JPH05315501A - 樹脂封止型半導体装置の製造方法及び製造装置 - Google Patents

樹脂封止型半導体装置の製造方法及び製造装置

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JPH05315501A
JPH05315501A JP14826092A JP14826092A JPH05315501A JP H05315501 A JPH05315501 A JP H05315501A JP 14826092 A JP14826092 A JP 14826092A JP 14826092 A JP14826092 A JP 14826092A JP H05315501 A JPH05315501 A JP H05315501A
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JP
Japan
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semiconductor device
lead
knockout
resin
moving means
Prior art date
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Pending
Application number
JP14826092A
Other languages
English (en)
Inventor
Kazuyoshi Shige
和良 重
Kaoru Ishihara
薫 石原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 半導体装置に不要な外力を与えることなく、
リード成形を行うことができる半導体製造装置の製造方
法及び製造装置を提供する。 【構成】 ノックアウト6にガイドレール7の下面にそ
の上端部が当接するノックアウトピン6bを設け、リー
ド成形時、ガイドレール7の移動に連動してノックアウ
ト6が移動するようにした。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、樹脂封止型半導体装
置の製造方法と製造装置に関するものであり、特に、リ
ード成形時に用いるリード成形装置の改良に関するもの
である。
【0002】
【従来の技術】図3は、従来のリード成形装置の構造及
び動作を示す断面図であり、図において、1は下型ダイ
セット、2はダイプレート、3はベンドダイ、4はプラ
グ、5はスプリング、6はノックアウト、7はガイドレ
ール、8は半導体装置、8aは半導体装置8を覆うパッ
ケージ、8bはパッケージ8aの側面から外部に延びる
リードである。ここで、ガイドレール7は半導体装置8
をベンドダイ3の上方に位置決めするとともに、半導体
装置8が上下に移動できるように該半導体装置8のリー
ド8bを保持している。また、ノックアウト6はリード
成形後にベンドダイ3にリード8bが食い込まれた場
合、半導体装置8がベンドダイ3から離脱できるように
半導体装置8を上方に押し上げるためのものである。
【0003】次に、動作について説明する。下型ダイセ
ット1上にダイプレート2が固定され、更に、ベンドダ
イ3がダイプレート2の上面の所定領域に固定されてい
る。そして、リード成形前は、図のの左側半分に示す状
態にあり、プラグ4がスプリング5を保持し、該スプリ
ング5がノックアウト6を上方に押し上げ、ノックアウ
ト6の上面が半導体装置8のパッケージ8aの下面に当
接し、また、ガイドレール7が半導体装置8がベンドダ
イ3の上方に位置決めされるように、リード8bを保持
している。一方、リード成形時は、図の右側半分に示す
状態になり、半導体装置8がガイドレール7の移動によ
ってに下方に移動し、半導体装置8の上方にある図示し
ない上金型が、半導体装置8を上方から下方に押圧し、
ガイドレール7に保持されていたリード8bが、該ガイ
ドレール7から外れてベンドダイ3の外形に沿って変形
して折り曲げられる。そして、この後、上記上金型の押
圧が解かれると、ガイドレール7とその下面にノックア
ウト6が当接する半導体装置8が上方に移動し、再び、
図の左側半分に示した状態となる。尚、図3中の点線で
示したリード8bは成形前の状態を示している。また、
この図は、動作を分かり易く説明する為にリード成形前
(成形後)とリード成形時の状態を左右半分ずつで示し
たものであり、それぞれ図示しない部分は、図示する部
分と左右対称になっている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】従来のリード成形装置
は以上のように構成され、リード成形時、半導体装置の
パッケージの下面に常にノックアウトの上面が当接した
状態にあり、この状態で上金型によって半導体装置が押
し下げられてリードを折り曲げるため、ノックアウトが
動作不良を起こすと、リード成形時に半導体装置に不要
な外力が加わり、半導体装置のパッケージの破損等を引
き起し、半導体装置の信頼性を低下させてしまうという
問題点があった。
【0005】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、リード成形時、半導体装置に不
要な外力が加わることなく、パッケージの破損等を防止
することができる半導体装置の製造方法と製造装置を得
ることを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】この発明に係る半導体製
造の製造方法及び製造装置は、ノックアウトをガイドレ
ールに連動して移動するようにしたものである。更に、
この発明に係る半導体製造の製造方法及び製造装置は、
ノックアウトを上金型に連動して移動するようにしたも
のである。
【0007】
【作用】この発明においては、ノックアウトがガイドレ
ールまたは上金型に連動して移動するから、ノックアウ
トを半導体装置の下面に接触させることなくリード成形
を行うことができ、半導体装置に不要な外力が伝わるこ
とを防止することができる。
【0008】
【実施例】以下、この発明の一実施例を図について説明
する。図1は、この発明の一実施例による半導体装置の
製造装置であるリード成形装置の構造と動作を示す断面
図であり、図において、図3と同一符号は同一または相
当する部分を示しており、6a,6bはノックアウトピ
ン、9はベアリングである。このリード成形装置では、
ノックアウト6にその上端部が半導体装置8の下面に当
接するノックアウトピン6aと、その上端部がガイドレ
ールの下面に当接するノックアウトピン6bとが設けら
れている。
