JPH05338162A - インクジェット記録ヘッド及びその製造方法 - Google Patents
インクジェット記録ヘッド及びその製造方法Info
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- JPH05338162A JPH05338162A JP15381292A JP15381292A JPH05338162A JP H05338162 A JPH05338162 A JP H05338162A JP 15381292 A JP15381292 A JP 15381292A JP 15381292 A JP15381292 A JP 15381292A JP H05338162 A JPH05338162 A JP H05338162A
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- JP
- Japan
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- ink
- photosensitive composition
- flow path
- nozzle
- recording head
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Abstract
(57)【要約】
【目的】ノズル部が精密であり、プリンター使用環境下
において信頼性の高いインクジェット記録ヘッドおよび
その製造方法を提供することを目的とする。 【構成】 基板１上に感光性フィルムをラミネートしこ
の上に、インク流路となる溝をが形成し、この流路に振
動板６を積層して、インク流路を形成し、振動板６の上
面に、インク流路に対応してインク吐出圧発生素子７を
設置する。インク流路は、インク供給部５Ａ、圧力発生
部５Ｃ、インク吐出ノズル部５Ｄ、および、ノズル面１
３を保護するための、ノズル凹部５Ｃから構成され、ノ
ズル凹部５Ｅにはテーパーがついている。または、ラッ
パ状に形成する。
において信頼性の高いインクジェット記録ヘッドおよび
その製造方法を提供することを目的とする。 【構成】 基板１上に感光性フィルムをラミネートしこ
の上に、インク流路となる溝をが形成し、この流路に振
動板６を積層して、インク流路を形成し、振動板６の上
面に、インク流路に対応してインク吐出圧発生素子７を
設置する。インク流路は、インク供給部５Ａ、圧力発生
部５Ｃ、インク吐出ノズル部５Ｄ、および、ノズル面１
３を保護するための、ノズル凹部５Ｃから構成され、ノ
ズル凹部５Ｅにはテーパーがついている。または、ラッ
パ状に形成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、インクジェット記録ヘ
ッド、詳しくは、インクジェット記録方式に用いる、記
録用小滴を発生させるためのインクジェット記録ヘッド
およびその製造方法に関する。
ッド、詳しくは、インクジェット記録方式に用いる、記
録用小滴を発生させるためのインクジェット記録ヘッド
およびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】図６は、電気−機械変換手段の作用によ
り、インク吐出エネルギーを発生させるための圧力室
と、その圧力によりインクを吐出するためのノズルを備
えたドロップオンデマンド型のインクジェットプリント
ヘッドの部分の斜視図である。
り、インク吐出エネルギーを発生させるための圧力室
と、その圧力によりインクを吐出するためのノズルを備
えたドロップオンデマンド型のインクジェットプリント
ヘッドの部分の斜視図である。
【０００３】このプリントヘッドは、基板１に供給イン
ク室５Ａ、インク供給路５Ｂ、圧力室５Ｃが設けられ、
かつ、ａーａ’面に沿ってダイシングを行うことによ
り、インク吐出ノズル部５Ｄが形成されている。圧力室
５Ｃの外部に電気−機械変換エネルギーを発生する圧電
素子７が設けられており、その圧電素子７に、パルス電
圧を供給することにより圧力室５Ｃにインク吐出圧を発
生させ、インクを吐出ノズル部５Ｄより噴出させる。
ク室５Ａ、インク供給路５Ｂ、圧力室５Ｃが設けられ、
かつ、ａーａ’面に沿ってダイシングを行うことによ
