JPH06104360A - 半導体装置のリード曲げ方法 - Google Patents

半導体装置のリード曲げ方法

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JPH06104360A
JPH06104360A JP4252809A JP25280992A JPH06104360A JP H06104360 A JPH06104360 A JP H06104360A JP 4252809 A JP4252809 A JP 4252809A JP 25280992 A JP25280992 A JP 25280992A JP H06104360 A JPH06104360 A JP H06104360A
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JP
Japan
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bending
lead
leads
package
die
Prior art date
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Pending
Application number
JP4252809A
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English (en)
Inventor
Seiichi Sugimoto
清一 椙本
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Oki Electric Industry Co Ltd
Original Assignee
Oki Electric Industry Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPH06104360A publication Critical patent/JPH06104360A/ja
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48245Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
    • H01L2224/48247Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic connecting the wire to a bond pad of the item
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/181Encapsulation

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  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 SOPタイプまたはQFPタイプの半導体装
置のリード曲げ方法において、成形後のパッケージに反
りがあっても、リードの平坦度を均一にするものであ
る。 【構成】 第1の予備曲げパンチ29と第1の予備曲げ
ダイ31により、リードに予備曲げ加工を行なう第1の
工程と、第2の成形曲げパンチ33と第2の成形曲げダ
イ35により、パッケージの外周部近傍のリードを押圧
せず、最終形状の成形曲げ加工を行なう第2の工程とを
備えたものである。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体装置、特にSO
P、QEPタイプのリード曲げ方法に関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】従来、エポキシ樹脂を用いてモールド法
により、半導体素子を封止し、半導体装置のパッケージ
を形成することが一般的になっている。
【0003】次に、このパッケージの製造方法につい
て、図2(A)〜図2(C)および図3を参照して説明
する。まず、図2(A)は複数の半導体装置に用いるリ
ードを一体に形成するための長尺のリードフレームの平
面図であり、リードフレーム1は、中央部にチップ台2
を設け、このチップ台2の近くから放射状的に外方に延
びるリード3のインナーリード3aと、このインナーリ
ード3aの更に外方延長部分のアウターリード3bと、
このアウターリード3bの内方端部近傍間を相互に接続
しているダイバー4を設けている。
【0004】そして、図2(B)は樹脂封止後のリード
フレームの平面図であり、前記チップ台2上に図示せぬ
半導体素子5(図3参照)を接続し、図示せぬ半導体素
子5(図3参照)の各電極と対応する各インナーリード
3aとを、図示せぬワイヤ6(図3参照)によりワイヤ
ボンディングする。そして、モールド法により、樹脂で
チップ台2、インナーリード3a、半導体素子5(図3
参照)およびワイヤ6(図3参照)を包囲するように封
止してパッケージ7を形成する。
【0005】そして、図2(C)はリードフレームのダ
イバー、アウターリードの外方端部を除去した樹脂封止
後のリードフレームの平面図であり、リード加工により
アウターリード3bの外方端部を切り離すと共に、リー
ド3が各々独立するように、ダイバー4を除去して、図
3に示す半導体装置を得ることができる。そして、リー
ド3を後述のリード曲げ加工を行ない、サポート8(図
2(C)参照)を切り離し、図4(A)に示すように、
パッケージ本体から二方向のリードを取り出したSOP
タイプの半導体装置9、あるいは図4(B)に示すよう
に、4方向からリードを取り出したQFPタイプの半導
体装置10を得ることができる。
【0006】次に、図5に示すリード曲げ金型を有する
リード曲げ加工装置によるリード曲げ加工方法につい
て、図6(A)および図6(B)を参照して説明する。
まず、図5は従来のリード曲げ加工装置を示す一部破断
した側面図であり、このリード曲げ加工装置は、図2
(B)に示すパッケージ7が形成されているリードフレ
