JPH0537153A - 多層フレキシブルプリント基板 - Google Patents

多層フレキシブルプリント基板

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JPH0537153A
JPH0537153A JP17530991A JP17530991A JPH0537153A JP H0537153 A JPH0537153 A JP H0537153A JP 17530991 A JP17530991 A JP 17530991A JP 17530991 A JP17530991 A JP 17530991A JP H0537153 A JPH0537153 A JP H0537153A
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JP
Japan
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inner layer
flexible printed
circuit pattern
metal foil
multilayer flexible
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Pending
Application number
JP17530991A
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English (en)
Inventor
Kazuhiro Shoji
和宏 荘司
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Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 多層フレキシブルプリント基板に関し、耐久
性、信頼性を向上させるとともに回路パターンの微細化
を実現した多層フレキシブルプリント基板を提供するこ
とを目的とする。 【構成】 内層回路パターン1aを形成した内層基板1
と、他の内層基板1または金属箔4とがボンディングシ
ート3を介して積層された多層フレキシブルプリント基
板において、上記積層される内層基板1、ボンディング
シート3、及び金属箔4の形成するいずれかの境界面
に、上記内層回路パターン1aによる凹凸を平坦化する
緩衝層2を介在させる構成とした。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はプリント基板に関し、特
に多層フレキシブルプリント基板に関するものである。
【0002】
【従来の技術】柔軟性を備え、かつ軽量であるとともに
低誘電率のフレキシブルプリント基板を高機能化した複
数の回路パターンが積層形成された多層フレキシブルプ
リント基板が提供されている。
【0003】図4は、4層の回路パターンを備える従来
の多層フレキシブルプリント基板の断面構造を示す構成
図である。この多層フレキシブルプリント基板50は、
例えばポリイミド樹脂や、ポリエステル樹脂等の可撓性
絶縁材料と、該可撓性絶縁材料の表裏両面に内層回路パ
ターン1a,1aを形成した厚さ25〜125μm程度
の内層基板1を備えている。さらに、該内層基板1の表
裏両面には、熱硬化性のエポキシ樹脂もしくはアクリル
樹脂を主成分に可塑剤としてゴム材料を添加した変成樹
脂よりなる厚さ50μm程度のボンディングシート3を
介在させて、UTC(Ultra Thin Copper )もしくは電
解銅箔等の厚さ9〜35μm程度の金属箔4が、例えば
温度170℃の下で、60分間、20kg/cm2の圧力で積
層されている。この積層工程の後、上記金属箔4を所定
の手法によってパターニングして表面層回路パターンが
形成される。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところで上記ボンディ
ングシート3は、上記積層工程における加熱、加圧条件
下でも比較的流動性に乏しいところから、図4に示すよ
うに、内層回路パターン1aによる内層基板1表面の凹
凸に追従しないで、該ボンディングシート3と、内層基
板1表面及び内層回路パターン1a側面で囲まれた空隙
11を生じる傾向にある。そして多層フレキシブルプリ
ント配線板の使用に伴って、このような空隙11に繰り
返し曲げ応力が加わると、該空隙11が広がって、層間
剥離の原因となることもある。
【0005】さらに、上記内層回路パターン1aの凹凸
が該ボンディングシート3を通じて、上記金属箔4にま
で顕れるところから、表面層回路パターンのパターニン
グのために、図5(a) に示すように、フォトレジスト層
63をコーティングしたドライフィルム62を金属箔4
上に配置した場合に、上記フォトレジスト層63は金属
箔4に完全に密着しないで一部に空隙を生じることとな
る。このような状態でマスク61を介して露光を行うこ
とにより形成されるフォトレジスト層63の硬化部分6
3aは、図5(b) に示すように、金属箔4より一部が浮
き上がった状態で金属箔4上に存在することになり、該
フォトレジスト層63の現像中や後段のエッチング中に
該金属箔4から剥離して、回路パターンの細りや断線を
生じ、適正な表面層回路パターンを形成しない場合があ
る等、特に回路パターンの微細化を図る上での障害とな
っていた。
【0006】本発明は上記従来の事情に鑑みて提案され
たものであって、耐久性、信頼性を向上させるとともに
回路パターンの微細化を実現した多層フレキシブルプリ
ント基板を提供することを目的とするものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明は以下の手段を採用する。すなわち、図1
に示すように、内層回路パターン1aを形成した内層基
板1と、他の内層基板1または金属箔4とがボンディン
グシート3を介して積層された多層フレキシブルプリン
ト基板において、上記積層される内層基板1、ボンディ
ングシート3、及び金属箔4のいずれかの境界面に、上
記内層回路パターン1aによる凹凸を平坦化する緩衝層
2を介在させた多層フレキシブルプリント基板である。
【0008】上記緩衝層2としてワニス樹脂塗膜2aを
用いることができ、該緩衝層2を介在させる箇所は、上
記内層基板1、ボンディングシート3、あるいは金属箔
4の形成する境界面のいずれでもよい。
【0009】
【作用】上記の構成によれば、図1乃至図3に示すよう
に、内層基板1、ボンディングシート3、及び金属箔4
の形成するいずれかの境界面に形成した緩衝層2は、内
層回路パターン1aによる凹凸を平坦化し、金属箔4の
表面を平滑にすることができ、多層フレキシブルプリン
ト基板の製造工程でフォトレジスト層63が金属箔4か
ら浮き上がることはない。
【0010】また特に、図1に示す、内層基板1の表面
に形成した緩衝層2はボンディングシート3との空間を
ほぼ完全に充填し、層間剥離の原因となる空隙を形成す
ることもない。
