JPH0546939A - 薄膜磁気ヘツド及び磁気ヘツド装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】薄膜磁気回路に対する影響の小さい放電防止接
地構造を有し、接地接続の容易な薄膜磁気ヘッド及び磁
気ヘッド装置を提供する。 【構成】 薄膜磁気変換素子２は、磁性膜２１、２２と
コイル膜２３とを含む薄膜磁気回路を有し、スライダ１
の端面上に設けられている。引出導体３は第１導電部３
１と第２導電部３２とを有し、第１導電部３１は保護膜
２６を貫通して設けられ、一端が磁性膜２２に電気的に
接続され、他端側が保護膜２６の外面に導出されてい
る。第２導電部３２は非磁性導電材料で構成され保護膜
２６の外面上に設けられ第１導電部３１に導通してい
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、浮上型の薄膜磁気ヘッ
ドに関し、更に詳しくは、磁性膜のポール部と媒体との
間に、キャパシタの蓄積電荷による放電が生じるのを阻
止できるようにした薄膜磁気ヘッド及び磁気ヘッド装置
に関する。

【０００２】

【従来の技術】この種の薄膜磁気ヘッドは、スライダ
と、薄膜磁気変換素子とを有し、薄膜磁気変換素子があ
る電位に保たれるコイル膜と、コイル膜と共に薄膜磁気
回路を構成する磁性膜とを有しており、磁性膜とコイル
膜との間にキャパシタが発生する。

【０００３】一方、最近の小型ＨＤＤでは、パソコン搭
載を考慮してパソコン電源である５ボルト、１２ボルト
をそのまま利用すべく、小型ＨＤＤ用の読み書き用ＩＣ
も５ボルトまたは１２ボルトの片電源を用いるようにな
っている。このため、薄膜磁気ヘッドは一定電圧、具体
的には、６ボルトの正電圧で常時バイアスされる。その
結果、キャパシタはバイアス電圧により常時一方向に電
荷が蓄積される。

【０００４】キャパシタに蓄積された電荷はポ−ル部と
媒体との間接触などによる放電により放出され、磁性膜
の電位が変動する。磁性膜の電位変動によりコモンモー
ドノイズが発生し、読み取りデ−タにエラ−を生じる。
この放電防止技術に関する先行技術文献としては、例え
ば、特開平２−２４６０４８号公報等がある。この先行
技術においては、薄膜磁気ヘッドのバイアス電位と媒体
の電位とを等しくして放電を生じさせないようにしてい
る。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た先行技術では、薄膜磁気ヘッドのバイアス電位と媒体
の電位とを等しくするために、回転する媒体に薄膜磁気
ヘッドと同電位にする手段を設けることが必須になるの
で、磁気ディスク装置の構造が複雑となり、大型化を招
くと共に、高価になっている。

【０００６】そこで本発明の課題は、上述する従来の問
題点を解決し、薄膜磁気回路に対する影響の小さい放電
防止接地構造を有し、接地接続の容易な薄膜磁気ヘッド
及び磁気ヘッド装置を提供することである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上述した課題解決のた
め、本発明は、スライダと、薄膜磁気変換素子と、保護
膜と、引出導体とを有する薄膜磁気ヘッドであって、前
記薄膜磁気変換素子は、磁性膜とコイル膜とを含む薄膜
磁気回路を有し、前記スライダの端面上に設けられてお
り、前記保護膜は、前記薄膜磁気変換素子を覆ってお
り、前記引出導体は、第１導電部と第２導電部とを有
し、前記第１導電部は、前記保護膜を貫通して設けら
れ、一端が前記磁性膜に電気的に接続され、他端側が前
記保護膜の外面に導出されており、前記第２導電部は、
非磁性導電材料で構成され、前記保護膜の外面上に設け
られ前記第１導電部に導通していることを特徴とする。

【０００８】

【作用】引出導体を構成する第１導電部は、一端が磁性
膜に電気的に接続され、他端側が保護膜の外面に導出さ
れており、第２導電部は保護膜の外面上に設けられ第１
導電部に導通しているから、保護膜の外面上で第２導電
部をアース電位に接続することができ、磁性膜をアース
電位に保ち、キャパシタへ電荷が蓄積されたとしても、
アース電位にある磁性膜と、同じくアース電位に保たれ
る媒体との間で、キャパシタの蓄積電荷に起因する放電
を生じる余地がなくなる。

【０００９】第２導電部は保護膜の外面上に設けられて
いるので、第２導電部をアース電位に接続するに当っ
て、保護膜の外面で第２導電部にアース接続導体を接続
するだけでよく、その接続作業が極めて容易である。

【００１０】引出導体は、第２導電部が非磁性導電材料
で構成されているから、薄膜磁気回路に対する磁気的な
影響が小さくなり、設計に即した特性を有する薄膜磁気
ヘッドが得られる。

【００１１】第１導電部は、保護膜を貫通して設けられ
ており、第２導電部は保護膜の上に設けられているか
ら、保護膜の形成前、薄膜磁気変換素子のコイル膜に導
通する取出電極（バンプ）を形成するときに第１導電部
を形成すると共に、保護膜を形成した後、その表面を研
磨して取出電極の面出を行なうときに、第１導電部の面
出しを行ない、更に、取出電極の表面に金膜等を形成す
るときに、同時に第２導電部を金膜として形成できる。
このため、マスクパターンの変更等の僅かな変更で、従
来の製造工程を殆ど変更することなしに、引出導体を形
成できる。

【００１２】上述の薄膜磁気ヘッドとヘッド支持装置と
を組合せた磁気ヘッド装置において、薄膜磁気ヘッドを
ヘッド支持装置に接着する接着剤が、第２導電部とヘッ
ド支持装置とを電気的に接続する導電性接着剤として兼
用されているので、導電性接着剤塗布、硬化工程が短縮
できる。

【００１３】

【実施例】図１は本発明に係る薄膜磁気ヘッドを薄膜磁
気変換素子側から見た正面図、図２は引出導体の構造を
モデル化して示す図、図３は薄膜磁気変換素子部分の拡
大断面図である。各図は構造の概略を示すために用いら
れているもので、各部寸法は誇張されている。図におい
て、１はスライダ、２は薄膜磁気変換素子、３は引出導
体である。

【００１４】図示のスライダ１はAl₂O₃-Tic 等の導電性
を有する材料で構成された基体１０１の上に、アルミナ
等の絶縁膜１０２を有している。基体１０１はフェライ
ト磁性体等の絶縁抵抗の高い材料によって構成すること
もでき、このような場合には、絶縁膜１０２は省略する
こともできる。図示のスライダ１は媒体対向面側に２つ
のレール１０３、１０４を有し、レール１０３、１０４
の表面を空気ベアリング面１０５、１０６として利用す
るタイプを示している。図示はしないが、媒体対向面が
レール部を持たない平面状の空気ベアリング面となって
いるスライダであってもよい。

【００１５】薄膜磁気変換素子２は、下部磁性膜２１
と、上部磁性膜２２と、コイル膜２３とを有し、スライ
ダ１を構成する絶縁膜１０２の端面上に設けられてい
る。薄膜磁気変換素子２はレール１０３、１０４の両者
または片側に備えられる。下部磁性膜２１及び上部磁性
膜２２は、通常、パーマロイ等で構成され、先端部が変
換ギャップを構成するポ−ル部２１１、２２１となって
いる。ポ−ル部２１１、２２１に連なるヨ−ク部２１
２、２２２の後方側が磁気回路を完成するように結合さ
れている。ポール部２１１、２２１はアルミナ等でなる
ギャップ膜２４により隔てられている。コイル膜２３
は、下部磁性膜２１及び上部磁性膜２２の結合部の回り
に渦巻き状に設けられている。コイル膜２３と下部磁性
膜２１及びコイル膜２３と上部磁性膜２２との間は、絶
縁膜２５１〜２５３により絶縁されている。絶縁膜２５
１〜２５３は、通常、ノボラック樹脂等の有機樹脂で構
成される。２６はアルミナ等でなる保護膜、２７、２８
はコイル膜２３に導通する取出電極、２７１、２８１は
リード電極である。保護膜２６は薄膜磁気変換素子２の
全体を覆っている。取出電極２７、２８は保護膜２６を
貫通してその表面に露出しており、その大部分が銅を主
成分として構成され、その表面が金膜によって覆われて
いる。金膜の表面が半田メッキ膜によって覆われていて
もよい。

