JPH0538592A - パルスレーザ加工装置 - Google Patents
パルスレーザ加工装置Info
- Publication number
- JPH0538592A JPH0538592A JP3193057A JP19305791A JPH0538592A JP H0538592 A JPH0538592 A JP H0538592A JP 3193057 A JP3193057 A JP 3193057A JP 19305791 A JP19305791 A JP 19305791A JP H0538592 A JPH0538592 A JP H0538592A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pulse laser
- camera
- plume
- signal
- processing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】加工部監視装置付きパルスレーザ加工装置にお
いて、被加工物の物性値の変化や入射するパルスレーザ
光のエネルギ量の変化によりプルームの発光持続時間が
変化しても、固定した遅延時間の設定のみで、テレビカ
メラのハレーション等を起こすことなく、被加工材の加
工部の撮影を鮮明に行う。 【構成】パルスレーザ光３の照射により被加工部７上の
加工部８に発生するプルーム９の発光を、光検出器１０
で検出し、この検出結果を信号変換機１１でパルス信号
Ｓ3に変換し、Ｓ3をカメラコントローラ１２に取り込
む。カメラコントローラ１２ではＳ3を外部トリガ信号
としてその立ち下がりを検出し、その時刻を基準とし
て、固定された所定の遅延時間ＴDの後に、設定された
所定の露光時間Ｔexpでテレビカメラ１３の露光動作を
コントロールする。
いて、被加工物の物性値の変化や入射するパルスレーザ
光のエネルギ量の変化によりプルームの発光持続時間が
変化しても、固定した遅延時間の設定のみで、テレビカ
メラのハレーション等を起こすことなく、被加工材の加
工部の撮影を鮮明に行う。 【構成】パルスレーザ光３の照射により被加工部７上の
加工部８に発生するプルーム９の発光を、光検出器１０
で検出し、この検出結果を信号変換機１１でパルス信号
Ｓ3に変換し、Ｓ3をカメラコントローラ１２に取り込
む。カメラコントローラ１２ではＳ3を外部トリガ信号
としてその立ち下がりを検出し、その時刻を基準とし
て、固定された所定の遅延時間ＴDの後に、設定された
所定の露光時間Ｔexpでテレビカメラ１３の露光動作を
コントロールする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、テレビカメラのハレー
ション等を起こすことなく加工部を鮮明にモニタする加
工部監視装置を備えたパルスレーザ加工装置に関する。
ション等を起こすことなく加工部を鮮明にモニタする加
工部監視装置を備えたパルスレーザ加工装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図４に従来のパルスレーザ加工装置の構
成図を、また図５に図４のパルスレーザ加工装置におけ
るテレビカメラ１３の露光動作を制御するタイムチャー
トを示す。以下、このパルスレーザ加工装置の構成及び
動作を説明する。
成図を、また図５に図４のパルスレーザ加工装置におけ
るテレビカメラ１３の露光動作を制御するタイムチャー
トを示す。以下、このパルスレーザ加工装置の構成及び
動作を説明する。
【０００３】図４において、レーザコントローラ１より
発生した所定のパルス信号がパルスレーザ発振器２に入
力され、そのパルス信号に応じたパルスレーザ光３がパ
ルスレーザ発信器２より出力される。パルスレーザ光３
はベンディングミラー４により曲げられ、集光レンズ５
により加工テーブル６上に設置されたの加工部８（集光
点）に集光されることにより、被加工物７の溶接、切断
などのパルスレーザ加工を行う。被加工物７上の加工部
８（集光点）ではエネルギー密度が非常に高いため、プ
ルーム９と呼ばれる発光を伴う。プルーム９は金属蒸
気、プラズマ等が発生することによる発光であって図５
中Ｓ7にその波形を示すようにパルスレーザ光波形Ｓ6に
同期して現れる断続的なものである。
発生した所定のパルス信号がパルスレーザ発振器２に入
力され、そのパルス信号に応じたパルスレーザ光３がパ
ルスレーザ発信器２より出力される。パルスレーザ光３
はベンディングミラー４により曲げられ、集光レンズ５
