JPH05323591A

JPH05323591A - 感光性組成物積層体

Info

Publication number: JPH05323591A
Application number: JP12735692A
Authority: JP
Inventors: Yoshitaka Minami; 好隆南; Hajime Kakumaru; 肇角丸
Original assignee: Hitachi Chemical Co Ltd
Current assignee: Resonac Corp
Priority date: 1992-05-20
Filing date: 1992-05-20
Publication date: 1993-12-07

Abstract

(57)【要約】【目的】基材に対する追従性を向上でき、かつ解像度
を向上できる感光性組成物層を提供する。【構成】支持体と感光性組成物層間に中間層を有する
感光性組成物積層体であって、中間層が、中間層側から
力を加えて基材に圧着する際の温度において１０％以上
の伸びを示し、かつ１０％伸びた時の応力が５００ｇｆ
以下であり、支持体と中間層との接着力よりも中間層と
感光性組成物層間の接着力が大きい感光性組成物積層
体。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、感光性組成物積層体に
関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、精密加工業界、例えばプリント配
線板の製造等において、めっき或いはエッチィングのた
めのレジスト形成に感光性フィルムを用いることが知ら
れている。この感光性フィルムは通常、支持体、感光性
組成物層、保護フィルムの三層から成っており、保護フ
ィルムを剥がしながら、支持体と一緒に感光性樹脂層を
基材に加熱ロールを用いて貼り合わせ、その後支持体上
にネガマスクを置き、露光し、さらに支持体をはがし
て、現像し、レジスト像を形成するものである。近年、
プリント配線板の配線の高密度化が進んでおり、そのた
め、高解像度のレジスト材料が望まれているとともに、
基材の凹凸に対して追従し、感光性フィルムと基材間の
未接着部分を少なくすることにより、配線板の製造歩留
りを向上しようとする試みがなされている。

【０００３】特開昭５７−２１８９０号公報及び特開昭
５７−２１８９１号公報には基材に水を塗布したのち、
感光性フィルムを積層する方法が記載されているが、こ
の場合には水の薄い層を均一に付着させるため、基質表
面が清浄である必要がある。また小径スルーホール等が
存在する場合は、スルーホール中に溜まった水分と感光
性エレメントとが反応を起こしやすく、現像性を低下さ
せるなどの欠点が生じる。

【０００４】また、特開昭５２−１５４３６３号公報に
は、基材に液状の樹脂を積層した後、感光性エレメント
を圧力によって積層する方法が示されているが、小径ス
ルーホールの現像性が低下し、２層塗布によるコスト増
加等の欠点がある。

【０００５】また、特公昭５３−３１６７０号公報及び
特開昭５１−６３７０２号公報には真空ラミネーターを
用いて減圧下に積層することが示されている。しかし、
装置が高価真空引きに時間がかかるために、通常の回路
形成には使用されることは少なく、導体形成後に用いる
永久マスクのラミネートとして利用されている。この永
久マスクのラミネートの時も、さらに導体への追従性向
上が望まれている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、前記従来技
術の問題点を除去し、生産コストを上昇させずに基板の
凹凸に対する追従性を向上することができる感光性組成
物積層体（感光性フィルム）を提供するものである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は、支持体と感光
性組成物層間に中間層を有する感光性樹脂組成物積層体
であって、中間層が、中間層側から力を加えて基材に圧
着する際の温度において１０％以上の伸びを示し、かつ
１０％伸びた時の応力が５００ｇｆ以下であり、支持体
と中間層との接着力よりも中間層と感光性組成物層間の
接着力が大きい感光性組成物積層体に関する。

【０００８】本発明の感光性組成物積層体に使用される
支持体としては、特に制限はないが、フィルム状で可撓
性を有していることが好ましい。また、その支持体の幅
２ｃｍの試験片に、５００ｇｆの荷重をかけた場合の伸
びが１０％未満のものが好ましい。この伸びが大きいと
支持体側から力を加えて圧着する際にシワが生じやすく
なる。支持体の厚みは通常、５〜２００μｍである。支
持体としては、例えば、ポリエチレンテレフタレートフ
ィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリエチレンフィル
ム、ポリアミドフィルム、ポリイミドフィルム等があげ
られ、ポリエチレンテレフタレートフィルムが好まし
い。