ームにおいて、図2(C)に示すように、ダイバー4、
アウターリード3bの外方端部を除去したのちに行なう
ものである。図5において、11は図示せぬプレス装置
に取り付けられ、昇降する曲げパンチを有する上型部、
12は加工されたリードフレームが載置された曲げダイ
を有する下型部、13はその先端がリード曲げ形状に形
成された曲げパンチ、14はこの曲げパンチ13の他端
を固定したパンチホルダ、15はこのパンチホルダ14
を固定するパンチプレートであり、このパンチプレート
15は図示せぬプレス装置に取り付けるためのシャフト
16が設けられている。17はパッケージ7に対応した
凹形状の逃げ部が形成されたストリッパプレート、18
は一端がこのストリッパプレート17にネジ止めされた
ストリッパボルト、19はこのストリッパボルト18の
上方に設けられたコイルスプリングであり、このコイル
スプリング19は、ストリッパプレート17を外方に押
しやるように作用する。20は上型部ストッパーブロッ
ク、21はコイルスプリング19の他端が接するプレー
ト、22はガイドブッシュ、23は図示せぬプレス装置
のベット面に固定されたダイプレート、24はガイドポ
スト、25は曲げダイであり、この曲げダイ25は、パ
ッケージ7および曲げパンチ13の形状および位置に対
応して設けられており、このパッケージ7に対応した凹
状の逃げ部が形成されている。26はこの曲げダイ25
を支持するダイホルダ、27は下型ストッパブロックで
ある。
【0007】なお、上型部11および下型部12は、ガ
イドブッシュ22およびガイドポスト24の滑合により
精度の良い上下の動きが得られる。また、図6(A)は
リード曲げ加工前を示し、図6(B)はリード曲げ成形
後を示す。
【0008】次に、リード曲げ作業について説明する
と、まず、図2(C)に示すリードフレームを曲げダイ
25上の所定位置に載置する。そして、図6(A)に示
すように、パッケージ7は曲げダイ25の凹状の型部内
に収容される。そして、上型部11を下降させると、先
ず、ストリッパプレート17がダイホルダ26上に載置
したリードフレームの表面に達する。この時、ストリッ
パプレート17が、パッケージ7の外周部の外部リード
3の部分間に当接し、これらを曲げダイ25上に押圧し
ながら、当接後も、上型部11は下降を続け、曲げパン
チ13はストリッパプレート17に摺動しながら、上型
部ストッパブロック20と下型部ストッパブロック27
が当接する位置まで下降を続け、遂に図6(B)に示す
ようにリード3の成形を完了する。このときのストリッ
パプレート17は、リード3に押圧し、コイルスプリン
グ19の圧力により、リード曲げ時のリード3がすべら
ない働きをもっている。リード曲げ後、上型部11は上
昇するが、上昇を始めた時点においては、ストリッパプ
レート17はコイルスプリング19により押しつけられ
ているので、それ以外の上型部だけが上昇する。このよ
うにして、曲げパンチ13がリードフレームから完全に
抜けるまでは、ストリッパプレート17はリード3を押
しつけて固定しているので、リードフレームが曲げパン
チ13と共に上昇することはない。そして、曲げパンチ
13がリードフレームから抜け、パンチホルダ14とス
トリッパプレート17が最大間隔に達し、さらに上型部
11が上昇するため、曲げダイ25から離れる。このよ
うに、リード曲げ加工装置による曲げ加工が、完了した
のち、サポート8を切断し、図4(A)、図4(B)に
示す半導体装置を完成することができる。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記構
成の半導体装置のリード曲げ方法では、半導体装置を樹
脂封止する際、樹脂の冷却時に、図7(A)、図7
(B)に示すように、反りが発生する。この反りの発生
原因としては、モールド成形の際に起こるノックアウト
時の離型抵抗などもあるが、その多くは樹脂の硬化収
縮、樹脂とインサート品との熱膨張係数の差によること
が大きい。このパッケージの反りが、図7(A)、図7
(B)のようなリード曲げ加工後のリードの配列の反り
上りとなって表われるために、この半導体装置をプリン
ト配線基板28から浮き上がった状態となり、半田付け
不良が発生するという問題点があった。
【0010】本発明は、以上述べた、パッケージの反り
がリード曲げ加工後のリード配列の反りとなって表われ
るという問題点を除去するため、リードに、予備曲げ加
工を行なったのち、パッケージの外周部近傍のリードを
押圧せずに、最終形状の成形曲げ加工を行なうことによ
り、品質の優れた半導体装置を提供することを目的とす
る。
【0011】
【課題を解決するための手段】本発明に係る半導体装置
のリード曲げ方法によれば、リードに、予備曲げ加工を
行なう第1のリード予備曲げ加工工程と、パッケージの
外周部近傍のリードを押圧せずに、前記予備曲げ加工さ
れたリードに、最終形状の成形曲げ加工を行なう第2の
リード成形曲げ加工工程とを備えたものである。
【0012】
【作用】本発明は成形後のパッケージに反りがあって
も、リードの平坦度を均一にすることができる。
【0013】
【実施例】図1(A)〜図1(D)は本発明に係る半導
体装置のリード曲げ方法の一実施例を工程別に示す要部
断面図であり、特に図1(A)および図1(B)は第1
のリード予備曲げ加工工程を示し、図1(C)および図
1(D)は第2のリード成形曲げ加工工程を示す。図に
おいて、29はその先端が第1のリード予備曲げ形状
(例えば45度の形状)に形成した第1の予備曲げパン
チ、30はその透孔により第1の予備曲げパンチ29を
上下動作可能に支持する第1のストリッパプレートであ
る。この第1のストリッパプレート30は、パッケージ
7に対応した凹形状の逃げ部が形成されている。31は
第1の予備曲げダイであり、この第1の予備曲げダイ3
1はパッケージ7および第1の予備曲げパンチ29の先
端形状および位置に対応して設けられており、かつ、パ
ッケージ7に対応した凹状の逃げ部が形成されている。
32はこの第1の予備曲げダイ31を固定する第1の予