により加工テーブル６上に設置されたの加工部８（集光
点）に集光されることにより、被加工物７の溶接、切断
などのパルスレーザ加工を行う。被加工物７上の加工部
８（集光点）ではエネルギー密度が非常に高いため、プ
ルーム９と呼ばれる発光を伴う。プルーム９は金属蒸
気、プラズマ等が発生することによる発光であって図５
中Ｓ7にその波形を示すようにパルスレーザ光波形Ｓ6に
同期して現れる断続的なものである。
【０００４】露光時間の設定及び露光開始をパルス信号
に対して所定のタイミングで行える露光時間の調整可能
なテレビカメラ１３を用いて、図５中Ｓ8にその露光タ
イミング信号波形を示すように、プルームの発光してい
ない時間Ｔexpのみカメラの露光動作を行なっての映像
を捕らえることにより、被加工物７上の加工部８の映像
をプルーム９の光に妨害されることなく捕らえることが
できる。パルス信号波形（外部トリガ信号）Ｓ5に同期
した所定の露光開始までの遅延時間の設定及び露光時間
の設定、露光の開始及び終了はカメラコントローラ１２
で行う。また、テレビカメラ１３に捕らえられた映像は
テレビモニタ１４によって肉眼で観察することができ
る。
に対して所定のタイミングで行える露光時間の調整可能
なテレビカメラ１３を用いて、図５中Ｓ8にその露光タ
イミング信号波形を示すように、プルームの発光してい
ない時間Ｔexpのみカメラの露光動作を行なっての映像
を捕らえることにより、被加工物７上の加工部８の映像
をプルーム９の光に妨害されることなく捕らえることが
できる。パルス信号波形（外部トリガ信号）Ｓ5に同期
した所定の露光開始までの遅延時間の設定及び露光時間
の設定、露光の開始及び終了はカメラコントローラ１２
で行う。また、テレビカメラ１３に捕らえられた映像は
テレビモニタ１４によって肉眼で観察することができ
る。
【０００５】レーザコントローラ１で出力されたパルス
信号を外部トリガ信号にして上記のカメラ露光を行う従
来の信号処理について図５により説明する。図５はパル
スレーザ加工装置におけるテレビカメラ１３の露光動作
を制御するタイムチャートであって、Ｓ5はレーザコン
トローラ１で出力されたパルス信号波形を、Ｓ6はＳ5に
基づくパルスレーザ光波形を、Ｓ7はプルーム９の発光
波形を、Ｓ8はテレビカメラ１３の露光タイミング信号
をそれぞれ示す。図５において、レーザコントローラ１
（図４参照）より出力されるパルス信号（外部トリガ信
号）Ｓ5に同期してパルスレーザ光Ｓ6が出力される。Ｓ
7は加工中に発光するプルーム９をフォトダイオード
（図示しない）で捕らえた波形であり、断続的に発光し
ている。カメラ露光用の外部トリガ信号としてカメラコ
ントローラ１２にＳ5が入力され、カメラコントローラ
１２がこのパルス信号Ｓ5（外部トリガ信号）の立ち下
がりに同期して、所定の遅延時間ＴD、及び所定の露光
時間Ｔexpによってテレビカメラ１３を制御してカメラ
露光動作を行う。尚、ＴD，Ｔexpはカメラ露光動作がプ
ルーム９の発光中には行なわれないように設定される。
信号を外部トリガ信号にして上記のカメラ露光を行う従
来の信号処理について図５により説明する。図５はパル
スレーザ加工装置におけるテレビカメラ１３の露光動作
を制御するタイムチャートであって、Ｓ5はレーザコン
トローラ１で出力されたパルス信号波形を、Ｓ6はＳ5に
基づくパルスレーザ光波形を、Ｓ7はプルーム９の発光
波形を、Ｓ8はテレビカメラ１３の露光タイミング信号
をそれぞれ示す。図５において、レーザコントローラ１
（図４参照）より出力されるパルス信号（外部トリガ信
号）Ｓ5に同期してパルスレーザ光Ｓ6が出力される。Ｓ
7は加工中に発光するプルーム９をフォトダイオード
（図示しない）で捕らえた波形であり、断続的に発光し
ている。カメラ露光用の外部トリガ信号としてカメラコ
ントローラ１２にＳ5が入力され、カメラコントローラ
１２がこのパルス信号Ｓ5（外部トリガ信号）の立ち下
がりに同期して、所定の遅延時間ＴD、及び所定の露光
時間Ｔexpによってテレビカメラ１３を制御してカメラ
露光動作を行う。尚、ＴD，Ｔexpはカメラ露光動作がプ
ルーム９の発光中には行なわれないように設定される。
【０００６】以上のようにプルーム９の発光でテレビカ
メラ１３がハレーションを起こすことなく被加工物７の
加工部８を撮影することができるので、被加工物７の溶
接や切断の状況をテレビモニタ１４を通して監視するこ
とができる。
メラ１３がハレーションを起こすことなく被加工物７の
加工部８を撮影することができるので、被加工物７の溶
接や切断の状況をテレビモニタ１４を通して監視するこ