り、インク吐出ノズル部５Ｄが形成されている。圧力室
５Ｃの外部に電気−機械変換エネルギーを発生する圧電
素子７が設けられており、その圧電素子７に、パルス電
圧を供給することにより圧力室５Ｃにインク吐出圧を発
生させ、インクを吐出ノズル部５Ｄより噴出させる。
【０００４】このようなドロップオンデマンド型インク
ジェットプリントヘッドにおいては、従来、インク吐出
ノズル部５Ｄをダイシングによって形成する際、ノズル
エッジ部に欠けを生じたり、ノズル面１２に傷をつけや
すかった。また、そのノズル面１２はインク滴の吐出方
向が曲げられないように鏡面研磨あるいは撥水性処理が
施されているが、ノズル面１２を常に撥水状態に保つこ
とは困難であり、ノズル面１２の紙こすりによって、撥
水膜が剥がれたり、ノズル面に傷がつくことによって、
図７ａに示すようにノズル面２のノズル孔周囲にインク
９が不均一に付着し、図７ｂの如くインク滴１０がノズ
ルから吐出されるさい噴出方向が曲げられるという欠点
を有していた。
ジェットプリントヘッドにおいては、従来、インク吐出
ノズル部５Ｄをダイシングによって形成する際、ノズル
エッジ部に欠けを生じたり、ノズル面１２に傷をつけや
すかった。また、そのノズル面１２はインク滴の吐出方
向が曲げられないように鏡面研磨あるいは撥水性処理が
施されているが、ノズル面１２を常に撥水状態に保つこ
とは困難であり、ノズル面１２の紙こすりによって、撥
水膜が剥がれたり、ノズル面に傷がつくことによって、
図７ａに示すようにノズル面２のノズル孔周囲にインク
９が不均一に付着し、図７ｂの如くインク滴１０がノズ
ルから吐出されるさい噴出方向が曲げられるという欠点
を有していた。
【０００５】このため図８に示すように、ノズル開口５
Ｆの周囲に、前記ノズル開口の直径の数倍の直径を有し
且つノズル開口と同心の凹部５Ｅを設け、紙こすり等か
らノズル面１２を保護し、インク吐出方向を安定させる
提案がなされている（特開平３−１６４２５６号公
報）。
Ｆの周囲に、前記ノズル開口の直径の数倍の直径を有し
且つノズル開口と同心の凹部５Ｅを設け、紙こすり等か
らノズル面１２を保護し、インク吐出方向を安定させる
提案がなされている（特開平３−１６４２５６号公
報）。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記提
案によるインクジェット記録ヘッドでは、プリンター使
用環境下で生じるインク滴の吐出不良の際行うクリーニ
ング動作において、ゴムブレードによるワイピング機構
により、ノズル開口５Ｆ近傍の紙粉等のゴミやインク残
りを排除する際、該ゴムブレードがノズル開口５Ｆ近傍
に到達せず、ゴミを凹部５Ｅから排除することが難しい
という問題点があった。
案によるインクジェット記録ヘッドでは、プリンター使
用環境下で生じるインク滴の吐出不良の際行うクリーニ
ング動作において、ゴムブレードによるワイピング機構
により、ノズル開口５Ｆ近傍の紙粉等のゴミやインク残
りを排除する際、該ゴムブレードがノズル開口５Ｆ近傍
に到達せず、ゴミを凹部５Ｅから排除することが難しい
という問題点があった。
【０００７】本発明は、上記欠点に鑑み成されたもの
で、ワイピング機構により、ノズル開口の周囲の凹部か
ら確実にゴミを排除することができるインクジェット記
録ヘッドを提供することを目的とする。また、このよう
なインクジェット記録ヘッドを、精度よく、簡略な方法
で歩留まり良く製造する方法を提供することを目的とす
る。
で、ワイピング機構により、ノズル開口の周囲の凹部か
ら確実にゴミを排除することができるインクジェット記
録ヘッドを提供することを目的とする。また、このよう
なインクジェット記録ヘッドを、精度よく、簡略な方法
で歩留まり良く製造する方法を提供することを目的とす
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のインクジェット記録ヘッドは、基板上に形
成されたインク流路と、このインク流路内にある圧力室
と、前記基板と平行に配置され前記圧力室内に動圧を生
じさせる振動板と、前記圧力室と連通し、圧力室の動圧
によりインクを吐出するノズルと、このノズルの閉口周
囲に形成された凹部とを備えたインクジェット記録ヘッ
ドであって、前記凹部がインク吐出方向に向かって広が