【0009】次に、動作について説明する。下型ダイセ
ット1上にダイプレート2が固定され、更に、ベンドダ
イ3がダイプレート2の上面の所定領域に固定されてい
る。そして、リード成形前、図の左側半分に示す状態に
あり、プラグ4がスプリング5を保持し、該スプリング
5がノックアウト6を上方に押し上げた状態にある。こ
の時、ノックアウト6のノックアウトピン6a,6bの
上端部は、半導体装置8のパッケージ8aの下面にも、
ガイドレール7の下面にも当接していない。一方、リー
ド成形時は、図の右側半分に示すように、ガイドレール
7がリード8bを保持して半導体装置8を下方に移動さ
せ、図示しない上金型が半導体装置8を下方に向けて押
圧することにより、ガイドレール7に保持されていたリ
ード8bは、該ガイドレール7から外れてベンドダイ3
の外形に沿って変形し、下方に折り曲げられる。この
時、ガイドレール7は半導体装置8を下降させるととも
に、ノックアウトピン6bを介してノックアウト6を下
方に押し下げており、半導体装置8の下方のノックアウ
トピン6aも、半導体装置8に不要な外力を与えること
なく半導体装置8の下降とともに下降する。この後、上
金型の半導体装置8への押圧が解かれると、再度、図の
左側半分に示す状態に、ガイドレール7と半導体装置8
が上方に移動するが、この時、リード8bがベンドダイ
3に食い込まれても、スプリング5によって上方に押し
上げられるノックアウト6がガイドレール7の移動に連
動して上方に移動するため、ノックアウト6のノックア
ウトピン6aにより半導体装置8はベンドダイ3から容
易に離脱する。
【0010】尚、図3と同様にこの図1中の点線で示し
たリード8bは成形前の状態を示し、また、動作を分か
り易く説明する為にリード成形前(成形後)とリード成
形時の状態を左右半分ずつで示したものである。
【0011】このような本実施例のリード成形装置で
は、ノックアウト6に、リード形成時、ガイドレール7
の下面に当接するノックアウトピン6bを形成している
ので、ノックアウト6がガイドレール7と連動して移動
し、ガイドレールの下降に際しては、常に、ノックアウ
ト6が押し下げられるため、リード成形時、即ち、上金
型によって半導体装置8が押圧していく際、ノックアウ
ト6のノックアウトピン6aが該半導体装置8を上方に
押し上げることが無くなり、半導体装置8に不要な外力
を与えることが無くなり、半導体装置パッケージ8aの
損傷を防止することができる。
【0012】次に、この発明の第2の実施例を図につい
て説明する。図2は、この発明の第2の実施例によるリ
ード成形装置の構造と動作を示す断面図であり、図にお
いて、図1と同一符号は同一または相当する部分を示し
ており、6cはノックアウトピン、10はストリッパプ
レート、11はノックアウト抑えピンである。このリー
ド成形装置では、ノックアウト6に、リード形成時、半
導体装置8の下面にその上端部が当接するノックアウト
ピン6aと、図示しない上金型に続くストリッパプレー
ト10の下面に設けられたノックアウト押さえピン6c
の下端部に、その上端部が当接するノックアウトピン6
cとが設けられている。
【0013】次に、動作について説明する。下型ダイセ
ット1上にダイプレート2が固定され、更に、ベンドダ
イ3がダイプレート2の上面の所定領域に固定されてい
る。そして、リード成形前、図の左側半分に示す状態に
あり、プラグ4がスプリング5を保持し、該スプリング
5がノックアウト6を上方に押し上げた状態にある。こ
の時、ノックアウト6のノックアウトピン6a,6cの
上端部は、半導体装置8のパッケージ8aの下面にも、
ストリッパプレート10の下面に設けられたノックアウ
ト押さえピン11の下端部にも当接していない。一方、
リード成形時は、図の右側半分に示す状態になり、ガイ
ドレール7がリード8bを保持して半導体装置8を下方
に移動させ、図示しない上金型が半導体装置8を下方に
向けて押圧することにより、ガイドレール7に保持され
ていたリード8bは、該ガイドレール7から外れてベン
ドダイ3の外形に沿って変形し、下方に折り曲げられ
る。この時、図示しない上金型に続くストリッパプレー
ト10のノックアウト押さえピン11の下端部が、ノッ
クアウトピン6cの上端部に当接してノックアウト6を
押し下げているため、半導体装置8の下方のノックアウ
トピン6aも、半導体装置8を押し上げることなく半導
体装置8とともに下降している。この後、上金型の半導
体装置8への押圧が解かれると、再度、図の左側半分に
示す状態に、ガイドレール7と半導体装置8が上方に移
動するが、この時、リード8bがベンドダイ3に食い込
まれても、ノックアウト6はストリッパプレート10の
移動に連動して上方に移動するため、スプリング5によ
って上方に押し上げられるノックアウト6のノックアウ
トピン6aにより、半導体装置8はベンドダイ3から容
易に離脱する。尚、図1と同様にこの図中の点線で示し
たリード8bは成形される前の状態を示し、また、動作
を分かり易く説明する為にリード成形前(成形後)とリ
ード成形時の状態を左右半分ずつで示したものである。
【0014】このような本実施例のリード成形装置で
は、ノックアウト6に、その上端部が上金型に続くスト
リッパプレート10の下面に設けられたノックアウト押
さえピン11の下端部に当接するノックアウトピン6c
が形成されているので、ノックアウト6がストリッパプ
レート10と連動して移動し、上金型の下降に際して
は、常に、ノックアウト6が押し下げられるため、リー
ド成形時にノックアウトピン6aの該半導体装置8への
不要な当接を無くすことができ、半導体装置パッケージ
8aの損傷を防止することができる。
【0015】
【発明の効果】以上のようにこの発明によれば、リード
成形時、半導体装置に当接することなく、ノックアウト
が押し下げられるよう構成したので、リード成形時に不
要な外力が半導体装置に与えられることが無くなり、パ
ッケージの破損等が無い高信頼性の樹脂封止型半導体装
置を再現性良く得ることができる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の第1の実施例によるリード成形装置
の構造及び動作を示す断面図である。
【図2】この発明の第2の実施例によるリード成形装置
の構造及び動作を示す断面図である。
【図3】従来のリード成形装置の構造と動作を示す断面
図である。
【符号の説明】
1 下型ダイセット 2 ダイプレート 3 ベンドダイ 4 プラグ 5 スプリング 6 ノックアウト 6a,6b ノックアウトピン 7 ガイドレール 8 半導体装置 8a バッケージ 8b リード 9 ベアリング 10 ストリッパプレート 11 ノックアウト押えピン