とができる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術におい
て、カメラ露光動作は、図５に示すように、パルス信号
の立ち下がりから遅延時間ＴD後に設定した露光時間Ｔ
expで行なわれるが、プルーム９の発光はパルスレーザ
光３の照射が終わってもまだ続いている。カメラのハレ
ーションを起こさないプルーム９の発光強度のしきい値
をＶth、パルス信号（外部トリガ信号）Ｓ5の立ち上が
りからＴth後にプルームの発光強度がＶth以下になると
すると、遅延時間ＴDは
て、カメラ露光動作は、図５に示すように、パルス信号
の立ち下がりから遅延時間ＴD後に設定した露光時間Ｔ
expで行なわれるが、プルーム９の発光はパルスレーザ
光３の照射が終わってもまだ続いている。カメラのハレ
ーションを起こさないプルーム９の発光強度のしきい値
をＶth、パルス信号（外部トリガ信号）Ｓ5の立ち上が
りからＴth後にプルームの発光強度がＶth以下になると
すると、遅延時間ＴDは
【０００８】
【数１】 ＴD＞Ｔth ・・・（１） を満たされなければならない。ところでＴthは被加工物
７の物性値、あるいは入射するパルスレーザ光３のエネ
ルギ量等で変化するため、被加工物７が変わるたびに、
または入射するパルスレーザ光３のエネルギ量が変わる
たびに、（１）式を満足するようにＴDを設定変更しな
ければならないという問題点があった。
７の物性値、あるいは入射するパルスレーザ光３のエネ
ルギ量等で変化するため、被加工物７が変わるたびに、
または入射するパルスレーザ光３のエネルギ量が変わる
たびに、（１）式を満足するようにＴDを設定変更しな
ければならないという問題点があった。
【０００９】本発明の目的は、上記問題点を解決するた
めになされたもので、被加工物の物性値の変化、あるい
は入射するパルスレーザ光のエネルギ量の変化によりプ
ルームの発光持続時間が変化しても、固定した遅延時間
の設定のみで、テレビカメラのハレーション等を起こす
ことなく、パルスレーザの周期と同期した被加工材の加
工部の撮影が鮮明に行なえる加工部監視装置付きパルス
レーザ加工装置を提供することである。
めになされたもので、被加工物の物性値の変化、あるい
は入射するパルスレーザ光のエネルギ量の変化によりプ
ルームの発光持続時間が変化しても、固定した遅延時間
の設定のみで、テレビカメラのハレーション等を起こす
ことなく、パルスレーザの周期と同期した被加工材の加
工部の撮影が鮮明に行なえる加工部監視装置付きパルス
レーザ加工装置を提供することである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明は、パルスレーザ光を発振するパルスレーザ
発振器と、被加工材を支持し加工位置を決定する加工テ
ーブルと、前記被加工材の加工中に加工部を監視するた
めの、シャッター機能を有するテレビカメラと、前記テ
レビカメラの露光動作をコントロールするカメラコント
ローラと、前記加工部の映像を撮影するテレビモニタと
を有する加工部監視装置付きパルスレーザ加工装置にお
いて、加工中に発せられるプルームを検出するための光
検出器と、前記光検出器の検出結果に基づく前記発光強
度が所定値以下になったことを捕らえる手段と、前記発
光強度が所定値以下になった時点から所定時間経過後に
前記テレビカメラの露光動作を開始する手段とを備える
ことを特徴とする。
め、本発明は、パルスレーザ光を発振するパルスレーザ
発振器と、被加工材を支持し加工位置を決定する加工テ
ーブルと、前記被加工材の加工中に加工部を監視するた
めの、シャッター機能を有するテレビカメラと、前記テ
レビカメラの露光動作をコントロールするカメラコント
ローラと、前記加工部の映像を撮影するテレビモニタと
を有する加工部監視装置付きパルスレーザ加工装置にお
いて、加工中に発せられるプルームを検出するための光
検出器と、前記光検出器の検出結果に基づく前記発光強
度が所定値以下になったことを捕らえる手段と、前記発
光強度が所定値以下になった時点から所定時間経過後に
前記テレビカメラの露光動作を開始する手段とを備える
ことを特徴とする。
【００１１】尚、前記発光強度が所定値以下になったこ
とを捕らえる手段は、前記発光強度を信号変換器により
パルス化し、その立ち下がりを捕らえる手段とすること
ができる。
とを捕らえる手段は、前記発光強度を信号変換器により
パルス化し、その立ち下がりを捕らえる手段とすること
ができる。
【００１２】
【作用】以上のように、本発明においては、常にプルー