【０００９】本発明の感光性組成物積層体の中間層は、
中間層側から力を加えて圧着する際の温度において１０
％以上の伸びを示し、かつ１０％伸びた時の応力が５０
０ｇｆ以下であるものとすることが必要である。ここで
いう伸び及び応力は、中間層を幅２ｃｍの試験片とし、
この試験片を市販の引っぱり試験器で、チャック間隔２
ｃｍとして、歪速度２ｃｍ／分で、引っ張ることにより
測定することができる。伸びが１０％未満であると感光
層の基材の凹凸、キズへの追従性が劣る。また、伸びが
１０％未満で中間層の破断が起こる場合は、後にパター
ン露光を行うときに、中間層破断部から感光性組成物層
が露出するので、空気阻外による光硬化不良や、パター
ンマスクの汚染を起こす。伸びの上限は特にないが、通
常、７５０％である。１０％伸びた時の応力が５００ｇ
ｆを越えると追従性が劣る。この応力は１００ｇｆ以下
であることが好ましく、２０ｇｆ以下であることがより
好ましく、１０ｇｆ以下であることが特に好ましい。こ
の応力の下限は、通常１ｇｆである。

【００１０】中間層の厚みは、０．０１〜５０μｍであ
ることが好ましく、０．１〜２０μｍであることがより
好ましい。厚みが、小さすぎると破断しやすくなった
り、光硬化性、作業性等が低下する傾向があり、厚みが
大きすぎると解像度が低下する傾向がある。

【００１１】中間層は、軟化点又は融点が４０℃以上で
あることが好ましい。４０℃未満の場合、熱をかけて中
間層側から力を加えて圧着するとき、中間層の表面にタ
ックがでて作業性を低下させたり、中間層にシワが生じ
たりする傾向がある。中間層の軟化点又は融点に特に上
限はないが、上限は、通常２００℃である。

【００１２】これらの中間層の材料は、上述の物性を示
すものであれば特に制限はないが、例えば、ポリプロピ
レン、ポリエチレン、ポリカーボネート、ポリエチレン
テレフタレート、ポリビニルアルコール、ポリアクリレ
ート、ゼラチン、カルボキシメチルセルロース、スチロ
ール／マレイン酸の共重合体、ポリビニルピロリドン等
の樹脂があげられる。これらの樹脂は単独で又は組み合
わせて用いることができる。

【００１３】これらの樹脂を用いた中間層や支持体の表
面に粘着剤塗布、コロナ処理等を行い、接着性を制御し
てもよい。

【００１４】本発明の感光性組成物積層体に使用される
感光性組成物層は、その材料に特に制限はないが、例え
ば、米国特許第３４６９９８２号明細書、特開昭５７−
２１８９１号公報等に光硬化性層として示されるものに
使用される材料を好適に用いることができる。感光性組
成物層の厚さは、通常３〜１５０μｍ、好ましくは１０
〜１００μｍである。この厚さが小さすぎるとレジスト
としての機能が低下する傾向があり、厚さが大きすぎる
と、感光性組成物積層体をロール状としたときに端部し
み出し（エッジフュージョン）が起きたり、解像度が低
下する傾向がある。

【００１５】本発明の感光性組成物積層体は、さらに感
光性組成物層に隣接して、中間層の反対側に保護フィル
ムを有していてもよい。保護フィルムとしては、例え
ば、ポリエチレンフィルム等があげられる。

【００１６】本発明の感光性組成物積層体においては、
上記支持体と上記中間層との接着力（Ａ₁）よりも上記
中間層と感光性組成物層間の接着力（Ａ₂）が大きいこ
と（Ａ₂＞Ａ₁）が必要である。Ａ₁≧Ａ₂の場合は、支持
体の除去時に、支持体のみを除去したいにもかかわら
ず、支持体にくっついて中間層までが除去され不都合で
ある。Ａ₁は１８０°ピール強度として１００ｇｆ／ｃ
ｍ以下であることが好ましい。Ａ₁が大きすぎると支持
体の除去がスムーズに行えなくなる傾向がある。Ａ₂は
１８０°ピール強度においてＡ₁を越えていればよく、
その大きさに特に制限はない。パターン露光後で現像前
に中間層を物理的に除去する場合は、Ａ₂は２００ｇｆ
／ｃｍ未満であることが好ましい。パターン露光後に、
中間層を化学的に除去する場合は、Ａ₂に前述の制限は
ない。化学的に除去する場合は、中間層の材料が感光性
組成物層の現像液と同一の現像液によって膨潤、溶解又
は剥離する材料であることが好ましい。

