JPH05503257A - 固体像半透過性フィルムコーティング - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の名称 固体源半透過性フィルムコーティング 発明の技術分野 本発明は、光成形を用いた３次元物体の製造方法および装置に関し、特に、プラ ットフォームまたは予め光成形された層（複数の層）に光成形可能な組成物の薄 い平坦な液層を正確かつ迅速に形成して、層の平坦性、正確性および完全性を改 良した３次元物体の製造方法および装置に関する。

光硬化を用いた３次元模型を製造するための多くのシステムが提案されている。

１９８７年、６月６日に３ｃｉｔｅｃ社により出願されたヨーロッパ特許出願第 ２５０．１２１号は、硬化可能な液体を用いた３次元模型の製造装置を開示して おり、またこの技術分野の関連文献をよくまとめたものである。

これらの文献に記載された研究は、硬化させようとする面積域または容積域を連 続的に照射することにより３欧元物体の各固相部分の段階的な形成に関する。

これらの文献には、種々のマスキング技術が、直接レーザ書込み、すなわち、所 望のパターンに従ってレーザビームで光成形可能組成物を露光して一層一層３次 元模型を構築すること共に記載されている。またこれらの文献には、種々の露光 技術に加えて、薄い液体層の幾つかの形成方法が記載されており、プラットフォ ームの初期コーティング、あるいは、予め露光された物体の複数層の連続的コー ティングのどちらかを与えている。

１９８６年３月１１日に付与され、後に最審理（１９８９年１２月１９日に許可 ）された米国特許第４，５７５．３３０号（Ｃ，Ｗ、Ｈｕ　１１）は、放射線の 衝突、特定の衝繋あるいは化学反応による適切な相乗作用の刺激に応じてその物 理的状慇を変える得る液状媒体の選択された面に、形成されるべき物体の断面パ ターンを形成することによって、３次元物体を形成するシステムが記載されてお り、ここでは、対応する物体の連続的に隣接した断面を表す連続的に隣接した積 層が自動的に形成され、また所望の物体の段階的な積層の構築が合わせて行われ て、この結果、３次元体が形成されこの形成工程中に液状媒体の実質的に平坦な 面から抜き出される。上記特許には、紫外線硬化可能な液体をこの硬化可能な液 体に非混和で非湿潤な重い紫外線透過液に浮かせる実施例も記載されている。ま た、この特許は、ＣＲＴおよび光ファイバの端面と共に用いられる「水（または 他の）解放コーティング（ｒｅｌｅａｓｅ　ｃｏａｔｉｎｇ）Ｊの使用を示唆し ている。ヨーロッパ特許庁により公開番号０３ｆ３１　８４７で公開されたＨｕ １１氏およびその同僚の続きの特許出願には、ドクターブレード（ｄｏｃｔｏｒ ｂｌａｄｅ）をより迅速に用いて流体の複数薄層を提供し、流体容器の液位な制 御する手段が記載されている。

１９８８年６月２１日および１９８９年１月３１日にそれぞれ付与された米国特 許第４，７５２．４９８号および米国特許第４．８０１，４７７号（Ｅ、　Ｖ。

Ｆｕｄｉｍ）には、充分に硬い透明プレートまたはフィルムを、この透明プレー トまたはフィルムを通しての放射硬化中にフォトポリマ表面を所望形状に保持し て好適には空気を排除するように、液体フォトポリマに接触して配置した３次元 物体の形成方法が記載されている。さらに、透明プレートまたはフィルムの表面 部分が、照射されたフォトポリマ表面を余分な架橋可能状態にする物質からなり 、この結果、次の層が形成されるときに、その次の層はこのフォトポリマ表面に 接着することが示唆されている。またＦｕｄｉｍ特許は、硬化されたフォトポリ マな歪ませることなく層の解放を助けるため、上記物質が酸素、銅または他の抑 制剤からなり、または、その分子中に酸素、銅または他の抑制剤を含有させるこ とも示唆している。

先玉秀夫著「光硬化性ポリマな用いた３次元プラスチックモデルの自動形成方法 ＪＲｅｖ、Ｓｅｉ、　Ｉｎｓｔｒｕｍ、５２（１１）、１７７０−１７７３頁、 １９８１年１１月発行の刊行物は３次元プラスチックモデルの自動形成方法を開 示している。この固体モデルは厚さ２ｍｍまたはそれ未満の液状光硬化性ポリマ を紫外線照射して、断面的に硬化された層を積み重ねることにより形成される。

Ａｌａｎ　Ｊ、Ｈｅｒｂｅｒｔ　著［固相物体の生成Ｊ　Ｊｏｕｒｎａｌ　。

ｆ　Ａｐｐｌｉｅｄ　Ｐｈｏｔｏｇｒａｐｈｉｃ　Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ。

８　（４）、１８５−１８８頁、１９８２年８月発行の刊行物は、フォトコピア でも２次元物体朋に同じ作業を実行することができるけれども、固体または３次 元物体の複製を形成することができる装置を記載している。この装置は、コンピ ュータメモリに格納された情報から簡単な３次元物体をフォトポリマを用いて生 成することができる。また、種々の方法についての良い評論の一つとして、Ａ。

Ｊ、Ｈｅｒｂｅｒｔ　著「３次元固相体の生成についての論評Ｊ　Ｊｏｕｒｎａ ｌ　ｏｆ　Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ　１５：１８６−１９９頁（１９８９年）がご く最近の刊行物として得られる。

これらの研究のほとんどは、硬化させようとする面積域または容積域を逐次照射 することによって段階的に３改元物体の固相部分を形成するものに関する。種々 のマスキング技術が、直接レーザ書込み、すなわち、所望のパターンに従ってレ ーザビームで光成形可能組成物を露光して一層一層３次元モデルを構築する技術 と同様に記載されている。種々の露光技術に加えて、初期段階でブラットフォし かしながら、これまでに提案された最近のコーティング法は、平らで均一な層の 厚さを保証することやその様な層を迅速に製造することができない、あるいは、 先に形成された層の損傷を連続コーティング工程中に効果的には防止しないとい う問題点を今までのところ有している。さらに、これらのコーティング方法は、 薄い液状層の形成中に存在している固相と液相の両方に有する作用、Ｉａ体の流 動と流動学的特性の作用、コーティング期間中の流動による薄い光硬化した層の 容易に歪む傾向、並びに、弱い力の作用、例えば、水素結合およびこの水素結合 より実質的に強い力、例えば薄層および形成される物体上の機械的接着や真空あ るいは圧力差の作用ような、コーティング工程中に含まれる非常に重要なパラメ ータを認識するのを怠っている。

Ｈｕｌｌ特許は、例えば、プラットフォームが１層の厚さ分下げられ、あるいは 、容器内で１層の厚さより下まで浸されて、次いで光硬化性液体の表面から１層 分の厚さ以内に止められるという浸漬工程を記載している。さらにＨｕｌｌ特許 は、他の実際的な理由がなけれらば低い粘性の液体が好ましいことを示唆してい るが、光硬化性液体は一般に高粘性の液体である。、理論上、はとんど液体は表 面張力によって平らに広がるけれども、特にもし大きな平な範囲が像形され、か つ液層の厚さが非常に薄いものであるならば、高粘性の液体のみならず低粘性の 液体でさえも、許容できる程度に平坦化するには過度の時間を要する。先に形成 された層が液体溜まりを取囲む固体壁から構成される領域は、薄い液体層のコー ティングの平坦化工程をさらに増やすことになる。これに加えて、プラットフォ ーム、並びに、片持ち梁のように突ぎ出た部分または梁を有する部品（先に形成 された層部分により２方向に支持されていない範囲）の液体内の動きは層に歪み を発生させ、最終物体を許容誤差範囲内におさまらなくする０重い透明液体がこ の透明液体に浮くフォトポリマの薄い平坦な層を生成するのに利用された実施例 において、フォトポリマ層を確実に平らにすることは表面張力効果に大きく依存 している。平坦な層を生成するための、表面張力効果および２つの液体の比重の 差異に対する依存は、例えば連続層のコーティング中における硬化されたフォト ポリマの角部のメニスカスの発達、並びに、重い方の液体の実質的な吸着カップ 型の持上げを生み出す取り囲まれた領域を生成する物体の幾何的配列のような他 の表面張力効果により非常に複雑に絡み合う。「水（または他の）解放コーティ ング」をＣＲＴおよび光ファイバの端面と共に用いることを提示した実施例にお いては、解放コーティングを画面表面上に塗り保持することができる方法が教示 されていない。

Ｍｕｎ２特許（１９５８年に付与された米国特許第２，７７５．７５８号）と上 記５ｃｉｔｅｘ出願には、新たな液面がその前の層から１層の厚さ分だけ上にな るように、光形成可能な液体をポンプまたは類似の装置により槽内に入れる方法 が記載されている。このような方法は、コーティング中の層の歪みが軽減される 点を除けば、Ｈｕｌｌ特許の方法が有する問題点を全て有する。

上記Ｆｕｄｉｍ特許には、放射線透過材の使用について記載されており、液状の フォトポリマの表面を所望の形状（恐らくは平坦な形状）にするため、放射線透 過材は通常固く、コーティングされるかあるいは、硬化されたフォトポリマに対 してもともと非粘着性である。したがって、フォトポリマは所望の厚さだけ硬化 される。Ｆｕｄｉｍ特許は、このような放射線透過材を、放射線透過材の表面に １着して形成されるフォトポリマから分離する工程に固有の問題には言及してい ない。一方、化学的結合の影響は適正にコーティングすることにより、あるいは 適正なフィルムにより、著しく小さくなる。機械的な結合、水素結合、真空の力 等は依然として存在し、放射線透過材の表面から分離する間、フォトポリマに傷 が付いたり、歪んだりすることが大いにあり得る。さらに、本発明者は次のよう なことを見出した。分離に抗する力や、適度に非粘着性の放射線透過材に密着し た状態で露光され硬化された層からヌライドさせ分離する際の力によって、特に 、光成形可能な液体が回りに存在する場合や、硬化された層が薄い場合、硬化さ れた層が傷つき易い。このような問題点を解決する方法はＦｕｄｉｍ特許には記 載されていない。

先玉（日本の特開昭５８（１９８１年）−１４４４７８号公報、後に１９８１年 １１月ＩＯ日に公告）公報においては、テフロンまたはポリスチレンによりコー トされた石英プレートについて言及しており、このコーティングは硬化された樹 脂をそのベース（石英プレート）から容易に除去させて構築台（アルミシート） に優先的に接着させる解放剤として作用する。この方法は、上述のＦｕｄｉｍ特 許に言及された問題点を全て包含している。

Ｍｕｎｚ、先の先玉、Ｃｕｂｉ　ｔａｌ、Ｈｕｌ　１等のような他の従来例には 、フォトポリマ表面の界面に雰囲気としての空気が事実上含まれていると言える かもしれないが、空気はそれらの明細書には要素として記載されていない。そし て、この空気の存在、長所および組成物（先の明細書に事実上含まれた）のより 深い領域の空気の使用は、それらの明細書に含まれたち同然であるにもかかわら ず記述されていない。

プラウエア大学の機械工学部の１９９０年８月１４日付けの図書目録に公表され た論文には、箪者であるＨｉｒｓｃｈがフォトポリマをプレートを通して露光さ せる際のプレートとして用いられる多孔性の石英ガラスプレートの生成の可能性 を研究して無駄な努力に終わったことが記載されている。プレートを多孔性にす る目的は、プレートと硬化された層が分離するときに両者間に真空が発生しない ように、空気をプレートと硬化された層の間に流入させることである。この表面 における重合を、プレートを透過する空気または酸素が抑制して、解放を助ける らしいことも提起されていた。この努力は、紫外線透過の多孔性プレートを入手 するのが困難なためおおむね不成功に終わった。しかし、またそれは、例えば非 気孔領域における石英ガラスに対するポリマの接着と気孔の流れを止める次のコ ーティング塗布に結果として生じるポリマの架橋、真空力を軽減すると思われる 空気を厳Ｚに制限する非常に小さな気孔サイズの条件、並びに、フォトポリマが 気孔に進入するのを防止するためあるいは空気を多孔性プレートとフォトポリマ 表面の界面に押し入れるための駆動力または圧力の不足の関係をなおざりにして いる。

したがって、本発明の目的の一つは、好適には０．００１１ｎｃｈ／１ｎｃｈ２ の平坦度の液体光成形可能物質の好適には０．０３０１ｎｃｈ以下の厚さの層を 迅速に形成する方法および装置を提供することであり、この方法および装置によ って、前記層の連続的コーティングおよび各コーテイング後の露光により３次元 物体を製造するためのコーティング工程の間、先に露光された層の歪みまたは損 傷が最小になる。

発明の要約 本発明は、半透過性フィルムを利用することにより上記問題点の独特の解決方法 を提供するものであり、半透過性フィルムは光成形可能組成物を透過させなし） が変形可能コーティング混合物を透過させ、この変形可能コーティング混合物は 、光成形可能組成物を非湿潤で非混和である。変形可能コーティング混合物は、 好適には拡散効果によって半透過性フィルムからなる薄膜を透過し、薄膜の光成 形可能組成物側に薄いつるつるの表面を形成し、これにより、化学的、機械的ま たは水素結合等の付着力が取除かれる。また本発明は、改良された層間接着およ びより適度なコーティングを提供するため、溶解した抑制剤の変形可能コーティ ング混合物および組成物内での使用方法を教示している。さらに本発明は、凹部 または大きなオリフィスがフィルムと先に形成された層の間に形成され、光成形 可能組成物をその凹部またはオリフィスを通過させる方法を教示しており、この 方法により、フィルムの光成形層からの分離中に発生する真空力が実質的に減少 する。

本発明は、光成形可能組成物の連続的な層により総体をなす３次元物体を製造す る方法であって、 ａ）第１表面および第２表面を有し実質的に透明で組成物に対しては非透過性で 不活性な半透過性フィルムを、前記第１表面が作像側雰囲気に少なくとも部分的 に接して前記第２表面が光成形可能組成物に少なくとも部分的に接するように、 配置する工程と、 ｂ）前記組成物の界面を組成物側雰囲気に接触させる工程と、Ｃ）前記作像側雰 囲気を、前記フィルム中を透過させ部分的に光成形可能組成物層中に浸透させる 工程と、 ｄ）前記光成形可能組成物層を、前記フィルムを通して像様放射で露光し、光成 形層および変形可能組成物解放コーティングを作る工程と、ｅ）前記フィルムを 前記光成形層に対しスライドさせる工程と、ｆ）前記フィルムを、前記光に形成 された光成形層と前記フィルム第２表面の間に光成形可能組成物層が形成される ように、配置する工程と、ｇ）前記光成形層が前記３次元物体の総体をなすまで 、上記Ｃ）〜ｆ）工程を繰り返す工程と、 を有することを特徴とする方法であり、上記ａ）〜ｅ）工程を実行することによ り、一様な層が形成される。

図２は、作像された層を次の光成形可能組成物層のためにスライドさせる工程中 の本発明の好適な実施例を示す図である。

図３は、部分的に接着した半透過性フィルムと共に多孔性プレートをフィルムの 光成形層からの分離工程に利用した本発明の実施例を示す図である。

発明の好ましい態様の説明 本発明は、光成形により３次元体を形成する方法および装置に係り、特に、成形 工程中の光成形層からの解放機構を提供するのに有用な半透過性フィルムおよび コーティングを用いる方法および装置に関する。

ここに記載された本発明の読者の正しい評価および理解は、図面および図面の記 載および以下に記載の作用を参照することにより高められるであろう。

図１において、１０２は第１表面１０２’、第２表面１０２”を有する半透過性 フィルムであり、半透過性フィルム１０２は、フィルム第２表面１０２”が光成 形可能な組成物１０４に接触してフィルム第１表面１０２′が組成物１０４に接 触しないように、テンターフレーム（ｔｅｎｔｅｒ　ｆｒａｍｅ）１０Ｂにより 光成形可能な組成物１０４内に配置されている。フィルム１０２はテンターフレ ームｌ０ＥＩによって所定形状に保持されている。溶解した抑制剤（ｄｉｓｓ。

Ｉｖｅｄ　１ｎｈｉｂｉｔｏｒ）１４２°を含む変形可能コーティング混合物（ ｄｅｆｏｒｍａｂｌｅ−ｃｏａｔｉｎｇ−ｍｉｘｔｕｒｅ）１１０’　はフィル ム第１表面１０２゛側に導入されている。また抑制剤１４２と共に透過した変形 可能解放コーティング（ｄｅｆｏｒｍａｂｌｅ−ｒｅｌｅａｓｅ−ｃｏａｔｉｎ ｇ）１１０はフィルム第２表面１０２″および光成形可能組成物層（ｐＨｏｔ。

ｆｏｒｍａｂｌｅ−ｃｏｍｐｏｓｉｔｉｏｎ−１ａｙｅｒ）１１２の間に位置し ている。この光成形可能組成物層１１２は、光成形可能組成物１０４中の例えば 半透過フィルム１０２を通して拡散する溶解抑制剤１４２゛の濃度とは異なる複 数の組成濃度を有している。本発明の目的のため、変形可能な解放コーティング は１分子厚さ以上のコーティングを意味しており、このコーティングはガス、液 体、および（または）ゲルからなり、その形状は圧力または力の付加により変化 する。同様に、光成形可能な組成物は、溶解したガスを含む液体および（または ）ゲルからなり、適当な放射源による露光時に、光成形、硬化または自身の粘度 を増大させる。放射源１１４は、光成形可能組成物層１１２を硬化させるフォト マスク１１６を通して光成形可能な組成物層１１２の特定の領域を照射する。光 成形可能組成物層１１２が光成形され、（複数の）光成形層１２２を作り出した 後、放射源１１４のヌイッチが切られ、または、その照射が遮断され、テンター フレーム１０６およびフィルム１０２はフレーム組み立て体移動手段１１８によ り光成形層１２２の表面に対して（説明を簡単にするため図１の矢印方向に）ス ライドされる。次いで、プラットフォーム１２０および先に形成済の（複数の） 光成形層（ｐｈｏｔｏｆｏｒｍｅｄ　１ａｙｅｒ）１２２は、少なくとも光成形 可能組成物層の一層分の厚さだけ、プラットフォーム移動手段１２４によりフィ ルム１０２の元の表面および透過済変形可能解放コーティング（ｐｅｒｍｅａｔ ｅｄ−ｄｅｆｏｒｍａｂｌｅ−ｒｅｌｅａｓｅ　ｃｏａｔｉｎｇ）１１０に対し て移動する。先に形成済の光彩成層１２２がプラットフォーム移動手段１２４に より移動された後、フレーム組み立て体移動手段１１８は、フィルム１０２およ びテンターフレーム１０６を、近傍の光成形可能な組成物層０４が移動して新た な光成形可能組成物層１１２が形成されるような位置に実質的に移動させる。上 記工程は所望の３次元物体が形成されるまで続けられる。図１に示される実施例 において、光成形可能な組成物１０４は容器１２Ｇに収納されている。光成形可 能な組成物１０４は組成物／雰囲気界面１５３を形成する。この組成物／雰囲気 界面１５３の上には組成物側雰囲気（ｃｏｍｐｏｓｉｔｉｏｎ　ａｔｍｏｓｐｈ ｅｒｅ）１５２が存在する。テンターフレーム１０８により形状が保持されたフ ィルム１０２および変形可能コーティング層１１０’の上には、組成物側雰囲気 １５２とは異なる作像側雰囲気（ｉｍａｇｉｎｇ　ａｔｍｏｓｐｈｅｒｅ）１５ ６が存在する。

図２は本発明の好適な実施例を示す区である。この実施例において、２０２は半 透過性透明フィルムであり、半透過性透明フィルム２０２は第１表面２０２′お よび第２表面２０２”を有している。フィルム第２表面２０２”は光成形可能な 組成物２０４に対向しており、フィルム第１表面２０２′は透明プレート２３２ に対向している。透明プレート２３２は第１プレート面２３２゛および第２プレ ート面２３２ｎを有しており、第１プレート面２３２′は組成物２０４と対向し 、第２プレート面２３２”は組成物２０４の逆側に対向している。フィルム２０ ２はプレート２３２の形状に従って張られ、フィルム２０２およびプレート２３ ２の両方は、（解り易くするため口承しないがネジやレバー等の）固定手段を用 いて組成物２０４の容器としても用いられているフレーム２０７に圧縮フランジ ２３４によフて固定されている。この結果、フィルム２０２およびプレート２３ ２は封止され、光成形可能な組成物２０４はフレーム２０７からフィルム２゜２ とフレーム２０７の間に漏れることは無く、そして圧力がフィルム２０２とプレ ート２３２間の漏れ無しに維持される。変形可能コーティング混合物２１０′は フィルム２０２とプレート２３２の間を第１チユーブ２３０′および第２チユー ブ２３０“を通して導入される。第１チユーブ２３０゛および第２チユーブ２３ ０“とプレート２３２の間は漏れが確実に防止されるように封止されている。

第１、第２チユーブ２３０”　、２３０″は補給機構２５４′および第２補給機 構２５４″にそれぞれ接続されている。第１、第２補給機構２５４’　、２５４ ”のそれぞれは透過性チューブ（ｐｏｒｏｕｓ　ｔｕｂｅ）２３８、チューブス クリーン２４０、濃縮された抑制剤２４２”　、溶解した抑制剤２４２’　、移 送液２１１、フラスコ２４Ｇおよび抑制剤供給部２４４がら構成される。第１、 第２補充機構２５４’　、２！５４”の透過性チューブ２３８はフレキシブルチ ューブ２５８を通して互いに連結されている。フレキシブルチューブ２５８は、 フレキシブルチューブ２５８が分割され、溶解した抑制剤２４２′が絞り点２３ ７を流れるのが防止されるように、紋りローラ２４Ｇによってフレーム２０７の 一部分に対して紋られている。変形可能コーティング混合物２１０′は溶解した 抑制剤２４２′と一緒にフィルム２０２を透過し、抑制剤２４２と共に透過した 変形可能コーティング２１０がフィルム２０２と組成物２０４の間のフィルム第 ２表面２０２″上に形成される。プレート２３２には凹部領域２３２が存在する 。ウェッジ（Ｗｅｄｇｅ）２４８は、プレート２３２とフレーム２０７の間に固 定されたフィルム２０２とプレート２３２の間の空間が二つの室、すなわち第１ 室２５ｏ°および第２室２５０”に分割されるように、凹部領域２３２に設定さ れている。フレーム２０７の上には組成物側雰囲気２５２が存在する。（フレー ム２０７、プレート２３２、第１、第２室２５０’　、２５０″、組成物２０４ 、圧縮フランジ２３４、第１、第２チユーブ２３０’　、２３０″、凹部２２８ 、ウェッジ２４８およびフレキシブルチューブ２５８の一部分から構成される） フレーム組み立て体は、絞りローラ２３６、放射源２１４、フォトマスク２１６ 、光成形層２２２、プラットフォーム２２０およびプラットフォーム移動手段２ ２４に対して、第１プレート面２３２′にほぼ平行な方向に、フレーム組み立て 体移動手段２１８によって移動する。プラットフォーム移動手段２２４は、プラ ットフォーム２２０およびどの光成形層２２２も第１プレート面２３２゛にほぼ 垂直な方向に移動する。プラットフォーム２２０または先に形成済の光成形層２ ２２が、プラットフォーム２０４＊たは光成形層２２２と透過済変形可能解放コ ーティング２１０との間に一部分の厚さの光成形可能な組成物２０４の領域を確 保すると、フォトマスク２１Ｇを通した放射源２１４による露光に備えて、その 領域には光成形可能組成物層２１２が存在することになる。この光成形可能組成 物層２１２は、光成形可能な組成物２０４の濃度、例えばコーティング２１０を 通して光成形可能組成物層２１２に拡散した溶解ガスまたは溶解抑制剤２４２に よる濃度とは異なった濃度を有する。

図２に示される装置の操作は以下に示される。

光成形可能な組成物２０４がフレーム２０７に配置される。フレーム２０７の脇 から組成物２０４がこぼれないような範囲であれば、フレーム２０７を地球の重 力に対して水平に配置する必要はない。完全な物体を成形することができ、かつ 、移動手段２１８または２２４による移動の間に組成物側雰囲気２５２の気泡が プラットフォーム２２０とプレート２３２の間に入り込まないようにするには、 充分な量の組成物２０５がフレーム２０７に収納されていることだけが必要であ る。もし必要ならば、光成形可能な組成物層２０４を補充する補充手段（図示し ない）を股ｔすてもよい。第１、第２室２５０’　、２５０”は、一方の室、例 えば第」室２５０′から変形可能コーティング混合物２１０′およびこの混合物 に溶解した抑制剤２４２′が流出するとき、その変形可能コーティング混合物２ １Ｏ′および溶解抑制剤２４２°が残りの第２室２５０”に流入するように、変 形可能コーティング混合物２１０°および溶解抑制剤２４２′により満たされて いる。

