JPH05335745A - 多層プリント配線板およびその製造方法 - Google Patents

多層プリント配線板およびその製造方法

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JPH05335745A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 スルーホールなどの接続孔へのランド、回路
の形成を可能とし、高密度化可能な多層プリント配線板
とする。 【構成】 内層基板1に形成した接続孔に導体ペースト
22を充填し、導体ペースト22上にめっき層23を形
成して封止する。内層基板1に外層基板2,3を積層
し、これらの接続孔に導体ペースト22を充填した後、
めっき層28で封止する。めっき層28をエッチング
し、接続孔との対応部位のめっき層をランド42,4
3,44および回路45とし、高密度化する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は多層プリント配線板およ
びその製造方法に関する。
【従来の技術】多層プリント配線板は一般に、内層基板
および外層基板を複数積層することにより、導体層が4
層,6層,8層等のように多層となるため、両面プリン
ト配線板よりも高密度化が可能となっている。この多層
プリント配線板においては、各層の基板の回路を相互に
電気的に接続するため、ブラインドバイアホールやスル
ーホールなどの接続孔が形成されると共に、この接続孔
に銅などの導電材からなるめっき層が施されているが、
接続の信頼性に欠ける問題があった。このため出願人は
接続孔による電気的接続の信頼性を向上させた多層プリ
ント配線板を先に出願した。図13はこの多層プリント
配線板を示し、両面に回路101およびランド102が
形成された内層基板100の両面に、回路111および
ランド112が形成された2枚の外層基板110が接着
シート120を介して積層されている。同図において、
121はブラインドバイアホール、122,123はス
ルーホール、124はインターステイシャルバイアホー
ルであり、いずれも内層基板100と外層基板110の
ランド102,112の間の電気的接続または内層基板
100の両面のランド102相互の電気的接続を行う接
続孔となっている。この接続を行うため、これらのブラ
インドバイアホール121、スルーホール122,12
3およびインターステイシャルバイアホール124には
導体ペースト130が充填されて、対応したランド間の
導通がなされている。この場合、内層基板100の接続
孔に対し、外層基板の接続孔を大きくして、内層基板1
00のランド102の露出面積を増大させている。これ
により導体ペースト130との接触面積が増大するた
め、電気的接続の信頼性を向上させることかできる。1
40は導体ペースト130の露出部分を被覆する保護コ
ート、150は外層基板110を被覆するソルダーレジ
ストである。
【0002】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上述した
多層プリント配線板においては、ブラインドバイアホー
ル121,スルーホール122,123およびインター
ステイシャルバイアホール124の各接続孔はランド相
互の電気的接続のみに使用される領域であり、この接続
孔の占有領域を回路などの他の目的に使用することがで
きない。このためランドを電気的に接続して高密度化を
行う接続孔が、却って高密度化に制限を加える原因とな
る不都合を有していた。
【0003】本発明は上記事情を考慮してなされたもの
であり、接続孔の占有領域を回路や電子部品実装用のラ
ンドなどの他の目的に有効利用することにより、高密度
化への制限を排除することができる多層プリント配線板
およびその製造方法を提供することを目的とする。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明の多層プリント配
線板は、接続孔を有した少なくとも2枚のプリント配線
板が積層されており、その接続孔に導体ペーストが充填
されると共に、導体ペーストがめっき層で封止されたも
のである。この場合、一方のプリント配線板の接続孔に
対し、他方のプリント配線板の接続孔を大きくすること
ができる。
【0005】このような多層プリント配線板を製造する
