JPH0537000A - 光検出器 - Google Patents
光検出器Info
- Publication number
- JPH0537000A JPH0537000A JP3190386A JP19038691A JPH0537000A JP H0537000 A JPH0537000 A JP H0537000A JP 3190386 A JP3190386 A JP 3190386A JP 19038691 A JP19038691 A JP 19038691A JP H0537000 A JPH0537000 A JP H0537000A
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- Japan
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- single crystal
- silicon substrate
- crystal silicon
- transition type
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 新規なる紫外線検出のための光検出器を提供
することにある。 【構成】 単結晶シリコン基板1にはpn接合層2が形
成され、pn接合を有する。単結晶シリコン基板1の表
面部分には直接遷移型多孔質シリコン8が形成され、紫
外線を受光して可視光に変換する。単結晶シリコン基板
1のpn接合間には電極10,11が配置され、直接遷
移型多孔質シリコン8による可視光が単結晶シリコン基
板1のpn接合による電気信号として取り出される。
することにある。 【構成】 単結晶シリコン基板1にはpn接合層2が形
成され、pn接合を有する。単結晶シリコン基板1の表
面部分には直接遷移型多孔質シリコン8が形成され、紫
外線を受光して可視光に変換する。単結晶シリコン基板
1のpn接合間には電極10,11が配置され、直接遷
移型多孔質シリコン8による可視光が単結晶シリコン基
板1のpn接合による電気信号として取り出される。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、紫外線を検出するた
めの光検出器に関するものである。
めの光検出器に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、紫外線検出素子として用いられて
いる受光材料として、基礎吸収端が430μmのCd4
SiS6 、基礎吸収端が470μmのCd4 GeS6 が
用いられている。又、光電子増倍管方式の紫外線検出器
もよく知られている。
いる受光材料として、基礎吸収端が430μmのCd4
SiS6 、基礎吸収端が470μmのCd4 GeS6 が
用いられている。又、光電子増倍管方式の紫外線検出器
もよく知られている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかし、Cd4 SiS
6 やCd4 GeS6 の分光感度特性は比較的鋭く、例え
ば、Cd4 GeS6 においては、波長500μm以上で
は急激に感度が低下する。さらに、材料自身の毒性が大
きく民生用に多用することが困難であった。又、光電子
増倍管方式の紫外線検出器においては、比較的大型であ
ること、ガラス製のため壊れやすいこと、高価であるこ
と等の理由で広く実用されるに至っていない。又、シリ
コンフォトダイオードの場合、紫外線領域での吸収係数
が大きいため、例えば、hν=3.5eV以上では固体
表面から数10Å以下の厚みで光吸収が起き、実用的な
デバイスを実現することはできない。
6 やCd4 GeS6 の分光感度特性は比較的鋭く、例え
ば、Cd4 GeS6 においては、波長500μm以上で
は急激に感度が低下する。さらに、材料自身の毒性が大
きく民生用に多用することが困難であった。又、光電子
増倍管方式の紫外線検出器においては、比較的大型であ
ること、ガラス製のため壊れやすいこと、高価であるこ
と等の理由で広く実用されるに至っていない。又、シリ
コンフォトダイオードの場合、紫外線領域での吸収係数
が大きいため、例えば、hν=3.5eV以上では固体
表面から数10Å以下の厚みで光吸収が起き、実用的な
デバイスを実現することはできない。
【0004】この発明の目的は、新規なる紫外線検出の
ための光検出器を提供することにある。
ための光検出器を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】この発明は、pn接合を
有する単結晶シリコン基板と、前記単結晶シリコン基板
の表面部分に形成され、紫外線を受光して可視光に変換
する直接遷移型多孔質シリコンと、前記単結晶シリコン
基板のpn接合間に配置され、前記直接遷移型多孔質シ
リコンによる可視光を単結晶シリコン基板のpn接合に
よる電気信号として取り出すための電極とを備えた光検
出器をその要旨とするものである。
有する単結晶シリコン基板と、前記単結晶シリコン基板
の表面部分に形成され、紫外線を受光して可視光に変換
する直接遷移型多孔質シリコンと、前記単結晶シリコン
基板のpn接合間に配置され、前記直接遷移型多孔質シ
リコンによる可視光を単結晶シリコン基板のpn接合に
よる電気信号として取り出すための電極とを備えた光検
出器をその要旨とするものである。
【0006】
【作用】直接遷移型多孔質シリコンが紫外線を受光する
と可視光に変換され、変換された可視光が単結晶シリコ
ン基板のpn接合により電気信号に変換されて電極から
取り出される。
と可視光に変換され、変換された可視光が単結晶シリコ
