JPH0549067U - 給液手段付き霧化器 - Google Patents

給液手段付き霧化器

Info

Publication number
JPH0549067U
JPH0549067U JP10859391U JP10859391U JPH0549067U JP H0549067 U JPH0549067 U JP H0549067U JP 10859391 U JP10859391 U JP 10859391U JP 10859391 U JP10859391 U JP 10859391U JP H0549067 U JPH0549067 U JP H0549067U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
liquid
absorbing member
piezoelectric vibrator
tank
thin plate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP10859391U
Other languages
English (en)
Other versions
JP2553592Y2 (ja
Inventor
実 高橋
小野  誠
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
TDK Corp
Original Assignee
TDK Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by TDK Corp filed Critical TDK Corp
Priority to JP10859391U priority Critical patent/JP2553592Y2/ja
Priority to US07/889,067 priority patent/US5299739A/en
Priority to DE69210096T priority patent/DE69210096T2/de
Priority to EP92420177A priority patent/EP0516565B1/en
Publication of JPH0549067U publication Critical patent/JPH0549067U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2553592Y2 publication Critical patent/JP2553592Y2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Special Spraying Apparatus (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 霧化すべき液体を圧電振動子の霧化作用面に
安定して適量供給し、霧化動作の安定化を図る。 【構成】 圧電振動子4の霧化作用面側に多孔乃至網状
薄板7を配し、霧化すべき液体を溜めておく密閉された
タンク22の底部を貫通させて毛細管現象を利用した吸
液部材23を取り付け、前記多孔乃至網状薄板7又は前
記霧化作用面10の少なくとも一方に前記吸液部材先端
部を接触させ、かつ前記タンク22を前記霧化作用面の
中心より上部に配設した構成である。