ムの発光を光検出器で検出し、その発光強度が所定値以
下になった時点をカメラ露光用の外部トリガ信号とし、
カメラコントローラでこの時刻を遅延時間の開始時刻と
してテレビカメラの露光動作を制御することによって、
被加工物の物性値や入射するパルスレーザ光のエネルギ
量の変化によるプルーム持続時間の変化に関係なく、固
定した遅延時間の設定のみでパルスレーザの周期と同期
した被加工材の加工部の撮影が鮮明に行なえる。
ムの発光を光検出器で検出し、その発光強度が所定値以
下になった時点をカメラ露光用の外部トリガ信号とし、
カメラコントローラでこの時刻を遅延時間の開始時刻と
してテレビカメラの露光動作を制御することによって、
被加工物の物性値や入射するパルスレーザ光のエネルギ
量の変化によるプルーム持続時間の変化に関係なく、固
定した遅延時間の設定のみでパルスレーザの周期と同期
した被加工材の加工部の撮影が鮮明に行なえる。
【００１３】また、信号変換器によりプルームの発光強
度をパルス化することによって、プルームの発光強度が
所定値以下になったことを容易に捕らえることができ、
確実にその後のテレビカメラの露光動作を行なうことが
できる。
度をパルス化することによって、プルームの発光強度が
所定値以下になったことを容易に捕らえることができ、
確実にその後のテレビカメラの露光動作を行なうことが
できる。
【００１４】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１〜図３により
説明する。図１は、本実施例によるパルスレーザ加工装
置の構成図である。図１において、レーザコントローラ
１より発生した所定のパルス信号がパルスレーザ発振器
２に入力され、そのパルス信号に応じたパルスレーザ光
３がパルスレーザ発信器２より出力される。パルスレー
ザ光３はベンディングミラー４により曲げられ、集光レ
ンズ５により加工テーブル６上に設置された被加工物７
上の加工部８（集光点）に集光されることにより、被加
工物７の溶接、切断などのレーザ加工を行う。被加工物
７上の加工部８（集光点）ではエネルギー密度が非常に
高いため、前述したようにプルーム９と呼ばれる金属蒸
気、プラズマ等による発光を伴う。
説明する。図１は、本実施例によるパルスレーザ加工装
置の構成図である。図１において、レーザコントローラ
１より発生した所定のパルス信号がパルスレーザ発振器
２に入力され、そのパルス信号に応じたパルスレーザ光
３がパルスレーザ発信器２より出力される。パルスレー
ザ光３はベンディングミラー４により曲げられ、集光レ
ンズ５により加工テーブル６上に設置された被加工物７
上の加工部８（集光点）に集光されることにより、被加
工物７の溶接、切断などのレーザ加工を行う。被加工物
７上の加工部８（集光点）ではエネルギー密度が非常に
高いため、前述したようにプルーム９と呼ばれる金属蒸
気、プラズマ等による発光を伴う。
【００１５】この加工部８（集光点）の上方には光検出
器１０が設置されており、この光検出器１０はプルーム
９の発光を検出する。この検出結果は信号変換機１１に
取り込まれ、図２のＳ3にその波形を示すようなパルス
信号に変換され、さらにＳ3はカメラコントローラ１２
に取り込まれる。
器１０が設置されており、この光検出器１０はプルーム
９の発光を検出する。この検出結果は信号変換機１１に
取り込まれ、図２のＳ3にその波形を示すようなパルス
信号に変換され、さらにＳ3はカメラコントローラ１２
に取り込まれる。
【００１６】テレビカメラ１３は電子シャッターを備え
ており、露光時間の調整が可能であり、露光時間の設定
及び露光開始をパルス信号に対して所定のタイミングで
行うことができる。図２中Ｓ8に示すようにプルーム９
の発光していない時間Ｔexpのみカメラの露光動作を行
なって加工部８の映像を捕らえることにより、被加工物
７上の加工部８の映像をプルーム９の光に妨害されるこ
となく捕らえることができる。パルス信号（外部トリガ
信号）Ｓ3に同期した所定の露光開始までの遅延時間ＴD
の設定及び露光時間Ｔexpの設定、露光の開始及び終了
はカメラコントローラ１２で行う。また、テレビカメラ
１３に捕らえられた映像はテレビモニタ１４によって肉
眼で観察することができる。
ており、露光時間の調整が可能であり、露光時間の設定
及び露光開始をパルス信号に対して所定のタイミングで
行うことができる。図２中Ｓ8に示すようにプルーム９
の発光していない時間Ｔexpのみカメラの露光動作を行
なって加工部８の映像を捕らえることにより、被加工物