これは、フレーム組み立て体移動手段２１８が（前述のように構成される）フレ ーム組み立て体を移動するときの、フレーム２０７に対する絞りローラ２３６お よび絞りフレキシブルチューブ２５８のボンピング動作に起因するものであり、 これにより、上述したように第１、第２室２５０’　、２５０”に連結されたフ レキンプルチューブ２５８の容量が変化する。したがって、（前述のように構成 される）フレーム組み立て体がフレーム組み立て体移動手段２１８により図２の 右方向に移動するにつれて、紋りローラ２３Ｇは、第２室２５０”に第２補給機 構２５４”および第２チユーブ２３０”を介して連結されたフレキシブルチュー ブ２５８の容積を紋って減少させる。変形可能コーティング混合物２１０′およ び溶解した抑制剤２４２゛が第２室２５０“に流入することにより、第２室２５ ０”が膨れる。好適な実施例においては、フィルム２０２は永久的な変形をする ことなく、膨らみ、または、平坦になることができる弾性材から構成されるとよ い。

第１室側では、（前述のように構成される）フレーム組み立て体が右方向に移動 する間、第１室２５０′に第１補給機構２５４′および第１チユーブ２３０′を 通して連通する部分のフレキシブルチューブ２５８の容積は増大し、これにより 変形可能なコーティング混合物２１０′および溶解した抑制剤２４２′が第１室 ２５０′から抜出され、第１室側のフィルム２０２が平坦になる。（前述のよう に構成される）フレーム組み立て体が図２の左方向に移動するにつれて、フレキ シブルチューブ２５８の容積は変化し、変形可能なコーティング混合物２１０゜ は流動し、第１、第２室２５０“、２５ｏ”の間の膨らみ／平坦になる関係は上 述の場合とは逆転する。（前述のように構成される）フレーム組み立て体が移動 し、変形可能コーティング混合物２１０°および溶解した抑制剤２４２′を第１ 、第２室２５０″、２５０”に送り出し、または、これら室がら吸み出すと、変 形可能コーティング混合物２１０′および溶解した抑制剤２４２°は第１、第２ 補給機構２５４’　、２５４°をそれぞれ通過する。第１、第２補給機構２５４ ″、２５４”の内部では、濃縮抑制剤２４２”が変形可能なコーティング混合物 ２１０′に拡散手段によって拡散する間は、透過性チューブ２３８がコーティン グ混合物２１０’　、２４２°の流動を抑制する。さらに後述する透過性チュー ブ２３８は、相対圧力を実質的に抑えることができるが、相対的真空になってい るときには崩壊する可能性がある。透過性チューブ２３８の内部が相対的に真空 になっているときには、チューブスクリーン２４０により透過性チューブ２３８ の崩壊が防止される。また、光成形工捏の間、透過した抑制剤２４２は消貸され るので、変形可能コーティング混合物２１０′からフィルム２０２を通しての溶 解した抑制剤２４２゛の拡散が生じ、これにより、溶解した抑制剤２４２゛の濃 度が減少する。補給機構２５４’　、２５４″においては、抑制剤供給器２４４ は、フラスコ２４６内での移送液２１１の濃縮抑制剤２４２”１１度を相対的に 高いレベルに維持する。この結果、（上述したフレキシブルチューブ２４２゛の 容積変化に伴う）変形可能コーティング混合物２１０°および溶解した抑制剤２ ４２゛の透過性チューブ２３８を通しての拡散および流動により、濃縮抑制剤２ ４２″は低濃度の溶解した抑制剤２４２′を補給する。次いで、溶解した抑制剤 ２４２”は透過流抑制剤２４２の濃度を補充するためにフィルム２０２を透過し 、そして、光成形可能な組成物層２１２中に拡散する。

光成形層２２２の成形に備えて、例えば、（前述のように構成される〕フレーム 組み立て体がフレーム組み立て体移動手段２１８により図２の右方向に移動し、 プラットフォーム２２０はプレート第１面２３２″の平坦な領域に対向する。プ ラットフォーム２２０は、光成形可能な組成物層２１２が形成される位置にプラ ットフォーム移動手段２２４により移動する。放射ａ２１４およびフォトマスク ２１ｅは、実質的に平行光線で、プレート２３２（放射ａ２１４によるプレート ２３２の照射を実質的に限定するのはフォトマスク２１６だけである）、変形可 能コーティング混合物２１０′および溶解した抑制剤２４２’　、フィルム２０ ２、並びに、透過済変形可能解放コーティング２１０および透過流抑制剤２４２ を通して光成形可能組成物層２１２を照射することができるように、配置されて いる。

像様露光は、光成形層２２２が形成されるよう実質的に充分になされ、光成形層 の複数部分はプラットフォーム２２０に接着する。好ましくは、プラットフォー ム移動手段２２４はプラットフォーム２２０およびプラットフォームに接着した 光成形層２２２を、プレート２３２から光成形可能組成物層の１層分の距離移動 させる。この結果通常は、フィルム２０２、透過済変形可能解放コーティング２ １０、透過した抑制剤２４２、変形可能コーティング混合物２１０′および溶解 した抑制剤２４２′が、フレキシブルチューブ２５８に形成される相対的真空に 打ち勝って実質的に隆起する。次いで、または、同時に、フレーム組み立て体移 助手段２１８はフレーム組み立て体（前述したように構成される）を図２の左方 向に移動させる。この移動により、光成形層２２２の複数部分は、フィルム２゜ ２および透過法変形可能解放コーティング２１０が光成形層２２２から実質的に 分離される凹部２２８の角に到達する。光成形可能な組成物２０４は、凹部２２ ８を通して実質的に容易に流動し、光成形層２２２とフィルム２０２の間の分離 線における隙間を満たす。光成形層２２２が凹部２２８の図２の右側角を通過す るとき、新たな光成形可能な組成物層２１２が第２室２５０”上に形成される。

この新たな光成形可能な組成物層２１２の形成によって、（上述した理由により ）第２室２５０”は潰れ、フィルム２０２およびコーティング混合物がこの領域 のプレート２３２の実質的に平坦な形状に一致する。この点から、他の像様露光 を、新たな光成形層２２２の複数部分が先に形成済の光成形層２２２に接着する ように実質的に充分に行うことができる。光成形可能な組成物２０４の片方側を コーティングし、同じ側で像様露光を行い、光成形層２２２をフィルム２０２か ら分離させる上記工程が、物体の形成に必要な全ての光成形層２２２が形成され るまで繰り返される。

フィルムは光成形可能な組成物を透過させないもので、しかもこの組成物に対し て実質的に不活性であるのが好ましい。このフィルムの非透過性は、放射により 光成形されるところはどこでも、光成形組成物がフィルムの組成物との接触面か ら、フィルムの他方の面に移るのを防止、または、フィルムの気孔内に侵入する のを防止する。このようなフィルムの例としては、例えばポリプロピレン（例え ば、Ｈｅｒｃｕｌｅｓ　Ｉｎｃ、、Ｗｉｌｍｉｎｇｔｏｎ　Ｄｅ　により製造さ れているようもの）、テフロンＰＦＡ（登録商標）、テフロンＴＦＥ　（登録商 標）（例えばＥ、Ｌ　Ｄｕｐｏｎｔ　Ｄｅ　Ｎｅｍｏｕｒｓ　Ｉｎｃ、。

Ｗｉｌｍｉｎｇｔｏｎ　Ｄｅにより製造されたようなもの）、あるいは、ポリエ チレン等または若干数の重合体および共重合体フィルムの何れかから構成される ものがある。幾つかのフィルム、例えば分子透過性薄膜（例えば　Ｓｐｅｃｔｒ ｕｍ　Ｍｅｄｉｃａｌ　Ｉｎｄｕｓｔｒｉｅｓ、Ｌｏｓ　Ａｎｇｅｌｅｓ。

ＣＡ　により製造されたようなもの）は、気孔断面より大きなサイズの分子がフ ィルムを透過するのが防止される間に、低分子量の分子がフィルムを通過するの を許容する既知の気孔サイズが記載された本発明の幾つかの出願に適しているこ とを立証している。このような出願のものにとっては、組成物の分子サイズが気 孔サイズより大きいことが所望され、また変形可能コーティング混合物（後述す るような）および拡散した抑制剤の分子量が気孔サイズより小さな分子サイズの ものであることが望まれる。この場合、変形可能コーティング混合物は例えば毛 細管現象によりフィルムを透過することができる。図２の実施例の場合、好適な 透過性チューブ２３８は、１００〜５００範囲の分子量断面を有する連続的な７ 部分的な分子透過性薄膜チューブである。これらの透過性チューブ２３８は、か なりの高圧に耐え、そして移送液２１１または変形可能コーティング混合物２１ ０゛を実質的に拡散させることなく、濃縮抑制剤２４２”、例えば濃縮酸素を拡 散させる。さらにフィルムは光成形可能な組成物または光成形層の分子極性とは 実質的に異なる分子極性のものが好適であり、このため組成物および光成形層が フィルムを濡らさないのに役立つ。このことは、以下の幾つかの理由により利点 になる。すなわち、フィルムの組成物に対する濡れ性の欠如は、組成物の光成形 の間、フィルムに接着する組成物部分を減少させる。そして、どのようなフィル ムでもある程度またはある分子サイズに対して透過性を有するが、表面張力効果 が組成物の気孔を通しての流入または流出の防止に役立つので、フィルムに対す る組成物の濡れ性の欠如がフィルムに対する透過性を減少させることになる。

（このような技術は、多くの製品、例えばＧｏｒｅ　Ａｓ５ｏｃｉａｔｅｓＩｎ ｃ、、Ｎｅｗａｒｋ、ＤＥ、により製造されたボアテックス（登録商標）に基づ くものである。） 好適には、フィルムは、光成形可能な組成物に対向するフィルム表面に対する透 明プレートの配置によって、光成形可能な組成物に浸された状態を保持され、特 定の形状、好ましくは平坦形状に実質的に保持される。図２に示される好適な例 においては、放射源２１４としては紫外線源が好適であり、プレート２３２は、 例えば石英、石英ガラス、ウォーターホワイトガラス、または、使用波長を実質 的に透過させかつ実質的に良好な光学特性を有する材料から通常は構成される。

放射の他の形態としては、例えばマイクロ波、誘電性励磁（ｄｉｅｌｅｃｒｉｃ ｅｘａ　ｉ　ｔａｔ　ｉ　ｏｎ）があり、もしプレート材料が実質的に放射を透 過させ、電磁場の低歪みを実質的に誘発するとき、プラスチックまたは同等の材 料が適当なプレート材料になる。または、図１の実施例の場合、フィルム１０２ がテンターフレーム１０６の使用により特定の形状に保持されてもよく、または フィルム１０２が所望の形状を有するとともに、フレーム１０６を不要にするの に必要な堅さを有してもよい。本発明の目的のため、図２において、フィルム２ ０２に接する実質的に平坦なプレート２３２は好適であるが、プレート２３２は 、光成形層２２２からフィルム２０２のスライドを許容し、クライド時にフィル ム２０２および光成形層２２２の間の真空力を損はないように湾曲していてもよ く、フィルム２０２は好適には（上述の２１８．２３６および２５８から構成さ れる）真空手段により引っ張られて、確実にプレート２３２の形状に一致し接触 する。プレート２３２は、大きなまたは小さな光成形層の製造に必要な有用なサ イズであってもよい。またプレートは例えば光学ファイバであってもよい。

本発明の目的のため、フィルムはエラストメトリックフィルムであるのが好まし く、その理由はこのようなフィルムは所望の形状により素速く一致し、例えばシ リコンのようなフィルムは、たとえ浸透分子の分子サイズが気孔または孔サイズ より大きい場合であっても、高い拡散計数を有する傾向にある。フィルムがポリ マ連鎖の移動性（ｐｏｌｙｍｅｒ　ｃｈａｉｎ　ｎｏｂｉｌｉｔｙ）を有してい る場合、浸透分子はしばしば一時的にフィルムの孔を広げる。このように、浸透 分子はポリマ連鎖を傍らに移動させ、拡大された孔または気孔を押分けて進むこ とができる。エラストメリックフィルムは、孔を広げて浸透性能を高めるさらに 一層大きな連鎖の移動性を有し、それ故に、浸透物の拡散を増長させる。さらに 、この浸透性を高めることは可塑剤を存在させることであり、可塑剤としては、 例えばフィルム連鎖の移動性を増加させて膨張を生じさせる変形可能コーティン グ混合物があり、この可塑剤の存在により、フィルム中の浸透物の透過を容易に させる。

好適なエラストメリックフィルムとしては、透明なシリコンエラストマやフルオ ロエラストマがあるが、そのようなものとしてＤｕｐｏｎｔ社が販売している透 明なカルレズ（Ｋａｌｒｅｚ）（登録商標）がある。最も望ましいものとしては 、本出願人の同時継続出願ＡＤ−５７２４に記載されているようなフルオロエラ ストマがあるが、この出願は本明細書の一部に含まれている。この種のフィルム は、この工程中に広く用いられたものであり、以下のように準備される。