る形状に形成されていることを特徴とする。
に、本発明のインクジェット記録ヘッドは、基板上に形
成されたインク流路と、このインク流路内にある圧力室
と、前記基板と平行に配置され前記圧力室内に動圧を生
じさせる振動板と、前記圧力室と連通し、圧力室の動圧
によりインクを吐出するノズルと、このノズルの閉口周
囲に形成された凹部とを備えたインクジェット記録ヘッ
ドであって、前記凹部がインク吐出方向に向かって広が
る形状に形成されていることを特徴とする。
【０００９】また、本発明のインクジェット記録ヘッド
の製造方法は、次の工程（ａ）〜（ｇ）を有することを
特徴とする。
の製造方法は、次の工程（ａ）〜（ｇ）を有することを
特徴とする。
【００１０】（ａ）基板上に感光性組成物層を形成する
工程。
工程。
【００１１】（ｂ）上記感光性組成層にインク流路パタ
ーンを露光する工程。
ーンを露光する工程。
【００１２】（ｃ）上記露光部を溶解排除して基板上に
流路の一部を形成する工程。
流路の一部を形成する工程。
【００１３】（ｄ）振動板上に感光性組成物を形成する
工程。
工程。
【００１４】（ｅ）上記感光性組成層にインク流路パタ
ーンを露光する工程。
ーンを露光する工程。
【００１５】（ｆ）上記露光部を溶解排除して振動板上
に流路の一部を形成する工程。
に流路の一部を形成する工程。
【００１６】（ｇ）上記工程（ａ）〜（ｃ）により得ら
れた基板と上記工程（ｄ）〜（ｆ）により得られた振動
板とを接合して流路を形成する工程。
れた基板と上記工程（ｄ）〜（ｆ）により得られた振動
板とを接合して流路を形成する工程。
【００１７】
【実施例】以下、図面を用いて本発明の実施例を詳細に
説明する。図１から図３は製造工程を説明するための模
式図、図４はインクジェット記録ヘッドの構成図であ
る。まず図１に示すように、ガラス、セラミック、プラ
スチックなど、適当な基板１上に、薄い金属層８を形成
した後、さらに、この金属層上に８０℃から１５０℃程
度に加温された感光性フィルムであるドライフィルムレ
ジスト２（膜厚、約２５μ〜２００μ）を１０〜１００
ｍｍ／ｍｉｎの速度、１〜３Kg/cm2の加圧条件下でラミ
ネートをする。次に、基板１に設けたドライフィルムレ
ジスト２上にノズル部５Ｄおよびインク供給路５Ｂを持
たないインク流路パターンを有するフォトレジストマス
ク３の上部から光源４によって露光（図中、矢印）を行
う。このとき、上記パターンは光を透過しない。従っ
て、パターン３Ｐで覆われている領域のドライフィルム
レジスト２は露光されていない。次に更にこの上に、再
び、ドライフィルムレジスト２をラミネートし、上記の
供給インク供給室５Ａ、インク供給部５Ｂ，圧力室５
Ｃ，ノズル部５Ｄ、凹部５Ｅを有するフォトレジストマ
スク３により露光を行なう。以上のごとく露光を行う
と、パターン外のドライフィルムレジスト２が重合反応
を起こして硬化し、パターンに対応した部分は溶解可溶
性のまま残る。露光操作をした後、ドライフィルムレジ
スト２を揮発性有機溶剤、例えば、トリクロロエタン中
に浸積して、未重合（未硬化）のレジストを溶解排除
（以下、現像）すると、図２に示されるように、基板１
上には硬化レジスト壁２Ｈが残り、これによってインク
流路の一部（図では下部）が形成される。その後、硬化
レジスト壁２Ｈによって形成されたインク流路の下面部
を形成している金属層８を、所定のエッチング液によっ
て剥離を行うことにより、インク流路の一部は硬化レジ
スト壁２Ｈおよび基板１の上面によって構成される。
説明する。図１から図３は製造工程を説明するための模
式図、図４はインクジェット記録ヘッドの構成図であ
る。まず図１に示すように、ガラス、セラミック、プラ
スチックなど、適当な基板１上に、薄い金属層８を形成
した後、さらに、この金属層上に８０℃から１５０℃程
度に加温された感光性フィルムであるドライフィルムレ
ジスト２（膜厚、約２５μ〜２００μ）を１０〜１００
ｍｍ／ｍｉｎの速度、１〜３Kg/cm2の加圧条件下でラミ
ネートをする。次に、基板１に設けたドライフィルムレ
ジスト２上にノズル部５Ｄおよびインク供給路５Ｂを持
たないインク流路パターンを有するフォトレジストマス
ク３の上部から光源４によって露光（図中、矢印）を行
う。このとき、上記パターンは光を透過しない。従っ
