JPH0547097B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

「産業上の利用分野」 本発明は、平版印刷版、多色印刷の校正刷、オ
ーバーヘツドプロジエクター用図面、IC回路、
ホトマスクの製造に適する光可溶化組成物に関す
る。更に詳しくは、(a)活性光線の照射により、酸
を発生し得る化合物、及び(b)酸により分解し得る
シリルウレイド基を少なくとも１個有する化合
物、を含有する新規な光可溶化組成物に関する。 「従来の技術」 活性光線により可溶化する、いわゆるポジチブ
に作用する感光性物質としては、従来オルトキノ
ンジアジド化合物が知られており、実際平版印刷
版、ホトレジスト等に広く利用されてきた。この
ようなオルトキノンジアジド化合物としては、例
えば米国特許第2766118号、同第2767092号、同第
2772972号、同第2859112号、同第2907665号、同
第3046110号、同第3046111号、同第3046115号、
同第3046118号、同第3046119号、同第3046120号、
同第3046121号、同第3046122号、同第3046123号、
同第3061430号、同第3102809号、同第3106465号、
同第3635709号、同第3647443号の各明細書をはじ
め、多数の刊行物に記されている。 これらのオルトキノンジアジド化合物は、活性
光線の照射により分解を起こして５員環のカルボ
ン酸を生じ、アルカリ可溶性となることを利用し
たものであるが、いずれも感光性が不十分である
という欠点を有する。これは、オルトキノンジア
ジド化合物の場合、本質的に量子収率が１を越え
ないということに由来するものである。 オルトキノンジアジド化合物を含む感光性組成
物の感光性を高める方法については、今までいろ
いろと試みられてきたが、現像時の現像許容性を
保持したまま感光性を高めることは非常に困難で
あつた。例えば、このような試みの例としては、
特公昭48−12242号、特開昭52−40125号、米国特
許第4307173号などの明細書に記載された内容を
挙げることができる。 また最近、オルトキノンジアジド化合物を用い
ずにポジチブに作用させる感光性組成物に関し
て、いくつかの提案がされている。その１つとし
て、例えば特公昭56−2696号の明細書に記載され
ているオルトニトロカルビノールエステル基を有
するポリマー化合物が挙げられる。しかし、この
場合も、オルトキノンジアジドの場合と同じ理由
で感光性が十分とは言えない。また、これとは別
に接触作用により活性化される感光系を使用し、
感光性を高める方法として、光分解で生成する酸
によつて第２の反応を生起させ、それにより露光
域を可溶化する公知の原理が適用されている。 このような例として、例えば光分解により酸を
発生する化合物と、アセタール又はＯ、Ｎ−アセ
タール化合物との組合せ（特開昭48−89003号）、
オルトエステル又はアミドアセタール化合物との
組合せ（特開昭51−120714号）、主鎖にアセター
ル又はケタール基を有するポリマーとの組合せ
（特開昭53−133429号）、エノールエーテル化合物
との組合せ（特開昭55−12995号）、Ｎ−アシルイ
ミノ炭酸化合物との組合せ（特開昭55−126236
号）、主鎖にオルトエステル基を有するポリマー
との組合せ（特開昭56−17345号）、及びシリルエ
ーテル基を有するポリマーとの組み合せ（特開昭
60−37549号）を挙げることができる。これらは
原理的に量子収率が１を越える為、高い感光性を
示す可能性があるが、アセタール又はＯ、Ｎ−ア
セタール化合物の場合、及び主鎖にアセタール又
はケタール基を有するポリマーの場合、光分解で
生成する酸による第２の反応の速度が遅い為、実
際の使用に十分な感光性を示さない。またオルト
エステル又はアミドアセタール化合物の場合及
び、エノールエーテル化合物の場合、更にＮ−ア
シルイミノ炭酸化合物の場合は確かに高い感光性