ン基板のpn接合により電気信号に変換されて電極から
取り出される。
【0007】
【実施例】以下、この発明を具体化した一実施例を図面
に従って説明する。図1には本実施例の光検出器を示
す。又、図2〜図6にはその製造工程を示す。
に従って説明する。図1には本実施例の光検出器を示
す。又、図2〜図6にはその製造工程を示す。
【0008】まず、図2に示すように、p型の単結晶シ
リコン基板1を用意し、その単結晶シリコン基板1上に
公知のイオン注入技術又は熱拡散技術によってpn接合
層2を形成する。このようにして、pnp接合を有する
単結晶シリコン基板1が形成される。
リコン基板1を用意し、その単結晶シリコン基板1上に
公知のイオン注入技術又は熱拡散技術によってpn接合
層2を形成する。このようにして、pnp接合を有する
単結晶シリコン基板1が形成される。
【0009】引き続き、図3に示すように、単結晶シリ
コン基板1のn型部にアルミ電極板3を配置し、単結晶
シリコン基板1のpn接合層2の表面が露出するよう
に、アルミ電極板3をアルミ保護用ワックス4で覆う。
さらに、このようにした単結晶シリコン基板1を濃度約
25%のフッ酸5に浸し、白金電極6を対向配置する。
そして、単結晶シリコン基板1を陽極とし、白金電極6
を陰極として定電流源7から電流を流して、pn接合層
2の表面部分を陽極化成処理する。
コン基板1のn型部にアルミ電極板3を配置し、単結晶
シリコン基板1のpn接合層2の表面が露出するよう
に、アルミ電極板3をアルミ保護用ワックス4で覆う。
さらに、このようにした単結晶シリコン基板1を濃度約
25%のフッ酸5に浸し、白金電極6を対向配置する。
そして、単結晶シリコン基板1を陽極とし、白金電極6
を陰極として定電流源7から電流を流して、pn接合層
2の表面部分を陽極化成処理する。
【0010】これは、フッ酸5中において、O2-とOH
- がpn接合層2に引きつけられ、pn接合層2の表面
においてO2-とOH- の電子が奪われ活性な酸素が発生
する。そして、この活性な酸素にてSiO2 が形成さ
れ、このSiO2 がフッ酸5にて溶解される。このよう
なメカニズムのもとに陽極化成処理が行われ、図4に示
すように、pn接合層2の表面部分に、径が50Å程度
の柱状の直接遷移型多孔質シリコン8が形成される。
尚、図3中、14は電流計である。
- がpn接合層2に引きつけられ、pn接合層2の表面
においてO2-とOH- の電子が奪われ活性な酸素が発生
する。そして、この活性な酸素にてSiO2 が形成さ
れ、このSiO2 がフッ酸5にて溶解される。このよう
なメカニズムのもとに陽極化成処理が行われ、図4に示
すように、pn接合層2の表面部分に、径が50Å程度
の柱状の直接遷移型多孔質シリコン8が形成される。
尚、図3中、14は電流計である。
【0011】次に、フッ酸中に単結晶シリコン基板1を
浸漬して直接遷移型多孔質シリコン8の表面に残ってい
る酸化皮膜を除去する。引き続き、図5に示すように、
直接遷移型多孔質シリコン8を酸化して直接遷移型多孔
質シリコン8の空間に絶縁性充填材としてのSiO2 9
を満たし固定化する。尚、SiO2 9の代わりに絶縁性
コーティング材を用いてもよい。
浸漬して直接遷移型多孔質シリコン8の表面に残ってい
る酸化皮膜を除去する。引き続き、図5に示すように、
直接遷移型多孔質シリコン8を酸化して直接遷移型多孔
質シリコン8の空間に絶縁性充填材としてのSiO2 9
を満たし固定化する。尚、SiO2 9の代わりに絶縁性
コーティング材を用いてもよい。
【0012】さらに、図6に示すように、直接遷移型多
孔質シリコン8の一部を除去して、pn接合層2のn型
部を部分的に露出させる。そして、図1に示すように、
この露出部分に電極10を配置する。又、単結晶シリコ
ン基板1の裏面に電極11を配置する。直接遷移型多孔
質シリコン8はSiO2 等の保護膜12で覆う。この保
護膜12は紫外線が通過可能である。
孔質シリコン8の一部を除去して、pn接合層2のn型
部を部分的に露出させる。そして、図1に示すように、
この露出部分に電極10を配置する。又、単結晶シリコ
ン基板1の裏面に電極11を配置する。直接遷移型多孔
質シリコン8はSiO2 等の保護膜12で覆う。この保
護膜12は紫外線が通過可能である。
【0013】さらに、電極10と11とは抵抗13を介
して接続する。次に、上記のように構成した光検出器の
作用を説明する。直接遷移型多孔質シリコン8に紫外線
が照射されると、直接遷移型多孔質シリコン8にて高効
率での紫外線から可視光への波長変換が起こる。この可
視光はpn接合部に吸収され、pn接合部に起電力を発
生させる。しかも、波長変換された後の光子エネルギー
は1.6eVであり、シリコンの最大量子効率を与える
波長となる。
して接続する。次に、上記のように構成した光検出器の
作用を説明する。直接遷移型多孔質シリコン8に紫外線
が照射されると、直接遷移型多孔質シリコン8にて高効
率での紫外線から可視光への波長変換が起こる。この可
視光はpn接合部に吸収され、pn接合部に起電力を発
生させる。しかも、波長変換された後の光子エネルギー
は1.6eVであり、シリコンの最大量子効率を与える
波長となる。
【0014】そして、pn接合部の両端に接続された負
荷抵抗13の両側には紫外線の光量に応じ電圧が発生す
る。このように本実施例では、pn接合を有する単結晶
シリコン基板1に対し、その表面部分に直接遷移型多孔
質シリコン8を配置し、この直接遷移型多孔質シリコン
8にて紫外線を受光して可視光に変換するようにし、さ
らに、単結晶シリコン基板1のpn接合間に電極10,
11を配置して、直接遷移型多孔質シリコン8による可