Description

【考案の詳細な説明】 【産業上の利用分野】
本考案は、小電力で小霧化量の吸入器等の用途に適した給液手段付き霧化器に 関する。
【従来の技術】
従来、圧電磁器の厚さ方向の共振による超音波振動を利用した超音波霧化器と しては、室内加湿用の家庭用霧化器が知られている。このような室内加湿用の霧 化器は、水を入れた水槽の底部に圧電振動子を取り付け、適正水位を保ってその 表面にキャピラリーウェーブを発生させて霧化するもので、数100cc/時、程 度の比較的大きな霧化量を実現している。 しかし、最近になって、電池駆動に適した5W以下の小電力で小霧化量の超音 波霧化器が、薬液等を喉、気管、肺等に吸入するための吸入器等の用途に要求さ れるようになってきている。 図4は、上述のような吸入器等の用途向け先に本出願人が先に提案している超 音波霧化器を示しており、円板状の圧電磁器31の主面32A及び該主面の反対 面である対向面32Bにそれぞれ電極41,42を形成してなる圧電振動子34 の霧化作用面39 (主面上に電極を形成した面)側に圧電振動子34とほぼ同径 で円板状の多孔乃至網状薄板37を載置し、その圧電振動子34周縁部分の上下 両面を弾性環状支持体35で取り囲んで多孔乃至網状薄板37と一体に保持した ものを垂直に配置し、給液手段を介して前記薄板37上に霧化すべき液体を供給 する構成である。そして、供給された水等の液体が、毛細管現象で圧電振動子3 4の霧化作用面39に広がることができるように、圧電振動子34の霧化作用面 39と多孔乃至網状薄板37下面との間に微小な隙間を設けており、この微小な 隙間は圧電振動子34に対して僅かに遊びを持たせて多孔乃至網状薄板37を弾 性環状支持体35で保持することで実現している。図5に示すように、前記多孔 乃至網状薄板37には穴径が約10μm乃至100μm程度の微小穴36が多数形 成されている。 なお、前記給液手段としては、吸液帯38Aを用いて圧電振動子34の下方位 置に配置された容器より霧化すべき液体を吸い上げ、垂直に配置された圧電振動 子34の霧化作用面に供給する構成が実用的であると考えられている。 また、前記霧化作用面側の電極41は、反対側の対向面32Bの周縁部分にま で延長した折り返し電極部41Aを有し、圧電振動子34を駆動するための高周 波電源と前記電極41との接続はその折り返し電極部41Aにリード線をはんだ 付けする等して行い、高周波電源と前記電極42との接続は別のリード線を当該 電極42にはんだ付けする等して行う。 以上の構成において、圧電振動子34を前記高周波電源に接続して、圧電磁器 31の厚さ方向の共振による超音波振動を行わせ、圧電振動子34上に吸液帯3 8Aによって液体を供給すると、図5に示すように、その液体は毛細管現象で該 圧電振動子34の霧化作用面39と多孔乃至網状薄板37内面との間の微小な隙 間に入って広がり、多孔乃至網状薄板37の各微小穴26に入って微小液柱を形 成し、この多数の微小液柱の先端部分が圧電振動子34の厚さ方向の超音波振動 により霧化粒子として空中に放出される。
【考案が解決しようとする課題】
ところで、図4の基本構成では、霧化作用面39に対する霧化すべき液体の給 液手段として吸液帯38Aを利用し、圧電振動子34の下方位置に配置された容 器より霧化すべき液体を吸い上げる旨述べたか、この構造であると、吸液帯38 Aの吸液量を大きくしにくい問題があり、とくに圧電振動子34の霧化作用面を 水平にした場合には必要な吸液量を確保するのが困難になるきらいがあった。 一方、図4の仮想線に示す如く、給液パイプ38Bを用いて霧化動作時に液体 を滴下供給する構成も考えられるが、圧電振動子34による液体霧化量以上に液 体が供給されてしまう現象、すなわち液体の過供給になる恐れがある。圧電振動 子の霧化作用面への液体供給が過供給になると、圧電振動子への入力電力が数W 程度であるため、霧化が停止してしまう。 本考案は、上記の点に鑑み、霧化すべき液体を圧電振動子の霧化作用面に安定 して適量供給し、霧化動作の安定化を図った給液手段付き霧化器を提供すること を目的とする。
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本考案の給液手段付き霧化器は、圧電振動子の霧 化作用面側に多孔乃至網状薄板を配し、霧化すべき液体を溜めておく密閉された タンクの底部を貫通させて毛細管現象を利用した吸液部材を取り付け、前記多孔 乃至網状薄板又は前記霧化作用面の少なくとも一方に前記吸液部材先端部を接触 させ、かつ前記タンクを前記霧化作用面の中心より上部に配設した構成としてい る。また、前記タンクは、その底部に小さな貫通穴を設けるか、あるいは前記吸 液部材の周囲の隙間のみで外部の大気と連通可能とすればよい。
【作用】