【００１６】引出導体３は、第１導電部３１と第２導電
部３２とを有する。第１導電部３１は、保護膜２６を貫
通して設けられ、一端が上部磁性膜２２に電気的に接続
され、他端側が保護膜２６の外面に導出されている。第
１導電部３１を構成する材料の具体例としては、銅また
はチタン等を挙げることができる。これらの材料の内で
も、後で説明する製造工程上の利点を考慮した場合は、
取出電極２７、２８の構成材料である銅によって構成す
ることが好ましい。第２導電部３２は、非磁性導電材料
で構成され、保護膜２６の外面上に設けられ第１導電部
３１に導通している。第２導電部３２を構成する非磁性
材料の具体例としては、金またはチタン等を挙げること
ができる。これらの材料の内でも、後で説明する製造工
程上の利点を考慮した場合は、取出電極２７、２８の表
面膜の構成材料である金によって構成することが好まし
い。実施例では、第２導電部３２は、他端部がスライダ
１の媒体対向面に位置する空気ベアリング面１０５（ま
たは１０６）と対向する上面１０７の方向に導出されて
いる。図１〜図３の実施例では、２個備えられる薄膜磁
気変換素子２のそれぞれ毎に、互いに独立する引出導体
３を設けた例を示したが、図４に示す如く、第２導電部
３２を２つの薄膜磁気変換素子２で一部共用するような
構造であってもよい。

【００１７】上述のように、引出導体３を構成する第１
導電部３１は、一端が上部磁性膜２２に電気的に接続さ
れ、他端側が保護膜２６の外面に導出されており、第２
導電部３２は保護膜２６の外面上に設けられ第１導電部
３１に導通しているから、保護膜２６の外面上で第２導
電部３２をアース電位に接続することができ、磁性膜２
１、２２をアース電位に保ち、キャパシタへ電荷が蓄積
されたとしても、アース電位にある磁性膜２１、２２
と、同じくアース電位に保たれる媒体との間で、キャパ
シタの蓄積電荷に起因する放電を生じる余地がなくな
る。

【００１８】しかも、第２導電部３２は保護膜２６の外
面上に設けられているので、第２導電部３２をアース電
位に接続するに当って、保護膜２６の外面で第２導電部
３２にアース接続導体を接続するだけでよく、その接続
作業が極めて容易である。第２導電部３２をアース電位
に接続するには、図２に示す如く、媒体対向面とは反対
側の面１０７側において、基体１０１と第２導電部３２
の端部との間に導電性ペイント６を付与する構造、また
は、後で説明するように、磁気ヘッドとヘッド支持装置
とを固着する導電性接着剤を用いて、第２導電部３２を
ヘッド支持装置に電気的に導通させる等の手段が有効で
ある。

【００１９】また、引出導体３は、第２導電部３２が非
磁性導電材料で構成されているから、薄膜磁気回路に対
する磁気的な影響が小さくなり、設計に即した特性を有
する薄膜磁気ヘッドが得られる。

【００２０】更に、第１導電部３１は、保護膜２６を貫
通して設けられており、第２導電部３２は保護膜２６の
上に設けられているから、このため、マスクパターンの
変更等の僅かな変更を伴うだけで、従来の製造工程を殆
ど変更することなしに、引出導体を形成できる。次にこ
の点について、図５〜図９を参照して説明する。