視光を単結晶シリコン基板1のpn接合による電気信号
として取り出すようにした。このようにして、新規なる
紫外線検出のための光検出器とすることができる。
荷抵抗13の両側には紫外線の光量に応じ電圧が発生す
る。このように本実施例では、pn接合を有する単結晶
シリコン基板1に対し、その表面部分に直接遷移型多孔
質シリコン8を配置し、この直接遷移型多孔質シリコン
8にて紫外線を受光して可視光に変換するようにし、さ
らに、単結晶シリコン基板1のpn接合間に電極10,
11を配置して、直接遷移型多孔質シリコン8による可
視光を単結晶シリコン基板1のpn接合による電気信号
として取り出すようにした。このようにして、新規なる
紫外線検出のための光検出器とすることができる。
【0015】又、直接遷移型多孔質シリコン8の空間に
はSiO2 9(絶縁性充填材)を満たし固定化したの
で、直接遷移型多孔質シリコン8の強度を強くすること
ができる。
はSiO2 9(絶縁性充填材)を満たし固定化したの
で、直接遷移型多孔質シリコン8の強度を強くすること
ができる。
【0016】
【発明の効果】以上詳述したようにこの発明によれば、
新規なる紫外線検出のための光検出器を提供することが
できる優れた効果を発揮する。
新規なる紫外線検出のための光検出器を提供することが
できる優れた効果を発揮する。
【図1】実施例の光検出器を示す図である。
【図2】光検出器の製造工程図である。
【図3】光検出器の製造工程図である。
【図4】光検出器の製造工程図である。
【図5】光検出器の製造工程図である。
【図6】光検出器の製造工程図である。
1 単結晶シリコン基板
8 直接遷移型多孔質シリコン
9 絶縁性充填材としてのSiO2
10 電極
11 電極
Claims (3)
- 【請求項1】 pn接合を有する単結晶シリコン基板
と、 前記単結晶シリコン基板の表面部分に形成され、紫外線
を受光して可視光に変換する直接遷移型多孔質シリコン
と、 前記単結晶シリコン基板のpn接合間に配置され、前記
直接遷移型多孔質シリコンによる可視光を単結晶シリコ
ン基板のpn接合による電気信号として取り出すための
電極とを備えたことを特徴とする光検出器。 - 【請求項2】 前記直接遷移型多孔質シリコンは陽極化
成により形成したものである請求項1に記載の光検出
器。 - 【請求項3】 前記直接遷移型多孔質シリコンはその空
間が絶縁性充填材にて満たされて固定化されているもの
である請求項1に記載の光検出器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19038691A JP3216153B2 (ja) | 1991-07-30 | 1991-07-30 | 光検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19038691A JP3216153B2 (ja) | 1991-07-30 | 1991-07-30 | 光検出器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0537000A true JPH0537000A (ja) | 1993-02-12 |
JP3216153B2 JP3216153B2 (ja) | 2001-10-09 |
Family
ID=16257305
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP19038691A Expired - Fee Related JP3216153B2 (ja) | 1991-07-30 | 1991-07-30 | 光検出器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3216153B2 (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0887866A3 (en) * | 1993-11-02 | 1999-05-06 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd | Semiconductor device comprising an aggregate of semiconductor micro-needles |
US6255709B1 (en) | 1996-03-08 | 2001-07-03 | Forschungszentrum Julich Gmbh | Color-selective SI detector array |
US6734451B2 (en) | 1993-11-02 | 2004-05-11 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Aggregate of semiconductor micro-needles and method of manufacturing the same, and semiconductor apparatus and method of manufacturing the same |
WO2004064189A1 (ja) * | 2003-01-14 | 2004-07-29 | Japan Science And Technology Agency | 光検出可能な固体薄膜二次電池 |
JP2010087482A (ja) * | 2008-09-08 | 2010-04-15 | Murata Mfg Co Ltd | 紫外線センサおよびその製造方法 |