【0011】
【実施例】以下、実施例をもとに本発明に関し、さらに
詳細に説明する。尚、図4及び図5に示す従来例と共通
する部材には同一の符号を付している。
【0012】図1は、4層の回路パターンを備える多層
フレキシブルプリント基板に本発明を適用した一実施例
の断面を示す構成図であり、図3はこの発明に係る多層
フレキシブルプリント基板の製造手順を示すフロー図で
ある。
【0013】この実施例に係る多層フレキシブルプリン
ト基板は、内層基板1としてポリイミド系樹脂よりなる
可撓性絶縁基材に厚さ9〜18μmの銅箔を、熱可塑性
のポリイミド樹脂を主成分とする接着剤で表裏両面に接
着した、厚さ75μmの銅張積層板を使用し、図3(a)
に示す内層回路パターニング工程において、所定の手法
により上記銅箔をパターニングして内層回路パターン1
aを形成している。
【0014】上記内層基板1の表裏両面には、図3(b)
に示す緩衝層形成工程において、該内層基板1をスピン
コータ40のターンテーブル41上に載置し、ワニス樹
脂2wを滴下しながら該ターンテーブル41を駆動装置
42で高速回転させることにより、緩衝層2として熱硬
化性のエポキシ系樹脂によるワニス樹脂塗膜2aが形成
されている。
【0015】上記緩衝層2の材料としては所定の流動性
を以て、上記内層回路パターン1aによる凹凸を平坦化
することのできる材質であれば特に限定されず、上記緩
衝層の形成のための手段も上記スピンコータに限定され
ず、緩衝層の材質に応じてロールコータや刷毛、ブラシ
等を採用することができる。
【0016】また、上記緩衝層2(ワニス樹脂塗膜2
a)を形成した内層基板1の表裏両面には、図3(c) に
示すようにボンディングシート3を介して金属箔4が積
層される。このボンディングシート3は例えばエポキシ
樹脂を主成分に、可撓性を付与するための可塑剤として
合成ゴムを添加した厚さ50μm程度の変成樹脂シート
よりなり、また上記金属箔4は、例えば厚さ約9〜18
μmのUTC(Ultra Thin Copper )もしくは電解銅箔
等が用いられる。さらに上記積層条件は例えば温度17
0℃、圧力20kg/cm2で時間60分程度であり、これに
よって図1に示す多層フレキシブルプリント基板10が
得られることになる。
【0017】上記実施例の多層フレキシブルプリント基
板10は、緩衝層2として比較的流動性に富むワニス樹
脂塗膜2aを採用しているので、緩衝層形成工程におい
て内層基板1をむらなく被覆することができ、積層工程
後に上記ボンディングシート3と該内層基板1との間に
空隙が生じることがなくなって、使用に伴う層間剥離の
発生を抑制することができる。
【0018】さらにこの後、図3(d) に示す表面層回路
パターニング工程において、上記多層フレキシブルプリ
ント基板10の金属箔4を所定の手法によってパターニ
ングを行い、表面層回路パターンが形成されるが、上記
ワニス樹脂塗膜2aによって内層回路パターン1aによ
る内層基板1表面の凹凸を平坦化しているので、該凹凸
がボンディングシート3の表面にまで顕れることがな
く、該ボンディングシート3と金属箔4との境界面を平
滑にすることができ、上記表面層回路パターニング工程
で金属箔4の表面に形成されるフォトレジスト層が金属
箔4から脱落することがなくなる。
【0019】表1は、内層回路パターン1aの厚さを1
8μmとした上記実施例の金属箔4表面と、同じく上記
緩衝層を備えない従来例の金属箔表面との平滑度、及び
各々の多層フレキシブルプリント基板の製造可能な回路
幅の比較を示す。表1によれば、本実施例の平滑度は高
低差9.5μmとなり、上記内層回路パターン1aによ
って生じる凹凸を平坦化できたのに対して、従来例の平
滑度は高低差13.8μmと大きな値であることから、
本実施例では回路パターン幅を0.08mmにまで微細化
することができるのに対して、従来例は0.14mmが限
界であった。
【0020】
【表1】 また、表2にはこの実施例と、従来例との品質の比較を
示す。表2によれば、260℃の溶融はんだ槽に60秒
間浸漬するはんだ耐熱性試験ではともに層間剥離を発生
せず、また常温下での内層基板1と金属箔4とのピール
強度もともに1.0kg/cm2と差はないが、上記はんだ耐
熱試験後の上記ピール強度は従来例での0.8kg/cm2
ら、本実施例では0.9kg/cm2と耐熱性が向上したこと
を示している。
【0021】
【表2】 さらに図2は、4層の回路パターンを備える多層フレキ
シブルプリント基板に本発明を適用した他の実施例の断
面を示す構成図である。
【0022】この実施例の多層フレキシブルプリント基
板20では内層回路パターン1aを備える内層基板1の
表裏両面にボンディングシート3を介在させる一方、緩
衝層2としてのワニス樹脂塗膜2aを、ボンディングシ
ート3と金属箔4との境界面に介在させている。
【0023】この実施例においては図2に示すように、
内層基板1の内層回路パターン1aによる凹凸はボンデ
ィングシート3の凹凸となって顕れるが、上記ワニス樹
脂塗膜2aにより、該ボンディングシート3の凹凸を平
坦化して、金属箔4は平滑となるので、上記図1に示す
実施例と同様、微細な表面層回路パターンを形成するこ
とが可能となる。
【0024】尚、上記実施例ではいずれも4層の回路パ
ターンを備える多層フレキシブルプリント基板の実施例
を示したが、本発明はこれに限定されるものではなく、
例えば図3(c) の積層工程においてさらに他の内層基板
1′を積層する、より多層の回路パターンを備える多層
フレキシブルプリント基板へも適用できることはいうま
でもない。
【0025】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、内層回
路パターンによる凹凸を平坦化する緩衝層を、内層基
板、ボンディングシート、及び金属箔のいずれかの境界
面に形成することで、表面層回路パターンを構成する金
属箔の表面に内層回路パターンによる凹凸が顕れること
がなく、多層フレキシブルプリント基板の製造工程中に
エッチングレジストとなるフォトレジスト層が金属箔か
ら浮き上がることがないので、パターン細りや断線の発
生を防止することができ、従って微細な回路パターンを
形成することができる。
【0026】また、特に上記緩衝層を内層基板の表面に
直接形成した場合には、内層回路パターンによるボンデ
ィングシートと内層基板との間の空隙が生じることはな
くなり、層間剥離の発生を抑制することができる効果が
ある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例の断面の構成図である。
【図2】本発明の他の実施例の断面の構成図である。
【図3】本発明に係る実施例の製造手順を示すフロー図
である。
【図4】従来例の断面の構成図である。
【図5】従来例の問題点を示す説明図である。
【符号の説明】
1 内層基板 1a 内層回路パターン 2 緩衝層 2a ワニス樹脂塗膜 3 ボンディングシート 4 金属箔

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 内層回路パターン(1a)を形成した内層基
    板(1) と、他の内層基板(1) または金属箔(4) とがボン
    ディングシート(3) を介して積層された多層フレキシブ
    ルプリント基板において、 上記積層される内層基板(1) 、ボンディングシート(3)
    、及び金属箔(4) の形成するいずれかの境界面に、上
    記内層回路パターン(1a)による凹凸を平坦化する緩衝層
    (2) を介在させたことを特徴とする多層フレキシブルプ
    リント基板。
  2. 【請求項2】 上記緩衝層(2) をワニス樹脂塗膜(2a)と
    した、請求項1に記載の多層フレキシブルプリント基
    板。
JP17530991A 1991-07-16 1991-07-16 多層フレキシブルプリント基板 Pending JPH0537153A (ja)

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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7038143B2 (en) 2002-05-16 2006-05-02 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Wiring board, fabrication method of wiring board, and semiconductor device
KR100878399B1 (ko) * 2007-11-05 2009-01-13 삼성전기주식회사 저온동시소성 세라믹 기판 및 그 제조 방법
KR100882099B1 (ko) * 2007-10-31 2009-02-10 삼성전기주식회사 버퍼층을 가지는 저온동시소성 세라믹 기판 및 그 제조방법
KR100882098B1 (ko) * 2007-10-31 2009-02-10 삼성전기주식회사 저온동시소성 세라믹 기판 및 그 제조 방법
WO2009145179A1 (ja) 2008-05-26 2009-12-03 三井金属鉱業株式会社 多層フレキシブルプリント配線板の接着層形成用の樹脂組成物
JP2016115713A (ja) * 2014-12-11 2016-06-23 日本ゼオン株式会社 多層プリント配線板の製造方法

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Legal Events

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A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 19990223