本考案の給液手段付き霧化器においては、圧電振動子の霧化作用面中心よりも 上方に置かれる密閉されたタンク及び該タンク底部を貫通した吸液部材からなる 給液手段を用いており、吸液部材の毛細管現象により霧化すべき液体をタンクか ら吸液部材先端まで浸透させ、さらに吸液部材先端が接している多孔乃至網状薄 板又は前記霧化作用面の少なくとも一方を経て圧電振動子の霧化作用面と多孔乃 至網状薄板下面との間の微小な隙間に供給している。そして、霧化作用面と多孔 乃至網状薄板下面との間の微小な隙間に供給された液体は、さらに毛細管現象で 広がって多孔乃至網状薄板の各微小穴に入って微小な液柱を形成し、この多数の 微小な液柱の先端部分が圧電振動子の厚さ方向の超音波振動により霧化粒子とし て空中に放出される。このとき、液体が霧化作用面で霧化されると、霧化された 量と実質的に同量の液体が吸液部材から供給され、液体が供給されるのに伴い、 前記タンク内の空気が存在する空間は大きくなって減圧し、大気圧によりタンク の底部に設けられた小さな貫通穴あるいは吸液部材の周囲の隙間から空気が吸入 され、前記空間が大気圧と等しくなるように維持される。この際、タンク底部の 小さな貫通穴あるいは前記吸液部材の周囲の隙間を表面張力によって液体の滴下 が妨げられるような極めて小さなものに設定しておくことによって、外部からタ ンク内に空気は入ることができるが、タンク内の液体は、液体の表面張力により 前記貫通穴あるいは吸液部材の周囲の隙間からタンク外部に流出しないようにで きる。従って、前記給液手段による液体の供給は、霧化作用面で霧化された分と 実質的に同量だけ供給され、霧化量に比例して過不足なく安定して供給するため 、霧化動作が安定し、液体の過供給に起因する霧化停止も回避できる。さらに、 圧電振動子の霧化作用面は、水平、垂直、傾斜配置のいずれでも差し支えなく、 霧化器設計上の自由度が大きくなる。
【実施例】
以下、本考案に係る給液手段付き霧化器の実施例を図面に従って説明する。 図1は本考案の第1実施例であって、圧電振動子を水平に配置した例を示す。 図において、1は円板状の圧電磁器であり、該圧電磁器1の主面2A及び該主面 の反対面である対向面2Bにそれぞれ電極3A,3Bがめっき等で形成されて圧 電振動子4を構成している。該圧電振動子4は、ホルダ18にゴム等の弾性環状 支持体5を介して固定されており、弾性環状支持体5は、圧電振動子4を水平に 保持するために内周側に振動子配置溝6を有している。そして、該振動子配置溝 6に前記圧電振動子4が圧入等で(必要に応じて接着剤を併用して)固定される。 ここで、液体によって電極3A,3B間が電気的に短絡されるのを防止するため に、振動子配置溝6の内周面部は前記圧電振動子4の外周面に水密に密着してい る。 前記弾性環状支持体5で水平状態で支持された圧電振動子4の霧化作用面(主 面上に電極を形成した面)10側には、例えば導電性を有する多孔乃至網状薄板 7が配置されている。該多孔乃至網状薄板7は、圧電振動子4の直径よりも小さ い幅を持つ帯状で多数の微小穴8を有するもので、先端部を先細りに形成し、そ の先細り部9を圧電振動子4の霧化作用面10の中央部分に接触させている。ホ ルダ18の上部に取付板11を螺子12により固定し、該取付板11に、当該多 孔乃至網状薄板7の上部を折り曲げて螺子14及びナット15によって取り付け ることにより、湾曲した状態で当該多孔乃至網状薄板7の先細り部9は霧化作用 面側電極3Aに電気的に接触している。また、多孔乃至網状薄板7の中間部分( 霧化作用面側電極3Aに電気的に接触している領域に隣接した領域)は、圧電振 動子4の霧化作用面10に微小間隔で対向している。なお、前記多孔乃至網状薄 板7はステンレス等で、その肉厚は数10μmであり、これに形成された多数の 微小穴8の穴径は約10μm乃至100μm程度である(肉厚や穴径は図5で説明 した薄板37と同様)。 前記圧電振動子4の霧化作用面側電極3Aは導電性の多孔乃至網状薄板7、該 薄板7に接続されたリード線を介して高周波電源に電気的に接続され、対向電極 3Bもリード線(又は電極3Bに圧接する接続金具等)で高周波電源に接続され ている。 給液手段20は、霧化すべき水あるいは薬液等の液体21を溜めておき、圧電 振動子側に適量供給するものである。この給液手段20は、霧化すべき液体21 を溜めておくタンク22、及び液体21をタンク22から毛細管現象にて吸液し て圧電振動子側に供給する吸液部材23を備えている。前記タンク22は、樹脂 製の有底円筒形状であり、後端の開口部にはシリコンゴム等の弾性体で形成され た着脱自在の密閉キャップ25が嵌合されるようになっている。前記タンク22 の底部24の中央には、内周が前記吸液部材23を挿入固定するための貫通穴2 6となったスリーブ部24Aが一体に形成されており、該貫通穴26の周囲近傍 には外部とタンク22内とを連通させる空気穴27が複数個形成されている。前 記空気穴27は、外部の大気と連通可能だが、液体21をタンク22外部に流出 させないように表面張力が働く大きさ(直径1mm以下)に形成されている。前記吸 液部材23は、例えば細い樹脂繊維28を多数束ねたものであり、該吸液部材2 3は前記貫通穴26に挿通固定され、その上端部はタンク22内の液体21に浸 っている。前記空気穴27を形成した場合は、吸液部材23の周囲と貫通穴26 の内面の隙間は水密にシールしておくことが好ましい。 このように構成された給液手段20は、そのタンク22が圧電振動子4の霧化 作用面10の中心より上部に位置する如くホルダ18の上方に支持され(支持機 構の図示省略)、吸液部材23の下端部分は、圧電振動子4の霧化作用面10上 の多孔乃至網状薄板7の先端を含む領域に当接させている。このように、多孔乃 至網状薄板7及び霧化作用面10と当接している吸液部材23の先端は、接触面 積を大きくするために斜面状に形成されている。なお、霧化動作の妨げとならな いように、タンク22が霧化作用面10の真上に位置することは避けることが望 ましい。 