JPH0539489Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0539489Y2 JPH0539489Y2 JP11615585U JP11615585U JPH0539489Y2 JP H0539489 Y2 JPH0539489 Y2 JP H0539489Y2 JP 11615585 U JP11615585 U JP 11615585U JP 11615585 U JP11615585 U JP 11615585U JP H0539489 Y2 JPH0539489 Y2 JP H0539489Y2
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- Japan
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- Expired - Lifetime
Links
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Landscapes
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本考案は、プラズマ発光分光分析装置において
使用されるローフロートーチに関する。
使用されるローフロートーチに関する。
プラズマの熱による観測窓の曇りを解消するた
め、観測窓をプラズマ部分より遠ざけるように設
ける。それにより観測窓の曇りを防止する。ま
た、ローフロートーチをワークコイル部分で分割
することにより、ワークコイルの装着を容易に
し、かつ、ワークコイル装着後分割したローフロ
ートーチを完全に固着することにより分割部分か
らの空気の巻込みを完全に防止し、よつて分析能
力を向上させるものである。
め、観測窓をプラズマ部分より遠ざけるように設
ける。それにより観測窓の曇りを防止する。ま
た、ローフロートーチをワークコイル部分で分割
することにより、ワークコイルの装着を容易に
し、かつ、ワークコイル装着後分割したローフロ
ートーチを完全に固着することにより分割部分か
らの空気の巻込みを完全に防止し、よつて分析能
力を向上させるものである。
従来は、プラズマガス流量を14〜20／min必
要としていた。しかし、その際に使用するアルゴ
ンガスの価格は高く、プラズマ流量が０〜10／
minで分析可能なローフロートーチが開発されて
いる。その実施例を第４図、第５図に示す。第４
図の実施例の実施例では、本管１１と中間管１２
の間が0.25mm、プラズマガス導入管１３の内径が
１mmとなつている。また、第５図の実施例では、
二重管構造とし本管１１を水冷している。ところ
が、プラズマガス流量の減少または廃止に伴い、
空気がプラズマへ巻き込まれる。そして、空気中
の各種バンドスペクトルの発光強度の増大によつ
て、Ｓ／Ｂの低下や、安定性の低下が観察されて
いた。
要としていた。しかし、その際に使用するアルゴ
ンガスの価格は高く、プラズマ流量が０〜10／
minで分析可能なローフロートーチが開発されて
いる。その実施例を第４図、第５図に示す。第４
図の実施例の実施例では、本管１１と中間管１２
の間が0.25mm、プラズマガス導入管１３の内径が
１mmとなつている。また、第５図の実施例では、
二重管構造とし本管１１を水冷している。ところ
が、プラズマガス流量の減少または廃止に伴い、
空気がプラズマへ巻き込まれる。そして、空気中
の各種バンドスペクトルの発光強度の増大によつ
て、Ｓ／Ｂの低下や、安定性の低下が観察されて
いた。
こうした空気の巻き込みによる悪影響を改善す
るためにローフロートーチの最外管５を延長した
り、ローフロートーチの上部に延長管を設けたり
することが試みられた。
るためにローフロートーチの最外管５を延長した
り、ローフロートーチの上部に延長管を設けたり
することが試みられた。
従来おこなわれていたローフロートーチの最外
管を延長したり、ローフロートーチの上部に延長
管を設ける方法では、プラズマの高熱により、特
に短波長側で光学的な曇りが生じ、側方からの発
光分光分析が行なえなかつた。
管を延長したり、ローフロートーチの上部に延長
管を設ける方法では、プラズマの高熱により、特
に短波長側で光学的な曇りが生じ、側方からの発
光分光分析が行なえなかつた。
ローフロートーチをワークコイル近傍にて分割
することにより、ワークコイルの装着を容易に
し、またローフロートーチの先端部の観察窓をプ
ラズマ部分より遠ざけるように設け、本管から観
測窓までの光路を周囲空気から遮断し、観測窓の
曇りを防止し、さらに、分割されたローフロート
ーチの各々の本管を互いに完全に固着させること
により、継目部分からの空気の巻き込みと、継目
部分のゆるみによる測定誤差、変動を防止するも
のである。
することにより、ワークコイルの装着を容易に
し、またローフロートーチの先端部の観察窓をプ
ラズマ部分より遠ざけるように設け、本管から観
測窓までの光路を周囲空気から遮断し、観測窓の
曇りを防止し、さらに、分割されたローフロート
ーチの各々の本管を互いに完全に固着させること
により、継目部分からの空気の巻き込みと、継目
部分のゆるみによる測定誤差、変動を防止するも
のである。
以下本考案を図面に基づいて詳細に説明する。
第１図は、本考案実施例１のローフロートーチに
中間部を設けたものであり、ローフロートーチの
本管はワークコイル３の直下部１ａで、共に筒状
ので本管先端部１と本管基幹部２に分割されてお
り、本管先端部１に観測窓４がプラズマ５の熱に
よる光学的曇りを防げるだけプラズマ５部より離
してある。観測窓４は周囲空気を完全に遮断する
ために光路管６に取り付けられている。
第１図は、本考案実施例１のローフロートーチに
中間部を設けたものであり、ローフロートーチの
本管はワークコイル３の直下部１ａで、共に筒状
ので本管先端部１と本管基幹部２に分割されてお
り、本管先端部１に観測窓４がプラズマ５の熱に
よる光学的曇りを防げるだけプラズマ５部より離
してある。観測窓４は周囲空気を完全に遮断する
ために光路管６に取り付けられている。
ワークコイル３加熱によるプラズマ５の光は、
光路管６を通り、観測窓４から分光器（図示せ
ず）により分析される。特に観測窓４は、短波長
側の光学的透過特性の優れた石英やフツ化ガラス
等の材質で製作されている。
光路管６を通り、観測窓４から分光器（図示せ
ず）により分析される。特に観測窓４は、短波長
側の光学的透過特性の優れた石英やフツ化ガラス
等の材質で製作されている。
本管先端部１と光路管６は、プラズマ５からの
熱に耐え、またプラズマ５とワークコイル３との
誘導結合を妨害しないように、電気的絶縁性を有
する石英、セラミツクス等の材質で構成されてい
る。
熱に耐え、またプラズマ５とワークコイル３との
誘導結合を妨害しないように、電気的絶縁性を有
する石英、セラミツクス等の材質で構成されてい
る。
また光路管６は観測窓４に熱による光学的曇り
を生じない程度の長さにする。つまり、３〜５cm
が適当である。
を生じない程度の長さにする。つまり、３〜５cm
が適当である。
また本管先端部１は周囲空気のプラズマ５への
巻き込みが十分小さくなるように、あるいは全く
なくなるような長さをもつている。
巻き込みが十分小さくなるように、あるいは全く
なくなるような長さをもつている。
更に、本管先端部１にワークコイル３を装着後
本管先端部１と本管基幹部２を固着するため、ワ
ークコイル３の装着を容易にし、かつ本管先端部
１と本管基幹部２は本管分割部１ａにて完全に固
着されているため、本管分割部のスキ間がなくな
り、空気の巻き込みがなくなり、本管先端部のガ
タによる観測窓４がふらつかないので測定誤差が
生じない。
本管先端部１と本管基幹部２を固着するため、ワ
ークコイル３の装着を容易にし、かつ本管先端部
１と本管基幹部２は本管分割部１ａにて完全に固
着されているため、本管分割部のスキ間がなくな
り、空気の巻き込みがなくなり、本管先端部のガ
タによる観測窓４がふらつかないので測定誤差が
生じない。
次に、別の実施例２として、第２図に示した、
水冷導入管７より水を導入し、水冷ジヤケツト９
に水を通し、水冷排出管８より水を排出して、ワ
ークコイル３近傍の本管先端部１を冷却する。そ
の他の構造は、実施例１と同様であるので説明を
省略する。
水冷導入管７より水を導入し、水冷ジヤケツト９
に水を通し、水冷排出管８より水を排出して、ワ
ークコイル３近傍の本管先端部１を冷却する。そ
の他の構造は、実施例１と同様であるので説明を
省略する。
更に、実施例３として、第３図に示す。観測窓
４は、プラズマ５の熱による光学的曇りを防げる
だけ本管先端部から離してあるが、実施例１，２
に示したような、一方向だけではなく、360°に渡
つて設けられている。このため光路管６は、空気
を完全に遮断するため円盤状になつている。この
実施例３により、プラズマ５の光学的観測が、一
方向だけではなく、全周で観測出来るため、測定
装置（図示せず）の位置精度をシビアにする必要
がなく、また同時に何個所からでも測定出来る。
４は、プラズマ５の熱による光学的曇りを防げる
