JPH0538665A - 製造管理システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 この発明は、ホストコンピュータに障害が発
生した場合でも作業停止を回避することができるように
すると共にホストコンピュータの負担を軽減することを
目的とする。 【構成】 各データ蓄積・処理媒体４が対応する半製品
５の製造情報を記憶すると共に必要に応じて独自に製造
情報の処理及び表示を行い、各作業用インテリジェント
ワークステーション２がデータ蓄積・処理媒体４との間
で製造情報の読み出し／書き込みを行うと共に読み出し
た情報を表示する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、製造管理システムに
係り、特に製造ライン過程において製造に関する情報の
表示と処理を行う製造管理システムに関する。

【０００２】

【従来の技術】図５は従来の製造管理システムを模式的
に示すブロック図である。ホストコンピュータ２１に複
数の作業端末２２が接続されている。各作業端末２２
は、ＣＲＴとキーボードとを有してデータの表示と入力
を行うためのものであり、それぞれ対応する作業現場に
配置されている。製造のための全ての情報は予めホスト
コンピュータ２１に入力されている。また、各作業現場
では、作業端末２２のＣＲＴに作業指示が表示されると
共に必要に応じてデータ入力が行われる。この作業指示
の表示及びデータ入力は全てホストコンピュータ２１の
処理の下で行われるため、ホストコンピュータ２１が稼
働していなければシステム全体が停止することとなる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】以上のように、従来の
製造管理システムは、全ての製造情報をホストコンピュ
ータ２１で処理する集中型のシステムであるため、ホス
トコンピュータ２１に何等かの障害が発生すると、全て
の製造工程において作業が不可能になるという問題点が
あった。また、これを回避するための対策として、ホス
トコンピュータの二重化及び無停電電源の使用等が考え
られるが、この場合には設備費の大幅な増大を招くとい
う問題が生じる。さらに、従来の製造管理システムで
は、全ての処理をホストコンピュータ２１で行うために
ホストコンピュータ２１の負担が重くなり、大規模で高
価なホストコンピュータ２１が要求されるという問題も
あった。この発明はこのような問題点を解消するために
なされたもので、ホストコンピュータに障害が発生した
場合でも作業停止を回避することができると共に、ホス
トコンピュータの負担を軽減することができる製造管理
システムを提供することを目的とする。

【０００４】

【課題を解決するための手段】この発明に係る製造管理
システムは、それぞれ製造ライン過程における半製品毎
に対応して設けられると共に対応する半製品の製造情報
の記憶と製造情報の処理及び表示を行うための複数のデ
ータ蓄積・処理媒体と、それぞれ前記データ蓄積・処理
媒体との間で製造情報を伝送すると共に製造情報の処理
及び表示を行うための複数の作業用インテリジェントワ
ークステーションと、前記複数の作業用インテリジェン
トワークステーションとの間で製造情報を伝送すると共
に製造情報の処理を行うためのホストコンピュータとを
備えたものである。

【０００５】

【作用】この発明においては、各データ蓄積・処理媒体
が対応する半製品の製造情報を記憶すると共に必要に応
じて独自に製造情報の処理及び表示を行い、各作業用イ
ンテリジェントワークステーションがデータ蓄積・処理
媒体との間で製造情報の読み出し／書き込みを行うと共
に読み出した情報を表示する。

【０００６】

【実施例】以下、この発明の実施例を添付図面に基づい
て説明する。図１はこの発明の第１実施例に係る製造管
理システムの構成を示すブロック図である。複数の製造
装置６により製造ラインが形成されている。これらの製
造装置６にそれぞれ対応して複数の作業用インテリジェ
ントワークステーション２が配置されている。各インテ
リジェントワークステーション２は、それぞれＣＲＴを
具備したパーソナルコンピュータから構成されており、
各インテリジェントワークステーション２にそれぞれリ
ーダ／ライタ３が接続されている。さらに、これらのイ
ンテリジェントワークステーション２には電話回線ある
いはＬＡＮ等から構成される通信線７を介して一つのホ
ストコンピュータ１が接続されている。