７上の加工部８の映像をプルーム９の光に妨害されるこ
となく捕らえることができる。パルス信号（外部トリガ
信号）Ｓ3に同期した所定の露光開始までの遅延時間ＴD
の設定及び露光時間Ｔexpの設定、露光の開始及び終了
はカメラコントローラ１２で行う。また、テレビカメラ
１３に捕らえられた映像はテレビモニタ１４によって肉
眼で観察することができる。
【００１７】信号変換機１１で変換されたパルス信号を
外部トリガ信号にしてテレビカメラ１３の露光動作を行
う本実施例の信号処理について図２により説明する。図
２は本実施例によるパルスレーザ加工装置におけるテレ
ビカメラ１３の露光動作を制御するタイムチャートであ
って、Ｓ1はパルスレーザ光の波形を、Ｓ2は光検出器１
０によって検出されたプルーム９の発光波形を、Ｓ3は
信号変換機１１によって変換されたＳ2に基づくパルス
信号（カメラ露光用トリガ信号）の波形を、Ｓ4はテレ
ビカメラ１３の露光タイミング信号の波形をそれぞれ示
す。光検出器１０で検出された発光波形Ｓ2においてテ
レビカメラ１３がハレーションを起こすしきい値をＶth
とすると、信号変換機１１は、Ｓ2がこのしきい値Ｖth
を越えるとパルス信号をＯＮし、極大値を超えた後しき
い値Ｖthを下まわるとパルス信号をＯＦＦするようなパ
ルス信号Ｓ3にＳ2を変換する。このパルス信号Ｓ3がカ
メラコントローラ１２に取り込まれ、カメラコントロー
ラ１２ではこのパルス信号Ｓ3を外部トリガ信号として
その立ち下がりを検出して、この時刻を基準として固定
された所定の遅延時間ＴDの後に、設定された所定の露
光時間Ｔexpでテレビカメラ１３の露光動作をコントロ
ールする。このように、信号変換器１１によってプルー
ムの発光強度をパルス化することによって、プルームの
発光強度がしきい値以下になったことを容易に捕らえる
ことができ、確実にその後のテレビカメラ１３の露光動
作を行なうことができる。
外部トリガ信号にしてテレビカメラ１３の露光動作を行
う本実施例の信号処理について図２により説明する。図
２は本実施例によるパルスレーザ加工装置におけるテレ
ビカメラ１３の露光動作を制御するタイムチャートであ
って、Ｓ1はパルスレーザ光の波形を、Ｓ2は光検出器１
０によって検出されたプルーム９の発光波形を、Ｓ3は
信号変換機１１によって変換されたＳ2に基づくパルス
信号（カメラ露光用トリガ信号）の波形を、Ｓ4はテレ
ビカメラ１３の露光タイミング信号の波形をそれぞれ示
す。光検出器１０で検出された発光波形Ｓ2においてテ
レビカメラ１３がハレーションを起こすしきい値をＶth
とすると、信号変換機１１は、Ｓ2がこのしきい値Ｖth
を越えるとパルス信号をＯＮし、極大値を超えた後しき
い値Ｖthを下まわるとパルス信号をＯＦＦするようなパ
ルス信号Ｓ3にＳ2を変換する。このパルス信号Ｓ3がカ
メラコントローラ１２に取り込まれ、カメラコントロー
ラ１２ではこのパルス信号Ｓ3を外部トリガ信号として
その立ち下がりを検出して、この時刻を基準として固定
された所定の遅延時間ＴDの後に、設定された所定の露
光時間Ｔexpでテレビカメラ１３の露光動作をコントロ
ールする。このように、信号変換器１１によってプルー
ムの発光強度をパルス化することによって、プルームの
発光強度がしきい値以下になったことを容易に捕らえる
ことができ、確実にその後のテレビカメラ１３の露光動
作を行なうことができる。
【００１８】カメラコントローラ１２における信号処
理、及びテレビカメラ１３の露光動作制御の一例を表す
フローチャートを図３に示す。まず、ステップ１０１で
信号変換機１１で変換されたパルス信号Ｓ3がカメラコ
ントローラ１２に取り込まれ、ステップ１０２でパルス
信号Ｓ3の立ち下がりを検出する。次に、ステップ１０
３でパルス信号Ｓ3の立ち下がりの時刻ｔ＝０とし、ス
テップ１０４では時刻ｔがＴDになるとステップ１０５
でテレビカメラ１３の露光タイミング信号Ｓ4をＯＮし
テレビカメラ１３の露光動作を開始する。そして、ステ
ップ１０６でこの時刻を再びｔ＝０とし、ステップ１０
７で時刻ｔがＴexpになるとステップ１０８でテレビカ
メラ１３の露光タイミング信号Ｓ4をＯＦＦしテレビカ
メラ１３の露光動作を終了する。カメラコントローラ１
２では以上の動作を１サイクルとして、各パルスごとに
繰り返し同様の処理がなされる。
理、及びテレビカメラ１３の露光動作制御の一例を表す
フローチャートを図３に示す。まず、ステップ１０１で
信号変換機１１で変換されたパルス信号Ｓ3がカメラコ
ントローラ１２に取り込まれ、ステップ１０２でパルス