だけ本管先端部から離してあるが、実施例１，２
に示したような、一方向だけではなく、360°に渡
つて設けられている。このため光路管６は、空気
を完全に遮断するため円盤状になつている。この
実施例３により、プラズマ５の光学的観測が、一
方向だけではなく、全周で観測出来るため、測定
装置（図示せず）の位置精度をシビアにする必要
がなく、また同時に何個所からでも測定出来る。
本考案を採用することにより、プラズマの熱に
よる観測窓の光学的曇りの発生を防止できる。
よる観測窓の光学的曇りの発生を防止できる。
第１図は実施例１の断面図、第２図は実施例２
の断面図、第３図は実施例３の斜視図を示す。第
４図、第５図は従来例の断面図を示す。 １……本管先端部、２……本管基幹部、１ａ…
…本管分割部、３……ワークコイル、４……観測
窓、５……プラズマ、６……光路管、７……水冷
導入管、８……水冷排出管、９……水冷ジヤケツ
ト。
の断面図、第３図は実施例３の斜視図を示す。第
４図、第５図は従来例の断面図を示す。 １……本管先端部、２……本管基幹部、１ａ…
…本管分割部、３……ワークコイル、４……観測
窓、５……プラズマ、６……光路管、７……水冷
導入管、８……水冷排出管、９……水冷ジヤケツ
ト。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 上端部にプラズマを発生する筒状の本管基幹
部と、 前記本管基幹部の上端部に密着して取りつけ
られるほぼ筒状の筒状部と、前記本管基幹部の
外径より外側に、該本管基幹部の上部に発生す
るプラズマの光が分光器に入射する光軸上であ
つて、熱による光学的曇りを生じない程度の距
離に設けられた観測窓と、前記筒状部と前記観
測窓との間の光路を外周空気から遮断するよう
に一端が前記観測窓により閉塞され、且つ筒状
部と連通する光路管よりなる本管先端部との２
部分より構成され、前記本管基幹部と前記本管
先端部とが固着されたローフロートーチを備え
たことを特徴とするブラズマ発光分光分析装
置。 (2) 前記本管基幹部、前記筒状部と前記光路管と
は、石英、セラミツクス等の耐熱性と電気的絶
縁性を有する材料にて製作された実用新案登録
請求の範囲第１項記載のプラズマ発光分光分析
装置。 (3) 前記観測窓は、特に短波長領域の光の透過特
性に優れた石英やフツ化ガラス等で製作された
実用新案登録請求の範囲第１項記載のプラズマ
発光分光分析装置。 (4) 前記筒状部の外周に冷却用の水冷導入管を配
置した実用新案登録請求の範囲第１項記載のプ
ラズマ発光分光分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11615585U JPH0539489Y2 (ja) | 1985-07-29 | 1985-07-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11615585U JPH0539489Y2 (ja) | 1985-07-29 | 1985-07-29 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6224347U JPS6224347U (ja) | 1987-02-14 |
| JPH0539489Y2 true JPH0539489Y2 (ja) | 1993-10-06 |
Family
ID=31000480
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11615585U Expired - Lifetime JPH0539489Y2 (ja) | 1985-07-29 | 1985-07-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0539489Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2522503Y2 (ja) * | 1987-07-09 | 1997-01-16 | 第一精工 株式会社 | Ｖｔｒ用テ−プガイドロ−ラ装置 |
-
1985
- 1985-07-29 JP JP11615585U patent/JPH0539489Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6224347U (ja) | 1987-02-14 |
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