【００２１】まず、図５に示すように、通常の工程に従
って、薄膜磁気変換素子２及びコイル膜２３の端末に導
通するリード電極２７１、２８１を形成する。次に図６
に示すように、保護膜を形成する前に、薄膜磁気変換素
子２のコイル膜２３に導通する取出電極２７、２８と同
時に、上部磁性膜２２の上に第１導電部３１を形成す
る。

【００２２】次に、図７に示すように、薄膜磁気変換素
子２、取出電極２７１、２８１及び第１導電部３１を覆
うように、保護膜２６を形成した後、図８に示すように
保護膜２６の表面を研磨して取出電極２７、２８の面出
し及び第１導電部３１の面出しを行なう。

【００２３】更に、図９に示すように、取出電極２７
１、２８１の表面に金膜２７０、２８０等を形成すると
きに、同時に第２導電部３２を金膜として形成する。

【００２４】上述の工程によれば、マスクパターの変更
等の僅かな変更で、従来の製造工程を殆ど変更すること
なしに、引出導体３を形成できる。

【００２５】図１０は本発明に係る磁気ヘッド装置を組
込んだ磁気ディスク装置の構成を示す図で、Ｍは磁気デ
ィスク、Ａは磁気ヘッド装置、Ｂは位置決め機構であ
る。磁気ディスクＭは、図示しない回転駆動機構によ
り、矢印ａの方向に回転駆動される。磁気ヘッド装置Ａ
は、位置決め機構Ｂにより磁気ディスクＭ上で、矢印ｂ
1またはｂ2 の方向に駆動されて位置決めされ、それに
よって、所定のトラックにおいて、磁気ディスクＭへの
書き込み及び読み出しが行なわれる。

【００２６】磁気ヘッド装置Ａは、ヘッド支持装置４と
磁気ヘッド５とを有する。ヘッド支持装置４は、通常、
磁気ヘッド５にピッチ運動及びロール運動を許容するよ
うに磁気ヘッド５を支持している。ヘッド支持装置４と
しては、例えば、特公昭５８ー２２８２７号公報等で知
られている。かかる公知技術の他に、これまで提案さ
れ、またはこれから提案されることのあるヘッド支持装
置も採用できる。

【００２７】図１１は磁気ヘッド装置の正面図、図１２
は同じく底面図、図１３は同じく拡大部分欠損正面図で
ある。ヘッド支持装置４は、一端側に接着剤６を用いて
薄膜磁気ヘッド５を接着してある。接着剤６は薄膜磁気
ヘッド５の第２導電部３２とヘッド支持装置４とを電気
的に接続する導電性接着剤である。このように、薄膜磁
気ヘッド５をヘッド支持装置４に接着する接着剤６が、
第２導電部３２とヘッド支持装置４とを電気的に接続す
る導電性接着剤として兼用されているので、導電性接着
剤塗布硬化工程が短縮できる。

【００２８】図示のヘッド支持装置４は、特公昭５８ー
２２８２７号公報等で知られた構造のもを示している。
金属薄板でなる支持体４１の長手方向の一端にある自由
端に、同じく金属薄板でなる可撓体４２を取付け、この
可撓体４２の下面に磁気ヘッド５を取付けた構造となっ
ていて、磁気ディスクＭ（図１０参照）に磁気ヘッド５
を押付ける荷重力を与える。可撓体４２は、支持体４１
の長手方向軸線Ｏ1 と略平行して伸びる２つの外側可撓
性枠部４２１、４２２と、支持体４１から離れた端にお
いて外側可撓性枠部４２１、４２２を連結する横枠４２
３と、横枠４２３の略中央部から外側可撓性枠部４２
１、４２２に略平行するように延びていて先端を自由端
とした中央舌状部４２４とを有して構成され、横枠４２
３のある方向とは反対側の一端を、支持体４１の自由端
付近に溶接等の手段によって取付けてある。