を示すが、経時での安定が悪く、長期に保存する
ことができない。主鎖にオルトエステル基を有す
るポリマーの場合も、同じく高感度ではあるが、
現像時の現像許容性が狭いという欠点を有する。
シリルエーテル基を有するポリマーの場合は、他
の化合物に比べ、現像時の現像許容性が広く、か
つ、高感度ではあるが実際に使用するには未だ十
分な現像許容性を有するとは言えない。 「発明が解決しようとする問題点」 本研究の目的は、これらの問題点が解決された
新規な光可溶化組成物を提供することである。即
ち高い感光性を有し、現像時の現像許容性が広い
新規な光可溶化組成物を提供することである。 本研究の目的は、経時での安定性が優れ長期に
保存が可能な新規な光可溶化組成物を提供するこ
とである。 本研究の更に別の目的は、製造が簡便で容易に
取得できる新期な光可溶化組成物を提供すること
である。 「問題点を解決するための手段」 本発明者は、上記目的を達成すべく鋭意検討を
加えた結果、新規な光可溶化組成物を用いること
で前記目的が達成されることを見い出し本発明に
到達した。 即ち本発明は、 (a)活性線の照射により酸を発生し得る化合物、
及び(b)下記一般式（）で表わされるシリルウレ
イド基を少なとも１個有し、現像液中でのその溶
解度が酸の作用により増大する化合物を含有する
光可溶化組成物を提供するものである。 なお、本発明で言う「ウレイド基」とはチオウ
レイド基を含むものとする。 式中、R₁は水素原子、置換基を有していても
よいアルキル基もしくは、置換基を有していても
よいアリール基を表わし、R₂は水素原子、置換
基を有していてもよいアルキル基もしくは置換基
を有していてもよいアリール基を表わす。 Ｘは酸素原子もしくはイオウ原子を表わす。 本発明の一般式（）で示されるシリルウレイ
ド基を有する化合物は、好ましくは下記一般式
（）のくり返し単位をを有する化合物として表
わすことができる 式中、R₁、R₂、R₆、R₇は各々水素原子、置換
基を有していてもよいアルキル又はアリール基を
示す。好ましくはR₁、R₇は水素原子を示し、R₂、
R₆は水素原子、炭素数１〜４個のアルキル又は
炭素数６〜10個のアリール基を示す。R₃、R₄は
同一でも相異していても良く、それぞれ水素原
子、置換基を有していてもよいアルキル又はアリ
ール基、アルコキシ又はアリーロキシ基もしくは
ウレイド基を示す。好ましくは炭素数１〜４個の
アルキル基又は炭素数１〜８個のアルコキシ基を
示す。R₅は置換基を有していてもよい２価の脂
肪族または芳香族炭化水素基を示す。更に必要に
より、R₅は親水性基、並びにエステル基、アミ
ド基、ウレタン基、ウレイド基、シリルエーテル
基の少なくとも１個を有していても良い。また、
本発明のシリルウレイド基を有する化合物は、一
般式（）で示されるくり返し単位を２種以上有
していても良い。なお本発明で言う親水性基とは
具体的には下記に示されるものがある。 （−CH₂CH₂−Ｏ）_o−− 〔（−−CH₂）_l−−Ｏ〕_n−−（−CH₂CH₂−Ｏ）_o−− 式中、ｌは１〜４の整数を示し、ｍ，ｎは２以
上の整数、好ましくは２〜100の整数、更に好ま
しくは２〜20の整数を示す。Ｒはアルキル、又は
置換基を有していてもよいフエニル基を示す。特
に好ましい親水性基は（−CH₂CH₂−Ｏ）_o−−であ
る。 Ｘは酸素もしくはイオウ原子を示す。 このようなシリルウレイド化合物は対応するシ
リルイソシアネートと有機アミンとの反応により
容易に合成することができる。本発明におけるシ
リルウレイド化合物の分子量は、好ましくは重量
平均で300以上、更に好ましくは1000〜100000で
ある。 本発明のシリルウレイド化合物の具体例として
は次に示すものが含まれる。 これらの酸により分解し得るシリルウレイド基
を少なくとも１個有する化合物と組合せて用い
る、活性光線の照射により酸を発生し得る化合物
としては多くの公知化合物及び混合物、例えば、
ジアゾニウム、ホスホニウム、スルホニウム、及
