JPH0540327Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0540327Y2 JPH0540327Y2 JP14962487U JP14962487U JPH0540327Y2 JP H0540327 Y2 JPH0540327 Y2 JP H0540327Y2 JP 14962487 U JP14962487 U JP 14962487U JP 14962487 U JP14962487 U JP 14962487U JP H0540327 Y2 JPH0540327 Y2 JP H0540327Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressurized air
- rotating shaft
- bearing member
- grooves
- rotary
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- 230000002706 hydrostatic effect Effects 0.000 claims description 14
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
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- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N iron(III) oxide Inorganic materials O=[Fe]O[Fe]=O JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
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- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本考案はラジアル剛性を向上した静圧空気回転
軸受装置に関するものである。
軸受装置に関するものである。
従来より、高精密機械加工機や高精密計測器等
には、摩擦トルクが低いこと、回転が特に滑らか
なこと、温度の高低に拘わらず使用可能であるこ
と等の特長を有する加圧空気を利用し回転軸を無
接触支承する静圧空気回転軸受装置が広く使用さ
れている。更に前記静圧空気回転軸受装置の材質
が金属から成る場合、加圧空気はその中に含まれ
る水分のために静圧空気軸受部材周辺に錆を発生
させたり、また上記加圧空気の供給が何らかの理
由で止まると焼きつきを生じる恐れが大なるた
め、最近では軸受部材及び回転軸等に耐食性に優
れ、焼きつきが発生しにくい各種セラミツク材が
用いられるようになつてきている。
には、摩擦トルクが低いこと、回転が特に滑らか
なこと、温度の高低に拘わらず使用可能であるこ
と等の特長を有する加圧空気を利用し回転軸を無
接触支承する静圧空気回転軸受装置が広く使用さ
れている。更に前記静圧空気回転軸受装置の材質
が金属から成る場合、加圧空気はその中に含まれ
る水分のために静圧空気軸受部材周辺に錆を発生
させたり、また上記加圧空気の供給が何らかの理
由で止まると焼きつきを生じる恐れが大なるた
め、最近では軸受部材及び回転軸等に耐食性に優
れ、焼きつきが発生しにくい各種セラミツク材が
用いられるようになつてきている。
これら静圧空気軸受方式の軸受装置は、第２図
に示す如く、被支持体としての回転軸１２が軸受
部材１１に内挿され、該回転軸１２の両端にはス
ラスト座としての円板状の板状体１３及び１３ａ
が固着されており、板状体１３には各種機器を載
置するテーブル（不図示）が設けられ、板状体１
３ａには回転駆動するための駆動力伝達機構（不
図示）が一般に付設されている。駆動に際して回
転軸１２に狭い間〓Ｓをもつて対向した軸受部材
１１に設けられた複数の供給通路１６より加圧空
気を噴出させ、該加圧空気を軸受部材１１中央に
設けられた排出通路１８へ導き、上記間〓Ｓに流
れる空気の圧力分布によつて軸に作用する負荷を
支持し、該間〓Ｓを所定の値に保ち、無接触で高
精度の回転を得んとするものである。
に示す如く、被支持体としての回転軸１２が軸受
部材１１に内挿され、該回転軸１２の両端にはス
ラスト座としての円板状の板状体１３及び１３ａ
が固着されており、板状体１３には各種機器を載
置するテーブル（不図示）が設けられ、板状体１
３ａには回転駆動するための駆動力伝達機構（不
図示）が一般に付設されている。駆動に際して回
転軸１２に狭い間〓Ｓをもつて対向した軸受部材
１１に設けられた複数の供給通路１６より加圧空
気を噴出させ、該加圧空気を軸受部材１１中央に
設けられた排出通路１８へ導き、上記間〓Ｓに流
れる空気の圧力分布によつて軸に作用する負荷を
支持し、該間〓Ｓを所定の値に保ち、無接触で高
精度の回転を得んとするものである。
しかし乍ら、前記軸受部材に内挿された回転軸
の両端に円板状の板状体を有する静圧空気回転軸
受装置においては、高精度の回転が得られかつ摩
擦が小さいという優れた特徴を有するものの、剛
性が小さいという欠点、即ち上記静圧空気回転軸
受装置はその用途から、一般的に回転軸径に対し
軸の長さが短くかつ大きなテーブルを支えるた
め、軸心よりの垂直方向に対する剛性、いわゆる
スラスト剛性が高いという反面、板状体側方から