以上の第1実施例の構成において、水平配置された前記圧電振動子4の電極3 A,3B間に高周波電源より高周波電圧(1MHz〜3MHzが適している)を印加 して、圧電振動子4に厚さ方向の共振による超音波振動を行わせるとともに、給 液手段20のタンク22に液体21を入れ、密閉キャップ25を嵌合してタンク 22を密閉状態とすると、吸液部材23の毛細管現象により液体21はタンク2 2内から吸液部材先端まで浸透し、さらに吸液部材先端が接している多孔乃至網 状薄板7及び霧化作用面10を経由して霧化作用面10と多孔乃至網状薄板7下 面との間の微小な隙間部分に毛細管現象で広がり、多孔乃至網状薄板7の各微小 穴8に入って圧電振動子4の厚さ方向の超音波振動により霧化粒子として空中に 放出される(霧化の動作原理は図5で説明したのと実質的に同じ)。このとき、 液体21が霧化作用面10で霧化されると、霧化された量と実質的に同量の液体 が吸液部材23から供給され、液体が供給されるのに伴い、前記タンク内の空気 が存在する空間は大きくなって減圧し、大気圧によりタンク22の底部に設けら れた小さな空気穴27から空気が吸入され、前記空間が大気圧と等しくなるよう に維持される。このようにして、安定した霧化動作を継続でき、液体21の過供 給に起因する霧化停止も回避できる。この第1実施例の場合は、水平面内の霧化 作用面10に垂直な上方向に向けて、1〜2W程度の小電力で粒径5〜10μm の細かい霧を毎分1〜2cc発生させることができる。 高周波電圧の印加を停止して圧電振動子4の霧化動作を停止したときは、霧化 作用面10と多孔乃至網状薄板7下面との間の微小な隙間に液体21が広がり、 かつ吸液部材23に液体21が充分含まれた状態にてバランスし、タンク22か らの過剰な液体の流出は生じない。 また、タンク底部の小さな空気穴27は表面張力によって液体の滴下が妨げら れるような極めて小さなものに設定しておくことによって、空気穴27から直接 液体21が漏れ出すこともない。 なお、タンク22内への液体21の補給は、前記密閉キャップ25を外して行 うことができる。 図2は本考案の第2実施例を示している。この場合、圧電振動子4を弾性環状 支持体5で取り囲んでホルダ18に設け多孔乃至網状薄板7と一体的にホルダ1 8にて保持した前記第1実施例と同様構造のものを垂直に配置し、それに対して 給液手段20を、タンク22が圧電振動子4の霧化作用面10の中心より上部に なるように配設し、吸液部材23の先端部分が、垂直に配置されている圧電振動 子4の霧化作用面10中央の多孔乃至網状薄板7の先端を含む領域に接触するよ うに配置している。 前記給液手段20の吸液部材23から供給された液体21は、霧化作用面10 と多孔乃至網状薄板7の内面間の微小な隙間に毛細管現象により浸透して広がり 、多孔乃至網状薄板7の各微小穴8に入り、図5で説明したのと同様の動作によ り霧化される。 この第2実施例の構成による霧化は、圧電振動子4が垂直に配置されているの で、霧化作用面10に垂直な横方向に細かい霧を発生させることができる。なお 、その他の構成及び作用は前記第1実施例と同様である。 図3は、給液手段の変形例であって、内部が中空の注射針状のものを1本用い た構成を示す。この図において、50は毛細管現象利用した吸液部材として細管 であって、タンク22の底部24中央のスリーブ部24Bを貫通する如く水密に 取り付けられている。その他は第1実施例に示した給液手段と同じである。 なお、前記第1及び第2実施例では、霧化すべき液体21の供給において、吸 液部材23の先端部分を霧化作用面10中央の多孔乃至網状薄板7の先端を含む 領域に当接させて行っているが、吸液部材23の先端部分を多孔乃至網状薄板7 上に当接させて、液体21を該薄板の微小穴8を通して霧化作用面10と多孔乃 至網状薄板7の内面間に供給する構成としてもよい。 また、前記吸液部材23は樹脂繊維を束ねて形成したが、羊毛や化繊などの繊 維、ガラス繊維等の適当な繊維状物を用いてもよい。また、吸液部材23は、内 部が中空の中空繊維を束ねて形成してもよい。 なお、前記タンク22の貫通穴26を挿通している吸液部材23の周囲に自然 に生じる隙間を利用し、空気穴27を設けない構成としてもよい。 また、圧電振動子4の電極3A,3Bについて、前記第1及び第2実施例では 霧化作用面10に霧化作用側電極3A、対向面2Bには対向電極3Bをそれぞれ 設ける構成としたが、図4に示した基本構成のように、霧化作用面側電極は、反 対側の対向面の周縁部分にまで延長した折り返し電極部を有する構成とし、導電 性の多孔乃至網状薄板7を利用して通電する代わりに、その折り返し電極部を利 用して通電するようにしても差し支えない。
【考案の効果】 以上説明したように、本考案の給液手段付き霧化器によれば、霧化すべき液体 の供給について、霧化作用面で霧化された分と実質的に同量だけ供給でき、霧化 量に比例して過不足なく安定して供給できるため、霧化動作の安定化を図り得る 。また、圧電振動子の霧化作用面の配置が水平乃至垂直でも霧化すべき液体を安 定して供給できるため、霧化器の構造が多様化でき、特に小電力で小霧化量の超 音波霧化器に適している。
【図面の簡単な説明】
【図1】本考案に係る給液手段付き霧化器の第1実施例
を示す正断面図である。
【図2】本考案の第2実施例を示す一部を断面とした正
面図である。
【図3】給液手段の変形例を示す正断面図である。
【図4】先に本出願人が提案した超音波霧化器を示す正
断面図である。
【図5】図4における動作を説明するための要部拡大断
面図である。
【符号の説明】
1 圧電磁器 3A,3B 電極 4 圧電振動子 7 多孔乃至網状薄板 10 霧化作用面 20 給液手段 21 液体 22 タンク 23 吸液部材 24 底部 27 空気穴