信号Ｓ3の立ち下がりを検出する。次に、ステップ１０
３でパルス信号Ｓ3の立ち下がりの時刻ｔ＝０とし、ス
テップ１０４では時刻ｔがＴDになるとステップ１０５
でテレビカメラ１３の露光タイミング信号Ｓ4をＯＮし
テレビカメラ１３の露光動作を開始する。そして、ステ
ップ１０６でこの時刻を再びｔ＝０とし、ステップ１０
７で時刻ｔがＴexpになるとステップ１０８でテレビカ
メラ１３の露光タイミング信号Ｓ4をＯＦＦしテレビカ
メラ１３の露光動作を終了する。カメラコントローラ１
２では以上の動作を１サイクルとして、各パルスごとに
繰り返し同様の処理がなされる。
【００１９】ここで遅延時間ＴDは
【００２０】
【数２】 ＴD＞０ ・・・（２） を満たすように設定される。式（２）の右辺は常に０で
あり、従ってＴDは０より大きな所定値に固定するのみ
でよく、従来技術のように被加工物が変わるたびに、ま
たは入射するパルスレーザ光のエネルギ量が変わるたび
に、式（１）に従ってプルーム９の発光持続時間に合わ
せたＴDの設定変更をする必要がなくなる。
あり、従ってＴDは０より大きな所定値に固定するのみ
でよく、従来技術のように被加工物が変わるたびに、ま
たは入射するパルスレーザ光のエネルギ量が変わるたび
に、式（１）に従ってプルーム９の発光持続時間に合わ
せたＴDの設定変更をする必要がなくなる。
【００２１】本実施例によれば、常にプルーム９を検出
し、これを変換したパルス信号Ｓ3の立ち下がりを外部
トリガ信号として、カメラコントローラ１２でテレビカ
メラ１３の露光動作を制御することによって、被加工物
の物性値の変化により、あるいは入射するパルスレーザ
光のエネルギ量の変化によりプルームの発光持続時間が
変化しても、固定した遅延時間ＴDの設定のみで、テレ
ビカメラ１３のハレーション等を起こすことなく、パル
スレーザの周期と同期した被加工材の加工部の撮影が鮮
明に行なえる。
し、これを変換したパルス信号Ｓ3の立ち下がりを外部
トリガ信号として、カメラコントローラ１２でテレビカ
メラ１３の露光動作を制御することによって、被加工物
の物性値の変化により、あるいは入射するパルスレーザ
光のエネルギ量の変化によりプルームの発光持続時間が
変化しても、固定した遅延時間ＴDの設定のみで、テレ
ビカメラ１３のハレーション等を起こすことなく、パル
スレーザの周期と同期した被加工材の加工部の撮影が鮮
明に行なえる。
【００２２】また、信号変換器１１によりプルーム９の
発光強度Ｓ2をパルス信号Ｓ3にパルス化することによっ
て、プルーム９の発光強度がしきい値Ｖth以下になった
ことを容易に捕らえることができ、確実にその後のテレ
ビカメラ１３の露光動作を行なうことができる。
発光強度Ｓ2をパルス信号Ｓ3にパルス化することによっ
て、プルーム９の発光強度がしきい値Ｖth以下になった
ことを容易に捕らえることができ、確実にその後のテレ
ビカメラ１３の露光動作を行なうことができる。
【００２３】
【発明の効果】本発明によれば、被加工物の物性値の変
化、あるいは入射するパルスレーザ光のエネルギ量の変
化によってプルームの発光持続時間が変化しても、固定
した遅延時間の設定のみで、テレビカメラのハレーショ
ン等を起こすことなく、パルスレーザの周期と同期した
被加工材の加工部の撮影が鮮明に行なえる。
化、あるいは入射するパルスレーザ光のエネルギ量の変
化によってプルームの発光持続時間が変化しても、固定
した遅延時間の設定のみで、テレビカメラのハレーショ
ン等を起こすことなく、パルスレーザの周期と同期した
被加工材の加工部の撮影が鮮明に行なえる。
【図１】本発明の一実施例によるパルスレーザ加工装置
の構成図である。
の構成図である。
【図２】図１に示すパルスレーザ加工装置におけるテレ
ビカメラ１３の露光動作を制御するタイムチャートであ
る。
ビカメラ１３の露光動作を制御するタイムチャートであ
る。
【図３】カメラコントローラ１２における信号処理、及
びテレビカメラ１３の露光動作制御の一例を表すフロー
チャートである。
びテレビカメラ１３の露光動作制御の一例を表すフロー
チャートである。
【図４】従来技術によるパルスレーザ加工装置の構成図
である。
である。
【図５】図４に示すパルスレーザ加工装置におけるテレ
ビカメラ１３の露光動作を制御するタイムチャートであ
る。
ビカメラ１３の露光動作を制御するタイムチャートであ
る。