（Ａ）　１０ガロンのステンレヌ・スチール・オートクレーブ（耐圧釜）から空 気を抜き、窒素で清掃（パージ）したあと、１．５リツトルのフレオン１１３　 （１，１，２−１−ジクロロ−１，２，２−トリフルオロエタン）を含有する脱 イオン、脱酸素した水を２６００リツトルを装入し、オートクレーブで５８ｇの アンモニウム・ペルフルオロオクタノエート界面活性剤（３Ｍ社ＦＣ−１４３） を溶解した。次に、重量比３０％ＴＦＥ　（テトラフルオロエチレン）と重量比 ７０％ＰＭＶＥ　（ペルフルオロ（メチル・ベニル・エーテル））の組成からな る「スタートアップ・モノマ」混合物を使用して、反応炉を約０．２ＭＰａ　（ ３０ｐｓ　ｉ）に加圧した。オートクレーブから空気を抜いて約０．０３ＭＰａ 　（５ｐｓ　ｉ）にした。この加圧と空気排出はさらに２回繰り返された。この 時点で、３８ｍ１の１，１゜２−トリクロー１．２．２−）リフルオロエタン中 に溶解された３、６ｇの１，４−ショートペルフルオロブタンを添加し、１２５ ＲＰＭで攪拌しながらオートクレーブを８０℃まで加熱した。次に、上述した「 スタートアップ・モノマ」混合物を使用してオートクレーブを約２．１ＭＰａ　 （３００ｐｓｉ）に加圧した。重合を開始するために、２％過硫酸アンモニウム 水溶液２０ｍ１が２０時間オートクレーブに装入された。そのあと、オートクレ ーブ内の圧力は約２．０ＭＰａ　（２９５ｐｓ　ｉ）まで減圧された。

オートクレーブは、重合過程で「メイクアップ・モノマ」混合物を規則正しく添 加することによって、約２．１ＭＰａ　（３００ｐｓ　ｉ）の圧力に維持された 。この「メイクアップ・モノマ」混合物の組成は次のようになっていた。すなわ ち、４６重量％ＴＦＥ、８重量％エチレン、４６重量％ＰＭＶＥであった。重合 化は合計１５時間続けられ、そのあとでメイクアツブ・七ツマ混合物が６５００ グラム添加された。また、この間に、１％過硫酸アンモニウムがさらに１２９ｍ １少量ずつ小刻みに添加された。未反応のモノマはオートクレーブから排出され 、ポリマ分散体は大きな容器に排出された０分散体のｐＨは２．７であり、固形 物を２０．７％含んでいた。

硫酸カリウムアルミニウム溶液で凝集させることによって上記分散体５００ｍ１ からフルオロエラストマを分離した。凝集されたポリマを濾過によって上澄みか ら分離し、大型混合物で高速に攪拌して３回洗浄した。最後に、水分を含む攪拌 物を真空オープンに入れて７０℃で４０時間乾燥した。５００ｍ１部分から回収 した乾燥ポリマの重量は１１４グラムであフた。フルオロエラストマの組成は４ ５重量％のＴＰＥ、　６．８重量％のエチレン、３８．２１１量％のＰＭＶＥで あった。ポリマはヨウ素を１．２２％含有し、ムー二粘度ＭＬ−１０は１２１℃ で測定したとき３２であった。

（Ｂ）　１０ガロンのオートクレーブに上記（Ａ）で準備したポリマ分散体を３ ０Ｋｇ装入した。次に、オートクレーブから空気を抜き、Ｎ２で３回洗浄した。

そのあと、９０重量％濃度のＴＦＥと１０重量％のエチレンの組成からなる新し い「スタートアップ・モノマ」混合物で３回洗浄した。改に、オートクレーブは 、この新しい「スタートアップ・モノマ」混合物を使用して８０℃に加熱され、 １．３ＭＰａ　（１９０ｐｓ　ｉ）に加圧された。

続いて１％過硫酸アンモニウム溶液を２０ｍ１添加して重合を開始した。

重量比８０％のＴＦＥと重量比２０％のエチレンの組成からなる新たな「メイク アップ・モノマ」混合物を添加して圧力を一定に保った。４．３時間の反応時間 に合計１０５０ｇの新たな「メイクアップ・モノマ」混合物が添加された。次に 、モノマがら空気を抜き、分割（ｓｅｇｍｅｎｔ）されたポリマ分散体が反応炉 から排出された。この分散体は固形物を２６゜８％含んでいた。分散されたポリ マは、上記（Ａ）で述べたフルオロエラストマと同じ方法で分散体から分離され た。ポリマは総量８．３ｋｇに回復した。

分割されたポリマを示差走査熱量測定法で試験した結果、フルオロエラストマ・ セグメントのガラス転移温度が一１４℃であり、熱可塑性セグメントの溶融点が ２３２℃であることが解った。ポリマのヨウ素含有は０゜１３％であった。メル トインデックス（２７５℃で５ｋｇの重量を用いたＡＳＴＭ　Ｄ−２１１８）は ３．０ｇ／１０分であった。

圧縮成形したポリマフィルムはＭｌｏｏ　（１００％伸長率）が３．４ＭＰａ　 （５００ｐｓ　ｉ）、引張り強度（破断）が２３．４ＭＰａ　（３４００ｐｓｉ ）、伸長率（破断）が３８０％であった。

上記方法で回復された綿毛状のポリマな、窒素雰囲気下で２５０℃で２８ｍｍツ イン・スクリュー押出し機で押出してビーズ（約３ｍｍＸｅｍｍ）を得た。次に 、同種の押出し機を窒素雰囲気下で３００℃で使用して、鋳造ドラムのスリット ・ダイスに通してフィルムを得た。このフィルムの厚さは０．０１１５インチで あった。

以下に提示する概念を理解することは、本発明の新規性および有効性の知ること になることを示唆している。しかしながら、これらの提示される概念は示唆を与 えるだけのものであり、本発明の範囲を限定するものではない。

露光時に光成形可能な組成物に接触する物質は架橋を妨げる可能性がある。

もし、その物質が例えばテフロン（登録商標）フィルムまたは窒素雰囲気からな り、この物質が光成形工程において実質的に不活性であり、かつ、露光時に組成 物に接触する唯一の物質であるとき、組成物はかなりの範囲架橋するであろう。

架橋の範囲は、例えば組成物中の抑制剤の存在、充分な放射の欠如、不適当に混 合された組み合わせ等により制限される。しかしながら、これらの条件が全て存 在していないと仮定すると、架橋の範囲は、例えばより粘性マトリックスを増大 させるラジカルの流動性の変化によってしばしば制限される。これを言換えると 、最も理想的な条件のもとでも、例えば光成形層の架橋の範囲は本来しばしば不 完全である。この架橋の不完全さ、または、活性化する箇所の存在は、もしそれ が光成形層の表面に存在するのであれば、次の光成形可能な組成物層が接合（架 橋により）される潜在的架橋箇所を提供するであろう。しかしながら、最初の光 成形層の表面における架橋の範囲が増大すればする程、または、活性化箇所の数 が減少すればする程、架橋手段によって次の光成形層を８初の層に接合させるた めの架橋箇所を減少させる。したがって、フィルム例えばテフロン（登録商標） 、マたは、作像側雰囲気例えば窒素は、架橋に対して実質的に不活性であるが、 露光時にフィルムが光成形可能な組成物に接触するその存在によって、露光中に 抑制剤が組成物に接触するのを防止するのに役立ち、架橋の範囲を増大させる程 、次の光成形層が接着する活性化架橋箇所を減少させると想定することは理にか なっている。要約すると、露光時に光成形可能な組成物に接触するガス、液体、 ゲルまたは固体の何れかからなる不活性物質は、光成形層が次の光成形層に架橋 する能力を非常に妨げるであろう。

一方、もし、抑制剤を露光中に光成形可能組成物層に接触させる実質的に不活性 なフィルム例えば上記フルオロエラストマ、または、ＦＣ−４０（４＆述する） のような透過済変形可能解放コーティング、または、作像側雰囲気が利用される と、界面における架橋の範囲が一層減少し、次の層が結合するためのより活性化 した箇所が現れる。上述した作像側雰囲気が例えばａ票のような抑制剤を含有す るものと理解されるべきである。抑制剤は、それが雰囲気からの、コーティング 固有の、または、光成形可能な組成物の式固有のものであろうとなかろうと、自 由に組成物中に拡散し、組成物の濃度を自由に変化させる。抑制剤の存在は、重 合開始剤を消去（クエンチ）させ、または、遊離基モノマな消去させることによ り、架橋の範囲を典型的に減少させる。多くの場合、消去された重合開始剤また は消去された遊離基モノマは光反応に参加するのに、少なくとも部分的には、も はや役立たなくなる。したがって、抑制剤濃度が例えば光成形可能組成物層中の 透過済変形可能解放コーティングの最も高くなるところの界面に直に接する消去 されたモノマは、架橋されることがないのと同様に、新たに光成形された層に次 に接合するための活性化箇所であると考えられるものでもない。この抑制された 界面は次の架橋能力を実質的に減少させる。〔またこの界面は、鋭敏に変形可能 で、フィルムからの分離を助け、次のコーティングを助ける。）しかしながら、 もし、抑制剤濃度が（全体として光成形可能な組成物の抑制剤濃度の低下のため に、また遊離基／重合開始剤の消去中の光成形組成物層の界面における酸素消賛 および光成形組成物層の残り部分から界面に向けての酸素の連続的拡散効果のた めに）低くなる組成物中の界面から少しでも離れた領域を考えると、架橋の範囲 は重合開始剤および遊離基モノマな消去させる抑制剤の減少によって減少する。

しかし、今後活性化する箇所の範囲も大きくなる。何故ならば、光成形組成物層 の界面は、放射をある程度吸収し、そして、光成形可能な組成物層の残りの露光 中に遊離基重合開始剤と遊離基モノマの生成を一層減少させるからである。光成 形組成物層の界面からさらに離れた領域を考えると、消去された遊離基の減少に 従う架橋範囲の増大、また形成された遊離基の減少が今後の活性化箇所の増大を 招くといった、同じ傾向が続く。

また上述と同様に光成形組成物層における界面からさらに離れた領域を考えると 、消去されたモノマの量、すなわちＣ多くの場合、光成形可能な組成物であると はもはや考えられないけれども）変形可能な組成物の量がますます小さくなり、 変形可能な組成物を光成形層に比較的緩やかに変化させることになる。この緩や かな変化は非常に有用である。何故ならば、光成形可能な組成物層の界面での化 学的結合および機械的結合を妨げ、光成形層からのフィルムの除去の間に発生す る真空力の減少を支援するからである。そしてまた、この緩やかな変化はさらに 下記の理由により有用である。何故ならばここには潜在的な架橋箇所と、次に広 げられ露光された光成形層が結合するであろう光成形層に接続された機械的結合 箇所との実質的に大きな表面領域があり、これによって、形成物体における層間 接着を増大するからである。

本発明の重要な特徴部分は、光成形可能なまたは光成形された組成物に対して実 質的に不活性な、かつ、組成物に混和しないフィルムおよびコーティングが、そ れにも拘らずこのフィルムおよびコーティングを通して組成物中に透過する抑制 剤を供給し、この結果、フィルムからの光成形層の解放、並びに、界面に直に接 するフィルム／コーティング／組成物から実質的に離れた領域における新たな光 成形層の次の結合の両方を支援することができる。

光成形可能な組成物に接する組成物側雰囲気の重要さは、例えば酸素の拡散を利 用する半透過性フィルムを用いることにより、一層明白になる。例えば、組成物 側雰囲気が純粋な窒素であれば、容器に普通に収納された光成形可能な組成物は 、平衡状態を仮定すると、通常より少ない酸素を含有していると想定するのは理 にかなっている。また酸素を拡散させる半透過性フィルムが光成形可能組成物に 接近するにつれ、光成形可能組成物層は溶解した酸素の急激な増加を伴うという ことも理にかなっている。そして、フィルムが接近するにつれ、光成形層は架橋 範囲の急激な減少をも示すことが期待されるであろう。組成物側雰囲気の組成の 制御、コーティング中の抑制剤の制御および／または作像側雰囲気の制御は、全 て光成形可能な組成物層中の抑制剤の濃度に影響を及し、一方の光成形層を他方 の光成形層に結合させる範囲、並びに、露光光を通過させ一方で光成形層に接す る他の物質から光成形層を分離させる能力に影響を及ぼす重要な要素である。

