JPH0541430A - アルミパターン検査装置 - Google Patents
アルミパターン検査装置Info
- Publication number
- JPH0541430A JPH0541430A JP16862091A JP16862091A JPH0541430A JP H0541430 A JPH0541430 A JP H0541430A JP 16862091 A JP16862091 A JP 16862091A JP 16862091 A JP16862091 A JP 16862091A JP H0541430 A JPH0541430 A JP H0541430A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wave plate
- aluminum pattern
- light
- specimen
- reflected light
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 試料のアルミパターンからの金属反射光のみ
を選択して撮像素子に対して結像させ、撮像素子からの
信号を比較判定器で比較することにより、多層パターン
のアルミパターンのみ欠陥を検出する。 【構成】 試料を白色光源によって照明し、その反射光
の光路の対物レンズと結像レンズとの間に一定の波長域
の光のみを通過させる波長板を設け、この波長板の光の
通過域を波長板コントローラによって制御して撮像素子
に結像させ、撮像素子からの信号を比較判定器に比較す
る。
を選択して撮像素子に対して結像させ、撮像素子からの
信号を比較判定器で比較することにより、多層パターン
のアルミパターンのみ欠陥を検出する。 【構成】 試料を白色光源によって照明し、その反射光
の光路の対物レンズと結像レンズとの間に一定の波長域
の光のみを通過させる波長板を設け、この波長板の光の
通過域を波長板コントローラによって制御して撮像素子
に結像させ、撮像素子からの信号を比較判定器に比較す
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体ウエーハ等にお
けるアルミパターンの欠陥を検査するためのアルミパタ
ーン検査装置に関する。
けるアルミパターンの欠陥を検査するためのアルミパタ
ーン検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図４は従来のアルミパターン検査装置の
一例を示すブロック図である。
一例を示すブロック図である。
【０００３】半導体ウエーハ等におけるアルミパターン
の欠陥を検査するための従来のアルミパターン検査装置
は、図４に示すように、試料２０に対して焦点を合わせ
る対物レンズ１と、対物レンズを介して試料２０を照明
する暗視野照明部１０および明視野照明部１１と、対物
レンズ１からの光を撮像素子６に対して結像させる結像
レンズ３とを有する光学ユニットを設け、光学ユニット
の撮像素子６からの信号を基準アルミパターンの映像信
号と比較することによって欠陥を判定している。試料２
０の照明は、暗視野照明部１０と明視野照明部１１とを
同時に使用し、明視野照明部１１のみでは暗くて検出で
きないヒロックや下層パターンの輪郭部に相当するアル
ミパターンの部分を、暗視野照明部１０によって明るく
照明することにより、ヒロックや下層パターンの輪郭部
に影響されないアルミパターンの像を結像できるように
し、差絶対値回路１２を介して２値化回路１３に入力し
て欠陥を判定している。
の欠陥を検査するための従来のアルミパターン検査装置
は、図４に示すように、試料２０に対して焦点を合わせ
る対物レンズ１と、対物レンズを介して試料２０を照明
する暗視野照明部１０および明視野照明部１１と、対物
レンズ１からの光を撮像素子６に対して結像させる結像
レンズ３とを有する光学ユニットを設け、光学ユニット
の撮像素子６からの信号を基準アルミパターンの映像信
号と比較することによって欠陥を判定している。試料２
０の照明は、暗視野照明部１０と明視野照明部１１とを
同時に使用し、明視野照明部１１のみでは暗くて検出で
きないヒロックや下層パターンの輪郭部に相当するアル
ミパターンの部分を、暗視野照明部１０によって明るく
照明することにより、ヒロックや下層パターンの輪郭部
に影響されないアルミパターンの像を結像できるように
し、差絶対値回路１２を介して２値化回路１３に入力し
て欠陥を判定している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述したような従来の
アルミパターン検査装置は、暗視野照明と明視野照明と
を同時に行っているため、試料上の凹凸についての観察
が困難であるという欠点を有している。
アルミパターン検査装置は、暗視野照明と明視野照明と
を同時に行っているため、試料上の凹凸についての観察
が困難であるという欠点を有している。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明のアルミパターン
検査装置は、試料を照明する白色光源と、前記試料に対
して焦点を合わせる対物レンズと、前記対物レンズから
の反射光を撮像素子に対して結像させる結像レンズと、
前記対物レンズと前記結像レンズとの間に設けられ前記
対物レンズからの反射光のうちの一定波長の光のみを通
過させる波長板と、前記波長板の光の通過域を制御する
波長板コントローラと、前記撮像素子からの信号を比較
してアルミパターンの欠陥を判定する比較判定器とを備
えている。
検査装置は、試料を照明する白色光源と、前記試料に対
して焦点を合わせる対物レンズと、前記対物レンズから
の反射光を撮像素子に対して結像させる結像レンズと、
前記対物レンズと前記結像レンズとの間に設けられ前記
対物レンズからの反射光のうちの一定波長の光のみを通
過させる波長板と、前記波長板の光の通過域を制御する
波長板コントローラと、前記撮像素子からの信号を比較
してアルミパターンの欠陥を判定する比較判定器とを備
えている。
【０００６】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
て説明する。
【０００７】図１は本発明の一実施例を示すブロック
図、図２は図１の実施例における試料のアルミパターン
の反射特性を示す特性図、図３は図１の実施例における
試料のポリシリコンパターンの反射特性を示す特性図で
ある。
図、図２は図１の実施例における試料のアルミパターン
の反射特性を示す特性図、図３は図１の実施例における
試料のポリシリコンパターンの反射特性を示す特性図で
ある。
【０００８】図１に示すように、本実施例は、試料２０
に対して焦点を合わせる対物レンズ１と、対物レンズ１
を介して試料２０を照明する白色光源２と、対物レンズ
１からの光を撮像素子６に対して結像させる結像レンズ
３と、対物レンズ１と結像レンズ３との間に設けられ対
物レンズ１からの光のうちの一定の波長域の光のみを通
過させる波長板４とを有する光学ユニットと、この光学
ユニットの波長板４の光の通過域を制御する波長板コン
トローラ５と、光学ユニットの撮像素子６からの信号を
基準信号と比較して欠陥を判定する比較判定器７とを備
えている。
に対して焦点を合わせる対物レンズ１と、対物レンズ１
を介して試料２０を照明する白色光源２と、対物レンズ
１からの光を撮像素子６に対して結像させる結像レンズ
３と、対物レンズ１と結像レンズ３との間に設けられ対
物レンズ１からの光のうちの一定の波長域の光のみを通
過させる波長板４とを有する光学ユニットと、この光学
ユニットの波長板４の光の通過域を制御する波長板コン
トローラ５と、光学ユニットの撮像素子６からの信号を
基準信号と比較して欠陥を判定する比較判定器７とを備
えている。
【０００９】上述のように構成されたアルミパターン検
査装置は次のように動作する。すなわち、白色光源２に
よって照明したときのアルミパターンの反射率は、図２
の反射率曲線２１に示すように、一般に金属反射と呼ば
れる５００オングストローム以上の波長に対して高い反
射率を有しているが、白色光源２によって照明したとき
のポリシリコンをの反射率は、図３の反射率曲線２２に
示すように、５００オングストローム以上の波長に対し
てあまり高い反射率を示さない。そこで、試料２０を白
色光源２で照明し、その反射光の光路の対物レンズ１と
結像レンズ３との間に一定の波長域の光のみを通過させ
る波長板４を設け、この波長板４の光の通過域を波長板
コントローラ５によって制御することにより、試料２０
のアルミパターンからの金属反射光のみを選択して撮像
素子６に対して結像させ、撮像素子６からの信号を比較
して比較判定器７に入力してアルミパターンの欠陥を判
定する。
査装置は次のように動作する。すなわち、白色光源２に
よって照明したときのアルミパターンの反射率は、図２
の反射率曲線２１に示すように、一般に金属反射と呼ば
れる５００オングストローム以上の波長に対して高い反
射率を有しているが、白色光源２によって照明したとき
のポリシリコンをの反射率は、図３の反射率曲線２２に
示すように、５００オングストローム以上の波長に対し
てあまり高い反射率を示さない。そこで、試料２０を白
色光源２で照明し、その反射光の光路の対物レンズ１と
結像レンズ３との間に一定の波長域の光のみを通過させ
る波長板４を設け、この波長板４の光の通過域を波長板
コントローラ５によって制御することにより、試料２０
のアルミパターンからの金属反射光のみを選択して撮像
素子６に対して結像させ、撮像素子６からの信号を比較
して比較判定器７に入力してアルミパターンの欠陥を判
定する。
【００１０】波長板４としては、例えば、光の吸収層を
連続的に変化させたフィルタを用い、試料２０からの反
射光の光路上における波長板４の位置を波長板コントロ
ーラ５によって変えることによって制御する。
連続的に変化させたフィルタを用い、試料２０からの反
射光の光路上における波長板４の位置を波長板コントロ
ーラ５によって変えることによって制御する。
【００１１】このようにすることにより、撮像素子６に
入力する光は、アルミパターンからの金属反射光のみが
強調されたものとなるため、アルミパターンの欠陥を容
易に検出することができる。
入力する光は、アルミパターンからの金属反射光のみが
強調されたものとなるため、アルミパターンの欠陥を容
易に検出することができる。
【００１２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のアルミパ
ターン検査装置は、試料を白色光源によって照明し、試
料のアルミパターンからの金属反射光のみを選択して撮
像素子に対して結像させ、撮像素子からの信号を比較判
定器で比較することにより、アルミパターン以外のノイ
ズの影響を排除してアルミパターンの欠陥を容易に検出
することができるという効果がある。
ターン検査装置は、試料を白色光源によって照明し、試
料のアルミパターンからの金属反射光のみを選択して撮
像素子に対して結像させ、撮像素子からの信号を比較判
定器で比較することにより、アルミパターン以外のノイ
ズの影響を排除してアルミパターンの欠陥を容易に検出
することができるという効果がある。
【図１】本発明の一実施例を示すブロック図である。
【図２】図１の実施例における試料のアルミパターンの
反射特性を示す特性図。
反射特性を示す特性図。
【図３】図１の実施例における試料のポリシリコンパタ
ーンの反射特性を示す特性図である。
ーンの反射特性を示す特性図である。
【図４】従来のアルミパターン検査装置の一例を示すブ
ロック図である。
ロック図である。
【符号の説明】 １ 対物レンズ ２ 白色光源 ３ 結像レンズ ４ 波長板 ５ 波長板コントローラ ６ 撮像素子 ７ 比較判定器 １０ 暗視野照明部 １１ 明視野照明部 １２ 差絶対値回路 １３ ２値化回路
Claims (1)
- 【請求項１】 試料を照明する白色光源と、前記試料に
対して焦点を合わせる対物レンズと、前記対物レンズか
らの反射光を撮像素子に対して結像させる結像レンズ
と、前記対物レンズと前記結像レンズとの間に設けられ
前記対物レンズからの反射光のうちの一定波長の光のみ
を通過させる波長板と、前記波長板の光の通過域を制御
する波長板コントローラと、前記撮像素子からの信号を
比較してアルミパターンの欠陥を判定する比較判定器と
を備えることを特徴とするアルミパターン検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16862091A JPH0541430A (ja) | 1991-07-10 | 1991-07-10 | アルミパターン検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16862091A JPH0541430A (ja) | 1991-07-10 | 1991-07-10 | アルミパターン検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0541430A true JPH0541430A (ja) | 1993-02-19 |
Family
ID=15871439
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16862091A Pending JPH0541430A (ja) | 1991-07-10 | 1991-07-10 | アルミパターン検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0541430A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0316722A (ja) * | 1989-06-15 | 1991-01-24 | Sumitomo Rubber Ind Ltd | タイヤのグルービング装置およびグルービング方法 |
-
1991
- 1991-07-10 JP JP16862091A patent/JPH0541430A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0316722A (ja) * | 1989-06-15 | 1991-01-24 | Sumitomo Rubber Ind Ltd | タイヤのグルービング装置およびグルービング方法 |
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