【００２９】可撓体４２の中央舌状部４２４の上面に
は、例えば半球状の荷重用突起４２５が設けられてい
て、この荷重用突起４２５により、支持体４１の自由端
から中央舌状部４２４へ荷重力を伝えるようにしてあ
る。そして、中央舌状部４２４の下面に接着剤６を用い
て、磁気ヘッド５を接着してある。磁気ヘッド５はヘッ
ド支持装置４の長手方向に一致し、スライダ１に設けら
れた薄膜磁気変換素子２が空気流出端側に位置するよう
にして、ヘッド支持装置４によって接着固定される。こ
のようなタイプは、インラインタイプと呼ばれている。
接着剤６は有機質導電接着剤であり、図１３に拡大して
示すように、薄膜磁気ヘッド５の第２導電部３２とヘッ
ド支持装置４の可撓体４２とを電気的に接続している。
これにより、磁気変換素子２の下部磁性膜２１及び上部
磁性膜２２がアース電位に保たれ、キャパシタに起因す
る媒体Ｍとポール部２１１、２２１との間の放電が阻止
される。

【００３０】上述の磁気ヘッド装置または磁気ディスク
装置は、磁気ヘッド５のスライダ１を磁気ディスクＭの
表面に圧接させ、この状態で起動、及び停止を行なうコ
ンタクト・スタート・ストップ（ＣＳＳ）方式によって
駆動される。磁気ディスクＭが静止しているときは、ス
ライダ１の空気ベアリング面１０５、１０６が磁気ディ
スクＭの面に押し付けられているが、磁気ディスクＭが
回転すると、スライダ１の空気ベアリング面１０５、１
０６に揚力動圧が発生し、磁気ヘッド５はこの動圧とヘ
ッド支持装置４から荷重用突起４２５を介して与えられ
る荷重と釣合う浮上量で浮上する。

【００３１】本発明は、図示した面内記録再生用薄膜磁
気ヘッドに限らず、例えば垂直記録再生用薄膜磁気ヘッ
ド、磁気抵抗効果素子を読み書き素子とした薄膜磁気ヘ
ッド等、他のタイプの薄膜磁気ヘッドにも適用できる。

【００３２】

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、次
のような効果が得られる。 （ａ）引出導体を構成する第１導電部は、一端が磁性膜
に電気的に接続され、他端側が保護膜の外面に導出され
ており、第２導電部は保護膜の外面上に設けられ第１導
電部に導通しているから、保護膜の外面上で第２導電部
をアース電位に接続することができ、磁性膜をアース電
位に保ち、キャパシタへ電荷が蓄積されたとしても、キ
ャパシタの蓄積電荷に起因する放電を生じる余地のない
薄膜磁気ヘッド及び磁気ヘッド装置を提供できる。 （ｂ）第２導電部は保護膜の外面上に設けられているの
で、第２導電部をアース電位に接続するに当って、保護
膜の外面で第２導電部にアース接続導体を接続するだけ
でよく、その接続作業の極めて容易な薄膜磁気ヘッド及
び磁気ヘッド装置を提供できる。 （ｃ）引出導体は、第２導電部が非磁性導電材料で構成
されているから、薄膜磁気回路に対する磁気的な悪影響
が小さく、設計に即した特性を有する薄膜磁気ヘッド及
び磁気ヘッド装置を提供できる。 （ｄ）第１導電部は、保護膜を貫通して設けられてお
り、第２導電部は保護膜の上に設けられているから、マ
スクパターンの変更等の僅かな変更だけで済み、従来の
製造工程を殆ど変更することなしに、引出導体を形成し
得る薄膜磁気ヘッド及び磁気ヘッド装置を提供できる。 （ｅ）上述の薄膜磁気ヘッドとヘッド支持装置とを組合
せた磁気ヘッド装置において、薄膜磁気ヘッドをヘッド
支持装置に接着する接着剤が、第２導電部とヘッド支持
装置とを電気的に接続する導電性接着剤として兼用され
ているので、導電性接着剤塗布、硬化工程を短縮し得る
磁気ヘッド装置を提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る薄膜磁気ヘッドを空気流出端側と
なる薄膜磁気変換素子側から見た正面図である。