組成物側雰囲気を例えば窒素から構成するのは好適であるが、殆どの場合、窒素 を制御するのは困難である。装置全体を囲い組成物側雰囲気を所望の範囲に制御 することが可能である。このような装置は、例えば空気と例えば余分な窒素およ び酸素とを、通常の送風機および調圧ガスタンクを用いて囲いの中に吹込むこと ができる。このことは有用である。何故ならば、通常の方法（すなわち、フィル ムまたは移動プレートを用いないで光成形可能な層を露光する方法）を用いた露 光時に、多くの光成形可能な組成物については、組成物側雰囲気中の余分な窒素 は組成物の感光速度を増大させ、またはその雰囲気中の余分な酸素は内側の層の 接着を改善させるからである。また、光成形層から（上記）変形可能な組成物へ の急激な変化を得て、その結果、高い感光速度のまま光成形層の良好な接着をも たらすため、組成物側雰囲気を露光中に変化させることができる（例えば、露光 前に組成物側雰囲気を約９５％の窒素、５％の酸素から構成し、そして露光時に 作像側雰囲気の組成を約７５％の窒素、２５％の酸素に変化させることができる ）。しかしながら、組成物側雰囲気が空気でしかも透過済変形可能解放コーティ ング中の透過抑制剤の濃度が通常の空気中に含まれる濃度より高い方がより好適 である。

本出願人は、フィルムに接触した状態でまたはフィルムを通して露光される光成 形可能な組成物において本来抑制効果があるどうかを知るため、マイラ（Ｍｙｌ ａｒ）（登録商標）、ポリエステル、フルオロエラストマ（上記）、ポリエチレ ン、テフロンＰＦＡ、（登録商標）およびカルレズ（Ｋａｌｒｅｚ）（登録商標 ）からなる幾つかのフィルムに関する研究をした。その試験は、一方の側でフォ トポリマに接し、作像側雰囲気としての空気または窒素に他方の側で接するフィ ルムに関してなされた。、ｇ光は水銀アークランプによりフィルム／雰囲気側か らフォトポリマになされた。空気がフィルムの一方側のガスとなる殆どの場合、 フォトポリマの硬化層は、フィルムおよびフォトポリマ層の間の界面においては 実質的により柔らかくなった。窒素がフィルムの一方の側のガスになる場合は、 フィルムと露光されたフォトポリマの間の界面においては硬くなった。このこと は、フィルム材料自身が、フィルムに接して露光されるフォトポリマの架橋性能 を抑制するものではないことを示唆しているが、空気おそらくは酸素が存在して いることを示唆しており、この酸素がフィルムを透過して、露光中のフィルム界 面におけるフォトポリマの架橋能力を抑制する。

本出願人がさらに研究をした結果、フィルムの分子構造またはフィルム本来の抑 制効果というよりもむしろ、フォトポリマの架橋能力を抑制する露光時のフィル ムを通した空気の透過であるとの結論が支持されるようである。サンプルとして は、ｒｓｏｌｉｄ　Ｉｍａｇｅｉｎｇ　Ｍｅｔｈｏｄ　Ｕｓｉｎｇ　Ｃｏｍｐｏ ｓｉｔｉｏｎｓ　Ｃｏｎｔａｉｎｉｎｇ　Ｃｏｒｅ−ｓｈｅｌｌ　Ｐｏｌｙｍｅ ｒｓｊ　Ｄｕｐｏｎｔ特許出願第０７３４１．３４７号（１９８９年４月２１日 出願）の第２実施例に記載された組成のフォトポリマが準備され、このフォトポ リマは以下ＴＥ−１５４１と呼ぶことにする。このサンプルは、カナダ、オンタ リオ州、ミシサウガ（Ｍｉｓｓｉｓｓａｕｇａ）のＥｆｏｓ社製のウルトラキュ ア（Ｕｌ　ｔｒａｃｕｒｅ）１００水銀アークランプにより露光された。このラ ンプの出力光は約３８５ｎｍに中心波長を有する紫外線の透過を許容するコーニ ング（Ｃｏｒｎｉｎｇ）７−５１フイルタによりフィルタがかけられた。露光は 、直径約２．５インチの領域に約１０秒間なされた。各サンプルは後述する物質 の一方の面にさらされ、そのフォトポリマと作像側雰囲気にさらされた物質の他 方の面とが後述の物質により濡らされた。試験される物質は１．０ミル（０，０ ０１０インチ）厚さのポリエチレンフィルム、１．５ミル厚さのテフロンＰＰＡ （登録商標）、１１．５ミル厚さのカルレズ（登録商標）フィルム、石英コーテ ィングされたテフロンＡＰ（登録商標）、フルオリネート（商標）ＦＣ−４０（ 過フルオロカーボン〕液、または、水であった。各サンプルは上記物質の一方の 側で空気作像側雰囲気または窒素作像側雰囲気にさらされた。露光後、フィルム に接する層表面を見失わないように、フォトポリマの層が上記物質から分離され 、反射率走査モードにおいてＢＩＯ−ＲＡＤ＋　Ｄｉｇｉｌａｂ　Ｄｉｖｉｓｉ ｏｎ、ＦＴＳ−６０Ｆｏｕｒｉｅｒ　Ｔｒａｎｓｆｏｒｍ　Ｉｎｆｒａｒｅｄ　 ５ｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐＹを用いたＩＲ反射率解析を実行するのに最適なサイズ の細片にカットされた。光成形層サンプルは、フィルム界面側が分光の反射率を 測定するために使用されるＡＴＲ−ＩＲ（Ａｔｔｅｎｕａｔｅｄ　Ｔｏｔａｌ　 Ｒｅｆｌｅｃｔａｎｃｅ）アクセサリでＫＲ３−５（Ｔｈａ　ｌ　１　ｉ　ｕｍ Ｂｒｏｍｏ−Ｉｏｄｉｄｅ）結晶に接触する状態で配置された。反射率モードに おいて、この計測装置はサンプル表面の複数スペクトルを出力することが可能で あり、この出力からサンプル表面の転化（重合または架橋）範囲を決めることが できる。ベースラインより上の特定の波長数ピーク高さ、すなわち転化の範囲に 対応して変化することが知られているピーク高さと、ベースラインより上の他の 波長数ピーク高さ、すなわち転化の範囲によっては実質的に変化しないことが知 られているピーク高さとの比を比較することにより決めることができる。ＴＥ− １５４１フオトポリマの場合１例えば８１１波長数のピーク高さくベースライン 値より上の〕は重合の増大に伴って減少し、例えば１７３６波長数のピーク高さ 〔ベースライン値より上の〕はポリマの転化または重合量によっては実質的には 変化しない。したがって、８１１波長数のピーク高さの１７３６波長数のピーク 高さに対する比の算出において、この比の値の減少は転化の範囲の増大を示唆し ている。比較の項目として、非露光モノマ（ＴＥ−１５４Ｉ）も上記評価方法を 用いて試験された。

下表は、試験で得られた最大転化から最小転化までのランキングを示す。

露光接触表面　波長数でのピーク比 ポリエチレンフィルム−窒素　、１４３テフロンＰＦＡ（登録商標）フィルム− 窒素　、１８５フロオロエラストマフイルムー窒ｇ　、１９７石英上のテフロン ＡＰ（登録商標）−窒素　、２１１テフロンＰＦＡ（登録商標）フィルム−空気 　、２５２マイラ（登録商ｌ１ｌｌ）フィルム−窒素　、２５９水−窒素　、２ ５９ カルレズ（登録商標）フィルム−窒素　、３３７フルオリネート（商標）−空気 　、３５９石英上のテフロンＡＰ（登録商標）−空気　、３６２ポリエチレンフ ィルム−空気、　３７　Ｂフルオリネート（商標）−窒素　、３７９カルレズ（ 登録商標）フィルム−空気　４２０マイラ（登録商ｆｆ１）フィルム−空気　４ ７３フルオロエラストマフィルム−空気　、４７７非露光モノマ（ＴＥ−１５４ １）　、５１８上記ランキングから分かるように、作像側雰囲気としての窒素を 有するフィルムを通して露光された層の表面は、同材料のフィルムで作像側雰囲 気が空気である場合より転化の範囲が大きいことが示されている。作像側雰囲気 としての空気または窒素を伴う、水−空気、水−窒素の場合、相対的に僅かな酸 素が自然状態で水に溶けていため、僅かな相違を示している。また実際に、その 水の場合の評価は、試験で発生する誤差の合計を示している。フルオリネート（ 商標）液の場合も、作像側雰囲気が空気か窒素かにより非常に僅かな相違を示し ている。これは、フルオリネート（商標）が酸素に非常に相性が良いという事実 に基づくものと考えられ、この酸素は窒素からなる作像側雰囲気中に１時間程フ ルオリネート液体を置いたときよりも効果的な方法を用いて除去されなければな らない。しかしながら誤差とは関係なく、全般的なランキングにおいては、フィ ルムの一方側の作像側雰囲気がフィルムを透過し、露光中にフォトポリマの転化 の範囲に影響を及ぼすという好ましい示唆を与えていると評価して良いだろう。

またフルオロエラストマフィルムに注意を向けることも重要である。フルオロエ ラストマフィルムは本発明の目的に最適なフィルムであり、作像側雰囲気として 空気を用いると、露光された光成形層のフィルム側の表面において転化の範囲を 最小にし、窒素雰囲気でなされた露光時には空気の場合に対して転化の範囲の差 が最大になっている。これは、フルオロエラストマフィルムが試験されたフィル ムの中で最大の酸素透過性を有し、フィルムに接触して露光されるフォトポリマ の架橋を本来的に抑制しまたはこの架橋に影響を及ぼすことは実質的にないこと を示唆している。換言すると、フィルム材料は組成物の組成に対し実質的に不活 性であるが、しかしなが例えば酸素を透過させる能力、または、フィルムを通し て酸素を拡散させる迅速さは、フィルムと露光された光成形層との間の界面にお ける変形可能な組成物の表面の架橋を実質的に抑制し、次いで、この露光された 光成形層は例えばスライド手段、または、はぎ取り手段によるフィルムの除去を 容易にするものである。本質的に、透過酸素によりフルオロエラストマフィルム 表面上で抑制された組成物は、変形可能解放コーティングとなる。

図２の実施例において、好ましくは液体であるが、ゲルであってもよい透明な変 形可能なコーティング混合物２１０′を、プレート２３２とフィルム２０２との 良好な光学的結合を確実にするため、プレート２３２とフィルム２０２の間に導 入するのが好適である。さらに好ましくは、変形可能コーティング混合物２１０ ′は、フィルム２０２を透過し、および／または、フィルム２０２の可塑剤であ ってもよい。またより好ましくは、変形可能コーティング混合物が、フィルム２ ０２と実質的に同じ分子極性であり、一方で光成形可能組成物２０４、光成形可 能組成物層２１２および光成形層２２２とは異なる分子極性であるとよい。この ような変形可能コーティング混合物２１０′が、透過済変形可能解放コーティン グ２１０と同じ物質であるとさらに好適である。さらにまた、変形可能コーティ ング混合物２１０″は拡散によってフィルム第１表面２０２′からフィルム第２ 表面２０２“に移動する傾向にあるようなものが好適であり、この結果、透過済 変形可能解放コーティング２１０の濃度が低下した場合、拡散効果が透過済変形 可能解放コーティング２１０をフィルム第２表面２０２”上に補充し、また拡散 効果は、コーティングの濃度がフィルム第１表面２０２′上とフィルム第２表面 ２０２”上で同じになるやいなや、変形可能なコーティング混合物２１０′をも はや移動させなくする。好適な実施例においては、拡散が、変形可能コーティン グ混合物２１０゛をフィルム２０２を透過させるための駆動力、または、圧力を 提供する。他の好適な方法としては、浸透力をこの駆動力とする方法がある。

さらに好適には、フィルムを、例えば空気または酸素（または、ガスとしての、 または、好ましくはコーティングと共に溶液に溶けたかのどちらかの他の抑制剤 ）を透過可能なものにするとよく、これにより、光成形可能組成物層２１２の光 成形の抑制が、透過済変形可能解放コーティング２１０および光成形可能組成物 層２１２の間の界面およびこの界面を少し越えたところに発生し、そして露光直 後に、この界面における光成形層を変形可能に保って変形可能組成物解放コーテ ィングを形成し、さらに化学的、機械的、水素結合等の結合を減少させ、その結 果、露光後にこの界面からのフィルムのスライドを容易にする。空気または酸素 または他の透過済抑制剤２４２を透過済変形可能解放コーティング２１０中に実 質的に溶解させ、拡散手段による空気または酸素または他の溶解済抑制剤２４２ ′のフィルムを介しての移動を、変形可能コーティング混合物２１０゛により助 長させるのもまた好適である。ガスが液体中、特にフィルムに浸透しフィルムな 膨張させる液体中で凝縮可能および溶解可能であればあるほど、ガスが迅速に透 過することが、拡散技術の精通者により報告されている。変形可能コーティング 混合物の拡散を増加、好適な場合には、変形可能コーティング混合物中に溶解可 能な酸素の拡散を増加させる上記フィルムの膨張は、例えば非膨張性の多孔性石 英ガラスプレートを通して発生するような毛細管現象とは異なる機械的移送機構 となる。