本発明の方法は、少なくとも2枚の第1および第2の基
板を積層した後、両基板を貫通する接続孔および少なく
とも一方の基板を貫通する接続孔を積層状態の基板に形
成し、これらの接続孔に導体ペーストを充填した後、導
体ペースト上にめっき層を施すことを特徴とする。
【0006】また、別の本発明の方法は、第1の基板に
形成した接続孔に導体ペーストを充填した後、この導体
めっき層で封止する工程と、少なくとも1枚の第2の基
板に接続孔を形成した後、前記第1の基板に積層する工
程と、第2の基板の接続孔および両基板間で連通した接
続孔内に導体ペーストを充填した後、この導体ペースト
をめっき層で封止する工程とを備えていることを特徴と
する。
【0007】さらに別の本発明の方法は、第1の基板に
形成した接続孔に導体ペーストを充填した後、この導体
ペーストをめっき層で封止する工程と、前記第1の基板
に少なくとも1枚の第2の基板を積層する工程と、この
第2の基板に接続孔を形成する工程と、第2の基板の接
続孔および両基板間で連通した接続孔内に導体ペースト
を充填した後、この導体ペーストをめっき層で封止する
工程とを備えていることを特徴とする。
【0008】
【作用】上記構成の多層プリント配線板は、接続孔内に
充填された導体ペーストが複数のプリント配線板のラン
ド相互または単一のプリント配線板の表裏面のランド相
互を電気的に接続するが、この導体ペーストをめっき層
で封止することにより、その接続の信頼性が向上する。
また、導体ペーストを封止するめっき層に対し、所定の
処理を行うことにより、接続孔上のめっき層を回路の一
部とすることができるばかりでなく、電子部品実装のた
めランドとすることができる。このため接続孔の占有領
域を回路やランドの有効領域として活用でき、高密度化
に寄与できる。
【0009】上記構成の製造方法は、積層される複数の
基板に対して、接続孔を形成すると共に、この接続孔に
導体ペーストを充填し、その後、めっき層で封止するた
め、上記構成の多層プリント配線板を確実に製造でき
る。
【0010】
【実施例】以下、本発明を図示する実施例により具体的
に説明する。図1は本発明の一実施例の製造工程を、図
2ないし図11は各製造工程における断面図を示す。こ
の実施例は内層基板1の上下両面に2枚の外層基板2,
3が積層され、上層の外層基板2の回路が第1導体、内
層基板1の上面の回路が第2導体、内層基板1の下面の
回路が第3導体、下層の外層基板の回路が第4導体とな
った4層構造の多層プリント配線板への適用例を示す。
ここで内層基板1は絶縁層1aの両面に銅箔4が積層さ
れた両面銅張積層板が使用され、上下の外層基板2,3
は絶縁層2a,3aの片面に銅箔5が積層された片面銅
張積層板が使用され、これらの間には接着シートが介挿
されている。介挿される接着シート8にはエポキシ樹
脂、ポリイミド樹脂シートまたはそれら樹脂などを含浸
させたシートが使用される(図8参照)。
【0011】まず、図2および図3に示すように、内層
基板1に対して孔明けを行うと共に、これと併行して、
図8に示すように多層基板2,3および接着シート8に
対して孔明けを行う。これらの孔明けはスルーホール、
ブラインドバイアホール、インターステイシャルバイア
ホールなどの接続孔を形成するための加工であり、同一
のホールは相互に連通するようにパンチ、ドリル等によ
り開設される。図8において、上層の外層基板2および
下層の外層基板3との対向位置に形成された接続孔1
0,11はブラインドバイアホールとなり、内層基板1
と上下の外層基板2,3に形成された接続孔12,1
3,14はスルーホールとなる。また、図3に示すよう
に内層基板1のみに形成された接続孔15,16,17
はインターステイシャルバイアホールとなり、この内、
接続孔15,16との対向位置の外層基板2,3には図
8に示すように、接続孔18,19および20が開設さ
れる。
【0012】なお、図11において21は内層基板1、
外層基板2,3および接着シート8に連通状態で開設さ
れたノンスルーホールであり、電気的接続には使用され
ることがない。また、スルーホールを形成するため図8
に示すように、内層基板1に形成された接続孔13と、
外層基板2,3の対向部位に形成された接続孔12,1
4との間の寸法関係は、外層基板2,3の接続孔12,
14が内層基板1の接続孔13よりも大きくなってい