【図２】本発明に係る薄膜磁気ヘッドにおける引出導体
の構造をモデル化して示す図である。

【図３】本発明に係る薄膜磁気ヘッドの薄膜磁気変換素
子部分の拡大断面図である。

【図４】本発明に係る薄膜磁気ヘッドの他の実施例を示
す正面図である。 図５〜図９ 本発明に係る薄膜磁気ヘッドの製造工程例を示す図であ
る。

【図１０】本発明に係る磁気ヘッド装置を組込んだ磁気
ディスク装置の構成を示す図である。

【図１１】本発明に係る磁気ヘッド装置の正面図であ
る。

【図１２】本発明に係る磁気ヘッド装置の底面図であ
る。

【図１３】本発明に係る磁気ヘッド装置の拡大部分欠損
正面図である。

【符号の説明】

１ スライダ １０１ 基体 ２ 薄膜磁気変換素子 ２１ 下部磁性膜 ２２ 上部磁性膜 ２３ コイル膜 ３ 引出導体 ３１ 第１導電部 ３２ 第２導電部

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 スライダと、薄膜磁気変換素子と、保護
   膜と、引出導体とを有する薄膜磁気ヘッドであって、 前記薄膜磁気変換素子は、磁性膜とコイル膜とを含む薄
   膜磁気回路を有し、前記スライダの端面上に設けられて
   おり、 前記保護膜は、前記薄膜磁気変換素子を覆っており、 前記引出導体は、第１導電部と第２導電部とを有し、 前記第１導電部は、前記保護膜を貫通して設けられ、一
   端が前記磁性膜に電気的に接続され、他端側が前記保護
   膜の外面に導出されており、 前記第２導電部は、非磁性導電材料で構成され、前記保
   護膜の外面上に設けられ、前記第１導電部に導通してい
   ることを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
2. 【請求項２】 前記スライダは導電性基体の上に絶縁膜
   を有しており、前記薄膜磁気変換素子は前記絶縁膜の上
   に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の薄
   膜磁気ヘッド。
3. 【請求項３】 前記第１導電部は、銅またはチタンの何
   れかを主成分とすることを特徴とする請求項１または２
   に記載の薄膜磁気ヘッド。
4. 【請求項４】 前記第２導電部は、金またはチタンの何
   れかを主成分とすることを特徴とする請求項１、２また
   は３に記載の薄膜磁気ヘッド。
5. 【請求項５】 前記第２導電部は他端部が前記スライダ
   の媒体対向面と向き合う上面の方向に導出されているこ
   とを特徴とする請求項１、２、３または４に記載の薄膜
   磁気ヘッド。
6. 【請求項６】 薄膜磁気ヘッドと、ヘッド支持装置とを
   有する磁気ヘッド装置であって、 前記薄膜磁気ヘッドは、スライダと、薄膜磁気変換素子
   と、保護膜と、引出導体とを含んでおり、 前記薄膜磁気変換素子は、磁性膜とコイル膜とを含む薄
   膜磁気回路を有し、前記スライダの端面上に設けられて
   おり、 前記保護膜は、前記薄膜磁気変換素子を覆っており、 前記引出導体は、第１導電部と第２導電部とを有し、 前記第１導電部は、前記保護膜を貫通して設けられ、一
   端が前記磁性膜に電気的に接続され、他端側が前記保護
   膜の外面に導出されており、 前記第２導電部は、非磁性導電材料で構成され、前記保
   護膜の外面上に設けられ、前記第１導電部に導通してお
   り、 前記ヘッド支持装置は、一端側に接着剤を用いて前記薄
   膜磁気ヘッドを接着し、前記接着剤が前記第２導電部と
   前記ヘッド支持装置とを電気的に接続する導電性接着剤
   であることを特徴とする磁気ヘッド装置。