備曲げダイホルダ、33はその先端が第2のリード成形
曲げ形状に形成した第2の成形曲げパンチ、34はパッ
ケージ7の近傍のリードを押圧しないように、逃げ部3
4aを形成した第2のストリッパプレートである。この
第2のストリッパプレート34は、その透孔により第2
の成形曲げパンチ33を上下動作可能に支持し、かつパ
ッケージ7に対応した凹形状の逃げ部が形成されてい
る。35は第2の成形曲げダイであり、この第2の成形
曲げダイ35はパッケージ7および第2の成形曲げパン
チ33の先端形状と位置に対応して設けられており、か
つパッケージ7に対応した凹状の逃げ部が形成されてい
る。36はこの第2の成形曲げダイ35を固定する第2
の成形曲げダイホルダである。
【0014】次に、上記構成の半導体装置のリード曲げ
方法について説明する。まず、図2(C)に示すリード
フレームを第1の予備曲げダイ31の所定位置に載置す
ると、パッケージ7は図1(A)に示すように、この第
1の予備曲げダイ31の凹状の型部内に収容される。そ
して、上型部を下降させると、第1のストリッパプレー
ト30が第1の予備曲げダイ31上に載置されたリード
フレームの表面に達する。このとき、この第1のストリ
ッパプレート30が、パッケージ7の外周部近傍のリー
ド3間に当接し、これらを第1の予備曲げダイ31上に
押圧しながら、当接後も、上型部は下降を続け、第1の
予備曲げパンチ29は、第1のストリッパプレート30
の透孔内を摺動しながら図示せぬ上型部ストリッパブロ
ックと下型部ストッパブロックが当接する位置まで下降
を続け、遂に、図1(B)に示すように、リード3の第
1の予備曲げ(例えば45度の角度に形成)を完了す
る。このときの第1のストリッパプレート30は、リー
ド3を押圧し、図示せぬコイルスプリングの圧力によ
り、予備リード曲げ時のリード3がすべらない働きをも
っている。そして、この第1の予備曲げ後、上型部が上
昇する。そして、リードフレーム1は第2の成形曲げ工
程へと送られる。
【0015】そこで、このリードフレーム1が、第2の
成形曲げダイ35の所定位置に載置されると、パッケー
ジ7は図1(C)に示すように、この第2の成形曲げダ
イ35の凹状の型部内に収容される。そして、上型部を
下降すると、第2のストリッパプレート34が、第2の
成形曲げダイ35上に載置されたリードフレームの表面
に達し、その後、この第2のストリッパプレート34は
リードフレーム1の外枠に当接する。このとき、この第
2のストリッパプレート34は、その逃げ部34aのた
め、パッケージ7の外周部近傍のリード3から浮いた状
態にあり、リード3を押圧しない。そして、上型部は、
このリードフレームの外枠を押圧しながら当接後も下降
を続ける。そこで、第2の成形曲げパンチ33は、第2
のストリッパプレート34の透孔内を摺動しながら、図
示せぬ上型部ストッパブロックと下型部ストッパブロッ
クが当接する位置まで下降を続け、遂に、図1(D)に
示すように、リード3の第2の成形曲げを完了し、製品
形状に成型することができる。
【0016】
【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
係る半導体装置のリード曲げ方法によれば、第1の予備
曲げパンチおよび第1の予備曲げダイによる第1のリー
ド予備曲げ加工工程により、リードを予備曲げ加工し、
そして、第2の成形曲げパンチおよび第2の成形曲げダ
イによる第2のリード成形曲げ加工工程により、リード
を成形曲げ加工を行ない、特に、この第2のリード成形
曲げ加工工程では、パッケージの外周部近傍のリード
が、反りの影響を受けないように、ストリッパプレート
で押圧しないようにするので、パッケージに反りがあっ
ても、リードの基板実装面は水平に保つことができ、半
田付け不良を防止することができる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る半導体装置のリード曲げ方法の一
実施例を示す工程別の要部断面図である。
【図2】パッケージの製造工程を示す平面図である。
【図3】図2のパッケージを示す断面図である。
【図4】SOPタイプおよびQFPタイプの半導体装置
を示す斜視図である。
【図5】従来のリード曲げ加工装置を示す一部断面側面
図である。
【図6】図5のリード曲げ加工の動作を説明する要部断
面図である。
【図7】従来の半導体装置を示す平面図および側面図で
ある。
【符号の説明】
3 リード 7 パッケージ 29 第1の予備曲げパンチ 30 第1のストリッパプレート 31 第1の予備曲げダイ 32 第1の予備曲げダイホルダ 33 第2の成形曲げパンチ 34 第2のストリッパプレート 35 第2の成形曲げダイ 36 第2の成形曲げダイホルダ

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 パッケージ本体からリードを取り出した
    半導体装置のリード曲げ方法において、 前記リードに、予備曲げ加工を行なう第1のリード予備
    曲げ加工工程と、パッケージの外周部近傍のリードを押
    圧せずに、前記予備曲げ加工されたリードに、最終形状
    の成形曲げ加工を行なう第2のリード成形曲げ加工工程
    とを備えたことを特徴とする半導体装置のリード曲げ方
    法。
JP4252809A 1992-09-22 1992-09-22 半導体装置のリード曲げ方法 Pending JPH06104360A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102463309A (zh) * 2010-11-15 2012-05-23 泰金宝光电(苏州)有限公司 折弯装置

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CN102463309A (zh) * 2010-11-15 2012-05-23 泰金宝光电(苏州)有限公司 折弯装置

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