負荷される荷重に対する剛性、いわゆるラジアル
剛性は低いという欠点があり、これの向上が望ま
れている。
の両端に円板状の板状体を有する静圧空気回転軸
受装置においては、高精度の回転が得られかつ摩
擦が小さいという優れた特徴を有するものの、剛
性が小さいという欠点、即ち上記静圧空気回転軸
受装置はその用途から、一般的に回転軸径に対し
軸の長さが短くかつ大きなテーブルを支えるた
め、軸心よりの垂直方向に対する剛性、いわゆる
スラスト剛性が高いという反面、板状体側方から
負荷される荷重に対する剛性、いわゆるラジアル
剛性は低いという欠点があり、これの向上が望ま
れている。
本考案は回転軸と該回転軸の両端面に装着され
た板状体で形成される角部及び該回転軸に刻設し
た複数の相等しい長さを有する軸方向の溝部に、
加圧空気を噴出する様に前記軸受部材を該加圧空
気の供給通路を設けると共に、上記溝部間の凸状
堰に対向する軸受部材に加圧空気排出通路を設け
ることにより、前記ラジアル剛性を高めかつ該ラ
ジアル剛性を任意に設定することが可能とした静
圧空気回転軸受装置である。
た板状体で形成される角部及び該回転軸に刻設し
た複数の相等しい長さを有する軸方向の溝部に、
加圧空気を噴出する様に前記軸受部材を該加圧空
気の供給通路を設けると共に、上記溝部間の凸状
堰に対向する軸受部材に加圧空気排出通路を設け
ることにより、前記ラジアル剛性を高めかつ該ラ
ジアル剛性を任意に設定することが可能とした静
圧空気回転軸受装置である。
以下、本考案実施例を図面に基づいて説明す
る。
る。
第１図は本考案に係る静圧空気回転軸受装置の
要部破断断面図てあり、該静圧空気回転軸受装置
は静止する軸受部材１に回転軸２が内挿され、該
回転軸２の両端面にはスラスト座としての円板状
をした板状体３，３ａが固着され、軸受部材１に
は回転軸２と板状体３，３ａで形成される角部
４，４ａ及び回転軸２に刻設した相等しい長さを
有する軸方向の溝５，５ａ間へ至る加圧空気供給
通路６，６ａ及び回転軸２に設けられた凸状堰
７，７ａと対向する軸受部材１に加圧空気排出通
路８，８ａを設け、回転軸２の凸状堰７，７ａに
より形成される溝５ｂ，５ｃ及び前記軸方向の溝
５，５ａは夫々溝長さが相等しくなるようにして
構成されている。
要部破断断面図てあり、該静圧空気回転軸受装置
は静止する軸受部材１に回転軸２が内挿され、該
回転軸２の両端面にはスラスト座としての円板状
をした板状体３，３ａが固着され、軸受部材１に
は回転軸２と板状体３，３ａで形成される角部
４，４ａ及び回転軸２に刻設した相等しい長さを
有する軸方向の溝５，５ａ間へ至る加圧空気供給
通路６，６ａ及び回転軸２に設けられた凸状堰
７，７ａと対向する軸受部材１に加圧空気排出通
路８，８ａを設け、回転軸２の凸状堰７，７ａに
より形成される溝５ｂ，５ｃ及び前記軸方向の溝
５，５ａは夫々溝長さが相等しくなるようにして
構成されている。
稼動に際しては、先ず軸受部材１に設けられた
加圧空気供給通路６より導入された加圧空気は回
転軸２と上記板状体３，３ａで形成される角部
４，４ａ、即ち溝５ｂ，９及び５ｃ，９ａに噴出
され、溝９，９ａに噴出された加圧空気は板状体
３，３ａの外周部に設けられた凸状堰１０，１０
ａにて絞られスラスト剛性を発生せしめた後、板
状体３，３ａと軸受部材１との〓間より大気中へ
解放・排出される。なお、上記板状体３，３ａの
外周部に設けられた凸状堰１０，１０ａは軸受部
材１側に設けても良い。また、溝５ｂ，５ｃに噴
出された加圧空気は回転軸２に設けられた凸状堰
７，７ａにて絞られラジアル剛性を発生せしめた
後、軸受部材１に設けられた加圧空気排出通路
８，８ａより大気中へ放出される。
加圧空気供給通路６より導入された加圧空気は回
転軸２と上記板状体３，３ａで形成される角部
４，４ａ、即ち溝５ｂ，９及び５ｃ，９ａに噴出
され、溝９，９ａに噴出された加圧空気は板状体
３，３ａの外周部に設けられた凸状堰１０，１０
ａにて絞られスラスト剛性を発生せしめた後、板
状体３，３ａと軸受部材１との〓間より大気中へ
解放・排出される。なお、上記板状体３，３ａの
外周部に設けられた凸状堰１０，１０ａは軸受部
材１側に設けても良い。また、溝５ｂ，５ｃに噴
出された加圧空気は回転軸２に設けられた凸状堰
７，７ａにて絞られラジアル剛性を発生せしめた
後、軸受部材１に設けられた加圧空気排出通路
８，８ａより大気中へ放出される。
一方、軸受部材１に設けられた加圧空気供給通
路６ａより導入された加圧空気は回転軸２に刻設
した相等しい長さを有する軸方向の溝５，５ａに
分岐され、夫々前記凸状堰７，７ａにて絞られラ
ジアル剛性を発生せしめるように作用した後、前
記と同様にして加圧空気排出通路８，８ａより大
気中に放出される。
路６ａより導入された加圧空気は回転軸２に刻設
した相等しい長さを有する軸方向の溝５，５ａに
分岐され、夫々前記凸状堰７，７ａにて絞られラ
ジアル剛性を発生せしめるように作用した後、前
記と同様にして加圧空気排出通路８，８ａより大
気中に放出される。
この様にして、軸受部材１にスラスト方向とラ
ジアル方向両方の剛性を同時に発生させる加圧空
気供給通路６とは別にラジアル方向の剛性のみを
発生させる加圧空気供給通路６ａを併設すること
によりラジアル剛性を高めることができる。
ジアル方向両方の剛性を同時に発生させる加圧空
気供給通路６とは別にラジアル方向の剛性のみを
発生させる加圧空気供給通路６ａを併設すること