上記全ての好適な特性を有する現実に好適な変形可能なコーティング混合物は。

好適なフルオロエラストマフィルムと組合せて用いられる場合、フルオリネート （商標）ＰＣ−４０（３Ｍ社、ミネソタ州、ポールヌトリート）である。フルオ リネート（商標）液は、液体フッ化水素中で酸化物を電気分解することにより製 造される。このフッ素処理は完全処理である。ＦＣ−４０の分子量は６５０であ る。フルオリネート（商標）は、今まで試験された全ての光成形可能な組成物に 混ざることはないが、コーティングの光学的な透過性に影響を及ぼすことなくフ ルオリネート（商標）１００ミリリツトルにつき３７ミリリツトルを含有するこ とができる。この液体は殆ど非極性であるため、典型的に極性の大きな光成形可 能な組成物に接触すると、この液体の表面張力は大きくなる。この液体は素速く フィルムを透過する。好適には、フレームに組付ける前に、最初にフィルムにフ ルオリネート（商標）を−晩充分に染み込ませる。フルオリネート（商標）は低 粘度であり、フルオリネートを染み込ませたフィルム表面はよく滑る状態にある 。

図２における移送溶７ａ２１１の場合、ＦＣ−４０が好適ではあるが、例えばＦ Ｃ−７２のようなフルオリネート（商標）はもっと好適である。何故ならば、こ れらの液体はより高濃度の酸素を含有することができ、このため透過性チューブ ２３８を通しての酸素の拡散を強めるからである。

好適なフィルムおよびＦＣ−４０をＴＥ−１５４１と組み合わせた試験結果は以 下のようになる。すなわち、約２０ミリリツトルのＦＣ−４０をビー力に入れる 。フルオロエラストマフィルムをビーカ上で伸し、ドラムが形成されるようにビ ー力の縁に固定する。ビー力を逆さまにし、ＦＣ−４０をビー力中でフィルムに より完全に保持させる。この逆さまにした状態のままビー力を、フィルムの外表 面が他のビー力に入れられたＴＥ−１５４１に浸るように配置する。これらのビ ー力を上記状態のまま数箇月間放置する。ＦＣ−４０は、２５℃で１．８７とい う非常に大きな比重、光成形可能な組成物に接触するとき大きな表面張力、並び に、組成物に混ざり合わない性質を有しているけれども、フィルムを透過したＦ Ｃ−４０はＴＥ−１５４１の入ったビー力の底にけっして堆積することはなく、 粒または滴を形成する兆候も全く見せなかった。

本出願人は、得られた結果を説明することができるメカニズムを以下のよう）こ 考えているが、この提案は単に、示唆するだけのものであり、またそのように解 釈されなければならない。またこの提案を発明の範囲を限定するように解釈され るべきではけっしてない。本出願人は以下を提案する。

ＦＣ−４０は非常に容易にフィルムを濡らし膨張させる。最初、フィルムの一方 の側のＦＣ−４０は高濃度である。フィルムはＦＣ−４０を透過させることが可 能でこの結果膨張するので、拡散効果は液体を、組成物に接触するフィルムの他 方側に引出し移送する。ＦＣ−４０と組成物の間の表面張力は大きいので、ＦＣ −４０は、表面領域を最小するにする傾向があり、フィルムの組成物側上に液体 の薄いコーティングを形成する。次いで、このことがフィルムの組成物側のＦＣ −４０の濃度を高くし、この結果、フィルムの両側の濃度差を実質的に平衡させ 、拡散および移送効果を実質的に減少させる。この方法で、ＦＣ−４０の薄いコ ーティングだけが組成物側に形成されることを期待することができる。もし、こ のコーティングが、幾らかでも光成形層の表面からフィルムをスライドさせる工 程の間に分離されると、透過したコーティングが拡散によって自動的に再生させ るであろう。

上述の自己補給解放コーティング方法は、ＦＣ−４０およびフィルムが底にある 状態でも試験された。どの場合でも、ＰＣ−４０はフィルムを透過し、フィルム の組成物側にコーディングを形成し、露光は光成形層が形成されるようこのコー ティングを通してなされ、次いでこの光成形層はフィルムの表面をスライドする 。本出願において、組み立て体の配向の意義は重要なポイントである。本出願に 記載された例においては、重いＦＣ−４０液体が軽い光成形可能な組成物の上に 位置する。本実施例では、フィルムの表面から光成形層を分離させるという所望 の結果に、液体の比重が影響を及ぼすことはない。換言すれば、本発明のフィル ムの配向方法はＮまたは３次元物体を形成するのに都合の良い何れかの方法をと ることができる。

おそらく、特性が同様にバランスするものであれば、フィルム、組成物およびコ ーテイング物質は何れの組合せを用いてもよい。フィルムの多くの可旦剤はこれ らの方法によりフィルムに浸透しフィルムを通して移送される。また、光形成可 能な組成物、フィルムおよび光成形可能なコーティング混合物の組合せの多くは 、光成形層および３次元物体の形成に充分な役割を果すであろう。

意外にも、コーティングの存在なしにフィルムを透過する抑制剤、例えば空気ま たは酸素が用いられてもよい。例えば、本出願人により複数の実験がなされ、こ れらは、フィルムを通して水銀アークランプにより露光された光成形層からフィ ルムをスライドさせることができることを示している。本出願人の試験において 、フルオロエラストマフィルムは、露光されたデソライト５ＬＲ８００（商標） （ＤｅＳｏｔｏ　Ｃｈｅｍｉｃａｌ　Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ、Ｄｅｓ　ＰＩａ ｉｎｓ、　ＩＬ）フォトポリマ層を自由にスライドして離れた。カルレズ（登録 部ｔｌりフィルムはほんの少し粘着性を示したが、またその表面からスライドさ せることができた。ポリエチレンフィルムはもう少し粘着性を示し、その表面か らスライドしなかったが、容易に剥がれた。これらの事例の場合、フィルム界面 におけるフォトポリマ表面は僅かにべとべとしていた。サンドブラストつや消し された１／８インチ厚さのつや消し石英プレート上に渦巻き型＃２６コーテイン グ棒（ｓｐｉｒａｌ　ｗｏｕｎｄ　＃２ｅｉ　ｃｏａｔｉｎｇ　ｒｏｄ）により コートされ、ＩＥＩＯ−１７０℃で約１２分間オーブンで加熱して溶剤を蒸発さ せたテフロンＡＰ（登録部［）（Ｄｕｐｏｎｔ、Ｗｉｌｍｉｎｇｔｏｎ、ＤＥ） ＰＰＸ／ＦＣ４０を用いて追加サンプルが試験された。ＤｅＳｏｔｏの５ＬＲ− ８００（商標）液が、テフロンＡＦ（登録商標）コーティング側に接触時に露光 されると、ガラスから層を早急にスライドさせるのは不可能であり（テフロンＡ Ｆ（登録商標）は非常に低い表面エネルギを有し、実質的に不活性であるが、サ ンドブラストされたガラス表面にフィルムがはまり込み、良好なメカニカル接着 を提供する。また、テフロンＡＰ（登録商標）を石英プレートに接着することに より、酸素がテフロンＡＦ（登録商標〕とフォトポリマの間の界面を透過するの が防止される）、そして光成形層の表面がべとべとにはなることは全くなかった 。

本出願人は、相対的なフィルム接着および光成形層の表面粘着が、フィルムを透 過しフォトポリマを抑制する空気中の酸素の性質に実質的に依存していることを 示唆する。

図１において、フィルム１０２を、作像側雰囲気１５６、例えばフィルム１゜２ を透過し、光成形可能な組成物１０４中に拡散し、露光のもと変形可能組成物解 放コーティングを形成する空気や酸素等の作像側雰囲気１５８と共に使用するこ とが可能である。（これらの溶解ガスが光成形の抑制になる程度まで、抑制され た組成物は露光後に変形性を残し、この結果変形可能な組成物解放コーティング として作用している。）同様に、所定形状に保持されたフィルム１０２を、変形 可能なコーティング混合物１１０′　と共に、そしてフィルム１０２を透過し透 過済変形可能解放コーティング１１０（および／または変形可能組成物解放コー ティング）を形成するフィルム１０２′の第１表面側の抑制剤１４２′と共に又 は無しに、使用することは可能である。図２において、フィルム２０２がプレー ト２３２により所定形状に保持される場合、変形可能なコーティング混合物２１ ０゛は溶解した抑制剤２４２′　と共に好適である。何故ならば、このコーティ ング混合物が、フィルム２０２とプレート２３２の間に改良された光学的結合を 実質的に生み出し、この結果、より正確な光成形層２２２を形成させるからであ る。

プレートに部分的に接触し、部分的に接着するだけのフィルムを用いることは可 能である。例えば、プレートの一方の面はサンドブラストされていてもよく、ま たは、他の方法で凹凸表面になっていてもよく、そして、フィルムは例えば接着 剤によりまたは例えばプレートの主要な点の部分的な溶融により、プレートに部 分的に接着することが可能である。フルオロエラストマフィルムは感熱樹脂であ るため本出願には特に好適である。本方法では、組成物に対面するフィルム表面 は、機械的結合を充分に防止して光成形層表面からのスライドを充分に許容する よう滑らかにすることができる。互いに接触しないフィルムとプレートの間の領 域は複数の経路を形成し、変形可能なコーティング混合物および／または抑制剤 がその経路を通してフィルムを湿らせ透過する。光成形層の露光中にプレートと 組成物の界面を通りこれを抑制するために、例えば酸素の透過を許容するが光成 形可能な組成物の透過を許容しない多孔性の石英ガラスプレートを用いることが できる。

このような多孔性プレートの光学性能を、プレートの気孔を満たすことができる 変形可能なコーティング混合物を利用することによって改良するのは好適であり 、このような変形可能なコーティング混合物は、使用状態時においては放射に対 して石英ガラスと実質的に同じ屈折率を有している。Ｌａ５ｅｒ　Ｌｉｑｕｉｄ ｓ（商［）（Ｒ，Ｐ、Ｃａｒｇｉｌｌｅ　Ｌａｂｏｒａｔｏｒｉｅｓ、Ｃｅｄａ ｒ　Ｇｒｏｖｅ、ＮＪ）のようなシリコンオイル混合物は本出願には有用である ことを立証するものであろう。このような多孔性プレートは良好な光学性能を有 するシリカフリットまたはガラス微小球からなり、これらは−緒に焼結されてプ レート形状をなす。本方法にとっては、部分的に接着された例えばシリコンフィ ルムのようなフィルムと一緒に多孔性石英ガラスプレートを用いるのは好適であ る。溶解した抑制剤と共に変形可能なコーティング混合物を用いるのはより好適 であり、この抑制剤は、多孔性石英ガラスプレートと実質的に同じ屈折率を提供 し、プレートの気孔を満たし、これにより使用される波長に対するプレートの光 学的な透明性を改良し、またこの抑制剤は、フィルムを透過し、これによりフィ ルムの光成形可能な組成物側に透過済変形可能解放コーティングを形成し、また 露光下で光成形層上に光成形可能組成物解放コーティングを形成し、これにより 光成形層表面からフィルム／プレートをスライドさせる。

図３は、上述のように気孔が変形可能コーティング混合物３１０′により満たさ れた多孔性プレートを利用した実施例を示している。特に、フィルム３０２はフ ィルム第１表面およびフィルム第２表面を有する多孔性プレート３３３に接着し ており、フィルム第２表面３０２”は、光成形可能な組成物３０４に少なくとも 部分的に対向するように位置しており、またフィルム第ト表面３０２゛は多孔性 プレート３３３に少なくとも部分的に対向し、部分的に接着している。多孔性プ レート３３３は部分的に接着したフィルム３０２と共に、以下プレート組み立て 体と呼ぶ。さらに、フィルム３０２は、多孔性プレート３３３の縁の回りをラッ プし、変形可能コーティング混合物３１０′を含有するのを助けている。変形可 能コーティング混合物３１０′は、フィルム３０２を濡らして透過し、透過済変 形可能解放コーティング３１０を形成する。変形可能なコーティング混合物３１ ０′および多孔性プレート３１０の上方は、作像側雰囲気３５６であり、この作 像側雰囲気３５Ｇは抑制剤を含有し、また容器３０６内で組成物／雰囲気界面２ ５２で光成形可能な組成物に接触する組成物側雰囲気３５２と同じであっても、 異なってもよい。作像側雰囲気３５６は変形可能なコーティング混合物３１０゛ 中に拡散し、溶解抑制剤３４２′を形成する。次いでこの抑制剤３４２°はフィ ルム３０２を透過し、透過済抑制剤３４２な形成するａまた容器３０６中にはプ ラットフォーム３２０があり、プラットフォーム３２０は、光成形層３２２の形 成中に、フィルム第２表面３０２”に対し実質的に垂直な方向にプラットフォー ム移動手段３２４により移動する。プレート組み立て体移動手段３１９（理解を 容易にするため図中矢印で示す）はプレート組み立て体および変形可能コーティ ング混合物３１０′をフィルム第２表面３０２″に実質的に平行な方向に移動す る。放射＃３１４は、フォトマスク３１ｅ、透明な変形可能コーティング混合物 ３１０’、フィルム３０２、多孔性プレート３３１０および透過済変形可能解放 コーティング３１０を通して光成形可能組成物層３１２を他の図において説明し たのと殆ど同じ方法で露光する。本実施例では、変形可能なコーティングが低粘 度液体であるとき、プレート組み立て体は実質的に水平であることが望ましい。

操作においては、最初にプレート組み立て体を、プラットフォーム３２０と透過 流変形可能解放コーティング３１０の間の光成形可能組成物層３１２上に位置さ せる。次いで放射源３１４が点灯され、フォトマスク３１６、変形可能コーティ ング混合物、プレート組み立て体、透過流変形可能解放コーティングを通して、 光成形可能な組成物層３１２に入射するための放射像様を形成し、この結果、透 過済抑制剤３４２の存在により光成形層３２２および変形可能組成物解放コーテ ィングを形成する。露光後、プレート組み立て体はプレート組み立て体移動手段 ３１９により移動され、移動手段３１９は層３２２の表面からフィルム３０２を 分離し、この分離領域に新たな変形可能な組成物３０４を流入させる。分離の完 了後、プラットフォーム３２０および光成形層３２２はプレート組み立て体から 少なくも光成形可能な組成物層３１２一つ分の距離移動する。次に、プレート組 み立て体は、プラットフォーム３２０と先に形成された光成形層３２２の上方に 配置され、透過流変形可能解放コーティング３１０および先に形成された光成形 層３２２の間に新たな光成形可能組成物層３１２を成形する。像様露光、分離、 プラットフォーム移動および再コーテイング工程を、完全な３次元物体が形成さ れるまで続ける。

３次元物体の製造にとっては、放射による露光が像様に実行されるのが好適であ り、そしてその像は３次元物体の一層を表している。また最初の露光ステップに よって上述したように光成形層とプラットフォームとの部分間の接着を充分にす るのが好適であり、この結果、層の実質的な支持が確実になり、像様放射による 実質的な次の静的記録が確実になり、光成形可能組成物層が存在する先に形成さ れた光成形層とフィルム間の制御相対位置を保証する。さらに、次の露光ステッ プを、露光される光成形可能な組成物の部分と、先に露光された光成形層の表面 の部分との間の接着が確実になるよう充分にするのが好適である。現在のところ 好適な露光方法は、適切なフォトマスクを通してまたは適切なフォトマスクから 反射した紫外線露光を利用しているが、他の放射露光方法、例えば収束走査レー ザビーム、Ｘ線、マイクロ波または高周波励起等のようなものを用いた直接書込 みのような方法を用いるとよく、このような放射が光成形可能な組成物の光成形 を引起こすと想像される。本発明の実践に役立つフォトマスクはハロゲン化銀フ ィルム（透過性またはミラーが後面にある反射性のどちらカリ、液晶セル（反射 型または透過型）、透明ウェッブ上に粉体を静電的付着させたもの、ルチコンズ （ｒｕｔｉｃｏｎｓ）等であってもよい。

露光源としての相対的に高出力のレーザから発せられる収束ビームの使用は、光 成形層をフィルムにより一層接着させる結果を生じることを本出願人は発見し、 この光成形層は作像側雰囲気が空気である場合にフィルムを通して露光されると ころのものである。これは重合の串が抑制の率な上回ることによるものと出願人 は信じている。より薄いフィルム、より効果のある抑制剤、または、例えばより 高ａＰＬの酸素、および／または、例えば酸素飽和した透過流変形可能解放コー ティングを用いることは好適であろう。何故ならば、それらは光成形層に対する フィルムの接着を実質的に減少させるからである。

フィルム、より好ましくはフィルム、プレートおよびコーティングの組み立て体 の光成形層の表面からのスライドは、フィルムと光成形層の分離中に発生する真 空力の発生を減少させるのに好適である。もっと好適には、フィルムまたは組み 立て体の形状が実質的に急激に変化する領域にフィルムまたは組み立て体をスラ イドさせ、この結果、フィルムの表面は、もはや光成形層表面に平行ではなくな り光成形層表面から離隔し、光成形層およびフィルムが分離する領域に光成形可 能な組成物が流入するのを実質的に制限しないようにする。組み立て体にとって は、フィルム形状のこのような実質的な変化はプレートの縁で発生するのが好適 である。また区２に示されるように、このようなフィルム２０２の形状変化はプ レート２３２に押込まれた、または、プレート２３２に元々形成されている凹部 ２２８のように現れるのが最も好適であり、この凹部２２８は、フィルム２０２ と光成形層２２２との分離領域に組成物２０４が流入するのを実質的に制限しな いように充分に深い。

時折、好ましい発明の実施中に変形可能コーティング混合物をフィルムに再度染 み込ませる補給ステップを実行する必要がある。典型的にはこのステップ中、フ ィルムおよびガラスの間から変形可能コーティング混合物を引出す真空力が除去 され、過度の変形可能コーティング混合物がこの領域に汲み入れられ、または、 この領域に流入するのが許容される。より好ましくは、別のフラスコ中の変形可 能なコーティング混合物を通しての空気または純粋酸素の最初の気泡が好適であ り、これにより溶解した抑制剤で変形可能コーティング混合物を再飽和させ、次 いでこのＣ飽和抑制剤）変形可能コーティング混合物をフィルムに再飽和させる のも好適である。本出願人は、この再飽和ステップが１０回の露光毎に必要にな ることを示唆する。しかしながら、この再飽和ステップは、例えば作像される層 面績な決める露光量、および、例えば使用される光成形可能な組成物のタイプに 実質的に依存している。図２に示される好適な方法において、光成形可能組成物 層２１２の露光および再コーテイングは、層が凹部を越える度に生じ、凹部領域 ２２８の各サイドのフィルム２０２およびプレート２３２は分離室２５０°、２ ５０″を画成し、この結果、一方のサイドが露光ステップに提供されるとき他方 のサイドは再飽和されている。

組み立て前のフィルムの前飽和は、システムを直に使用可能にし、またフィルム 膨張によるフィルムの張力ロスを回避するが、このステップは必ずしも必要では ない。変形可能コーティング混合物をフィルムに透過させるため、変形可能コー ティング混合物はフィルムとプレートの間に使用前に２〜３時間導入されるのが 好適である。本出願人は、フィルムの適当な側におｔする光成形可能な組成物の 存在が、拡散工程および透過流変形可能解放コーティングの生成の速度を実質的 に増大させることを見出した。変形可能コーティング混合物を拡散工程を助長す る圧力下に置くことば可能であるが、その必要はない。典型的には、変形可能コ ーティング混合物は、ちょうど圧力ヘッドを用いてガラスとフィルムの間の領域 に導入されるが、多種のポンプ、または、例えば圧力室機器、または、例えばブ ラダポンプを使用してもよい。真空を用いた透過の後、フィルムとガラスの間か ら変形可能コーティング混合物を引出すのが好適であり、何故ならば、これによ り作像ステップ中にフィルムがガラスにぴったり合わせられるからである。その 真空は、室から空気または酸素を引くことにより生成され、この室は、変形可能 コーティング混合物を収納し、フィルム／ガラス／変形可能コーティング混合物 の組み立て体に連結されている。しカルながら、技術的によく知られたどの真空 方法を用いてもよい。好適な方法においては変形可能コーティング混合物が比重 の大きなＦＣ−４０であるので、低圧力ヘッドの効果を変形可能コーティング混 合物を引出すのに用いてもよい。変形可能コーティング混合物はフィルムとガラ スの間から引出されても、両者の間には実質的に多量の変形可能コーティング混 合物がまだ残留してる。これは、真空引きに匹敵する粘度および流動抵抗効果に よるものである。

露光ステップの後、フィルム第２表面に平行でしかも先の成形層に対しての組み 立て体のスライドは、プレートから一部分の厚さまたはそれ以上離隔するプラッ トフォームと光成形層の移動に優先して実行することができる。しかしながら、 組み立て体の移動に優先して、プラットフォームおよび先に成形された層を最初 に移動させるのが好適である。プラットフォームをプレートから一部分の厚さ以 上移動させ、次いで各層の成形ステップ中にプラットフォームを一部分の厚さ戻 すことができるが、これは好ましくはない。しかしながら１部分的に接着したフ ィルムを伴う表面の粗いプレートまたは多孔性石英ガラスプレートを用いた場合 には、プラットフォームの移動に優先してスライド移動を発生させるのが好適で ある。

今迄記載されなかった図２に示されるような通常選択される構造の特別な物質は 以下のようになる。これは、使用可能な物質の限定として認識されるべきではな く、むしろ、このような組み立て体を構築するのに当業者を助けるための情報を 提供するものである。

チューブスクリーン　ンヤーブな先端が除去され、または、内側に曲げられたア ルミニウム、鉄または銅の金網であり、この金網は適当な直径で巻かれ、継ぎ目 は縫われ、はんだ付け、または、ろう付けされている。

フレキシブルチュービング：　ティボン（Ｔｙｇｏｎ）（登録簡潔）チュービン グ（ＶＲＷ　５ｃｉｅｎｔｉｆｉｃ、Ｓａｎ　Ｆｒａｎｃｉｓｃ。

ＣＡ） 移動手段：　Ｕｎｉｄｅｘ　ＸＩモータ　コントローラ、ＡＴＳ−２０Ｅｌ−Ｈ Ｍ−８“トラベルボジショニングモータ　ドリヴンステージＷ／ステッパモータ アンドホームメーカー（Ａｅｒｏｔｅｃｈ、ｐｉ　ｔｔｓ。

ＰＡ）。

要約書 半透過性フィルムを通して光成形可能なｍ放物の複数層な露光して、上記光成形 可能な組成物の連続的な層により総体をなす３次元物体を製造する装置および方 法であって、前記半透過性フィルムは上記組成物に面する側のフィルム面上に分 離コーティングを生成させる。

Claims (29)

