JPH05339799A - 電子部品の半田めっき装置における排ガス処理システム - Google Patents

電子部品の半田めっき装置における排ガス処理システム

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JPH05339799A
JPH05339799A JP14549092A JP14549092A JPH05339799A JP H05339799 A JPH05339799 A JP H05339799A JP 14549092 A JP14549092 A JP 14549092A JP 14549092 A JP14549092 A JP 14549092A JP H05339799 A JPH05339799 A JP H05339799A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 電子部品の半田めっき装置における排ガス処
理システムにおいて、工場外の集塵装置、排風機の設置
および工場内外の排気ダクトの配設を不要にし、排気ダ
クトレス化およびコストの低廉化を図る。 【構成】 電子部品の半田めっき装置における排ガス処
理システムにおいて、ケーシング1内の前処理部、めっ
き部8a〜8c、後処理部のうち、めっき部8a〜8c
に設けられる給気ノズル14および排気フード13を備
え、ケーシング1に、排気フード13からの排ガスを冷
却するガス冷却部16と、冷却された排ガスを清浄化空
気に処理するガス処理部17と、排ガスを排気フード1
3に吸引するブロア18とを搭載した構造とした。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、電子部品の半田めっき
装置における排ガス処理システムに関し、各処理槽で発
生する排ガスを処理する排ガス処理システムに適用して
有効な技術に関する。
【0002】
【従来の技術】電子部品の半田めっき装置においては、
各処理槽で発生するガスには有機ガスや悪臭ガスが含ま
れ、衛生上、作業環境上好ましくないので、これを排除
し、換気する必要がある。
【0003】そこで、排ガス処理システムを設け、この
排ガス処理システムは工場外の集塵装置、排風機に接続
される排気ダクトを建屋を貫通させて工場内に配設し、
電子部品の半田めっき装置まで延在させ、その排気フー
ドを各処理槽の上部に臨ませる構造となっている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前記した排ガ
ス処理システムでは、工場外の集塵装置、排風機に接続
される排気ダクトを建屋を貫通させて工場内に配設し、
電子部品の半田めっき装置まで延在させ、その排気フー
ドを各処理槽の上部に臨ませる構造となっているので、
工場外に集塵装置、排風機を設置し、工場内外に排気ダ
クトを配設する工事は既設設備との関係から容易でな
く、コストが高くつくという問題があった。
【0005】本発明の目的は、工場外の集塵装置、排風
機の設置および工場内外の排気ダクトの配設を不要にす
ることのできる電子部品の半田めっき装置における排ガ
ス処理システムを提供することにある。
【0006】本発明の他の目的は、排気ダクトレス化お
よびコストの低廉化を図ることのできる電子部品の半田
めっき装置における排ガス処理システムを提供すること
にある。
【0007】また、本発明のさらに他の目的は、ケーシ
ング内のクリーン化を図ることのできる電子部品の半田
めっき装置における排ガス処理システムを提供すること
にある。
【0008】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。
【0009】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
【0010】すなわち、本発明による電子部品の半田め
っき装置における排ガス処理システムは、ケーシング内
の前処理部、めっき部、後処理部に設けられる給気ノズ
ルおよび排気フードを備え、前記ケーシングに、排気フ
ードからの排ガスを冷却するガス冷却部と、排ガスを排
気フードに吸引するブロアとを搭載した構造としたもの
である。
【0011】この場合、前記前処理部、めっき部、後処
理部における各処理槽の開口部の一側に給気ノズルを、
他側に排気フードをそれぞれ設け、各処理槽の開口部に
エアカーテンを形成した構造とすることができる。
【0012】
【作用】本発明による電子部品の半田めっき装置におけ
る排ガス処理システムによれば、ケーシング内の前処理
部、めっき部、後処理部に設けられる給気ノズルおよび
排気フードを備え、前記ケーシングに、排気フードから
の排ガスを冷却するガス冷却部と、排ガスを排気フード
に吸引するブロアとを搭載した構造としたので、工場外
の集塵装置、排風機の設置および工場内の排気ダクトの
配設を不要にすることができる。
【0013】したがって、排気ダクトレス化およびコス
トの低廉化を図ることができる。
【0014】この場合、前記前処理部、めっき部、後処
理部における各処理槽の開口部の一側に給気ノズルを、
他側に排気フードをそれぞれ設け、各処理槽の開口部に
エアカーテンを形成した構造としたので、各処理槽での
電子部品の搬入出の際にも、各処理槽内から発生した排
ガスの拡散を防止し、ケーシング内のクリーン化を図る
ことができる。
【0015】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。
【0016】
【実施例】図1は本発明の一実施例である電子部品の半