て、パターン３Ｐで覆われている領域のドライフィルム
レジスト２は露光されていない。次に更にこの上に、再
び、ドライフィルムレジスト２をラミネートし、上記の
供給インク供給室５Ａ、インク供給部５Ｂ，圧力室５
Ｃ，ノズル部５Ｄ、凹部５Ｅを有するフォトレジストマ
スク３により露光を行なう。以上のごとく露光を行う
と、パターン外のドライフィルムレジスト２が重合反応
を起こして硬化し、パターンに対応した部分は溶解可溶
性のまま残る。露光操作をした後、ドライフィルムレジ
スト２を揮発性有機溶剤、例えば、トリクロロエタン中
に浸積して、未重合（未硬化）のレジストを溶解排除
（以下、現像）すると、図２に示されるように、基板１
上には硬化レジスト壁２Ｈが残り、これによってインク
流路の一部（図では下部）が形成される。その後、硬化
レジスト壁２Ｈによって形成されたインク流路の下面部
を形成している金属層８を、所定のエッチング液によっ
て剥離を行うことにより、インク流路の一部は硬化レジ
スト壁２Ｈおよび基板１の上面によって構成される。
【００１８】つぎに、図３に示すように、振動板６に、
基板と同様に薄い金属層を形成した後、金属層上ドライ
フィルムレジスト２を同様にラミネートし、上記に述べ
た手順にしたがって、基板上の第１ラミネート層に用い
たインク流路パターンマスクにより、露光及び現像を行
い、硬化レジスト壁２Ｐを形成する。その後、上記パタ
ーンを形成した面を基板１側にして、振動板６を上記硬
化レジスト壁２Ｈに積層する。その後、基板側の硬化レ
ジスト壁２Ｈと振動板の硬化レジスト壁２Ｐを接着する
目的で、積層した図１と同様に、光源４によって再露光
を行う。上記インク流路形成硬化レジスト壁２Ｐおよび
２Ｈは、現像段階では、完全硬化しておらず、自己接着
作用があるため、再露光を行うことにより、レジスト壁
２Ｐと２Ｈが密着し硬化し接着される。このとき、レジ
スト壁２Ｐと２Ｈを接着するに加え、耐溶剤性を向上さ
せる目的で、高エネルギー露光（紫外線照射１０〜３０
j/cm2） を行うか、熱重合（１３０℃〜１６０℃で１０
分程度、加熱）工程を行う、または、それらを併用する
のがよい。
基板と同様に薄い金属層を形成した後、金属層上ドライ
フィルムレジスト２を同様にラミネートし、上記に述べ
た手順にしたがって、基板上の第１ラミネート層に用い
たインク流路パターンマスクにより、露光及び現像を行
い、硬化レジスト壁２Ｐを形成する。その後、上記パタ
ーンを形成した面を基板１側にして、振動板６を上記硬
化レジスト壁２Ｈに積層する。その後、基板側の硬化レ
ジスト壁２Ｈと振動板の硬化レジスト壁２Ｐを接着する
目的で、積層した図１と同様に、光源４によって再露光
を行う。上記インク流路形成硬化レジスト壁２Ｐおよび
２Ｈは、現像段階では、完全硬化しておらず、自己接着
作用があるため、再露光を行うことにより、レジスト壁
２Ｐと２Ｈが密着し硬化し接着される。このとき、レジ
スト壁２Ｐと２Ｈを接着するに加え、耐溶剤性を向上さ
せる目的で、高エネルギー露光（紫外線照射１０〜３０
j/cm2） を行うか、熱重合（１３０℃〜１６０℃で１０
分程度、加熱）工程を行う、または、それらを併用する
のがよい。
【００１９】以上のようにして、図４に示されるよう
に、光硬化ドライフィルムが側壁となり、かつ、上面お
よび下面が、それぞれ、振動板６の下面、基板１の上面
からなるインク流路が形成される。このインク流路は、
共通インク供給室５Ａ、インク供給部５Ｂ、圧力室５
Ｃ、インク吐出ノズル５Ｄ、ノズル開口５Ｆ周囲の凹部
（以下ノズル凹部ともいう）５Ｅからなり、圧力室５Ｃ
に位置する振動板６上には、インク吐出エネルギー発生
体である圧電素子７が接着されている。
に、光硬化ドライフィルムが側壁となり、かつ、上面お
よび下面が、それぞれ、振動板６の下面、基板１の上面
からなるインク流路が形成される。このインク流路は、
共通インク供給室５Ａ、インク供給部５Ｂ、圧力室５
Ｃ、インク吐出ノズル５Ｄ、ノズル開口５Ｆ周囲の凹部
（以下ノズル凹部ともいう）５Ｅからなり、圧力室５Ｃ
に位置する振動板６上には、インク吐出エネルギー発生
体である圧電素子７が接着されている。
【００２０】この様にしてインク流路を形成した基板１
と振動板６との接合が完了した後、図４のＯ−Ｏ’線に
沿って切断する。これは、インク流路に於て、ノズル凹