【特許請求の範囲】
1. １．光成形可能組成物の連続的な層により総体をなす３次元物体を製造する方法 であって、 ａ）第１表面および第２表面を有し実質的に透明で組成物に対しては非透過性で 不活性な半透過性フィルムを、前記第１表面が作像側雰囲気に少なくとも部分的 に接して前記第２表面が光成形可能組成物に少なくとも部分的に接するように、 配置する工程と、 ｂ）前記組成物の界面を組成物側雰囲気に接触させる工程と、ｃ）前記作像側雰 囲気を、前記フィルム中を透過させ部分的に光成形可能組成物層中に浸透させる 工程と、 ｄ）前記光成形可能組成物層を、前記フィルムを通して像様放射で露光し、光成 形層および変形可能組成物解放コーティングを作る工程と、ｅ）前記フィルムを 前記光成形層に対しスライドさせる工程と、ｆ）前記フィルムを、前記先に形成 された光成形層と前記フィルム第２表面の間に光成形可能組成物層が形成される ように、配置する工程と、ｇ）前記光成形層が前記３次元物体の総体をなすまで 、上記ｃ）〜ｆ）工程を繰り返す工程と、 を有することを特徴とする方法。
2. ２．前記フィルムが、分子量遮断気孔を有し、前記組成物を実質的に濡らさない ことを特徴とする請求の範囲第１項記載の方法。
3. ３．前記フィルムが、拡張可能な気孔を有し、前記組成物を実質的に濡らさない ことを特徴とする請求の範囲第１項記載の方法。
4. ４．前記フィルムが、弾性を有し、前記組成物を実質的に濡らさないことを特徴 とする請求の範囲第１項記載の方法。
5. ５．前記フィルムがフルオロエラストマからなることを特徴とする請求の範囲第 ４項記載の方法。
6. ６．前記作像側雰囲気および前記組成物側雰囲気が空気からなることを特徴とす る請求の範囲第１項記載の方法。
7. ７．前記作像側雰囲気が、空気中に含まれる通常の酸素濃度より高濃度の酸素を 含有することを特徴とする請求の範囲第１項記載の方法。
8. ８．前記組成物側雰囲気が、空気中に含まれる通常の不活性ガス濃度より高濃度 の不活性ガスを含有することを特徴とする請求の範囲第１項記載の方法。
9. ９．光成形可能な組成物の連続的な層により総体をなす３次元物体を製造する方 法であって、 ａ）第１表面および第２表面を有し実質的に透明で組成物に対しては非透過性で 不活性な半透過性フィルムを、前記第２表面が容器内の光成形可能組成物に少な くとも部分的に接するように、配置する工程と、ｂ）前記フィルムを、縁を有す るテンターフレームにより実質的に平坦な形状に保持する工程と、 ｃ）前記フィルム第１表面を作像側雰囲気に少なくとも部分的に接触させる工程 と、 ｄ）前記組成物の界面を組成物側雰囲気に接触させる工程と、ｅ）プラットフォ ームと前記フィルム第２表面の間に光成形可能組成物層を形成する工程と、 ｆ）前記作像側雰囲気を、前記フィルム中を透過させ部分的に光成形可能組成物 層に浸透させる工程と、 ｇ）前記光成形可能組成物層を、前記フィルムを通して像様放射で露光し、変形 可能組成物解放コーティングと、前記プラットフォームまたは先に形成された光 成形層に接着する光成形層とを作る工程と、ｈ）前記テンターフレームおよび前 記フィルムを、前記光成形層に対して前記テンターフレームの前記縁を越えてス ライドさせる工程と、ｉ）前記フィルムおよび前記先に形成された光成形層の間 に光成形可能組成物層が形成されるように、前記テンターフレームおよび前記フ ィルムを配置する工程と、 ｊ）前記層が３次元物体の総体をなすまで、上記ｇ）〜ｉ）工程を繰り返す工程 と、 を有することを特徴とする方法。
10. １０．光成形可能組成物の連続的な層により総体をなす３次元物体を製造する方 法であって、 ａ）第１表面および第２表面を有し実質的に透明で組成物に対しては非透過性で 不活性な半透過性フィルムを、前記第２表面が容器内の光成形可能組成物に少な くとも部分的に接するように、配置する工程と、ｂ）前記フィルムを、縁を有す るテンターフレームにより実質的に平坦な形状に保持する工程と、 ｃ）前記フィルム第１表面を、前記変形可能コーティング混合物に少なくとも部 分的に接触させ、次いで前記変形可能コーティング混合物を該変形可能コーティ ング混合物に溶解可能な作像側雰囲気にさせる工程と、ｄ）前記光成形可能組成 物の界面を組成物側芽囲気に接触させる工程と、ｅ）前記変形可能コーティング 混合物および該混合物に溶解した前記作像側雰囲気を、前記フィルム中を透過さ せ、前記フィルムと前記組成物の間に透過済変形解放コーティングを形成する工 程と、ｆ）前記透過済変形可能解放コーティングと移動可能プラットフォームの 間に光成形可能組成物層を形成する工程と、ｇ）前記光成形可能組成物層を、前 記フィルム、前記変形可能混合物、並びに、透過済変形可能解放コーティングを 通して像様放射で露光し、前記プラットフォームまたは先に形成された光成形層 に実質的に接着する光成形層および変形可能組成物解放コーティングを生成する 工程と、ｈ）前記テンターフレーム、前記フィルムおよび前記変形可能コーティ ング混合物を、前記光成形層に対して前記テンターフレームの前記縁を越えてス ライドさせる工程と、 ｉ）光成形可能組成物層が前記透過済変形可能解放コーティングと前記先に形成 された光成形層の間に形成されるように、前記テンターフレーム、前記フィルム 、前記変形可能コーティング混合物および前記透過済み変形可能解放コーティン グを配置する工程と、ｊ）前記層が３次元物体の総体をなすまで、上記ｇ）〜ｉ ）工程を繰り返す工程と、 を有することを特徴とする方法。
11. １１．光成形可能組成物の連続的な層により総体をなす３次元物体を製造する方 法であって、 ａ）第１表面および第２表面を有し、実質的に透明で組成物に対しては非透過性 で不活性な半透過性フィルムを、前記第２表面が容器内の光成形可能組成物に少 なくとも部分的に接するように、配置する工程と、ｂ）前記フィルムを、縁を有 する透明プレートに対してフレーム内に固定する工程と、 ｃ）変形可能コーティング混合物を、前記プレートと前記フィルムの間に導入す る工程と、 ｄ）前記光成形可能組成物の界面を、組成物側雰囲気に接触させる工程と、ｅ） 前記変形可能コーティング混合物を、前記フィルム中を透過させ、前記フィルム と前記組成物の問に透過済変形可能解放コーティングを形成する工程と、 ｆ）前記フィルムが前記プレートの表面に実質的に一致するように、前記変形可 能コーティング混合物を、前記フィルムと前記プレートの間から引出す工程と、 ｇ）光成形可能組成物層を、移動可能プラットフォームと前記透過済変形可能解 放コーティングの間に形成する工程と、ｈ）光成形層の複数部分が前記プラット フォームまたは先に形成された光成形層に実質的に接着するように、前記光成形 可能組成物層を、前記プレート、前記変形可能コーティング混合物、前記フィル ムおよび前記透過済変形可能解放コーティングを通して像様放射で露光する工程 と、ｉ）前記フレーム、前記プレート、前記フィルムおよび前記変形可能コーテ ィング混合物を、前記光成形層に対して前記プレートの前記縁を越えてスライド させ、一方で前記変形可能コーティング混合物を前記フィルムと前記プレートの 間に補給する工種と、 ｊ）前記フィルムが前記プレートの表面に実質的に一致するように、前記変形可 能コーティング混合物を、前記フィルムと前記プレートの間から引出す工程と、 ｋ）前記光成形可能組成物層が前記透過済変形可能解放コーティングおよび前記 先に形成された光成形層の間に形成されるように、前記フレーム、前記プレート 、前記フィルム、前記変形可能コーティング混合物および前記透過済変形可能解 放コーティングを配置する工程と、ｌ）前記層が３次元物体の総体をなすまで、 上記ｈ）〜ｋ）工程を繰り返す工程と、 を有することを特徴とする方法。
12. １２．光成形可能組成物の薄い連続的な層により総体をなす３次元物体を製造す る方法であって、 ａ）第１表面および第２表面を有し実質的に不活性および透明で組成物に対して は非透過性な半透過性フィルムを、前記第１表面が縁を有する多孔性プレートの 表面に部分的に接着して前記第２表面が前記光成形可能組成物に少なくとも部分 的に接するように、配置する工程と、ｂ）前記多孔性プレートの気孔を変形可能 コーティング混合物で満たし、前記フィルム第１表面を変形可能コーティング混 合物で濡らす工程と、ｃ）前記変形可能コーティング混合物を、前記フィルム中 を透過させ、前記フィルムと前記光成形可能組成物の間に透過済変形可能解放コ ーティングを形成する工程と、 ｄ）光成形可能組成物層を、前記透過済み変形可能解放コーティングと移動可能 プラットフォームの間に形成する工程と、ｅ）光成形層の複数部分が前記プラッ トフォームまたは前記先の光成形層に実質的に接着するように、前記光成形可能 組成物層を、前記多孔性プレート、前記フィルム、前記変形可能コーティング混 合物およ前記透過済変形可能解放コーティングを通して像様放射で電光する工程 と、ｆ）前記多孔性プレート、前記フィルムおよび前記変形可能コーティング混 合物を、前記光成形層に対して前記プレートの縁を越えてスライドさせる工程と 、 ｇ）前記透過済変形可能解放コーティングと前記先に形成された光成形層の間に 光成形可能組成物層を形成するように、前記多孔性プレート、前記フィルム、前 記変形可能コーティング混合物および前記透過済変形可能解放コーティングを配 置する工程と、 ｈ）前記層が３次元物体の総体をなすまで、上記ｅ）〜ｇ）工程を繰り返す工程 と、 を有することを特徴とする方法。
13. １３．光成形可能組成物の連続的な層により総体をなす３次元物体の製造装置で あって、 ａ）作像側雰囲気に部分的に接触可能な第１表面および光成形可能組成物に部分 的に接触可能な第２表面を有し、前記作像画雰囲気を透過させることが可能で、 実質的に透明で、組成物に対しては不活性で非透過性な半透過性フィルムと、 ｂ）前記フィルム第２表面に光成形層および変形可能組成物解放コーティングを 形成するために、像様放射を発生する放射手段と、ｃ）前記フィルムを前記光成 形層から分離する分離手段と、を備えたことを特徴とする装置。
14. １４．前記フィルムが、前記組成物とは実質的に異なる分子極性を有することを 特徴とする請求の範囲第１３項記載の装置。
15. １５．前記フィルムが、フルオロエラストマフィルムからなることを特徴とする 請求の範囲第１３項記載の装置。
16. １６．前記作像側雰囲気が、空気からなることを特徴とする請求の範囲第１３項 記載の装置。
17. １７．前記作像側雰囲気が、空気中に通常含まれる酵素より高濃度の酸素を含有 することを特徴とする請求の範囲第１３項記載の装置。
18. １８．ｄ）前記光成形可能組成物の次の層を先に形成された光成形層上に形成す る組成物層形成手段を、 設けたことを特徴とする請求の範囲第１３項記載の装置。
19. １９．ｅ）前記フィルムの形状を保持するテンターフレームと、ｆ）前記テンタ ーフレームおよび前記フィルムをスライド移動させるフレーム組み立て体移動手 段と、 ｇ）前記光成形層に接着可能なプラットフォームと、ｈ）前記プラットフォーム を移動させるプラットフォーム移動手段と、を設けたことを特徴とする請求の範 囲第１８項記載の装置。
20. ２０．前記フィルムが、変形可能コーティング混合物および該混合物に溶解した 抑制剤を透過させることを特徴とする請求の範囲第１９項記載の装置。
21. ２１．光成形可能組成物の連続的な層により総体をなす３次元物体の製造装置で あって、 ａ）第１表面および光成形可能組成物に部分的に接触可能な第２表面を有し、実 質的に透明で組成物に対しては不活性で非透過性な半透過性フィルムと、ｂ）前 記光成形層および変形可能組成物解放コーティングを前記フィルム第２表面に形 成するため、像様放射を前記フィルムを通して発生する手段と、ｃ）前記光成形 層に接線可能なプラットフォームと、ｄ）前記プラットフォームを移動させるプ ラットフォーム移動手段と、ｅ）変形可能コーティング混合物および該混合物に 溶解した抑制剤を前記プレートと前記フィルムの間に保持する室を画成するため に、前記フィルムの形状を保持する透明プレート、前記プレートに前記フィルム を固定するフレームおよびフランジと、 ｆ）前記フィルムの前記光成形層からの分離および光成形可能組成物層の塗布を 円滑に許容するように、前記フレーム、前記プレート、前記フランジおよび前記 フィルムを移動させるフレーム組み立て体移動手段と、を設けたことを特徴とす る装置。
22. ２２．ｇ）前記プレートに形成された凹部領域と、ｈ）前記室を第１室および第 ２室に分離し、前記凹部領域を通しての光成形可能組成物の流動を許容するよう 形成されたウエッジと、ｉ）変形可能コーティング混合物を前記第１室から引出 し、一方変形可能コーティング混合物を前記第２室に逆に導入するポンピング手 段と、ｊ）前記変形可能コーティング混合物に溶解した抑制剤および前記フィル ムを透過した抑制剤を取替える取替え手段と、を設けたことを特徴とする装置。
23. ２３．前記フィルムが、フルオロエラストマフィルムからなることを特徴とする 請求の範囲第２２項記載の装置。
24. ２４．前記変形可能コーティング混合物に溶解した抑制剤が、とを特徴とする請 求の範囲第２２項記載の装置。 空気を含有するこ
25. ２５．前記溶解した抑制剤が、空気中に通常含まれる酸素より高濃度の酸素を含 有することを特徴とする請求の範囲第２２項記載の装置。
26. ２６．前記変形可能コーティング混合物が、過フルオロカーボン液からなること を特徴とする請求の範囲第２２項記載の装置。
27. ２７．ａ）変形可能コーティング混合物で満たされる気孔を有し、該変形可能コ ーティング混合物と同様の反射率を有する透明多孔性プレートと、ｂ）前記多孔 性プレートに部分的に接着し前記変形可能コーティング混合物により濡れる第１ 表面および光成形可能組成物に部分的に接する第２表面を有し、前記変形可能コ ーティング混合物および該混合物に溶解した作像側雰囲気を透過させるフィルム と、ｃ）光成形層および変形可能組成物解放コーティングを前記フィルム第２表 面に形成するため、前記多孔性プレート、前記変形可能コーティング混合物およ び前記フィルムを通しての像様放射を発生する手段と、ｄ）前記多孔性プレート 、前記フィルム、前記変形可能コーティング混合物を、前記フィルム第２表面に 実質的に平行な方向に移動させるプレート組み立て体移動手段と、 ｅ）前記光成形層に接着可能なプラットフォームと、ｆ）前記プラットフォーム を移動するプラットフォーム移動と、を備えたことを特徴とする３次元物体製造 装置。
28. ２８．前記フィルムがシリコンフィルムからなり、前記変形可能コーティング混 合物がシリコンオイルからなることを特徴とする請求の範囲第２７項記載の装置 。
29. ２９．前記フィルムが、熱可塑性フルオロエラストマフィルムからなり、前記変 形可能コーティング混合物が過フルオロカーボン液からなることを特徴とする請 求の範囲第２７項記載の装置。