【００１７】上記中間層を備えていない従来の感光性フ
ィルムは、基材に圧着する際にシワの発生なくラミネー
トするために支持体として比較的厚みが大きく伸びの小
さい材料を用いなければならず、このため、基板の凹凸
に対しての追従性が低下するという問題があったが、本
発明の感光性組成物積層体は、まず支持体を有したまま
支持体側から力を加えて圧着することによってシワなく
ラミネートし、次いで支持体を除去し、伸びの大きい中
間層側から力を加えてさらに圧着することにより、感光
性組成物層をシワなくかつ基板の凹凸に対して良好に追
従させることができる。また、中間層は比較的厚みを小
さくできるので中間層を介して感光性組成物層に対して
行うパターン露光での光の散乱等が少なくなり、解像度
を向上させることができる。

【００１８】支持体側から力を加えて圧着する際及び中
間層側から力を加えて圧着する際において、力を加える
ことは、公知の手段により行える。例えば、ロール、ス
クイージー、平面基板、平面フィルム、袋状フィルム等
の接触要素を用いて支持体又は中間層にこれらを接触さ
せて力を加えることができる。接触要素はスプリング、
気圧差（エアーコンプレッサー、真空ポンプ等による減
圧、加圧）、油圧シリンダー等の公知のものによって力
を得ることができる。また、エアーナイフ等によって非
接触で力を加えることも可能である。

【００１９】圧着時の温度は２０〜１７０℃が好まし
く、４０〜１４０℃がより好ましく、８０〜１２０℃が
特に好ましい。この温度が低すぎると追従性に劣る傾向
があり、高すぎると臭気がでたり、望まない硬化反応が
起こる傾向がある。圧着時の温度は、圧着が行われてい
る局所的雰囲気の温度であり、該温度の確保は、例え
ば、ロール等を用いる場合はロール等の温度を所定の温
度にすればよく、また、エアーナイフ等を用いる場合
は、エアー温度を所定の温度にすればよい。

【００２０】また圧着時に加える力は０．５〜１０ｋｇ
ｆ／ｃｍ²が好ましく１〜７ｋｇｆ／ｃｍ²がより好まし
い。この力が小さいと追従性が劣る傾向があり、大きす
ぎると破損、シワ等がおこる傾向がある。

【００２１】ロール等を用いる場合は、基材の移動速度
が０．１〜１０ｍ／分となるようにすることが好ましく
０．５〜５ｍ／分となるようにすることがより好まし
い。移動速度が小さすぎると生産性が低下する傾向があ
り、大きすぎると追従性が低下する傾向がある。またロ
ールを用いる場合は、ロールが加熱されていてもよい。

【００２２】支持体側から力を加えて圧着する際及び中
間層側から力を加えて圧着する際において、圧着を常圧
下で行うことが通常であるが、追従性の点から圧着を減
圧下で行うことが好ましい。特に支持体側から力を加え
て圧着することを減圧下で行うことが基材と感光性組成
物層との間に空気をまきこまないことや作業性の点から
好ましい。圧着を減圧下で行うことは、市販の日立真空
ラミネーター等を用いて行うことができる。

【００２３】減圧度としては、１００トール以下である
ことが好ましく、６０トール以下であることがより好ま
しく、３０トール以下であることが特に好ましい。減圧
度の下限は通常１トールである。

【００２４】

【実施例】本発明を実施例によって説明する。〔感光性フィルムＡ〕支持体としてのポリエステルフィ
ルムＶ−２０（帝人（株）製）にポリビニルアルコール
（和光純薬工業（株）製、重合度約２０００）の１重量
％エタノール溶液を乾燥厚１μｍになるように塗布し、
温風乾燥し中間層を形成した。この中間層を２ｃｍ幅で
切り出して試料とし、チャック間２ｃｍ、歪速度２ｃｍ
／分で引っ張ったところ、伸びが１０％の時に応力が７
ｇｆを示した。そして、伸びが２５０％でも、破断しな
かった。次に感光性樹脂として、メタクリル酸２５重量％／メタクリル酸メチル７５重量％６０重量部共重体（重量平均分子量７５，０００）テトラプロピレングリコールジアクリレート４０重量部ジエチルアミノベンゾフェノン０．２重量部ベンゾフェノン５重量部クリスタルバイオレット０．０３重量部及びメチルエチルケトン１００重量部の混合溶液を上記、フィルムの中間層面に乾燥後の厚み
が５０μｍとなるように塗布し、８０℃１０分間温風乾
燥し、感光性組成物層を形成し感光性フィルムＡを得
た。