【０００７】製造ラインの各製造装置６はそれぞれ半製
品５に所定の製造処理を施すが、各半製品５毎に対応し
てデータ蓄積・処理媒体４が設けられている。このデー
タ蓄積・処理媒体４は、半製品５に付随されて半製品５
と共に製造ライン上を移動する。半製品５が一つずつ製
造ライン上を移動する場合には一つの半製品５に一つず
つデータ蓄積・処理媒体４が付随され、半製品５が１ロ
ット毎にまとめて移動される場合には１ロットの半製品
５に一つのデータ蓄積・処理媒体４が付随される。例え
ば、図２に示されるように、半導体製造工程における半
製品となるウエハ８が複数枚まとめて１ロットとしてウ
エハカセット９に収納され、このカセット９により製造
ライン上を移動する場合には、カセット９毎に一つのデ
ータ蓄積・処理媒体４を付随させればよい。データ蓄積
・処理媒体４は、カセット９に収納されたウエハ８の製
造情報を記憶すると共にデータ処理及びデータ表示を行
うためのものであり、データ表示のための表示器４３、
外部から処理内容の指示を行うための制御用スイッチ４
７、リーダ／ライタ３を介して各インテリジェントワー
クステーション２と製造情報を伝送するための通信用素
子４４ａ等を備えている。なお、データ蓄積・処理媒体
４は、カセット９に着脱自在に設けられており、製造工
程によってはデータ蓄積・処理媒体４をカセット９から
取り外し、複数のウエハ８をカセット９に収納したまま
製造処理を施すことができる。

【０００８】次に、この実施例の動作について説明す
る。まず、予めホストコンピュータ１に製造のための全
ての情報が入力され格納されている。これらの情報はホ
ストコンピュータ１から通信線７を介して各インテリジ
ェントワークステーション２にダウンロードされる。ま
た、インテリジェントワークステーション２及びこれに
接続されたリーダ／ライタ３を用いて、各データ蓄積・
処理媒体４に、そのデータ蓄積・処理媒体４が付随され
ている半製品５の各製造工程における処理方法とデータ
入力項目とを指定した内容のデータファイルを作成して
おく。各製造工程での作業者は、半製品５と共に移動し
てくるデータ蓄積・処理媒体４からリーダ／ライタ３を
介してその製造工程における処理方法及びデータ入力項
目を読み出してこれを対応するインテリジェントワーク
ステーション２のＣＲＴに表示させ、その指示に従って
対応する製造装置６を駆動させる。このとき、作業者に
よるデータ入力が必要であれば、ＣＲＴ上で入力すべき
部分を着色あるいは模様等を付けて表示することにより
強調すると効果的である。作業者がインテリジェントワ
ークステーション２の処理開始のキーを押すと、インテ
リジェントワークステーション２はホストコンピュータ
１に製造装置コード、工程コード、作業者コード等を送
信し、製造装置６による半製品５への処理が終了した後
に作業者がインテリジェントワークステーション２の処
理終了のキーを押すと、この処理において入力されたデ
ータと共に処理開始時に送信したものと同じ項目のデー
タをホストコンピュータ１に送信する。ホストコンピュ
ータ１のデータベースにはデータ蓄積・処理媒体４のデ
ータファイルと同様のファイルが格納されており、デー
タがインテリジェントワークステーション２から送信さ
れる毎にホストコンピュータ１はデータベースに格納さ
れているファイルのデータを更新する。このため、ホス
トコンピュータ１のデータベースの内容と各データ蓄積
・処理媒体４のデータファイルの内容とは常に同期がと
れている。

【０００９】ここで、データ蓄積・処理媒体４の内部構
成について図３を参照して説明する。データ蓄積・処理
媒体４は、ＣＰＵ４１と、それぞれＣＰＵ４１にバスラ
イン５０を介して接続されたＲＡＭ４２、通信回路４
４、ＲＯＭ４５、漢字ＲＯＭ４６及び制御用スイッチ４
７と、これらの各回路に電源を供給するための電池４８
とを有している。さらに、データ蓄積・処理媒体４は、
バスライン５０及び漢字ＲＯＭ４６に接続された表示器
４３と、表示器４３を駆動するための電池４９とを有し
ている。電池４８及び４９を互いに独立させずに、一つ
の電池を共用させることもできるが、表示器４３の消費
電力が他の回路の消費電力に比べて大きい場合には、図
３のように別個の電池４８及び４９を設ける方がシステ
ムの安全上有利である。なお、ＲＯＭ４５には、ＣＰＵ
４１を制御するためのプログラムが予め格納されてい
る。通信回路４４は、図２に示されるような発光ダイオ
ード及びフォトダイオード等の通信用素子４４ａを具備
しており、リーダ／ライタ３との間で光通信によりデー
タの伝送が行われる。このデータ伝送は、光通信に限る
ものではなく、例えば接点式の通信あるいは磁気を用い
た通信でもよい。ただし、半導体製造工程のようにクリ
ーン度が要求される場合には、クリーン度を損なわない
ために非接触式の通信が有効である。また、データ通信
時には、ＣＰＵ４１がデータ蓄積・処理媒体４の通信制
御を行い、インテリジェントワークステーション２のＣ
ＰＵと同期をとると共に、パリティチェック等のデータ
転送エラーチェックとデータの再送等の制御も行う。