US10263128B2 (en) | 2017-09-05 | 2019-04-16 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Photodetector converting ultraviolet light into visible light |
US11313956B2 (en) | 2018-03-22 | 2022-04-26 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Photodetector, LIDAR, and method of manufactuaring photodetector |
-
1991
- 1991-07-30 JP JP19038691A patent/JP3216153B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0887866A3 (en) * | 1993-11-02 | 1999-05-06 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd | Semiconductor device comprising an aggregate of semiconductor micro-needles |
US6087197A (en) * | 1993-11-02 | 2000-07-11 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Aggregate of semiconductor micro-needles and method of manufacturing the same, and semiconductor apparatus and method of manufacturing the same |
US6177291B1 (en) | 1993-11-02 | 2001-01-23 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method of making aggregate of semiconductor micro-needles |
US6489629B1 (en) | 1993-11-02 | 2002-12-03 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Aggregate of semiconductor micro-needles and method of manufacturing the same, and semiconductor apparatus and method of manufacturing the same |
US6734451B2 (en) | 1993-11-02 | 2004-05-11 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Aggregate of semiconductor micro-needles and method of manufacturing the same, and semiconductor apparatus and method of manufacturing the same |
US6255709B1 (en) | 1996-03-08 | 2001-07-03 | Forschungszentrum Julich Gmbh | Color-selective SI detector array |
US6632699B1 (en) * | 1996-03-08 | 2003-10-14 | Forschungszentrum Julich Gmbh | Process for making a color selective Si detector array |
WO2004064189A1 (ja) * | 2003-01-14 | 2004-07-29 | Japan Science And Technology Agency | 光検出可能な固体薄膜二次電池 |
US7276312B2 (en) | 2003-01-14 | 2007-10-02 | Japan Science And Technology Agency | Light-detectable solid thin-film secondary battery |
JP2010087482A (ja) * | 2008-09-08 | 2010-04-15 | Murata Mfg Co Ltd | 紫外線センサおよびその製造方法 |
US10263128B2 (en) | 2017-09-05 | 2019-04-16 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Photodetector converting ultraviolet light into visible light |
US11313956B2 (en) | 2018-03-22 | 2022-04-26 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Photodetector, LIDAR, and method of manufactuaring photodetector |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3216153B2 (ja) | 2001-10-09 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |