JPH0536743B2 - - Google Patents
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- JPH0536743B2 JPH0536743B2 JP22687684A JP22687684A JPH0536743B2 JP H0536743 B2 JPH0536743 B2 JP H0536743B2 JP 22687684 A JP22687684 A JP 22687684A JP 22687684 A JP22687684 A JP 22687684A JP H0536743 B2 JPH0536743 B2 JP H0536743B2
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/14—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of an electrically-heated body in dependence upon change of temperature
- G01N27/18—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of an electrically-heated body in dependence upon change of temperature caused by changes in the thermal conductivity of a surrounding material to be tested
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Description
【発明の詳細な説明】
（技術分野）
本発明は、熱伝導型ガス検出器、より詳しくは
白金線を検知線に使用したガス検出素子に関す
る。
白金線を検知線に使用したガス検出素子に関す
る。
（従来技術）
熱伝導型ガス検出器は、通常、２本の抵抗線を
ブリツジ接続して通電発熱させ、一方の抵抗線を
検知部として試料ガスに、また他方の抵抗線を比
較部として標準ガスに曝し、試料ガスと標準ガス
の熱伝導率の違いにより生じる２本の抵抗線間の
温度差を抵抗変化として検出するものである。
ブリツジ接続して通電発熱させ、一方の抵抗線を
検知部として試料ガスに、また他方の抵抗線を比
較部として標準ガスに曝し、試料ガスと標準ガス
の熱伝導率の違いにより生じる２本の抵抗線間の
温度差を抵抗変化として検出するものである。
ところで、この熱伝導型ガス検出器の検出線
は、高い温度抵抗係数と高温に対する耐蝕性の要
求を満たすため、白金線が使用されている。
は、高い温度抵抗係数と高温に対する耐蝕性の要
求を満たすため、白金線が使用されている。
しかしながら、周知の如く、白金は、強い酸化
触媒作用を持つているため、白金線を使用した熱
伝導型ガス検出器によりブタンやプロパン等の可
燃性ガスを含む試料ガスを検出すると、この可燃
性ガスが白金線表面で接触燃焼して白金線の温度
を上昇させ、試料ガスの熱伝導率とは無関係な温
度変化を起して検出精度を下げるという問題があ
つた。
触媒作用を持つているため、白金線を使用した熱
伝導型ガス検出器によりブタンやプロパン等の可
燃性ガスを含む試料ガスを検出すると、この可燃
性ガスが白金線表面で接触燃焼して白金線の温度
を上昇させ、試料ガスの熱伝導率とは無関係な温
度変化を起して検出精度を下げるという問題があ
つた。
このような問題を解消するために、たとえば半
導体ガスセンサーの温度補償素子を用いることも
考えられるが、これはヒータ線の表面に不活性物
質を塗布するとともに、可及的にガス検出素子と
熱拡散条件が同一となるように構成されているた
め、と被検出ガスとの間に介在物が存在すること
となつて、応答速度の低下を招いたり、また塗布
されている不活性物質のひび割れなどにより検出
誤差が生じる等の不都合がある。
導体ガスセンサーの温度補償素子を用いることも
考えられるが、これはヒータ線の表面に不活性物
質を塗布するとともに、可及的にガス検出素子と
熱拡散条件が同一となるように構成されているた
め、と被検出ガスとの間に介在物が存在すること
となつて、応答速度の低下を招いたり、また塗布
されている不活性物質のひび割れなどにより検出
誤差が生じる等の不都合がある。
（目 的）
本発明はこのような問題に鑑みてなされたもの
であつて、その目的とするところは検出ガスの種
類に関わりなく高い感度と応答速度でもつて検出
することができる新規な熱伝導型ガスセンサーを
提供することである。
であつて、その目的とするところは検出ガスの種
類に関わりなく高い感度と応答速度でもつて検出
することができる新規な熱伝導型ガスセンサーを
提供することである。
すなわち、本発明が特徴とするところはヒータ
を構成する白金線の表面に金、もしくは金合金の
被膜を形成して白金線が有する可燃性ガスに対す
る触媒作用を殺すようにした点にある。
を構成する白金線の表面に金、もしくは金合金の
被膜を形成して白金線が有する可燃性ガスに対す
る触媒作用を殺すようにした点にある。
（構 成）
そこで、以下に本発明の詳細を図示した実施例
に基づいて説明する。
に基づいて説明する。
第１図は、本発明の一実施例を示すものであつ
て、図中符号１は、本発明の特徴部分をなすガス
検出素子で、後述する素線をコイルに形成した検
出線１０を、リード線を兼ねたステー１１，１１
に溶着し、上部に試料ガス流入口１２ａを穿設し
たキヤツプ１２を覆せて構成されている。
て、図中符号１は、本発明の特徴部分をなすガス
検出素子で、後述する素線をコイルに形成した検
出線１０を、リード線を兼ねたステー１１，１１
に溶着し、上部に試料ガス流入口１２ａを穿設し
たキヤツプ１２を覆せて構成されている。
第２図イ，ロは、前述したガス検出線の一実施
例を示すものであつて、図中符号２は、所定の線
径に伸延した白金線で、スパツタリング等により
表面に均一に金（Au）の層３を被覆して白金が
外部に露出しないように構成されている。
例を示すものであつて、図中符号２は、所定の線
径に伸延した白金線で、スパツタリング等により
表面に均一に金（Au）の層３を被覆して白金が