びヨードニウムのBF₄ ^-、PF₆ ^-、SbF₆ ^-、SiF₆ ^-、
ClO₄ ^-などの塩、有機ハロゲン化合物、オルトキ
ノンジアジドスルホニルクロリド、及び有機金
属／有機ハロゲン化合物組合せ物が適当である。
もちろん、米国特許第3779778号及び西ドイツ国
特許第2610842号の明細書中に記載された光分解
により酸を発生させる化合物も本発明の組成物と
して適する。更に適当な染料と組合せて露光の
際、未露光部と露光物の間に可視的コントラスト
を与えることを目的とした化合物、例えば特開昭
55−77742号、同57−163234号の明細書に記載さ
れた化合物も本発明の組成物として使用すること
ができる。 上記光分解により酸を発生し得る化合物の中
で、代表的なものについて以下に説明する。 (1) トリハロメチル基が置換した一般式（）で
示されるオキサジアゾール誘導体又は一般式
（）で示されるｓ−トリアジン誘導体 ここで式中、R₁₁は置換もしくは無置換のアリ
ール、アルケニル基、R₁₂はR₁₁、−CX₃又は、置
換もしくは無置換のアルキル基を示す。Ｘは塩素
原子又は臭素原子を示す。 具体的には以下に示すものが挙げられる。 （−１） （−２） （−３） （−４） （−５） （−６） （−７） （−８） （−１） （−２） （−３） （−４） （−５） （−６） （−７） （−８） （−９） （−10） (2) 一般式（）で示されるヨードニウム塩又は
一般式（）で示されるスルホニウム塩 ここで式中Ar₁、Ar₂は同一でも相異していで
もよく、置換又は無置換の芳香族基を示す。
R₂₁、R₂₂、R₂₃は同一でも相異していてもよく、
置換又は無置換のアルキル基、芳香族基を示す。
X^-はBF₆ ^-、PF₆ ^-、AsF₆ ^-、SbF₆ ^-、ClO₄ ^-を示
す。 また、R₂₁、R₂₂、R₂₃のうちの２つ及びAr₁、
Ar₂はそれぞれ単結合又は置換基を介して結合し
てもよい。 一般式（）で示される化合物としては、例え
ば特開昭50−158680号、特開昭51−100716号、及
び特公昭52−14277号公報記載の化合物が挙げら
れる。また一般式（）で示される化合物として
は、例えば特開昭51−56885号、特公昭52−14278
号、米国特許第4442197号、西独特許第2904626号
の各明細書中に記載の化合物が挙げられる。 具体的には以下に示すものが含まれる。 （−１） （−２） （−３） （−４） （−５） （−６） （−７） （−８） （−９） （−10） （−11） （−12） （−１） （−２） （−３） （−４） （−５） （−６） （−７） （−８） （−９） （−10） （−11） （−12） （−13） （−14） （−15） (3) 一般式（）で示されるジスルホン誘導体又
は一般式（）で示されるイミドスルホネート
誘導体 Ar₃−SO₂−SO₂−Ar₄ () ここで式中、Ar₃、Ar₄は同一でも相異してい
てもよく、置換又は無置換のアリール基を示す。
R₃₁は置換又は無置換のアルキル、アリール基を
示す。Ａは置換又は無置換のアルキレン、アルケ
ニレン、アリーレン基を示す。 具体的には以下に示す化合物が挙げられる。 （−１） （−２） （−３） （−４） （−５） （−６） （−７） （−８） （−９） （−10） （−１） （−２） （−３） （−４） （−５） （−６） （−７） （−８） （−９） （−10） （−11） （−12） 上記光分解により酸を発生させる化合物の中で
は特にオルトキノンジアジドスルホニルクロリ
ド、及びハロメチル基が置換したｓ−トリアジン
誘導体、オキサジアゾール誘導体が好ましい。と
いうのは、例えば、オルトキノンジアジドスルホ
ニルクロリドの場合、露光の際３つの酸基（即ち
塩酸、スルホン酸、カルボン酸）が形成される
為、比較的大きい割合で前記シリルウレイド基を
分解させることができるからである。 これらの活性光線の照射により酸を発生し得る
化合物と前記酸により分解し得るシリルウレイド
基を少なくとも１個有する化合物との割合は、重