Claims (4)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】 圧電振動子の霧化作用面側に多孔乃至網
    状薄板を配し、霧化すべき液体を溜めておく密閉された
    タンクの底部を貫通させて毛細管現象を利用した吸液部
    材を取り付け、前記多孔乃至網状薄板又は前記霧化作用
    面の少なくとも一方に前記吸液部材先端部を接触させ、
    かつ前記タンクを前記霧化作用面の中心より上部に配設
    したことを特徴とする給液手段付き霧化器。
  2. 【請求項2】 前記タンクは、その底部に設けた小さな
    貫通穴あるいは前記吸液部材の周囲の隙間のみで外部の
    大気と連通可能である請求項1記載の給液手段付き霧化
    器。
  3. 【請求項3】 前記吸液部材が繊維状物又は細管を束ね
    たものである請求項1記載の給液手段付き霧化器。
  4. 【請求項4】 前記吸液部材が1本の細管である請求項
    1記載の給液手段付き霧化器。
JP10859391U 1991-05-27 1991-12-05 給液手段付き霧化器 Expired - Lifetime JP2553592Y2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10859391U JP2553592Y2 (ja) 1991-12-05 1991-12-05 給液手段付き霧化器
US07/889,067 US5299739A (en) 1991-05-27 1992-05-26 Ultrasonic wave nebulizer
DE69210096T DE69210096T2 (de) 1991-05-27 1992-05-26 Ultraschallzerstäuber
EP92420177A EP0516565B1 (en) 1991-05-27 1992-05-26 An ultrasonic wave nebulizer

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10859391U JP2553592Y2 (ja) 1991-12-05 1991-12-05 給液手段付き霧化器

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0549067U true JPH0549067U (ja) 1993-06-29
JP2553592Y2 JP2553592Y2 (ja) 1997-11-05

Family

ID=14488743

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10859391U Expired - Lifetime JP2553592Y2 (ja) 1991-05-27 1991-12-05 給液手段付き霧化器

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2553592Y2 (ja)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH078863A (ja) * 1993-06-02 1995-01-13 L'oreal Sa 圧電噴霧装置
JP2007029772A (ja) * 2005-07-22 2007-02-08 Mikuni Corp 噴霧装置
JP2015514515A (ja) * 2012-04-20 2015-05-21 アイノビア,インコーポレイティド 噴霧エジェクタ装置及び使用方法
JP2015126866A (ja) * 2013-11-29 2015-07-09 花王株式会社 噴霧装置
CN108080203A (zh) * 2018-02-01 2018-05-29 佛山市顺德区雅洛特电器有限公司 一种超声雾化精油器
JP2022549747A (ja) * 2020-08-26 2022-11-29 ケーティー アンド ジー コーポレイション 超音波基盤エアゾール発生装置およびそのカートリッジ認識方法

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH078863A (ja) * 1993-06-02 1995-01-13 L'oreal Sa 圧電噴霧装置
JP2007029772A (ja) * 2005-07-22 2007-02-08 Mikuni Corp 噴霧装置
JP2015514515A (ja) * 2012-04-20 2015-05-21 アイノビア,インコーポレイティド 噴霧エジェクタ装置及び使用方法
JP2015126866A (ja) * 2013-11-29 2015-07-09 花王株式会社 噴霧装置
CN108080203A (zh) * 2018-02-01 2018-05-29 佛山市顺德区雅洛特电器有限公司 一种超声雾化精油器
CN108080203B (zh) * 2018-02-01 2023-10-27 佛山市顺德区雅洛特电器有限公司 一种超声雾化精油器
JP2022549747A (ja) * 2020-08-26 2022-11-29 ケーティー アンド ジー コーポレイション 超音波基盤エアゾール発生装置およびそのカートリッジ認識方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP2553592Y2 (ja) 1997-11-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0516565B1 (en) An ultrasonic wave nebulizer
US6293474B1 (en) Delivery system for dispensing volatiles
CA2521767C (en) Atomizer wicking system
KR100430974B1 (ko) 휘발성 물질 분배용 압전 분무 시스템
US8439280B2 (en) Nebulizing device for liquid substances
JP2006502851A (ja) 傾斜オリフィス・プレートを有する噴霧装置及び該噴霧装置のための交換用リザーバ
JP2008188515A (ja) 超音波霧化装置
JP2579614Y2 (ja) 超音波霧化器
JPH0549067U (ja) 給液手段付き霧化器
WO2014097939A1 (ja) 霧化装置
JP2014046302A (ja) 霧化装置
JPS5951352B2 (ja) 超音波霧化装置
JP2511119Y2 (ja) 超音波霧化器
JP5505497B2 (ja) 霧化装置
JP2009274022A (ja) 超音波噴霧装置
JP2525299B2 (ja) 超音波霧化器
JPH05329411A (ja) 超音波霧化装置給液構造
JP2698488B2 (ja) 超音波噴霧装置
JPS6335825Y2 (ja)
JPH0537370U (ja) 超音波霧化器
JP3673707B2 (ja) 超音波噴霧装置
JPH0724375A (ja) 超音波噴霧装置噴霧誘導構造
JP3710340B2 (ja) 超音波噴霧装置
JP2536006Y2 (ja) 超音波霧化器
JPH0574669U (ja) 超音波霧化器

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 19970520