外部に露出しないように構成されている。
実施例
直径10乃至25μｍの白金線の表面に、スパツタ
リング法により金（Au）を1μｍ程度の厚さに物
理蒸着し、これをコイル状に形成し、ステイに取
り付けた。
リング法により金（Au）を1μｍ程度の厚さに物
理蒸着し、これをコイル状に形成し、ステイに取
り付けた。
第３図は、上述したガス検出素子を使用したガ
ス検出回路の一例を示すものであつて、図中符号
４は、内部に標準ガスを封入してなる基準素子
で、前述のガス検出素子１と対にされて固定抵抗
５，６とブリツジ接続し、入力端に電源７を、ま
た出力端に表示計８を接続して構成されている。
ス検出回路の一例を示すものであつて、図中符号
４は、内部に標準ガスを封入してなる基準素子
で、前述のガス検出素子１と対にされて固定抵抗
５，６とブリツジ接続し、入力端に電源７を、ま
た出力端に表示計８を接続して構成されている。
この実施例において装置を作動すると、検出素
子１及び基準素子４は、電源７からの電力の供給
を受け、検出線が400〜500℃程度に昇温して一定
温度を維持する。
子１及び基準素子４は、電源７からの電力の供給
を受け、検出線が400〜500℃程度に昇温して一定
温度を維持する。
このような状態において、検出素子１のキヤツ
プの試料ガス流入口１２ａからブタンやプロパン
等の可燃性ガスを含んだ試料ガスが流入すると、
検出線１０は、その表面を触媒作用を持たない金
層３（第２図）を介して可燃性ガスに接触し、可
燃性ガスの濃度に比例して熱を奪われて温度が下
がり、電気抵抗が降下する。これにより基準素子
４との間に抵抗値に差が生じ、可燃性ガスの濃度
に比例した出力信号が発生する。
プの試料ガス流入口１２ａからブタンやプロパン
等の可燃性ガスを含んだ試料ガスが流入すると、
検出線１０は、その表面を触媒作用を持たない金
層３（第２図）を介して可燃性ガスに接触し、可
燃性ガスの濃度に比例して熱を奪われて温度が下
がり、電気抵抗が降下する。これにより基準素子
４との間に抵抗値に差が生じ、可燃性ガスの濃度
に比例した出力信号が発生する。
云うまでもなく、検出線１０は、その表面を金
（Au）により被覆されているため、試料ガスに含
まれている可燃性ガスを接触酸化させるようなこ
とはなく、異常な温度変化を起す虞れがない。
（Au）により被覆されているため、試料ガスに含
まれている可燃性ガスを接触酸化させるようなこ
とはなく、異常な温度変化を起す虞れがない。
なお、上述の実施例においては金（Au）によ
り被覆しているが、可燃性ガスに対して触媒作用
を示さない金属を含む金合金を用いても同様の作
用を奏することは明らかである。
り被覆しているが、可燃性ガスに対して触媒作用
を示さない金属を含む金合金を用いても同様の作
用を奏することは明らかである。
（効 果）
以上説明したように本発明においては白金線の
表面に金（Au）や金合金の皮膜を形成したので、
応答速度の低下や信頼性の低下を招くことなく、
可燃性ガスを高い感度と精度で検出することがで
きる。
表面に金（Au）や金合金の皮膜を形成したので、
応答速度の低下や信頼性の低下を招くことなく、
可燃性ガスを高い感度と精度で検出することがで
きる。
第１図は、本発明の一実施例を示す装置の構成
図、第２図イ，ロは、それぞれ同上装置に使用す
出線の一実施例を示す断面図、第３図は、ガ
ス検出素子を使用したガス検出回路の一例を示す
ブロツク図である。 １……ガス検出素子、１０……検出線、２……
白金線、３……金、１２……試料ガス流入口、１
３……キヤツプ。
図、第２図イ，ロは、それぞれ同上装置に使用す
出線の一実施例を示す断面図、第３図は、ガ
ス検出素子を使用したガス検出回路の一例を示す
ブロツク図である。 １……ガス検出素子、１０……検出線、２……
白金線、３……金、１２……試料ガス流入口、１
３……キヤツプ。
Claims (1)
- １ 白金線の表面に金（Au）、または金合金の皮
膜を形成してなるヒータ線を検出線とした熱伝導
型ガス検出素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22687684A JPS61105451A (ja) | 1984-10-30 | 1984-10-30 | 熱伝導型ガス検出素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22687684A JPS61105451A (ja) | 1984-10-30 | 1984-10-30 | 熱伝導型ガス検出素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61105451A JPS61105451A (ja) | 1986-05-23 |
| JPH0536743B2 true JPH0536743B2 (ja) | 1993-05-31 |
Family
ID=16851957
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22687684A Granted JPS61105451A (ja) | 1984-10-30 | 1984-10-30 | 熱伝導型ガス検出素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61105451A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2676810B2 (ja) * | 1988-08-31 | 1997-11-17 | 株式会社島津製作所 | 熱伝導度検出器 |
| JP2006058201A (ja) * | 2004-08-23 | 2006-03-02 | Gas Mitsukusu Kogyo Kk | 熱伝導型ガス分析器 |
-
1984
- 1984-10-30 JP JP22687684A patent/JPS61105451A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61105451A (ja) | 1986-05-23 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |