JPH0541166U - 半導体レーザのマウント構造 - Google Patents

半導体レーザのマウント構造

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JPH0541166U
JPH0541166U JP099354U JP9935491U JPH0541166U JP H0541166 U JPH0541166 U JP H0541166U JP 099354 U JP099354 U JP 099354U JP 9935491 U JP9935491 U JP 9935491U JP H0541166 U JPH0541166 U JP H0541166U
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JP
Japan
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laser diode
resonator
electrode film
type
peltier element
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Pending
Application number
JP099354U
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English (en)
Inventor
利伸 谷村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Komatsu Ltd
Original Assignee
Komatsu Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【目的】 レーザダイオードとペルチェ素子とを必要最
小電力で高効率に駆動し得る。 【構成】 吸熱面52はレーザダイオード1の共振器1
2に一致するように、他方放熱面53は該共振器に一致
するか又はそれより大きくなるように成形されてなるペ
ルチェ素子5のP形又はN形の何れか一方の素子上に、
電極膜51と、絶縁膜6と、電極膜11とを順に介し
て、又は電極膜51を介して前記レーザダイオード1を
固設した。

Description

【考案の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】
本考案は、レーザダイオードとペルチェ素子とを高効率に駆動し得る半導体レ ーザのマウント構造に関する。
【0002】
【従来の技術】
近時、例えば光通信の光源として半導体レーザが用いられている。ところで半 導体レーザのレーザダイオードは、発光ダイオードと異なり、ペルチェ素子を併 用することによって環境温度を一定に保ち、安定的した出力や波長を得ている。 かかる半導体レーザのマウント構造は、図7に示すとおり、発熱源であるレーザ ダイオード1を冷却源であるペルチェ素子モジュール20上に近接して固設して 構成される。
【0003】 通常は、レーザダイオード1がシリコン2上にマウントされ、さらに銅板3上 に半田付けされたチップキャリア10又はキャンタイプ等のパッケージで供給さ れるものであり、他方ペルチェ素子モジュール20は、ペルチェ素子5が上下に 電極膜51で挟まれ、さらにアルミナ等のセラミック4で挟まれたパッケージで 供給されたものである。
【0004】
【考案が解決しようとする課題】
上述したとおり、従来の半導体レーザのマウント構造は、供給されるチップキ ャリア又はキャンタイプとペルチェ素子モジュールとの単なる組み合わせである が、この場合、レーザダイオード1の熱が広いセラミック4面にうまく拡散しな いとか、レーザダイオード1とペルチェ素子5とが離間配置であるために熱制御 に時間差が生ずるとか、チップキャリア又はキャンタイプ全体を冷却しなければ ならないためにペルチェ素子5(即ち、該ペルチェ素子モジュール20それ自体 )が必要以上に大きくなるとか、つまりペルチェ素子5が必ずしも効率よく熱を 吸収しないという不都合がある。
【0005】 ところで、例えば多数のレーザダイオード1を用いた長距離大容量光通信等で は、消費電力を低減させることが必須要請となっている。ところが上記従来の半 導体レーザのマウント構造によれば、上述のとおり、ペルチェ素子5の低効率に より、かつ、ペルチェ素子5の駆動電力がレーザダイオード1の駆動電力よりも 桁違いに大きいことにより、その消費電力が必要以上に大きいのが実情である。
【0006】 本考案は、上記要請に鑑みなされたもので、レーザダイオードとペルチェ素子 とを必要最少電力で高効率に駆動し得る半導体レーザのマウント構造を提供する ことを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本考案に係わる半導体レーザのマウント構造は、図 1に示すように、吸熱面52はレーザダイオード1の共振器12に一致するよう に、他方放熱面53は該共振器12に一致するか又はそれより大きくなるように 成形されてなるペルチェ素子5のP形又はN形の何れか一方の素子上に、電極膜 51と、絶縁膜6と、電極膜11とを順に介して前記レーザダイオード1を固設 する構成とした。
【0008】 また、図2に示すように、吸熱面52はレーザダイオード1の共振器12に一 致するように、他方放熱面53は該共振器12に一致するか又はそれより大きく なるように成形されてなるペルチェ素子5のP形又はN形の何れか一方の素子上 に、電極膜51を介して前記レーザダイオード1を固設した構成でもよい。
【0009】
【作用】
上記構成によれば、レーザダイオード1とペルチェ素子5とはモジュール形態 ではなく単体形態で構成される。レーザダイオード1の共振器12は単結晶基板 上に作り込まれ、その深さは、図6の代表的寸法に示すとおり、電極面から2μ m程度である。これに対してペルチェ素子5は吸熱面52の寸法が共振器12の 寸法程度となるように作られている。即ち、上記構成は、この吸熱面52の直上 に共振器が位置するように、レーザダイオード1をボンディングしたものである 。このボンデイングとして、請求項1は電極膜51と、絶縁膜6と、電極膜11 とを順に介在させ、請求項2は電極膜51を介在させた。このようにすると、共 振器12と吸熱面52とが近接しているため、かつ、ペルチェ素子5の消費電力 が共振器12の発熱のみを対象としているために、これらレーザダイオード1と ペルチェ素子5とを低電力で高効率の駆動できるようになる。
【0010】
【実施例】
以下本考案の好ましい実施例を図を参照して説明する。図1は、請求項1の第 1実施例を示す図である。先ず概略を説明する。ペルチェ素子の冷却能はPN両 素子への通電によって達成されるが、本考案では、レーザダイオード1を冷却す るペルチェ素子5はPN両素子の内の何れか一方の素子のみで行なう。他方のN 形素子上には受光素子なるフォトダイオードを固設してある。即ち、本考案にお けるペルチェ素子モジュールは、基板6上に電極51、51を設け、その上に、 それぞれP形素子5とN形素子5とを固設し、さらに電極膜51をそれぞれ設5 1、51け、これらをワイヤボンディング53したものといえる。
【0011】 そこで第1実施例は、P形素子上の電極膜51上に、例えばSiO2 等の絶縁 膜6と、レーザダイオード1用の電極膜11と、レーザダイオード1とを順に固 設して構成した。これら両電極膜51、11は金蒸着によって成膜したものであ る。次に図2を借用してペルチェ素子5の形状を説明する。同図に示すとおり、 ペルチェ素子5の上部空間は絶縁樹脂7で固められている。即ち、電極膜51は 、ペルチェ素子5の吸熱面52と絶縁樹脂7の上面とに施されている。そしてこ の電極膜51上にレーザダイオード1を固設してある。尚、吸熱面52の寸法は レーザダイオード1の共振器12の寸法に略一致し、他方放熱面53は該共振器 12より大きい、いわゆるテント形状となっている。
【0012】 次に請求項2の第1実施例を図2を参照して説明する。上記請求項1の実施例 と異なる点は、ペルチェ素子5とレーザダイオード1とのボンディングだけであ る。即ち、ペルチェ素子5上の電極膜51上にレーザダイオード1を直接固設し て構成した。
【0013】 以下他の実施例を項目列挙する。上記実施例のように、レーザダイオード1を P形素子上に固設し、フォトダイオードをN形素子上に固設することに限る必要 はなく、図4に示すように、レーザダイオード1をN形素子上に固設し、フォト ダイオードをP形素子上に固設した構成でもよい。また、ペルチェ素子5は微細 加工が必要なので単結晶ではなく、粉末焼結体で成形するのが望ましい。また、 ペルチェ素子5の形状は、上記実施例のように、テント形状に限る必要はなく、 吸熱面52と放熱面53とが略同一寸法である角柱でもよい。また、絶縁樹脂7 は熱伝導度が低く、なおかつレーザダイオードボンディング時の高温に耐えるも のがよい。もっともボンディング用半田は絶縁樹脂7に応じて低温半田を使うの がよい。また温度検出用のサーミスタ等が共にペルチェ素子5上にマウントされ ていてもよい。
【0014】 上記実施例によれば、ペルチェ素子5の吸熱面52を、レーザダイオード1の 共振器12に近接し、かつ、共振器12の寸法と略同一寸法としたため、効率よ く、低電力でレーザダイオード1とペルチェ素子5とを駆動することができるよ うになる。例えば、図3及び図4に示すように(またその等価回路図である図5 に示すように)、レーザダイオード1とペルチェ素子5とを同一駆動回路に接続 することが容易であり、信号伝送と熱制御との一元化に寄与することができる。 尚、同図は、駆動電流30mA、インピーダンス5Ωのレーザダイオード1と、 電流0.5Aのペルチェ素子5との直列回路において、レーザダイオード1に対 して0.32Ωの抵抗を並列接続したものである。
【0015】
【考案の効果】
以上説明したように、本考案の導体レーザのマウント構造によれば、吸熱面は レーザダイオードの共振器に一致するように、他方放熱面は該共振器に一致する か又はそれより大きくなるように成形されてなるペルチェ素子のP形又はN形の 何れか一方の素子上に、電極膜と、絶縁膜と、電極膜とを順に介して、又は電極 膜を介して前記レーザダイオードを固設した構成としたため、レーザダイオード とペルチェ素子とを必要最少電力で高効率に駆動することができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図1】請求項1の第1実施例なる模式半導体レーザマ
ウント構造の断面図である。
【図2】請求項2の第1実施例なる模式半導体レーザマ
ウント構造の断面図である。
【図3】請求項2の他の実施例なる模式半導体レーザマ
ウント構造の側面図である。
【図4】請求項2の他の実施例なる模式半導体レーザマ
ウント構造の側面図である。
【図5】図3及び図4の実施例を利用したレーザダイオ
ードとペルチェ素子との電気回路例である。
【図6】レーザダイオード例の斜視図である。
【図7】従来の半導体レーザのマウント構造の模式構造
の側面図である。
【符号の説明】
1 レーザダイオード 11 電極膜 12 共振器 5 ペルチェ素子 51 電極膜 52 吸熱面 53 放熱面 6 絶縁膜

Claims (2)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】 吸熱面52はレーザダイオード1の共振
    器12に一致するように、他方放熱面53は該共振器1
    2に一致するか又はそれより大きくなるように成形され
    てなるペルチェ素子5のP形又はN形の何れか一方の素
    子上に、電極膜51と、絶縁膜6と、電極膜11とを順
    に介して前記レーザダイオード1を固設した構成を特徴
    とする半導体レーザのマウント構造。
  2. 【請求項2】 吸熱面52はレーザダイオード1の共振
    器12に一致するように、他方放熱面53は該共振器1
    2に一致するか又はそれより大きくなるように成形され
    てなるペルチェ素子5のP形又はN形の何れか一方の素
    子上に、電極膜51を介して前記レーザダイオード1を
    固設した構成を特徴とする半導体レーザマウント構造。
JP099354U 1991-11-06 1991-11-06 半導体レーザのマウント構造 Pending JPH0541166U (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2002063399A1 (fr) * 2001-02-08 2002-08-15 Artnow Ltd. Appareil et procede de formation d'hologrammes

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0523545B2 (ja) * 1985-02-27 1993-04-05 Matsushita Electric Ind Co Ltd

Patent Citations (1)

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