部５Ｅの深さｈを最適化するために行うものであり、本
実施例では深さｈをノズル面１３の紙こすれによりノズ
ル面１３が傷つくのを防ぎ、かつ、ゴムブレードによる
ワイピング機構により紙ケバが排除されるよう、５０μ
ｍ以下１０μｍ以上としてある。また、ノズル凹部５Ｅ
の幅ｗは、１００μｍ≦ｗ≦１０００μｍが適してい
る。なお、この切断に際しては、半導体で通常採用され
ているダイシング法が採用される。
と振動板６との接合が完了した後、図４のＯ−Ｏ’線に
沿って切断する。これは、インク流路に於て、ノズル凹
部５Ｅの深さｈを最適化するために行うものであり、本
実施例では深さｈをノズル面１３の紙こすれによりノズ
ル面１３が傷つくのを防ぎ、かつ、ゴムブレードによる
ワイピング機構により紙ケバが排除されるよう、５０μ
ｍ以下１０μｍ以上としてある。また、ノズル凹部５Ｅ
の幅ｗは、１００μｍ≦ｗ≦１０００μｍが適してい
る。なお、この切断に際しては、半導体で通常採用され
ているダイシング法が採用される。
【００２１】以上のようにして作成されたインクジェッ
トヘッドは、ノズル面１３の紙こすりによって、ノズル
面に傷がつくこと、また、撥水処理の劣化によって、図
６ａに示したようにノズル孔周囲にインクが不均一に付
着し、図６ｂのごとくインク吐出滴がノズルから噴出す
る際噴出方向が曲げられる現象を防ぐことができる。ま
た、ノズル凹部５Ｅを切断する工程により、これまで、
直接インク吐出ノズル５Ｄを切断することにより生じて
いた、基板１や振動板６および硬化レジスト壁のカケ、
バリによるノズル周囲の形成異常を防止し、ノズル孔を
つぶしたり、また、詰まらせてしまうことを防せいでい
る。
トヘッドは、ノズル面１３の紙こすりによって、ノズル
面に傷がつくこと、また、撥水処理の劣化によって、図
６ａに示したようにノズル孔周囲にインクが不均一に付
着し、図６ｂのごとくインク吐出滴がノズルから噴出す
る際噴出方向が曲げられる現象を防ぐことができる。ま
た、ノズル凹部５Ｅを切断する工程により、これまで、
直接インク吐出ノズル５Ｄを切断することにより生じて
いた、基板１や振動板６および硬化レジスト壁のカケ、
バリによるノズル周囲の形成異常を防止し、ノズル孔を
つぶしたり、また、詰まらせてしまうことを防せいでい
る。
【００２２】図５（ａ），（ｂ）に、ノズル凹部５Ｅの
拡大図を示す。本実施例では、凹部５Ｅがインク吐出方
法に向かって広がる形状となるように、凹部５Ｅの深さ
方向にテーパーを形成してある（図５ａ）。または、ラ
ッパ状にＲを設ける（図５ｂ）。このことにより、ゴム
ブレードによるＸ方向のワイピングによるプリンター使
用環境下において付着する紙粉等のゴミ、および、クリ
ーニングの際のノズル面のインク残りの排除を容易にす
ることが可能である。この際、ノズル凹部５Ｅの深さ５
０μｍ以下に対して、ノズル面とのテーパー角（図中、
θ）は２０°〜７０°が適当であり、かつ、Ｒ値は（図
中、Ｒ）、凹部深さｈに対し、ｈ≦Ｒ≦３ｈの範囲が適
当である。また、ノズル凹部５Ｅの形状は、上記インク
流路を形成するフォトレジストマスクパターンにより、
容易に形成される。
拡大図を示す。本実施例では、凹部５Ｅがインク吐出方
法に向かって広がる形状となるように、凹部５Ｅの深さ
方向にテーパーを形成してある（図５ａ）。または、ラ
ッパ状にＲを設ける（図５ｂ）。このことにより、ゴム
ブレードによるＸ方向のワイピングによるプリンター使
用環境下において付着する紙粉等のゴミ、および、クリ
ーニングの際のノズル面のインク残りの排除を容易にす
ることが可能である。この際、ノズル凹部５Ｅの深さ５
０μｍ以下に対して、ノズル面とのテーパー角（図中、
θ）は２０°〜７０°が適当であり、かつ、Ｒ値は（図
中、Ｒ）、凹部深さｈに対し、ｈ≦Ｒ≦３ｈの範囲が適
当である。また、ノズル凹部５Ｅの形状は、上記インク
流路を形成するフォトレジストマスクパターンにより、
容易に形成される。
【００２３】上記に示したインクジェットヘッドの製造
方法により、インク滴吐出孔であるノズル孔形状がより
安定するため、インク滴の推進性、即ち、着弾点精度が
アップする。このため、インクジェット記録方式の高密
度ノズルによる高解像度の画質を得ることが可能であ
る。
方法により、インク滴吐出孔であるノズル孔形状がより
安定するため、インク滴の推進性、即ち、着弾点精度が
アップする。このため、インクジェット記録方式の高密
度ノズルによる高解像度の画質を得ることが可能であ
る。
【００２４】これまでの実施例においては、基板１およ
び振動板６と硬化レジスト壁２Ｈとの間に、金属層８を
設けているが、これは、基板１とレジスト壁２Ｈ、およ
び、振動板６とレジスト壁２Ｒの密着性を高めるための
もので、基板１および振動板６の材質によっては、工程
を省略することも可能である。該硬化レジスト壁２Ｈを
形成した後、硬化レジスト壁２Ｈによって形成されたイ
ンク流路の下面部に被覆した金属層８の剥離を行ってい
るが、その工程を行わないインク流路の製造も可能であ
る。しかしながら、使用した金属層８がインク流路５内
に残存すると、インク中に溶出してインクを変質させた
りあるいはインク流路の目ずまりになる可能性があるの
で排除することが望ましい。
び振動板６と硬化レジスト壁２Ｈとの間に、金属層８を
設けているが、これは、基板１とレジスト壁２Ｈ、およ
び、振動板６とレジスト壁２Ｒの密着性を高めるための
もので、基板１および振動板６の材質によっては、工程
を省略することも可能である。該硬化レジスト壁２Ｈを
形成した後、硬化レジスト壁２Ｈによって形成されたイ
ンク流路の下面部に被覆した金属層８の剥離を行ってい
るが、その工程を行わないインク流路の製造も可能であ
る。しかしながら、使用した金属層８がインク流路５内
に残存すると、インク中に溶出してインクを変質させた
りあるいはインク流路の目ずまりになる可能性があるの
で排除することが望ましい。
【００２５】また、本実施例の製造方法においては、金
属層８には、一般的な金属すべてが使用可能であるが、
特に市販されているドライフィルムレジストと密着性の
よい、Ｃｕ，Ａｕ，Ｆｅ，Ｎｉ、Ｃｒ等が望ましい。ま
た、インク流路内の観察が可能である、透明電極金属膜
（ＩＴＯ、ＳｉＯ2 、ＩｎＯ2 等）も有効である。
属層８には、一般的な金属すべてが使用可能であるが、
特に市販されているドライフィルムレジストと密着性の
よい、Ｃｕ，Ａｕ，Ｆｅ，Ｎｉ、Ｃｒ等が望ましい。ま
た、インク流路内の観察が可能である、透明電極金属膜
（ＩＴＯ、ＳｉＯ2 、ＩｎＯ2 等）も有効である。
【００２６】以上図面に基づいて説明した実施例におい
ては、インク流路作成用の感光性組成物（フォトレジス
ト）としてドライフィルムタイプ、つまり固体のものを
利用したが、本発明は、これのみに限定されるものでは
なく、液状の感光性組成物ももちろん利用することがで
きる。
ては、インク流路作成用の感光性組成物（フォトレジス
ト）としてドライフィルムタイプ、つまり固体のものを
利用したが、本発明は、これのみに限定されるものでは
なく、液状の感光性組成物ももちろん利用することがで
きる。
【００２７】そして、基板上へのこの感光性組成物塗膜
の形成方法として、液状の場合にはレリーフ画像の製作
時に用いられるスキージによる方法、すなわち所望の感
光性組成物膜厚に相当する高さの壁を基板の周囲にお
き、スキージによって余分の組成物を排除する方法を用
いる。この場合、感光性組成物の粘度は１００ｃｐ〜３
００ｃｐの範囲が望ましく、壁の高さは感光性組成物の
溶剤分の蒸発の減量を見込んで決定する必要がある。
の形成方法として、液状の場合にはレリーフ画像の製作
時に用いられるスキージによる方法、すなわち所望の感
光性組成物膜厚に相当する高さの壁を基板の周囲にお
き、スキージによって余分の組成物を排除する方法を用
いる。この場合、感光性組成物の粘度は１００ｃｐ〜３
００ｃｐの範囲が望ましく、壁の高さは感光性組成物の
溶剤分の蒸発の減量を見込んで決定する必要がある。
【００２８】他方、固体の場合は、感光性組成物シート
を基板上に加熱圧着して貼着する。尚、本発明において
は、その取扱上、厚さの制御が容易且つ正確にできる点
で、固体のフィルムタイプのものを利用する方が有利で
ある。
を基板上に加熱圧着して貼着する。尚、本発明において
は、その取扱上、厚さの制御が容易且つ正確にできる点
で、固体のフィルムタイプのものを利用する方が有利で
ある。
【００２９】この様な固体のシートとしては、たとえ
ば、デュポン社製パーマネントフォトポリマーコーテン
グＲＩＳＴＯＮ（ソルダーマスク）７３０Ｓ，同７４０
Ｓ，同７３０ＦＲ，同７４０ＦＲ，同ＳＭ１等の商品名
で市販されている感光性樹脂シートがある。この他、本
発明において使用できる感光性組成物としては、感光性
樹脂、フォトレジストなどの通常のフォトリソグラフィ
ーの分野において使用されている感光性組成物の多くの
ものがかかげられ、たとえば、ジアゾレジン、Ｐ−ジア
ゾキノン、更にはたとえばビニルモノマーと重合開始剤
を使用する光重合型フォトポリマー、ポリビニルシンナ
メートなどと増感剤を使用する二量化型フォトポリマ
ー、オルソナフトキノンジアジドとノボラックタイプの
フェノール樹脂との混合物、４ーグリシジルエチレンオ
キシドとベンゾフェノンやグリシジルカルコンとを共重
合させたポリエーテル型フォトポリマー、Ｎ，Ｎ−ジメ
チルメタクリルアミドと例えばアクリルアミドベンゾフ
ェノンとの共重合体、不飽和ポリエステル系感光性樹脂
（例えばＡＰＲ（旭化成）、テビスタ（帝人）、ゾンネ
（関西ペイント）等）、不飽和ウレタンオリゴマー系感
光性樹脂、二官能アクリルモノマーに光重合開始剤とポ
リマーとを混合した感光性組成物、重クロム酸系フォト
レジスト、非クロム系水溶性フォトレジスト、ポリケイ
皮酸ビニル系フォトレジスト、環化ゴムーアジド系フォ
トレジスト、等が掲げられる。
ば、デュポン社製パーマネントフォトポリマーコーテン
グＲＩＳＴＯＮ（ソルダーマスク）７３０Ｓ，同７４０
Ｓ，同７３０ＦＲ，同７４０ＦＲ，同ＳＭ１等の商品名
で市販されている感光性樹脂シートがある。この他、本
発明において使用できる感光性組成物としては、感光性
樹脂、フォトレジストなどの通常のフォトリソグラフィ
ーの分野において使用されている感光性組成物の多くの
ものがかかげられ、たとえば、ジアゾレジン、Ｐ−ジア
ゾキノン、更にはたとえばビニルモノマーと重合開始剤
を使用する光重合型フォトポリマー、ポリビニルシンナ
メートなどと増感剤を使用する二量化型フォトポリマ
ー、オルソナフトキノンジアジドとノボラックタイプの
フェノール樹脂との混合物、４ーグリシジルエチレンオ
キシドとベンゾフェノンやグリシジルカルコンとを共重
合させたポリエーテル型フォトポリマー、Ｎ，Ｎ−ジメ
チルメタクリルアミドと例えばアクリルアミドベンゾフ
ェノンとの共重合体、不飽和ポリエステル系感光性樹脂
（例えばＡＰＲ（旭化成）、テビスタ（帝人）、ゾンネ
（関西ペイント）等）、不飽和ウレタンオリゴマー系感
光性樹脂、二官能アクリルモノマーに光重合開始剤とポ
リマーとを混合した感光性組成物、重クロム酸系フォト
レジスト、非クロム系水溶性フォトレジスト、ポリケイ
皮酸ビニル系フォトレジスト、環化ゴムーアジド系フォ
トレジスト、等が掲げられる。
【００３０】
【発明の効果】本発明のインクジェット記録ヘッドによ
ると、プリンター使用環境下において、紙こすれに強
く、かつ、紙粉によるインク吐出不良の復帰力を高める
ことができる。
ると、プリンター使用環境下において、紙こすれに強
く、かつ、紙粉によるインク吐出不良の復帰力を高める
ことができる。
【００３１】また、本発明の製造方法によるとインク流
路とノズル凹部とが一体的に形成されるので、ノズル部
の精度がよくなる。
路とノズル凹部とが一体的に形成されるので、ノズル部
の精度がよくなる。
【００３２】さらにまた、微細加工された構造を必要と
するインクジェットヘッドを、簡略な方法により部どま
り良く製造することができる。
するインクジェットヘッドを、簡略な方法により部どま
り良く製造することができる。
【図１】本発明のインクジェットヘッドの製造方法を示
した説明図である。
した説明図である。
【図２】本発明のインクジェットヘッドの製造方法を示
した説明図である。
した説明図である。
【図３】本発明のインクジェットヘッドの製造方法を示
した説明図である。
した説明図である。
【図４】本発明のインクジェットヘッドの要部を示す斜
視図。
視図。
【図５】（ａ）、（ｂ）はそれぞれ本発明の実施例のイ
ンクジェットヘッドのノズル部の拡大斜視図である。
ンクジェットヘッドのノズル部の拡大斜視図である。
【図６】従来例のインクジェットヘッドの部分斜視図で
ある。
ある。
【図７】（ａ），（ｂ）はいずれも従来のヘッドにおけ
る問題点をを説明した模式図である。
る問題点をを説明した模式図である。