田めっき装置における排ガス処理システムを示す断面
図、図2は図1のII−II線断面図である。
【0017】本実施例における電子部品の半田めっき装
置における排ガス処理システムはIC用リードフレーム
の高速半田めっき装置に適用したものである。このIC
用リードフレームの半田めっき装置は、ケーシング1を
備え、このケーシング1内には、左側から、供給部2、
脱脂部3a,3b、液切り部4a、水洗部5a,5b、
化学研磨部6、液切り部4b、水洗部5c,5d、めっ
き槽7よりなるめっき部8a〜8cが順次配置されてい
る。
【0018】また、このめっき部8a〜8cに続いて、
液切り部4c、水洗部5e、中和部9、液切り部4d、
湯洗部10a〜10c、液切り部4e、乾燥部11、収
納部12が順次配置されている。
【0019】本実施例における排ガス処理システムは、
脱脂部3a,3bおよび液切り部4aと、化学研磨部6
および液切り部4bと、めっき部8a〜8cおよび液切
り部4cと、中和部9と、液切り部4dおよび湯洗部1
0a〜10cとには、一側にそれぞれ排気フード13を
設け、他側にそれぞれ給気ノズル14を設けた構造とな
っている。
【0020】詳しくは、たとえば、めっき部8a〜8c
および液切り部4cでは、給気ノズル14と排気フード
13とは互いに対向し、給気ノズル14から清浄空気を
給気し、めっき槽7の開口部にエアカーテンを形成する
構造となっている。
【0021】各排気フード13は共通フード15を介し
てガス冷却部16に接続されている。このガス冷却部1
6は排気フード13からの排ガスを冷媒との熱交換によ
り冷却するもので、ケーシング1に搭載されている。
【0022】この搭載されたガス冷却部16にガス処理
部17が接続され、このガス処理部17は冷却された排
ガスを清浄化空気に処理するものである。
【0023】すなわち、ガス処理部17内には、フィル
タケースが積層され、このフィルタケース内に排ガス中
の有害成分のうち、粗成分を濾過する多孔性ポリビニル
ホルマールからなるプレフィルタが収納されている。
【0024】このようなフィルタケースの最下層に連な
って活性炭吸着ケースが形成され、この活性炭吸着ケー
ス内には、排ガス中の有害成分のうち、微成分を吸着す
る活性炭が充填されている。
【0025】このようなガス処理部17にブロア18が
接続され、このブロア18は負圧を生成し、この負圧に
よりめっき槽7上に発生した排ガスを排気フード13か
ら吸い込み、ガス冷却部16を経てガス処理部17内の
プレフィルタおよび活性炭を通過させ、供給管19を介
して給気ノズル14とケーシング1内に清浄化空気とし
て循環供給する構造となっている。
【0026】次に、本実施例の作用について説明する。
【0027】半田めっき装置の各処理槽で発生する排ガ
スの処理を行う場合、ブロア18を駆動させると、たと
えばめっき槽7上では、給気ノズル14から清浄空気が
シート状に噴射し、対向する排気フード13に向かって
流動し、排気フード13に負圧により吸引される。
【0028】このため、めっき槽7の開口部にエアカー
テンが形成され、このエアカーテンによりめっき槽7の
開口部が覆われる。
【0029】その結果、めっき槽7内から発生した排ガ
スはエアカーテンに沿って排気フード13に吸引され、
共通フード15を経てガス冷却部16内に吸い込まれ
る。
【0030】ガス冷却部16では、冷媒との熱交換によ
り排ガスは冷却され、ガス処理部17に送られる。排ガ
スを冷却することにより、水蒸気等の気化されたガスを
液化し、ガス冷却部16で液体として回収する。このよ
うに、水分がガス冷却部16で回収されるので、ガス処
理部17への水分持ち込みが防止できる。なお、回収さ
れた水分は排水系路に流れ込むようになっている。
【0031】ガス処理部17では、まず、多孔性ポリビ
ニルホルマールからなるプレフィルタによって粗いフィ
ルトレーションが行われる。その後、図示しない活性炭
吸着ケース内を排ガスが通過する際、活性炭によって、
有害成分中の微成分が吸着除去される。
【0032】そして、排ガス中の有害成分がすべて除去
されて排ガスは清浄化空気としてブロア18を経て給気
ノズル14とケーシング1内に循環供給される。
【0033】このように、ケーシング1にガス冷却部1
6と、ガス処理部17と、ブロア18とを搭載した構造
としたので、工場外の集塵装置、排風機の設置および工
場内の排気ダクトの配設を不要にすることができる。
【0034】したがって、排気ダクトレス化およびコス
トの低廉化を図ることができる。
【0035】この場合、前記めっき部8a〜8cにおけ
るめっき槽7の開口部の一側に給気ノズル14を、他側
に排気フード13をそれぞれ設け、めっき槽7の開口部
にエアカーテンを形成した構造としたので、めっき槽7
でのIC用リードフレームの搬入出の際にも、めっき槽
7内から発生した排ガスの拡散を防止し、ケーシング1
内のクリーン化を図ることができる。
【0036】以上、本発明者によってなされた発明を実
施例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例
に限定されるものでなく、その要旨を逸脱しない範囲で
種々変更可能であることはいうまでもない。
【0037】以上の説明では、主として本発明者によっ
てなされた発明をその利用分野である、IC用リードフ
レームの半田めっき装置における排ガス処理システムで
説明したが、IC用リードフレーム以外のリードフレー
ム状の電子部品の半田めっき装置における排ガス処理シ
ステムにも適用することができる。