【００１０】データ蓄積・処理媒体４にデータを書き込
む場合、インテリジェントワークステーション２から必
要データとこのデータをデータ蓄積・処理媒体４のＲＡ
Ｍ４２内のどの位置に格納するかを示す信号が送られ、
データ蓄積・処理媒体４のＣＰＵ４１はその信号で指示
されているＲＡＭ４２の位置に必要データを格納する。
一方、データ蓄積・処理媒体４からデータを読み出す場
合、インテリジェントワークステーション２からＲＡＭ
４２のどの位置からデータを読み出すかを示す信号が送
られ、データ蓄積・処理媒体４のＣＰＵ４１はその信号
で指示されているＲＡＭ４２の位置からデータを読み出
すと共にこのデータを通信回路４４を介してリーダ／ラ
イタ３へと送信する。このようにして、データ蓄積・処
理媒体４には、製造工程の作業に必要な情報が全て入力
されることとなる。また、製造ライン上を半製品５と共
に移動するデータ蓄積・処理媒体４の通信用素子４４ａ
が各インテリジェントワークステーション２に接続され
ているリーダ／ライタ３に対して通信可能な位置にある
ことを光センサ等の検知手段で検知し、検知手段からの
信号に基づいてインテリジェントワークステーション２
を起動させることによりデータ伝送を行えば、自動的に
データ蓄積・処理媒体４からデータを読み出すこともで
きる。

【００１１】図３に示されるように、データ蓄積・処理
媒体４は表示器４３を内蔵しており、制御用スイッチ４
７の操作により必要なデータをＲＡＭ４２から読み出し
て表示器４３に表示することができる。従って、インテ
リジェントワークステーション２及びリーダ／ライタ３
から離れた場所で作業者が製造情報を読み取りたい場
合、あるいはインテリジェントワークステーション２及
びリーダ／ライタ３が故障した場合でも、作業者がデー
タ蓄積・処理媒体４から直接必要な製造情報を読み取っ
て製造ラインを正常運転させることが可能となる。この
際、作業者がデータ蓄積・処理媒体４の制御用スイッチ
４７を操作することにより、ＣＰＵ４１が必要なデータ
をＲＡＭ４２から読み出し、これを表示器４３に表示す
る。この実施例では、データ蓄積・処理媒体４が漢字Ｒ
ＯＭ４６を備えているので、漢字表示を行うこともでき
る。なお、表示器４３としては、消費電力の少ない液晶
の表示器を用いることが電池４９の消耗の点から好まし
いが、液晶に限るものではない。また、ＲＡＭ４２とし
ては、ＤＲＡＭ、ＳＲＡＭ、ＥＥＰＲＯＭ等、各種のメ
モリを用いることができる。さらに、ＲＡＭ４２の代わ
りに、フロッピーディスク、書き換え可能な光ディス
ク、バブルメモリ等をデータ蓄積用として用いることも
できる。

【００１２】以上のように、この実施例では、システム
全体が正常に稼働している際には、従来のホストコンピ
ュータ集中型のシステムと類似の動作が行われ、ホスト
コンピュータ１に各インテリジェントワークステーショ
ン２からリアルタイムで入力データが送られる。一方、
ホストコンピュータ１から必要に応じて各種の変更指示
が各インテリジェントワークステーション２にリアルタ
イムで送られる。この実施例のシステムにおいては、何
等かの原因でホストコンピュータ１が停止しても、各イ
ンテリジェントワークステーション２を介してデータ蓄
積・処理媒体４から製造情報を読み出す、あるいは作業
者がデータ蓄積・処理媒体４の表示器４３を用いて直接
製造情報を読み出すことができる。従って、各製造装置
６における作業を停止しなくて済み、不測の損害を被る
ことを回避することができる。また、この実施例では、
ホストコンピュータ１及びインテリジェントワークステ
ーション２を使用して、製造効率を向上させるためのス
ケジューリング及び最適製造条件の計算等が行われるば
かりでなく、データ蓄積・処理媒体４が独自にデータ処
理機能を有しているため、データ蓄積・処理媒体４のみ
でも対応する半製品５の最適製造条件を算出することが
でき、よりフレキシブルな製造管理を行うことが可能と
なる。

【００１３】図４に第２の実施例に係る製造管理システ
ムの構成を示す。この第２実施例では、ホストコンピュ
ータ１に通信線７により接続された作業用インテリジェ
ントワークステーション１２ａ、１２ｂ及び１２ｃにそ
れぞれ製造装置６がオンライン接続されている。インテ
リジェントワークステーション１２ａにはブロックコン
ピュータ１０が接続され、このブロックコンピュータ１
０に複数の製造装置６が接続されている。インテリジェ
ントワークステーション１２ｂには直接複数の製造装置
６が接続されている。インテリジェントワークステーシ
ョン１２ｃにはただ一つの製造装置６が直接接続されて
いる。その他の構成は図１に示した第１実施例と同様で
ある。この第２実施例においては、インテリジェントワ
ークステーション１２ａからブロックコンピュータ１０
を介して対応する製造装置６へ製造情報が転送され、イ
ンテリジェントワークステーション１２ｂから対応する
複数の製造装置６へ製造情報が直接転送され、インテリ
ジェントワークステーション１２ｃからこれに接続され
たただ一つの製造装置６へ製造情報が直接転送される。
逆に、各製造装置６からは処理結果等の各種のデータが
対応するインテリジェントワークステーション１２ａ、
１２ｂ及び１２ｃへ送られる。従って、人手によるデー
タ入力が不要となり、自動化システムとして構成するこ
とができる。自動化システムとする場合には、図示しな
い搬送装置を用いて半製品５を製造ラインに沿って搬送
すると共に半製品５にデータ蓄積・処理媒体４を付随さ
せて自動的に次工程の製造装置６に運搬し、データ蓄積
・処理媒体４を対応するリーダ／ライタ３の通信可能範
囲内に自動的にセットするようにする。

【００１４】図４に示されるように、インテリジェント
ワークステーションは直接一あるいは複数の製造装置６
を制御してもよく、またブロックコンピュータ１０を介
して複数の製造装置６を制御するようにしてもよい。こ
の第２実施例に係る製造管理システムは、第１実施例に
おける効果に加えてさらにシステムの自動化が可能とな
るという効果を有する。なお、完全に自動化せずに、人
手によるデータ入力と自動化とを混在させることもでき
る。

【００１５】

【発明の効果】以上説明したように、この発明に係る製
造管理システムは、それぞれ製造ライン過程における半
製品毎に対応して設けられると共に対応する半製品の製
造情報の記憶と製造情報の処理及び表示を行うための複
数のデータ蓄積・処理媒体と、それぞれ前記データ蓄積
・処理媒体との間で製造情報を伝送すると共に製造情報
の処理及び表示を行うための複数の作業用インテリジェ
ントワークステーションと、前記複数の作業用インテリ
ジェントワークステーションとの間で製造情報を伝送す
ると共に製造情報の処理を行うためのホストコンピュー
タとを備えているので、ホストコンピュータに障害が発
生した場合でも作業停止を回避することができると共
に、ホストコンピュータの負担を軽減することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の第１の実施例に係る製造管理システ
ムの構成を示すブロック図である。

【図２】第１の実施例においてウエハカセットに取り付
けられたデータ蓄積・処理媒体を示す斜視図である。

【図３】第１の実施例で用いられたデータ蓄積・処理媒
体の内部構成を示すブロック図である。

【図４】第２の実施例に係る製造管理システムの構成を
示すブロック図である。

【図５】従来の製造管理システムの構成を示すブロック
図である。

【符号の説明】

１ ホストコンピュータ ２ 作業用インテリジェントワークステーション ３ リーダ／ライタ ４ データ蓄積・処理媒体 ５ 半製品 ６ 製造装置 ７ 通信線 １２ａ 作業用インテリジェントワークステーション １２ｂ 作業用インテリジェントワークステーション １２ｃ 作業用インテリジェントワークステーション

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 それぞれ製造ライン過程における半製品
   毎に対応して設けられると共に対応する半製品の製造情
   報の記憶と製造情報の処理及び表示を行うための複数の
   データ蓄積・処理媒体と、 それぞれ前記データ蓄積・処理媒体との間で製造情報を
   伝送すると共に製造情報の処理及び表示を行うための複
   数の作業用インテリジェントワークステーションと、 前記複数の作業用インテリジェントワークステーション
   との間で製造情報を伝送すると共に製造情報の処理を行
   うためのホストコンピュータとを備えたことを特徴とす
   る製造管理システム。