る。これによりスルーホール内での内層基板1のランド
の露出面積が増大して、スルーホール内に充填された導
体ペーストとの接触面積が増大するため、信頼性のある
電気的接続が可能となる。
【0013】次に、図4に示すように、インターステイ
シャルバイアホールを形成するための内層基板1の接続
孔15,16,17内に導体ペースト22を充填する。
導体ペースト22としては銅ペースト、銀ペーストなど
を使用し、各接続孔15,16,17内から溢出する程
度な十分量を充填する。この充填後に導体ペースト22
を研摩して、図5に示すように内層基板の基板面と同一
面とする。そして、内層基板1に対し無電解銅めっきを
行った後、電解銅めっきを施す。これにより図6に示す
ように、内層基板1の両面にめっき層23が被着するた
め、接続孔15,16、17内に導体ペースト22を封
止することができる。
【0014】このような導体ペーストの封止により、イ
ンターステイシャルバイアホールはその接続の信頼性が
向上する。また、めっき層23により内層基板1の基板
面が平坦となるため、外層基板2,3の積層を確実に行
うことができる。さらに接続孔15,16,17の外面
にめっき層23による導体層を形成でき、この導体層を
回路やランドに加工することもできる。
【0015】図7は図6によって被着しためっき層23
および絶縁層1a両面の銅箔4を露光、エッチング処理
して内層基板1の両面に回路24およびランド25を形
成した状態を示す。このとき接続孔15,16,17に
対応しためっき層は除去することなく、これにより導体
ペーストは接続孔15,16,17内に封止された状態
となっている。
【0016】かかる回路およびランドを形成した後は密
着強度を高めるため、内層基板1の表裏両面の回路24
およびランド25の表面を黒化などにより表面処理し
て、内層基板1および外層基板2,3を積層する。この
積層に際しては、図8に示すように内層基板1および外
層基板2,3における対応した接続孔が連通するように
位置合わせすると共に、これらの間に介挿される接着シ
ート8も孔部27が対応するように位置合わせする。そ
して、プレスあるいはロールラミネートにより内層基板
1の両面に外層基板2,3を加熱、加圧接着して、図9
に示す状態とする。
【0017】この積層の後、必要な接続孔内に導体ペー
ストを充填する。すなわち図9および図10に示すよう
に、外層基板2,3の接続孔10および11と、連通状
態の外層基板2,3の接続孔12,14および内層基板
1の接続孔13と、外層基板2,3の接続孔18,19
および20に対して導体ペースト22を充填する。かか
る充填により、接続孔10および11は内層基板1のラ
ンド25との接続を行うブラインドバイアホールとな
り、接続孔12,13,14は内層基板1および外層基
板2,3との接続を行うスルーホールとなり、接続孔1
8,19,20は内層基板1のインターステイシャルバ
イアホールとの接続を行うブラインドバイアホールとな
る。そして、これらの接続孔内に充填された導体ペース
ト22を研摩して基板面と同一面とした後、積層状態の
基板の両面を無電解銅めっきおよび電解銅めっきして、
両面にめっき層28を被着させ(図11参照)、このめ
っき層28および外層基板2,3の銅箔5をエッチング
して、回路およびランド(図示省略)を形成する。かか
る回路およびランドの形成に際しても、各接続孔に対応
しためっき層は除去することなく、各接続孔内の導体ペ
ーストを封止した状態とする。
【0018】図11において、31,31は内層基板1
のランド25との接続を行うブラインドバイアホール、
32は内・外層基板1,2,3のランドを接続するスル
ーホールであり、めっき層28により導体ペースト22
が封止されることにより、その接続信頼性が向上してい
る。従って、孔寸法を小さくすることができ、その分高
密度化が可能となる。また、33は内層基板1のインタ
ーステイシャルバイアホール34の上下に直列したビル
ドアップ形態で形成されたブラインドバイアホールであ
り、スルーホール32と同様に、内・外層基板のランド
を接続するが、めっき層28により導体ペースト22が
封止されて接続信頼性が向上しているため、孔寸法をス
ルーホール32よりもさらに小さくでき、高密度化に寄
与している。
【0019】35は内層基板1のインターステイシャル