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 樹脂パッケージで覆われた半導体装置
    の、該パッケージの側部に設けられたリードを折り曲げ
    成形するリード成形工程を含んでなる樹脂封止型半導体
    装置の製造方法において、 上記リードの折り曲げ時、上記半導体装置の下降に伴っ
    て下降し、上記リードの折り曲げ後、上記半導体装置を
    下方から押し上げて、上記リードの折り曲げ時に上記半
    導体装置を支持していた支持部材から上記半導体装置を
    離脱させる可動部材を、上記半導体装置を上下に移動さ
    せる半導体装置移動手段または上記リードの折り曲げ時
    に上記半導装置を上方から押圧する上金型に連動して移
    動させるようにしたことを特徴とする樹脂封止型半導体
    装置の製造方法。
  2. 【請求項2】 樹脂パッケージで覆われた半導体装置
    の、該パッケージの側部に設けられたリードを保持し、
    該半導体装置を上下に移動させる半導体装置移動手段
    と、 上記移動手段によって下降する半導体装置のリードの所
    定部分を支えて該半導体装置を支持し、該半導体装置の
    上方で上下に可動して該半導体装置を押圧する金型の下
    降により、該リードをその外形に沿わせて所定形状に折
    り曲げる半導体装置支持部材と、 上記半導体装置の移動に伴って移動し、上記リードの折
    り曲げ後、上記半導体装置支持部材から上記半導体装置
    の下面を押し上げて上記半導体装置を離脱させる可動部
    材とを備えてなる樹脂封止型半導体装置の製造装置であ
    って、 上記可動部材に、上記半導体装置移動手段の下面に当接
    するピン部材を設け、上記半導体装置移動手段と上記可
    動部材とが連動して移動するようにしたことを特徴とす
    る樹脂封止型半導体装置の製造装置。
  3. 【請求項3】 樹脂パッケージで覆われた半導体装置
    の、該パッケージの側部に設けられたリードを保持し、
    該半導体装置を上下に移動させる半導体装置移動手段
    と、 上記移動手段によって下降する半導体装置のリードの所
    定部分を支えて該半導体装置を支持し、該半導体装置の
    上方で上下に可動して該半導体装置を押圧する金型の下
    降により、該リードをその外形に沿わせて所定形状に折
    り曲げる半導体装置支持部材と、 上記半導体装置の移動に伴って移動し、上記リードの折
    り曲げ後、上記半導体装置支持部材から上記半導体装置
    の下面を押し上げて上記半導体装置を離脱させる可動部
    材とを備えてなる樹脂封止型半導体装置の製造装置であ
    って、 上記可動部材に、上記金型の一部に当接するピン部材を
    設け、上記金型と上記可動部材とが連動して移動するよ
    うにしたことを特徴とする樹脂封止型半導体装置の製造
    装置。
JP14826092A 1992-05-13 1992-05-13 樹脂封止型半導体装置の製造方法及び製造装置 Pending JPH05315501A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110732609A (zh) * 2019-10-29 2020-01-31 贵州鑫彤瑞科技有限公司 高频变压器引脚矫正装置

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110732609A (zh) * 2019-10-29 2020-01-31 贵州鑫彤瑞科技有限公司 高频变压器引脚矫正装置

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