【００２５】比較例として、支持体上に中間層は形成せ
ずに感光性組成物のみを塗布、乾燥して感光性組成物層
を形成した感光性フィルムＢを作成した。

【００２６】試験例１７０μｍ厚の銅箔を積層したガラスエポキシ基材（ＭＣ
Ｌ−Ｅ６７−７０Ｓ：日立化成工業（株）製）の銅箔の
表面に１０ｃｍの長さのキズを、そのキズ深さを１本ご
とに順次深くして（１〜５０μｍ）複数本のキズを形成
した。これらのキズは連続加重式引掻き器（ＨＥＩＤＯ
Ｎ（株）製）を使用し荷重を変えて形成した。

【００２７】次に日立高温ラミネーターＨＬＭ−３００
０（日立化成工業（株）製）を用いて、上記基材に感光
性フィルムＡ及びＢの感光性組成物層を基材に向けて支
持体側をロールに触れるようにしてロール圧着させた。
この際のラミネート速度は２ｍ／分、ロール温度は１０
０℃及びロールのシリンダー圧力は３ｋｇｆ／ｃｍ²と
した。次いで、中間層を有する感光性フィルムＡは支持
体を手で除去し、中間層を有しない感光性フィルムＢは
そのまま、同一のラミネーターと同一条件を用いて、ロ
ール圧着を行った。

【００２８】次に２００μｍライン幅のネガティブ像を
形成するネガマスクとストーファー２１段ステップタブ
レットを基材のキズの長さ方向と直角に交差する方向に
置き、高圧水銀灯で１０秒間露光した。次いで、感光性
フィルムＡを用いたものはそのまま、感光性フィルムＢ
を用いたものは手で支持体を除去し、１重量％炭酸ナト
リウム水溶液で８０秒間スプレー現像し、基材上にレジ
スト像を得た。ストーファーの２１段ステップタブレッ
トの残存段数は感光性フィルムＡ，Ｂ共に９段を示し、
良好なレジスト像を有していた。さらに、塩化第２銅エ
ッチィング液（２ｍｏｌ／ｌＣｕＣｌ₂、２ＮＨＣｌ
水溶液、５０℃、スプレー圧力２ｋｇｆ／ｃｍ²）を１
００秒間スプレーし、レジストで保護されていない部分
の銅を溶解し、基材上に銅のラインを形成した。基材上
のキズに感光性フィルムが追従していない場合はレジス
トと基材間に空隙があるため、銅のラインはレジストと
キズの交点部分でエッチィング液が浸み込み、銅が溶解
し、銅ラインが接続しないこととなり、断線となる。こ
の断線が開始するキズ深さ（μｍ）を追従性として表１
に示した。

【００２９】

【表１】

【００３０】試験例２試験例１と同様の基材と感光性フィルムを用いて、支持
体側から力を加えて圧着することを、ラミネーターを日
立真空ラミネーター（日立エー・アイ・シー（株）製）
（減圧度５０トール、ラミネート速度２ｍ／分、ロール
温度１００℃、ロールのシリンダー圧力３ｋｇｆ／ｃｍ
²）に代えた以外は、試験例１と同様の方法で追従性を
評価し、結果を表２に示した。

【００３１】

【表２】

【００３２】

【発明の効果】本発明の感光性組成物積層体は、基材に
対する追従性が優れ、解像度を向上できる。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】支持体と感光性組成物層間に中間層を有
する感光性組成物積層体であって、中間層が、中間層側
から力を加えて基材に圧着する際の温度において１０％
以上の伸びを示し、かつ１０％伸びた時の応力が５００
ｇｆ以下であり、支持体と中間層との接着力よりも中間
層と感光性組成物層間の接着力が大きい感光性組成物積
層体。