バイアホール36上にビルドアップ形態で形成されたブ
ラインドバイアホールであり、ブラインドバイアホール
33と同様に機能にする。このようにインターステイシ
ャルバイアホール34,36に続くブラインドバイアホ
ール33,35をさらに形成することは本発明で初めて
成し得たものである。従って外層基板2,3に対して、
さらに外層側の基板を積層して同様な方法を行うことに
より、ブラインドバイアホール33,35に直列状態に
段積みされるブラインドバイアホールを次々と形成する
ことができる。37は内層基板1のインターステイシャ
ルバイアホールである。
【0020】図12は本発明の別の実施例の断面を示
し、インターステイシャルバイアホール36およびブラ
インドバイアホール35がない点以外は前記実施例と同
一なので、同一の符号で対応させてある。同図におい
て、42は上下の外層基板2,3におけるブラインドバ
イアホール31部分に形成されたランド、43はスルー
ホール32部分に形成されたランド、44は上層の外層
基板2の段積み状のブラインドバイアホール33部分に
形成されたランド、45は下層の外層基板2の段積み状
のブラインドバイアホール33部分に形成された回路で
ある。そして、上層の外層基板2のランド42にはチッ
プコンデンサ52が実装され、ランド43,44にはI
C53が実装され、下層の外層基板3のランド42,4
3にはチップ抵抗54が実装され、下層の外層基板3の
ランド43にはLSI 55が実装されている。
【0021】また、回路45は多層プリント配線板の全
体回路の一部となっている。これらランド42,43,
44および回路45はブラインドバイアホール31,3
3およびスルーホール32の導体ペースト22上に被着
しためっき層28(図11参照)により形成されてい
る。従って、従来不可能となっていたブラインドバイア
ホールやスルーホールなどの接続孔形成部分に対しても
ランドや回路を形成することができるため、高密度化を
行うことができる。なお、46は上下の外層基板2,3
に形成されたランド、47は回路であり、48は外層基
板2,3に被着されたソルダーレジストである。
【0022】上記実施例では、外層基板2,3に孔明け
加工してから、内層基板に積層しているが、本発明では
孔明けを行うことなく、銅張積層状態で内層基板に積層
しても良い。すなわち図7に示すように、接続孔15,
16,17に導体ペースト22を充填した後、めっき層
23で封止すると共に、回路24およびランド25を形
成した内層基板1に対し、図示しない片面銅張積層板を
積層する。そしてこの片面銅張積層板の所定部位の銅箔
をエッチング後、エッチングした部分の絶縁層を物理的
あるいは化学的に除去するか、レーザ光照射で除去する
ことにより内層基板にまで達する接続孔を形成し、この
接続孔内に導体ペーストを充填し、研摩およびめっきす
ることで形成することができる。
【0023】また上記実施例は導体層が4層の場合を説
明したが、これに限定されるものではなく、2枚の基板
を積層した3層または2層の多層プリント配線板さらに
は、4枚以上の基板を積層した多層プリント配線板に対
しても適用することができる。前者の場合においては、
第1および第2の基板を積層すると共に、両基板を貫通
する接続孔およびいずれか一方の基板を貫通する接続孔
を上述した手順で作成し、これらの接続孔内に導体ペー
ストを充填した後、導体ペーストを研摩し、めっき処理
して封止することにより製造することができる。
【発明の効果】以上のとおり本発明は、積層された基板
の接続孔内に導体ペーストを充填し、導体ペーストをめ
っき層で封止するため、信頼性のある接続ができると共
に、接続孔部分に対してもランドや回路を形成でき、高
密度化が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例の製造工程のブロック図。
【図2】内層基板の断面図。
【図3】内層基板の加工を示す断面図。
【図4】内層基板の加工を示す断面図。
【図5】内層基板の加工を示す断面図。
【図6】内層基板の加工を示す断面図。
【図7】内層基板の加工を示す断面図。
【図8】内層基板と外層基板の積層前を示す断面図。
【図9】内層基板と外層基板の積層後を示す断面図。
【図10】積層後の加工を示す断面図。
【図11】積層後の加工を示す断面図。
【図12】本発明の別の実施例の断面図。