１ レーザコントローラ ２ パルスレーザ発信器 ３ パルスレーザ光 ６ 加工テーブル ７ 被加工物 ９ プルーム １０ 光検出器 １１ 信号変換機 １２ カメラコントローラ １３ テレビカメラ １４ テレビモニタ Ｓ1 パルスレーザ光波形 Ｓ2 プルームの発光波形 Ｓ3 Ｓ2を変換したパルス信号波形（外部トリガ信号） Ｓ4 テレビカメラ１３の露光タイミング信号 Ｓ5 パルス信号波形（外部トリガ信号） Ｓ6 パルスレーザ光波形 Ｓ7 プルームの発光波形 Ｓ8 テレビカメラ１３の露光タイミング信号
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 三柳 直毅 茨城県土浦市神立町650番地 日立建機株 式会社土浦工場内 (72)発明者 鈴木 賢一 茨城県土浦市神立町650番地 日立建機株 式会社土浦工場内
Claims (2)
- 【請求項１】 パルスレーザ光を発振するパルスレーザ
発振器と、被加工材を支持し加工位置を決定する加工テ
ーブルと、前記被加工材の加工中に加工部を監視するた
めの、シャッター機能を有するテレビカメラと、前記テ
レビカメラの露光動作をコントロールするカメラコント
ローラと、前記加工部の映像を撮影するテレビモニタと
を有する加工部監視装置付きパルスレーザ加工装置にお
いて、加工中に生ずるプルームの発光を検出するための
光検出器と、前記光検出器の検出結果に基づく前記発光
強度が所定値以下になったことを捕らえる手段と、前記
発光強度が所定値以下になった時点から所定時間経過後
に前記テレビカメラの露光動作を開始する手段とを備え
ることを特徴とする加工部監視装置付きパルスレーザ加
工装置。 - 【請求項２】 前記発光強度が所定値以下になったこと
を捕らえる手段は、前記発光強度を信号変換器によりパ
ルス信号とし、前記パルス信号の立ち下がりを捕らえる
手段であることを特徴とする請求項１記載の加工部監視
装置付きパルスレーザ加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3193057A JPH0538592A (ja) | 1991-08-01 | 1991-08-01 | パルスレーザ加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3193057A JPH0538592A (ja) | 1991-08-01 | 1991-08-01 | パルスレーザ加工装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0538592A true JPH0538592A (ja) | 1993-02-19 |
Family
ID=16301477
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3193057A Pending JPH0538592A (ja) | 1991-08-01 | 1991-08-01 | パルスレーザ加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0538592A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001517554A (ja) * | 1997-09-19 | 2001-10-09 | フラウンホーファー−ゲゼルシャフト ツル フェルデルング デル アンゲヴァンテン フォルシュング エー ファウ | 誘起された高エネルギビームのプラズマを用いて材料加工する方法及び装置 |
| JP2003094183A (ja) * | 2001-09-19 | 2003-04-02 | Sanyo Electric Co Ltd | レーザ溶接方法およびレーザ溶接装置 |
| US6700836B1 (en) * | 2000-01-24 | 2004-03-02 | Seiko Instruments Inc. | Electronic timepiece with indicator hands |
| JP2015179010A (ja) * | 2014-03-19 | 2015-10-08 | 株式会社Ihi | 高温部観察装置 |
| CN111230290A (zh) * | 2020-01-17 | 2020-06-05 | 北京工业大学 | 一种光电信号同步超快激光与iccd相机的系统及方法 |
-
1991
- 1991-08-01 JP JP3193057A patent/JPH0538592A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001517554A (ja) * | 1997-09-19 | 2001-10-09 | フラウンホーファー−ゲゼルシャフト ツル フェルデルング デル アンゲヴァンテン フォルシュング エー ファウ | 誘起された高エネルギビームのプラズマを用いて材料加工する方法及び装置 |
| JP4662621B2 (ja) * | 1997-09-19 | 2011-03-30 | フラウンホーファー−ゲゼルシャフト ツル フェルデルング デル アンゲヴァンテン フォルシュング エー ファウ | 高エネルギビームを用いて材料加工する方法及び装置 |
| US6700836B1 (en) * | 2000-01-24 | 2004-03-02 | Seiko Instruments Inc. | Electronic timepiece with indicator hands |
| JP2003094183A (ja) * | 2001-09-19 | 2003-04-02 | Sanyo Electric Co Ltd | レーザ溶接方法およびレーザ溶接装置 |
| JP2015179010A (ja) * | 2014-03-19 | 2015-10-08 | 株式会社Ihi | 高温部観察装置 |
| CN111230290A (zh) * | 2020-01-17 | 2020-06-05 | 北京工业大学 | 一种光电信号同步超快激光与iccd相机的系统及方法 |
| CN111230290B (zh) * | 2020-01-17 | 2021-07-30 | 北京工业大学 | 一种光电信号同步超快激光与iccd相机的系统及方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS5844973A (ja) | 映像を取得する方法および装置 | |
| US7420613B2 (en) | Method for controlling flash apparatus, wherein preliminary flashing is performed one time | |
| JP2007228049A (ja) | 撮像装置制御ユニット及びデジタルカメラ | |
| JP3685808B2 (ja) | カメラ自動焦点制御方法及びカメラ自動焦点制御装置 | |
| JPH0538592A (ja) | パルスレーザ加工装置 | |
| US20060096964A1 (en) | Method and apparatus for breakthrough detection for laser workpiece processing operations | |
| JPH07185855A (ja) | レーザ溶接の溶接品質管理方法 | |
| JP4161146B2 (ja) | ２重レーザ照明を用いた溶接部撮像装置 | |
| JPH05281038A (ja) | パルスレーザ光の光強度分布測定装置 | |
| JPS60249112A (ja) | カメラ用距離検出装置 | |
| JPH09168113A (ja) | オートフォーカス装置 | |
| JPH06304754A (ja) | アーク溶接の撮影方法及びその撮影装置 | |
| JP2715725B2 (ja) | Ｃｃｄカメラ装置 | |
| JP3451481B2 (ja) | レーザ加工装置及び加工方法 | |
| JP2000196923A (ja) | Ｃｃｄカメラとレーザ照明を用いた発光体の撮像装置 | |
| JPH05236328A (ja) | 撮像装置 | |
| JPS61267463A (ja) | オ−トフオ−カス装置 | |
| KR0183808B1 (ko) | Ccd 카메라의 전자 셔터 속도제어 시스템 | |
| JPH0293509A (ja) | 自動焦点合せ装置 | |
| JP3338160B2 (ja) | フラッシュ光通信装置 | |
| KR0165437B1 (ko) | 이동 물체에 대한 영상 처리방법 및 회로 | |
| JPH07209075A (ja) | 赤外線撮像装置 | |
| JPH10216970A (ja) | レーザ加工装置 | |
| SU1272171A2 (ru) | Устройство дл измерени износа режущего инструмента при обработке заготовок с технологическим окном | |
| JPS6037443B2 (ja) | 焦点調節装置 |