【図８】従来例のインクジェットヘッドのノズル前面部
を示した斜視図である。
を示した斜視図である。
１ 基板 ２ ドライフィルムレジスト ２Ｐ，２Ｈ 硬化レジスト壁 ３ フォトレジストマスク ３Ｐ パターン ４ 光源 ５Ａ 共通インク室 ５Ｂ インク供給部 ５Ｃ 圧力室 ５Ｄ インク吐出ノズル部 ５Ｅ ノズル凹部 ６ 振動板 ７ 圧電素子 ８ 金属層 ９ インク １０ インク飛行粒
Claims (6)
- 【請求項１】 基板上に形成されたインク流路と、この
インク流路内にある圧力発生室と、前記基板と平行に配
置され前記圧力室内に動圧を生じさせる振動板と、前記
圧力室と連通し、圧力室の動圧によりインクを吐出する
ノズルと、このノズルの開口周囲に形成された凹部とを
備えたインクジェット記録ヘッドであって、前記凹がイ
ンク吐出方向に向かって広がる形状に形成されているこ
とを特徴とするインクジェット記録ヘッド。 - 【請求項２】 次の（ａ）〜（ｇ）の工程を有すること
を特徴とする請求項１記載のインクジェット記録ヘッド
の製造方法。 （ａ）基板上に感光性組成物層を形成する工程。 （ｂ）上記感光物組成層にインク流路パターンを露光す
る工程。 （ｃ）上記露光部を溶解削除して基板上に流路の一部を
形成する工程。 （ｄ）振動板上に感光性組成物層を形成する工程。 （ｅ）上記感光性組成層にインク流路パターンを露光す
る工程。 （ｆ）上記露光部を溶解削除して振動板上に流路の一部
を形成する工程。 （ｇ）上記工程（ａ）〜（ｃ）により得られた基板と上
記工程（ｄ）〜（ｆ）により得られた振動板とを接合し
て流路を形成する工程。 - 【請求項３】 前記工程（ａ）および／または（ｃ）に
おいて感光性組成物層を形成するに際し、金属層を形成
した後感光性組成物層を形成する請求項２記載のインク
ジェット記録ヘッドの製造方法。 - 【請求項４】 前記感光性組成物層は、ドライフィルム
レジストをラミネートする事により形成する請求項２ま
たは３記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。 - 【請求項５】 前記感光性組成物層は、感光性組成物シ
ートを加熱圧着して貼着する事により形成する請求項２
または３記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。 - 【請求項６】 前記感光性組成物層は、液状の感光性組
成物を膜状に塗布することにより請求項２または３記載
のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15381292A JP3123573B2 (ja) | 1992-06-12 | 1992-06-12 | インクジェット記録ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15381292A JP3123573B2 (ja) | 1992-06-12 | 1992-06-12 | インクジェット記録ヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05338162A true JPH05338162A (ja) | 1993-12-21 |
| JP3123573B2 JP3123573B2 (ja) | 2001-01-15 |
Family
ID=15570647
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15381292A Expired - Fee Related JP3123573B2 (ja) | 1992-06-12 | 1992-06-12 | インクジェット記録ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3123573B2 (ja) |
-
1992
- 1992-06-12 JP JP15381292A patent/JP3123573B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3123573B2 (ja) | 2001-01-15 |
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