によりラジアル剛性を高めることができる。
また、上記において回転軸２に刻設された相等
しい長さを有する軸方向の溝は、その数、長さ、
深さを増減することによりラジアル剛性の大きさ
を任意に設定することが可能となる。
しい長さを有する軸方向の溝は、その数、長さ、
深さを増減することによりラジアル剛性の大きさ
を任意に設定することが可能となる。
なお、本実施例では中間部の溝５，５ａは２列
対称型として示したが、１列のみとしても良く、
この場合には溝を刻設しない回転軸２側全周にわ
たり、絞り効果を発生させぬ様、回転軸２と軸受
部材１との〓間を極力小さくしておくことにより
適用可能となる。
対称型として示したが、１列のみとしても良く、
この場合には溝を刻設しない回転軸２側全周にわ
たり、絞り効果を発生させぬ様、回転軸２と軸受
部材１との〓間を極力小さくしておくことにより
適用可能となる。
以上、述べたように本考案は、軸受部材の表面
にスラスト方向とラジアル方向両方の剛性を同時
に発生させる加圧空気供給通路を併設し、回転軸
に設けられた凸状堰と対向する軸受部材に加圧空
気排出通路を設けたことから、スラスト剛性が高
く、高精度の回転が得られかつ摩擦が小さいこと
は勿論、高いラジアル剛性を得ることができるこ
とから、高精密機械加工機や高精密計測器等に広
範囲に適用し得る超精密高速回転の安定性及び信
頼性を著しく向上させた静圧空気回転軸受装置を
得ることができる。
にスラスト方向とラジアル方向両方の剛性を同時
に発生させる加圧空気供給通路を併設し、回転軸
に設けられた凸状堰と対向する軸受部材に加圧空
気排出通路を設けたことから、スラスト剛性が高
く、高精度の回転が得られかつ摩擦が小さいこと
は勿論、高いラジアル剛性を得ることができるこ
とから、高精密機械加工機や高精密計測器等に広
範囲に適用し得る超精密高速回転の安定性及び信
頼性を著しく向上させた静圧空気回転軸受装置を
得ることができる。
第１図は本考案に係る静圧空気回転軸受装置の
要部破断断面図、第２図は従来の静圧空気回転軸
受装置の要部破断断面図である。 １……軸受部材、２……回転軸、３，３ａ……
板状体、４，４ａ……角部、５，５ａ，５ｂ，５
ｃ……溝、６，６ａ……加圧空気供給通路、７，
７ａ……凸状堰、８，８ａ……加圧空気排出通
路。
要部破断断面図、第２図は従来の静圧空気回転軸
受装置の要部破断断面図である。 １……軸受部材、２……回転軸、３，３ａ……
板状体、４，４ａ……角部、５，５ａ，５ｂ，５
ｃ……溝、６，６ａ……加圧空気供給通路、７，
７ａ……凸状堰、８，８ａ……加圧空気排出通
路。
Claims (1)
- 軸受部材に内挿した回転軸の両端面に各々板状
体を装着し、軸受部材内周面と回転軸外周面との
間に軸受部材より加圧空気を噴出し、回転軸を無
接触支承する静圧空気回転軸受装置において、上
記回転軸に複数の溝部及び上記凸状堰を形成する
とともに、上記軸受部材に、回転軸と両端の板状
体で形成される角部に至る加圧空気供給通路、お
よび上記回転軸に刻設した複数の溝部のみに至る
加圧空気供給通路をそれぞれ設け、かつ上記軸受
部材における回転軸の凸状堰に対向する部分に、
加圧空気排出通路の入口を設けたことを特徴とす
る静圧空気回転軸受装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14962487U JPH0540327Y2 (ja) | 1987-09-30 | 1987-09-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14962487U JPH0540327Y2 (ja) | 1987-09-30 | 1987-09-30 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6453625U JPS6453625U (ja) | 1989-04-03 |
| JPH0540327Y2 true JPH0540327Y2 (ja) | 1993-10-13 |
Family
ID=31422023
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14962487U Expired - Lifetime JPH0540327Y2 (ja) | 1987-09-30 | 1987-09-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0540327Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100334663B1 (ko) * | 1999-05-27 | 2002-04-27 | 박태진 | 공기정압베어링을 이용한 시선안정화장치 |
| JP6492699B2 (ja) * | 2015-01-28 | 2019-04-03 | 株式会社ジェイテクト | 作動部材のスラスト支持装置、及び同支持装置を備えた工作機械 |
-
1987
- 1987-09-30 JP JP14962487U patent/JPH0540327Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6453625U (ja) | 1989-04-03 |
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