JPH0545598U - 回転テーブル装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 スラスト軸受の構成部材の加工精度を高める
だけで、容易に回転テーブルの回転精度を高めることが
できる回転テーブル装置を提供することを目的とする。 【構成】 ステータ１１と、該ステータ１１に回転自在
に嵌入されたロータ３０間にスラスト用の空気軸受、及
びラジアル用の空気軸受を構成した。そして、ラジアル
用の軸受剛性をオリフィス絞りで構成すると共に、スラ
スト用の軸受剛性をオリフィス絞りと、表面絞りとの複
合絞りで構成して、スラスト用の軸受剛性をラジアル用
の軸受剛性より大きくした。また、ばね４０を使用して
上下に構成されたスラスト軸受のいずれか一方の剛性を
他方のスラスト軸受より小さくした。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は回転テーブル装置に係り、特にスラスト用の空気軸受とラジアル用 の空気軸受を備えた真円度測定機の回転テーブル装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

空気軸受は軸受部に形成された絞りを介して圧縮空気に流体抵抗を生じさせて 軸受剛性を得る。軸受剛性は絞り径を小さくして流体抵抗が大きくなる程高くな る。この空気軸受は円筒形に形成され、円筒形内に嵌入されたロータは空気軸受 の剛性により円筒形軸受に非接触状態で回転する。

【０００３】 このロータの回転精度はロータの加工形状に影響される。すなわち、空気軸受 に配設されたロータは、加工されたロータの形状に従って一定の軌跡を描いて回 転する。 一方、近年の真円度測定機は測定精度の高いものが要求されていて、真円度測 定機の測定精度を高めるためにはロータの回転精度を高める必要がある。また、 真円度測定機の回転テーブルはスラスト用の空気軸受とラジアル用の空気軸受で 回転精度が維持され、これらの空気軸受の軸受剛性は回転精度に均等に影響する 。従って、回転テーブルの回転精度を高めるためにはスラスト用の空気軸受とラ ジアル用の空気軸受の構成部材の加工誤差を小さくする必要がある。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、加工装置の性能に限界があるのでスラスト軸受とラジアル軸受 の構成部材の加工精度を同時に高めることは困難である。従って回転テーブルの 回転精度を高めることが困難であるという問題がある。 本考案はこのような事情に鑑みてなされたもので、回転テーブルの回転精度を 容易に高めることができる回転テーブル装置を提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

本考案は、その上下面にスラスト用の空気軸受が形成され、その孔内周面にラ ジアル用の空気軸受が形成されたステータ部材と、ステータ部材のスラスト用の 空気軸受で支持されるスラスト板と、スラスト板と連結されると共にステータ部 材の孔内周に嵌入されステータ部材のラジアル用の空気軸受で支持されるシャフ トと、を具備する回転テーブルと、から成る回転テーブル装置において、前記ス ラスト用の空気軸受剛性を前記ラジアル用の空気軸受剛性より大きくすることを 特徴とする。

【０００６】

【作用】

本考案によれば、回転テーブル装置のラジアル用の軸受剛性をオリフィス絞り で構成すると共に、スラスト用の軸受剛性をオリフィス絞りと、表面絞りとの複 合絞りで構成したので、スラスト用の軸受剛性をラジアル用の軸受剛性より大き くすることができる。

【０００７】

【実施例】

以下添付図面に従って本考案に係る回転テーブル装置について詳細する。 図１には本考案に係る回転テーブル装置１０の第１実施例の断面図が示されて いて、図２にはその斜視図が示されている。回転テーブル装置１０のステータ１ １は円筒形に形成され、その開口部内には回転テーブル３０が回動自在に配設さ れている。回転テーブル３０はシャフト３０Ａを有し、シャフト３０Ａの下端部 には円盤形の下部スラスト板３０Ｃが固着されている。また、シャフト３０Ａの 上端部には円盤形の上部スラスト板３０Ｂが固着されていて、上部スラスト板３ ０Ｂの上面にはテーブル板３１が設けられている。

【０００８】 また、ステータ１１の内部には６系統のラジアル軸受用圧縮空気の通路系１４ 及び６系統のスラスト軸受用圧縮空気の通路系１５が形成されている。 ラジアル軸受用通路系１４は通路１４Ａ、１４Ｂから成り、それぞれの通路１ ４Ａ、１４Ｂの先端部には図示しないオリフィスが設けられている。通路１４Ａ 、１４Ｂのオリフィスはそれぞれ吐出口１６Ａ、１６Ｂに連通されている。吐出 口１６Ａ、１６Ｂはステータ１１の内周面に形成されている。また、通路１４Ａ 、１４Ｂの後端部は配管１８、１８を介して図示しない圧縮空気の供給源に連通 されている。従って、供給源から圧縮空気を供給するとオリフィスを介して吐出 口１６Ａ、１６Ｂから圧縮空気が吐出されて、オリフィス絞りによるステータ１ １の内周面とシャフト３０Ａの外周面のラジアル軸受剛性を得ることができる。

【０００９】 スラスト軸受用圧縮空気の通路系１５は通路１５Ａ、１５Ｂから成り、それぞ れの通路１５Ａ、１５Ｂの先端部にはラジアル軸受用通路系１４と同様に図示し ないオリフィスが設けられている。通路１５Ａ、１５Ｂのオリフィスはそれぞれ 吐出口１７Ａ、１７Ｂに連通されている。吐出口１７Ａはステータ１１の上面に 形成されていて、吐出口１７Ｂはステータ１１の下面に形成されている。

【００１０】 図２、図３に示すように、ステータ１１の上面には略「王」の字型の溝１１Ａ 、１１Ａ…が形成され、吐出口１７Ａは略「王」の字型の溝１１Ａの略中央に開 口している。また、ステータ１１の下面には、ステータ１１の上面と同様に、略 「王」の字型の溝１１Ａと同一形状の溝１１Ｂが形成され、吐出口１７Ｂの各々 は略「王」の字型の溝１１Ｂの略中央に開口している（図１参照）。そして、ス テータ１１の上面及び下面はそれぞれ上部スラスト板３０Ｂ及び下部スラスト板 ３０Ｃに対向している。

【００１１】 また、通路１５Ａ、１５Ｂの後端部は配管１９、１９を介してラジアル軸受用 通路系１４と同様に図示しない圧縮空気の供給源に連通されている。従って、ス ライス軸受の軸受剛性は圧縮空気のオリフィス絞りと、略「王」の字型の溝１１ Ａ、１１Ｂによる表面絞りとの複合絞りで構成される。これにより、スライス軸 受剛性がラジアル軸受剛性より大きくなるので、回転精度に対するスライス軸受 の影響がラジアル軸受より大きくなる。従って、上下部のスラスト板３０Ｂ、３ ０Ｃとステータ１１の上面及び下面の加工精度を上げることにより回転精度の向 上が図られる。

【００１２】 尚、図１に示すようにテーブル板３１には被測定物３２が載置され、被測定物 ３２の周面には先端子３４が当接されている。この状態で、圧縮空気の供給源か ら圧縮空気を供給すると共にテーブル板３１を回動して被測定物３２の形状を測 定する。 前記第１実施例ではスライス軸受に表面絞りを加えて、スライス軸受剛性をラ ジアル軸受剛性より大きくしたが、これに限らず、図４の第２実施例に示すよう にばね４０を使用して下方のスライス軸受剛性を上方のスライス軸受剛性より小 さくしてもよい。以下図４に基づいて第２実施例について説明する。尚、第１実 施例と同一類似部材については同一符号を付し説明を省略する。

【００１３】 回転テーブル４２は下端部にねじ部４４が形成され、ねじ部４４には下部スラ スト板３０Ｃが嵌入されている。下部スラスト板３０Ｃの下方のねじ部４４には ばね４０が嵌入されていて、ばね４０の下方にはナット４６がねじ結合されてい る。従って、下部スラスト板３０Ｃは回転テーブル４２の段部４２Ａとばね４０ とで挟持される。

【００１４】 これにより、下方のスライス軸受剛性が上方のスライス軸受剛性より小さくな り、回転精度への優位性が上方のスライス軸受に与えられるので、従って、上部 スラスト板３０Ｂとステータ１１の上面の加工精度を上げることにより回転精度 の向上が図られる。 前記第２実施例ではばね４０を使用して下方のスライス軸受剛性を上方のスラ イス軸受剛性より小さくしたが、前記第１実施例において上下のスライス軸受に 採用したオリフィス絞りと表面絞りとの複合絞りを上下方いづれか一方に適用さ せても、第２実施例と同様の効果を奏することができる。

【００１５】

【考案の効果】

以上述べたように本考案に係る回転テーブル装置によれば、回転テーブル装置 のラジアル用の軸受剛性をオリフィス絞りで構成すると共に、スラスト用の軸受 剛性をオリフィス絞りと、表面絞りとの複合絞りで構成したので、スラスト用の 軸受剛性をラジアル用の軸受剛性より大きくすることができる。

【００１６】 従って、スラスト軸受の構成部材の加工精度を高めるだけで、容易に回転テー ブルの回転精度を高めることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案に係る回転テーブル装置の第１実施例の
断面図

【図２】本考案に係る回転テーブル装置に使用されるス
テータの斜視図

【図３】本考案に係る回転テーブル装置に使用されるス
テータに形成された略「王」の字型の溝の斜視図

【図４】本考案に係る回転テーブル装置の第２実施例の
断面図

【符号の説明】

１０…回転テーブル装置 １１…ステータ １１Ａ、１１Ｂ…溝 １４…ラジアル軸受用圧縮空気の通路系 １５…スラスト軸受用圧縮空気の通路系 １６Ａ、１６Ｂ、１７Ａ、１７Ｂ…吐出口 ３０…回転テーブル ４０…ばね

Claims (5)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 その上下面にスラスト用の空気軸受が形
   成され、その孔内周面にラジアル用の空気軸受が形成さ
   れたステータ部材と、 ステータ部材のスラスト用の空気軸受で支持されるスラ
   スト板と、スラスト板と連結されると共にステータ部材
   の孔内周に嵌入されステータ部材のラジアル用の空気軸
   受で支持されるシャフトと、を具備する回転テーブル
   と、から成る回転テーブル装置において、 前記スラスト用の空気軸受剛性を前記ラジアル用の空気
   軸受剛性より大きくすることを特徴とする回転テーブル
   装置。
2. 【請求項２】 前記ラジアル用の空気軸受剛性をオリフ
   ィス絞りで構成すると共に、前記スラスト用の空気軸受
   剛性をオリフィス絞りと、表面絞りとの複合絞りで構成
   することを特徴とする請求項１の回転テーブル装置。
3. 【請求項３】 前記上下のスラストの空気軸受剛性のい
   ずれか一方を他方のスラストの空気軸受剛性より小さく
   する手段を備えたことを特徴とする請求項２の回転テー
   ブル装置。
4. 【請求項４】 前記上下のスラストの空気軸受剛性を他
   方より小さくする手段はばね部材であることを特徴とす
   る請求項３の回転テーブル装置。
5. 【請求項５】 前記上下のスラストの空気軸受剛性を他
   方より小さくする手段は軸受剛性をオリフィス絞りのみ
   で構成することを特徴とする請求項３の回転テーブル装
   置。