８と、ポ
ンプ１１と、水槽上部から洗浄水を吸収するポン
プ吸入管９、ポンプ１２からシヤワーノズル４に
接続した送出管１２の各配管は湿式粉塵回収手段
を構成している。

次に、この湿式粉塵回収手段の動作について説
明する。シヤワーノズルは、送出管１２から三方
に分岐した管１３ａ，１３ｂ，１３ｃの先端部に
設けられており、フイルタ３面に分散状態で洗浄
水を吐出し、フイルタ３表面に実質的に均等に噴
出する。噴出した洗浄水によりフイルタ３の表面
の粉塵は洗い流され、洗浄水と共に集塵塔１下部
の漏斗に滴下し、水槽に貯えられる。そして水槽
中の浮遊する粉塵は、しだいに水槽８底部に沈殿
する。この底部の沈殿物はスラリー状態で予め定
められた期間をおいて回収される。一方、分離さ
れた上澄み分の洗浄水はポンプにより吸い上げら
れ配管１２を通り、シヤワーノズル３に再び供給
される。

空気吸込筒付近のMo粉塵の濃度は、0.13ｇ／
Ｎm³、洗浄空気の濃度は、粉塵が目に見えない濃
度0.016ｇ／Ｎm³であつた。

このときMo粉塵の捕集効率は87.7％であつた。
以上の洗浄操作でフイルタ３は新品同様となり、
また塩ビ系材料であるため水切れも非常に良く、
洗浄後直ちにフアンを動かし、集塵に入つても問
題は生じない。

さらに、水槽に重力等により沈殿させるのみで
なく、ポンプ吸入管の口部９ａもしくは、回収部
材７、もしくは水槽８内の吸上管と回収部材７の
水を通常の材からなるフイルタまたは多孔管の
隔壁により分離する手段を設ければ、洗浄水の汚
れが少なく、粉塵用のフイルタがよりきれいに洗
浄できる。また、フイルタ洗浄した後、更にフイ
ルタをよりきれいにするために、少量の汚れのな
い洗浄水を供給する水槽及び供給管を水槽以外に
設けても良い。

尚、水槽内の浮遊した粉塵は、１時間経過する
と、完全に底部に沈殿する。

実施例に係る高融点金属酸化物回収装置のフイ
ルタの目づまり検出には、フイルタ支持部に圧電
素子を有するセンサが設けられている。このセン
サには圧電素子及び増幅、比較器が内蔵されてお
り目づまりの際フイルタに加わる圧力が予め定め
られた圧力の閾値以上で、検出信号を出力する。
検出信号は、処理部に入力し、記憶部に予め定め
られた処理プログラムに従つて、各駆動部の制御
がなされる。すなわち、先づフアンが停止し、続
いてポンプが作動しフイルタの洗浄が開始され、
30分間程度の予め定められた時間の後ポンプが停
止し、続いて、フアンが始動し、洗浄されたフイ
ルタが室温にて乾燥される。以上のフイルタ洗浄
動作が自動的に行われる。

塩ビ系ロツクフイルタは洗浄の後、水はけが良
いのでさほどの時間はかからない。

尚、目づまり検出センサは、圧電素子以外に
も、感圧素子もしくは、圧力差によるフイルタの
支持部の変位を検出できる手段であれば、これに
限定はされない。

［発明の効果］ 以上述べた通り、本発明によれば、バグフイル
ターの設置面積の1/10程度ですむ。

更に、本発明によれば、高価な高融点金属酸化
物からなる粉塵もスラリーとして回収でき、再利
用ができ、資源の節約につながる。

本発明によれば、フイルタを自動的に洗浄し、
また半永久的な耐久性を有し、また特定の大きさ
の粉塵を回収できるので、常に安定した粉塵の回
収が可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例に係る高融点金属酸化
物回収装置を示す図である。 図中、１は集塵塔、３はフイルタ、４はシヤワ
ーノズル、５はスタツク、６は清浄空気、７は回
収部材、８は水槽、９，１２及び１３は配管、１
０は吸込部、１１はポンプ、２０は過部、３０
は排気部である。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 高融点金属酸化物からなる粉塵を含む空気を
   断続的に吸入し、吸入した空気を多段に重畳した
   フイルタを重力方向と逆方向に通過させることに
   より、特定の粒度の粉塵を分離し清浄な空気を放
   出する乾式集塵手段と、 上記フイルタを上記粉塵分離後、自ら自動的に
   水で洗浄し、粉塵を洗い流し高融点金属酸化物を
   回収する湿式粉塵回収手段とを有し、上記フイル
   タは、塩化ビニールよりなるロツクフイルタであ
   ることを特徴とする高融点金属酸化物回収装置。 ２ 上記湿式粉塵回収手段は、回収した粉塵をス
   ラリー状として貯蔵する水槽と、洗浄用の水を移
   動するポンプと、上記フイルタに対向して設けら
   れ、洗浄用の水を吹き付け流し落とすシヤワーノ
   ズルと、上記各部を接続する配管とを有すること
   を特徴とする請求項１記載の高融点金属酸化物回
   収装置。