【0038】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
【0039】(1).ケーシング内の前処理部、めっき部、
後処理部に設けられる給気ノズルおよび排気フードを備
え、前記ケーシングに、排気フードからの排ガスを冷却
するガス冷却部と、排ガスを排気フードに吸引するブロ
アとを搭載した構造としたので、工場外の集塵装置、排
風機の設置および工場内の排気ダクトの配設を不要にす
ることができる。
【0040】(2).前記(1) の効果により、排気ダクトレ
ス化およびコストの低廉化を図ることができる。
【0041】(3).前記(1) の場合、各処理部における各
処理槽の開口部の一側に給気ノズルを、他側に排気フー
ドをそれぞれ設け、各処理槽の開口部にエアカーテンを
形成した構造としたので、各処理槽での電子部品の搬入
出の際にも、めっき槽内から発生した排ガスの拡散を防
止し、ケーシング内のクリーン化を図ることができる。
【0042】
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例である電子部品の半田めっき
装置における排ガス処理システムを示す断面図である。
【図2】図1のII−II線断面図である。
【符号の説明】
1 ケーシング 2 供給部 3a 脱脂部 3b 脱脂部 4a 液切り部 4b 液切り部 4c 液切り部 4d 液切り部 4e 液切り部 5a 水洗部 5b 水洗部 5c 水洗部 5d 水洗部 5e 水洗部 6 化学研磨部 7 めっき槽 8a めっき部 8b めっき部 8c めっき部 9 中和部 10a 湯洗部 10b 湯洗部 10c 湯洗部 11 乾燥部 12 収納部 13 排気フード 14 給気ノズル 15 共通フード 16 ガス冷却部 17 ガス処理部 18 ブロア 19 供給管
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 C25D 7/12 F27D 17/00 104 D 8222−4K H01L 23/50 D 9272−4M

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ケーシング内の前処理部、めっき部、後
    処理部に設けられる給気ノズルおよび排気フードを備
    え、前記ケーシングに、排気フードからの排ガスを冷却
    するガス冷却部と、冷却された排ガスを清浄化空気に処
    理するガス処理部と、排ガスを排気フードに吸引するブ
    ロアとを搭載したことを特徴とする電子部品の半田めっ
    き装置における排ガス処理システム。
  2. 【請求項2】 前記前処理部、めっき部、後処理部にお
    ける各処理槽の開口部の一側に給気ノズルを、他側に排
    気フードをそれぞれ設け、各処理槽の開口部にエアカー
    テンを形成したことを特徴とする請求項1記載の電子部
    品の半田めっき装置における排ガス処理システム。
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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100759477B1 (ko) * 2007-03-15 2007-09-27 주식회사 제이텍 도금설비용 후드장치
KR100868428B1 (ko) * 2007-05-11 2008-11-11 주식회사 포스코 흄 드롭 방지장치
WO2010047456A1 (ko) * 2008-10-20 2010-04-29 주식회사 삼원알텍 금속의 아노다이징 처리 방법 및 그 시스템
KR100958368B1 (ko) * 2009-12-16 2010-05-17 주식회사 삼원알텍 탈지장치가 일체로 구비된 금속의 아노다이징 처리 장치
JP2014105339A (ja) * 2012-11-24 2014-06-09 Marunaka Kogyo Kk 水平搬送式電解メッキ装置
KR102154861B1 (ko) * 2020-06-01 2020-09-11 지원석 후드 장치 제어 기반 연속적인 도금 공정 방법 및 장치
CN112962045A (zh) * 2021-02-03 2021-06-15 徐州瑞马智能技术有限公司 一种热镀锌生产用除尘装置

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100759477B1 (ko) * 2007-03-15 2007-09-27 주식회사 제이텍 도금설비용 후드장치
KR100868428B1 (ko) * 2007-05-11 2008-11-11 주식회사 포스코 흄 드롭 방지장치
WO2010047456A1 (ko) * 2008-10-20 2010-04-29 주식회사 삼원알텍 금속의 아노다이징 처리 방법 및 그 시스템
KR100958368B1 (ko) * 2009-12-16 2010-05-17 주식회사 삼원알텍 탈지장치가 일체로 구비된 금속의 아노다이징 처리 장치
JP2014105339A (ja) * 2012-11-24 2014-06-09 Marunaka Kogyo Kk 水平搬送式電解メッキ装置
KR102154861B1 (ko) * 2020-06-01 2020-09-11 지원석 후드 장치 제어 기반 연속적인 도금 공정 방법 및 장치
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