量比で0.001：１〜２：１であり、好ましくは
0.02：１〜0.8：１で使用される。 本発明の光可溶化組成物は、上記活性光線の照
射により酸を発生し得る化合物と、酸により分解
し得るシリルウレイド基を少なくとも１個有する
化合物の組せのみで使用することができるが、ア
ルカリ可溶性樹脂と混合して用いた方が好まし
い。好適なアルカリ可溶性樹脂には、ノボラツク
型フエノール樹脂が含まれ、具体的には、フエノ
ールホルムアルデヒド樹脂、ｏ−クレゾールホル
ムアルデヒド樹脂、ｍ−クレゾールホルムアルデ
ヒド樹脂などが含まれる。更に特開昭50−125806
号公報に記されている様に上記のようなフエノー
ル樹脂と共に、ｔ−ブチルフエノールホルムアル
デヒド樹脂のような炭素数３〜８のアルキル基で
置換されたフエノールまたはクレゾールとホルム
アルデヒドとの縮合物とを併用すると、一層好ま
しい。アルカリ可溶性樹脂は、感光性レジスト形
成性組成物の全重量を基準として約40〜約90重量
％、より好ましくは60〜80重量％含有させられ
る。 本発明の光可溶性組成物には必要に応じて、更
に染料、顔料、可塑剤及び前記酸を発生し得る化
合物の酸発生効率を増大させる化合物（所謂増感
剤）なを含有させることができる。好適な染料と
しては油溶性染料及び塩基性染料がある。具体的
には、オイルイエロー＃101、オイルイエロー
＃130、オイルピンク＃312、オイルグリーン
BG、オイルブルーBOS、オイルブルー＃603、
オイルブラツクBY、オイルブラツクBS、オイル
ブラツクＴ−505（以上、オリエント化学工業株式
会社製）クリスタルバイオレツト（CI42555）、
メチルバイオレツト（CI42535）、ローダミンＢ
（CI45170B）、マラカイトグリーン（CI42000）、
メチレンブルー（CI52015）などをあげることが
できる。 本発明の光可溶性組成物は、上記各成分を溶解
する溶媒に溶かして支持体上に塗布する。ここで
使用する溶媒としては、エチレンジクロライド、
シクロヘキサノン、メチルエチルケトン、エチレ
ングリコールモノメチルエーテル、エチレングリ
コールモノエチルエーテル、２−メトキシエチル
アセテート、トルエン、酢酸エチルなどがあり、
これらの溶媒を単独あるいは混合して使用する。
そして上記成分中の濃度（添加物を含む全固形
分）は、２〜50重量％である。このうち、本発明
の組成の好ましい濃度（固形分）は0.1〜25重量
％である。また、塗布量は用途により異なるが、
例えば感光性平版印刷版についていえば一般的に
固形分として0.5〜3.0ｇ／m²が好ましい。塗布量
が少くなるにつれ感光性は大いなるが、感光膜の
物性は低下する。 本発明の光可溶化組成物を用いて平版印刷版を
製造する場合、その支持体としては、親水化処理
したアルミニウム板、たとえばシリケート処理ア
ルミニウム板、陽極酸化アルミニウム板、砂目立
てしたアルミニウム板、シリケート電着したアル
ミニウム板があり、その他亜鉛板、ステンレス
板、クローム処理鋼板、親水化処理したプラスチ
ツクフイルムや紙を上げることができる。 また印刷用校正版、オーバーヘツトプロジエク
ター用フイルム第２原図用フイルムの製造に適す
る支持体としてはポリエチレンテレフタレートフ
イルム、トリアセテートフイルム等の透明フイル
ムや、これらのプラスチツクフイルムの表面を化
学的あるいは物理的にマツト化したものをあげる
ことが出来る。ホトマスク用フイルムの製造に適
する支持体としてはアルミニウム、アルミニウム
合金やクロムを蒸着させたポリエチレンテレフタ
レートフイルムや着色層をもうけたポリエチレン
テレフタレートフイルムをあげることが出来る。
またホトレジストとして上記以外の種々の支持
体、例えば銅板、銅メツキ板、ガラス板上に本発
明の光可溶化組成物を塗布して使用される。 本発明に用いられる活性光線の光源としては例
えば、水銀灯、メタルハライドランプ、キセノン
ランプ、ケミカルランプ、カーボンアーク灯など
がある。また高密度エネルギービーム（レーザー
ビーム又は電子線）による走査露光を本発明に使
用することができる。このようなレーザービーム
としてはヘリウム・ネオンレーザー、アルゴンレ
ーザー、クリプトンイオンレーザー、ヘリウム・
カドミウムレーザーなどが挙げられる。 本発明の光可溶性組成物にたいする現像液とし
ては、珪酸ナトリウム、珪酸カリウム、水酸化ナ
トリウム、水酸化カリウム、水酸化リチウム、第
三リン酸ナトリウム、第二リン酸ナトリウム、第
三リン酸アンモニウム、第二リン酸アンモニウ
ム、メタ珪酸ナトリウム、重炭酸ナトリウム、ア
ンモニア水などのような無機アルカリ剤の水溶液
が適当であり、それらの濃度が0.1〜10重量％、
好ましくは0.5〜５重量％になるように添加され
る。 また、該アルカリ性水溶液には、必必要に応じ
界面活性剤やアルコールなどのような有機溶媒を
加えることもできる 「実施例」 以下、本発明を合成例、実施例により更に詳細
に説明するが、本発明の内容がこれにより限定さ
れるものではない。 合成例 １ （化合物例No.１の合成） (i) 下記に示すモノマーの合成 エタノールアミン24.5ｇ（0.400mol）をベンゼン
300mlに溶解し、撹拌しながらこれにジメチルジ
イソシアナトシラン28.4ｇ（0.200mol）のベンゼ
ン30ml溶液を室温下、滴下ロートにより30分間を
要して滴下した。室温下、３時間撹拌を続けた
後、生成したゼリー状固体を別し、ベンゼンで
洗浄した。これを減圧乾燥すると白色粉末51.1ｇ
が得られた。収率97％ 〔モノマー〕 （CH₃）₂Si（−NHCONH−CH₂−CH₂−OH）₂ (ii) ポリマー化による化合物例No.１の合成 (i)で得られたモノマー7.93ｇ（0.0300mol）お
よびピリジン10滴をアセトン100mlに溶解し、撹
拌しながら40〜50℃に保つた。これにｍ−キシリ
レンジイソシアネート5.65ｇ（0.0300mol）を滴
下ロートにより滴下した。滴下後、3.5時間加熱
還流させた後、溶媒を減圧下、留去したところ白
色樹脂が得られた。収量13.4ｇ。 重量平均分子量ｗ＝8000（ゲルパーミエーシ
ヨンクロマトグラフイー（GPC）、ポリスチレン
標準） 合成例 ２ （化合物例No.２の合成） 合成例１で得たモノマー5.29ｇ（0.0200mol）、
テトラエチレングリコール1.95ｇ（0.0100mol）
およびピリジン10滴をアセトン100mlに溶解し、
撹拌しながら40〜50℃に保つた。これにｍ−キシ
リレンジイソシアネート5.65ｇ（0.0300mol）を
滴下ロートにより滴下した。 滴下後、3.5時間加熱還流させた後、溶媒を減
圧下、留去したところ白色樹脂が得られた。収量
12.6ｇ。 ｗ＝9000（GPC、ポリスチレン標準） 合成例 ３ （化合物例No.５の合成） 合成例１で得たモノマー7.93ｇ（0.0300mol）
および、ピリジン5.22ｇ（0.0660mol）をアセト
ン100mlに溶解し、撹拌しながらこれにジメチル
ジクロロシラン3.87ｇ（0.0300mol）を室温下、
滴下ロートにより30分間を要して滴下した。滴下
後、３時間加熱還流させた後、白色固体を過し
液を濃縮したところ、淡黄色固体を得た。収量
7.0ｇ。 ｗ＝6500（GPC、ポリスチレン標準） 実施例 １ 厚さ0.24mmの2Sアルミニウム板を80℃に保つた
第３燐酸ナトリウムの10％水溶液に３分間浸漬し
て脱脂し、ナイロンブラシで砂目立てした後アル
ミン酸ナトリウムで約10秒間エツチングして、硫
酸水素ナトリウム３％水溶液でデスマツト処理を
行つた。このアルミニウム板を20％硫酸中で電流
密度2A／ｄm²において２分間陽極酸化を行いア
ルミニウム板を作製した。 次に下記感光液〔Ａ〕の本発明の化合物の種類
を変えて５種類の感光液〔Ａ〕−１〜〔Ａ〕−３を
調整し、この感光液を陽極酸化されたアルミニウ
ム板の上に塗布し、100℃で２分間乾燥して、そ
れぞれの感光性平版印刷版〔AA〕−１〜〔Ａ〕−
３を作製した。このときの塗布量は全て乾燥重量
で1.5ｇ／m²であつた。 また、感光液〔Ａ〕−１〜〔Ａ〕−３に用いた本
発明の化合物は第１表に示す。 感光液〔Ａ〕 本発明の化合物 0.40ｇ クレゾール−ホルムアルデヒドノボラツク樹脂
1.0ｇ １，２−ナフトキノン−２−ジアジド−４−ス
ルホニルクロリド 0.05ｇ オイルブルー＃603（オリエント化学工業(株)製）
0.01ｇ エチレンジクロリド 10ｇ メチルセロソルブ 10ｇ 次に比較例として下記の感光液〔Ｂ〕および
〔Ｃ〕を感光液〔Ａ〕と同様に塗布し、感光性平
版印刷版〔Ｂ〕およぴ〔Ｃ〕を作製した。 感光液〔Ｂ〕 フエノール−ホルムアルデヒド ノボラツク樹脂と１，２−ナフトキノン−２−
ジアジド−５−スルホニルクロリドとの縮合生
成物 0.45ｇ クレゾール−ホルムアルデヒドノボラツク樹脂
1.0ｇ １，２−ナフトキノン−２−ジアジド−４−ス
ルホニルクロリド 0.02ｇ オイルブルー＃603 （オリエント化学工業(株)製） 0.01ｇ エチレンジクロリド 10ｇ メチルセロソルブ 10ｇ 感光液〔Ｃ〕 下記に示すシリルエーテル化合物 0.40ｇ クレゾールホルムアルデヒドノボラツク樹脂
1.0ｇ １，２−ナフトキノン−２−ジアジド−４−ス
ルホニルクロリド 0.05ｇ オイルブルー＃603（オリエント化学工業(株)製）
0.01ｇ エチレンジクロリド 10ｇ メチルセルソルブ 10ｇ 〔シリルエーテル化合物〕 ｗ＝8000（GPC、ポリスチレン標準） 乾燥後の塗布重量は1.5ｇ／m²であつた。感光
性平版印刷版〔Ａ〕−１〜〔Ａ〕−３、〔Ｂ〕およ
び〔Ｃ〕の感光層上に濃度差0.15のグレースケー
ルを密着させ、30アンペアのカーボンアーク灯で
70cmの距離から露光を行つた。 本発明の優れた感光性を示す為に露光された感
光性平版印刷版〔Ａ〕−１〜〔Ａ〕−３、〔Ｂ〕お
よぴ〔Ｃ〕をDP−４（商品名：富士写真フイルム
(株)製）の８倍希釈水溶液で25℃において60秒間浸
漬現像し、濃度差0.15のグレースケールで５段目
が完全にクリアーとなる露光時間を求めたところ
第１表に示すとおりとなつた。

【表】 第１表からわかるように本発明の化合物を用い
た感光性平版印刷版〔Ａ〕−１〜〔Ａ〕−３はいず
れも〔Ｂ〕および〔Ｃ〕より露光時間が少なく、
感度が高い。 実施例 ２ 実施例１の感光液〔Ａ〕−１〜３、〔Ｂ〕および
〔Ｃ〕を用い実施例１と同様にして感光性平版印
刷版〔Ａ〕−１〜３、〔Ｂ〕および〔Ｃ〕を作製し
た。乾燥後の塗布重量は各々1.5ｇ／m²であつた。 現像許容性を見る為、感光性平版印刷版〔Ａ〕
−１〜３、〔Ｂ〕および〔Ｃ〕の感光層上に濃度
差0.15のグレースケールを密着させ、30アンペア
のカーボンアーク灯で70cmの距離から30秒間露光
を行つた。露光された感光性平版印刷版〔Ａ〕−
１〜３、〔Ｂ〕及び〔Ｃ〕を実施例１と同じ現像
液にて25℃で60秒間及び３分間浸漬現像した。濃
度差0.15のグレースケールで60秒間及び３分間現
像における完全にクリアーとなる段数の差を求め
たところ第２表に示すとおりとなつた。

【表】 第２表からわかるように本発明の化合物を用い
た感光性平版印刷版〔Ａ〕−１〜３はいずれも、
クリアー部のグレースケール段数変化が小さく、
現像許容性が大きく優れたものであつた。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ (a)活性光線の照射により酸を発生し得る化合
   物及び(b)下記一般式（）で表わされるシリルウ
   レイド基を少なとも１個有し、現像液中でのその
   溶解度が酸の作用により増大する化合物を含有す
   る光可溶化組成物 式中、R₁は水素原子、置換基を有していても
   よいアルキル基もしくは、置換基を有していても
   よいアリール基を表わし、R₂は水素原子、置換
   基を有していてもよいアルキル基もしくは置換基
   を有していてもよいアリール基を表わす。 Ｘは酸素原子もしくはイオウ原子を表わす。