【図13】従来の多層プリント配線板の断面図。
【符号の説明】
1 内層基板 2 外層基板 3 外層基板 10 接続孔 11 接続孔 12 接続孔 13 接続孔 14 接続孔 15 接続孔 16 接続孔 17 接続孔 22 導体ペースト 23 めっき層 28 めっき層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 白井 純三郎 埼玉県入間郡三芳町藤久保1106 日本シイ エムケイ株式会社内 (72)発明者 小島 幹夫 埼玉県入間郡三芳町藤久保1106 日本シイ エムケイ株式会社内

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 接続孔を有した少なくとも2枚のプリン
    ト配線板が積層された多層プリント配線板において、前
    記接続孔に導体ペーストが充填されると共に、この導体
    ペーストがめっき層で封止されていることを特徴とする
    多層プリント配線板。
  2. 【請求項2】 一方のプリント配線板の接続孔に対し、
    他方のプリント配線板の接続孔が大きくなっていること
    を特徴とする請求項1記載の多層プリント配線板。
  3. 【請求項3】 前記めっき層が回路の一部となっている
    ことを特徴とする請求項1記載の多層プリント配線板。
  4. 【請求項4】 前記めっき層が電子部品の実装ランドと
    なっていることを特徴とする請求項1記載の多層プリン
    ト配線板。
  5. 【請求項5】 少なくとも2枚の第1および第2の基板
    を積層した後、両基板を貫通する接続孔および少なくと
    も一方の基板を貫通する接続孔を積層状態の基板に形成
    し、これらの接続孔に導体ペーストを充填した後、導体
    ペースト上にめっき層を施すことを特徴とする多層プリ
    ント配線板の製造方法。
  6. 【請求項6】 第1の基板に形成した接続孔に導体ペー
    ストを充填した後、この導体ぺーストをめっき層で封止
    する工程と、少なくとも1枚の第2の基板に接続孔を形
    成した後、前記第1の基板に積層する工程と、第2の基
    板の接続孔および両基板間で連通した接続孔内に導体ペ
    ーストを充填した後、この導体ペーストをめっき層で封
    止する工程とを備えていることを特徴とする多層プリン
    ト配線板の製造方法。
  7. 【請求項7】 第1の基板に形成した接続孔に導体ペー
    ストを充填した後、この導体ペーストをめっき層で封止
    する工程と、前記第1の基板に少なくとも1枚の第2の
    基板を積層する工程と、この第2の基板に接続孔を形成
    する工程と、第2の基板の接続孔および両基板間で連通
    した接続孔内に導体ペーストを充填した後、この導体ペ
    ーストをめっき層で封止する工程とを備えていることを
    特徴とする多層プリント配線板の製造方法。
  8. 【請求項8】 前記第2の基板の接続孔を第1の基板の
    接続孔よりも大きく形成することを特徴とする請求項5
    ないし7のいずれかに記載の多層プリント配線板 の製
    造方法。
  9. 【請求項9】 前記めっき層を施す前に、基板面と同一
    面になるまで導体ペーストを研摩することを特徴とする
    請求項5ないし7のいずれかに記載の多層プリン ト配
    線板の製造方法。
  10. 【請求項10】 前記めっき層を施した後、当該めっき
    層を回路とすることを特徴とする請求項5ないし7のい
    ずれかに記載の多層プリント配線板の製造方法。
  11. 【請求項11】 前記めっき層を施した後、当該めっき
    層を電子部品実装のためのランドとすることを特徴とす
    る請求項5ないし7のいずれかに記載の多層プリント配
    線板の製造方法。
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JP5593863B2 (ja) * 2010-06-09 2014-09-24 富士通株式会社 積層回路基板および基板製造方法

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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