JPH0531298B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は一般に、電子デバイスのための試験装
置もしくは設備に関する。特に、本発明は、集積
回路もしくはICを連続的に受け、保持し次いで
試験装置もしくはテスタに送出もしくは放出する
蓄積装置に関する。

ICの製造および使用に当つては、ICを確実に
且つ迅速に試験する必要がある。多くのICは試
験前に、実際の動作状態を模擬するための予め選
択された温度に均等に加熱しなければならない。
したがつて、最近の高速度試験設備は、或る期間
中にICを予め選択された温度は加熱することが
できる時間遅延蓄積装置を備えていなければなら
ない。この蓄積装置はまた、(1)端部突合せ直線状
配列でICが格納されている「管」または「棒状
物」からICを受け、(2)ICを迅速且つ確実に試験
領域の入口に送出し、そして(3)試験プロセスを殆
んどあるいは全く中断することなく且つまた蓄積
装置の性能を劣化することなく全ゆる任意標準寸
法のICを蓄積することができなければならない。

従来技術 上記のような時間遅延蓄積の公知の１つの試み
として、集積回路もしくはICを管から、１つま
たは複数の互いにほぼ平行に円を描くようにして
取付けられた保持レールに装入することが行なわ
れている。この組立体もしくはアツセプリは、上
記円の中心に位置する共通の回転軸線の周りで回
転するものであつて、基面もしくは床面に対し傾
斜している。この従来の構造においては、ICは
１つの角度位置でレール上に装入されて他の角度
位置で放出される。時間遅延および加熱は、レー
ルがこれら位置間で回転する間に行なわれる。レ
ール内に保持されるICは弛みをもつて装入され
る。即ちIC列内には或る程度の「遊び」もしく
は隙間が存在する。このことは、ICがレールに
沿つて自由に摺動するようにし且つ異なつた大き
さを有するICを収容するために重要である。

しかしながら、この「回転レール」試案は広く
受入れられるところとはならなかつた。その主た
る理由の１つは、レールが回転する際にレール上
に格納されているICが互いにその相対位置を変
えてしまい、その結果ICのうちの少なくとも幾
つかのものがレールの案内表面に対して引掛かる
ことが通常起るからである。このようにして、レ
ール上のIC列に詰りもしくはジヤミングが生ず
ると、詰り点より「上流側」のICは放出されな
くなる。この結果、試験装置へのICの流れは中
断され試験装置全体の動作速度は減少する。（IC
は、通常セラミツクまたはプラスチツクから形成
されたほぼ矩形の箱形の本体を有しておつて、該
本体の対向側面からリードが出ており、これらリ
ードはIC本体の１つの面に対しほぼ法線の方向
に突出している。） 上記のような蓄積の問題に対する別の試案もし
くは試みとして、ICを、ほぼ水平面内に延在す
る円形コンベヤ上に送り込むことが提案されてい
る。この場合ICは円形コンベヤの周辺に沿つて
配列される。円形コンベヤは各ICを装入点から
放出もしくは送出個所に回転する。この回転中に
ICは、加熱された環境内に置かれて、所望の試
験温度にまで加熱される。本願の出願人であるデ
イマークコーポレーシヨン（Daymarc
Corporation）によつて製作されている1157HL
型のテスタにおいては、この円形コンベヤ方式が
採用されている。この円形コンベヤ方式は満足に
動作するが、数多の部品の正確で高価な機械加工
が必要とされる。さらに、円形コンベヤ上の周辺
開口の公差が狭く、通常の取扱いもしくは処理に
おいては不整列が生じ、円形コンベヤ上のIC保
持位置の幾つかの個所で機能不全がもたらされ
る。さらに、円形コンベヤの水平方向配向によ
り、使用することができる試験回路の種類、また
は該試験回路と、ICが該回路に接続されて試験
される場所との間の間隔に制約が課せられ得る。
これらの幾何学的な要因は、多くのICが非常に
高速なデバイスであること、そして試験の品質お
よび信頼性が、試験回路を被験ICに極めて接近
して配置することに存在する点に鑑みて非常に重
要であり得る。しかしながら、試験装置を上述の
ように制約しない水平円形コンベヤを用いた別の
構造が可能である。

発明の目的 したがつて、本発明の主たる目的は、弛みをも
つて装入されたIC列を試験装置に供給するため
に確実に（高い信頼性で）且つ迅速に装入および
放出もしくは排出するIC用の蓄積装置を提供す
ることにある。

本発明の他の目的は、現在用いられている円形
コンベヤ型IC蓄積装置と比較して製造費用の点
で有利である蓄積装置を提供することにある。

本発明のさらに他の目的は、詰りもしくはジヤ
ミングを起すことなく任意標準寸法を有するIC
を受け、蓄積もしくは格納し且つ送出することが
できる上記利点を備えたIC蓄積装置を提供する
ことにある。

本発明のさらに他の目的は、比較的に堅牢であ
つて、通常の取扱いで容易に損傷するような敏感
な調節や要素を必要としない上述の利点を備えた
蓄積装置を提供することにある。

本発明のさらに他の目的は、コンパクトであつ
て、試験回路の種類または試験装置に対する該試
験回路の位置付けが制限されないような仕方で試
験装置と組合せることができるIC蓄積装置を提
供することにある。

発明の構成 集積回路もしくはICを自動的に且つ連続的に
受け、蓄積もしくは格納して放出する時間遅延蓄
積装置は、水平方向に対して傾斜している回転軸
線を中心に回転するフレーム（枠）組立体もしく
はアツセンブリの周りに構成される。好ましい実
施態様においては、該フレームは回転軸線に沿つ
て延在する中心軸および該軸に回転自在に取付け
られた一対の端板を具備する。一方、端板は、上
記回転軸線の周りに同心的に配列された一群のほ
ぼ平行な細長い案内路を回転可能に取付けてい
る。該案内路は、それぞれ、弛くパツクされた直
線状の端付合せ配列で蓄積装置に摺動して出入り
するIC列を受け、蓄積し次いで放出する。蓄積
装置は、上記フレームおよび該フレーム上に担持
された案内路を、IC装入位置およびIC放出位置
を含め一連の角度位置に亘つて回転的に位置割出
しもしくは歩進する駆動系を備えている。

蓄積装置は、フレームアツセンブリが案内路郡
を含め全体的に回転するにも拘らず、案内路に保
持されているICを水平方向に対し実質的に一定
の角度配向に維持する機械的機構を備えている。
ベルトやチエーンを用いても所望の結果を達成す
ることができるが、本発明の好ましい実施態様に
おいては、上記機械的機構は中心軸の各端に固定
された固定歯車と、該固定歯車の周りに配列され
て各固定歯車と咬合する一群の惑星遊び歯車と、
案内路の各端に固定されて惑星歯車の１つと噛合
う歯車とを含む歯車装置である。

案内路は、ほぼ管状の支持部材を有する。管状
構造内には、上向きに開いたチヤンネルもしくは
通路と、対向レールとが取付けられ、これらは共
に、ICが案内路を摺動して出入りする際にIC列
を案内すると共に該IC列が案内路内に蓄積され
ている間、該IC例を或る程度固定する。通路は、
平滑でほぼ平坦な床と、最も広い標準ICをも収
容できるように充分に離間された側壁を有する。
床は小さい傾斜角度でのICの運動を容易にする
べく案内路の振動を可能にするように管状の支持
フレームに弛く取付けるのが好ましい（「外側の」
側壁が存在しない場合に広幅のICが「内側の」
リードによつて案内されるのと同様に）狭幅の
ICはその「内側の」リードにより案内される。
レールの位置は、いろいろな厚みのICを収容し
得るように垂直方向に調節可能である。各案内路
の下端は、可動のストツパ要素もしくはゲートに
よつて選択的に閉塞される。ゲートは、ICを案
内路内に保持する閉位置に向つて偏倚される枢着
部材とするのが好ましい。関連の案内路が「排出
もしくは送出」位置にある時にはゲートはカム部
材により開放位置に動かされる。

レームおよび案内路は、好ましくは絶縁されて
おつて加熱系を収容している包入ハウジング内に
支持される。ハウジング壁または関連の機構が、
一対のブラケツトを支持しており、これらブラケ
ツトは、中心軸の咬合部分を受けて、フレームア
ツセンブリ全体の「手軽な」交換を可能にする。
蓄積装置はまた、フレームアツセンブリの回転軸
線に対しほぼ平行に延在する駆動軸（または駆動
ベルトのような均等要素）を備えるのが好まし
い。駆動軸に固定された駆動歯車は中心軸に連結
された駆動歯車と係合する。好ましい実施態様に
おいては、フレームの端板自体が駆動歯車と噛合
う回転歯車として構成される。

本発明の上に述べたものを含め他の目的や特徴
は、添付図面を参照しての以下の詳細な説明から
より充分に理解されるであろう。

好ましい実施例の詳細な説明 第１図は、蓄積装置１４と、試験組立体もしく
はアツセンブリ１６と、選別部１８と、枠組もし
くはフレーム２１上に取付けられて試験アツセン
ブリ１６内のICの試験場所に直ぐ隣接して配置
された試験回路２０とを具備する集積回路（IC）
試験装置１２を示す。蓄積装置１４は、絶縁され
た外部囲壁もしくはハウジング２２を備えてい
る。このハウジングは概略的に箱形をしており、
ヒンジ連結されたドア２２ａを有している。この
ドア２２ａを介してハウジング２２の内部に容易
に接近もしくはアクセスすることができる。な
お、ハウジング内には、フレーム組立体もしくは
アツセンブリ２４（第２図ないし第５図）ならび
に該フレームに担持された関連の案内路２６が取
付けられている。さらに、蓄積装置内に保持され
ているICの温度を、該ICが最初に蓄積ユニツト
内に装入される時点と試験のために試験アツセン
ブリ１６に対して送出される時点との間の期間中
に予め選択された試験温度Ｔに上昇することがで
きる慣用の加熱要素および制御部（図示せず）も
設けられている。

ハウジング２２全体ならびにフレームアツセン
ブリ２４は、水平方向（破線２５で示す）に対し
て鋭角Ａで傾いている。この傾斜配向で、上側の
端部１４ａから蓄積装置に装入されるICは、重
力の作用下で該蓄積装置の下端部１４ｂに送られ
てそこから試験アツセンブリ１６に排出される。
本発明の重要な特徴は、蓄積装置が、(1)比較的コ
ンパクトであり、(2)試験回路２０およびそのフレ
ーム２１側から見て試験アツセンブリ１６の反対
側に配設されており、その結果、試験アツセンブ
リ１６に対する回路２０の大きさ、形態あるいは
位置が制限されたり拘束されない点にある。この
ことは次の理由から重要である。即ち多くの試験
においては、試験の品質は、試験回路と、試験場
所で試験を受けるICとの間の間隔に対し非常に
敏感に影響を受けるからである。

特に第２図ないし第４図を参照するに、フレー
ムアツセンブリ２４は、中心軸２８を中心に構成
されておつて、該軸２８の両端に回転自在に取付
けられて軸２８に対しほぼ直角に配向されている
一対の端板３０を備えている。案内路２６はそれ
ぞれ、端板に回転可能に取付けられておつて、軸
２８と同心関係にある円に沿い等間隔で離間配設
されている。端板３０および案内路２６は、軸２
８の中心縦軸線と一致する回転軸線３２を中心に
段階的な仕方で回転する（即ち、段階的に回転位
置割出しもしくは歩進を行なう）。フレームアツ
センブリ２４がこのように歩進的に回転すると、
各案内路２６は逐次、少なくとも案内路の数に等
しい予め選択された数の角度位置ｎ間で回転す
る。図示の実施例では８つの案内路が設けられて
おり、したがつて各角度位置はこの隣接角度位置
から45°離間している。第２図および第５図にお
いて案内路２６′が占めている１つの位置は「装
入」位置であり、この位置においては、該案内路
２６′が一時的に静止している間に該案内路に一
列のICが管から送り込まれる。第２図および第
５図において案内路２６′が占めている他の位置
は、「放出」位置であり、この位置においては、
一列のIC（弛みをもつて装入されて案内路に沿い
直線状に端部突合せ関係の配列で格納されている
IC）は重力の影響下で該案内路２６″から試験ア
ツセンブリ１６に排出される。上記の「装入」お
よび「放出もしくは送出」位置は、蓄積の目的
で、各案内路に装入された一列のICが放出位置
に達する前に（ｎ−１）個の角度位置に亘つて回
転しなければならないように選択される。（勿論、
（ｎ−２）、（ｎ−３）あるいはそれより少ない角
度位置に亘つての回転も可能であるが、その場合
には、蓄積装置１４内の蓄積時間が減少する。） 駆動軸３４（第２図）が、フレームアツセンブ
リ２４に隣接し且つ該アツセンブリ２４に対して
ほぼ平行にハウジング２２内に取付けられてい
る。この軸３４は、該軸に固定されている駆動歯
車３６；３６を担持している。該駆動歯車３６
は、各端板３０の周辺に形成されているギヤ歯と
咬合するように適応されている。軸３４は、やは
りハウジング２２に取付けられている慣用のモー
タ（図示せず）によつて駆動される。

各案内路２６は、第２図に示すようにほぼ管状
の形態を有しておつて、その回転軸線２６ａに沿
い端板間に延在している。回転軸線２６ａは互い
にかつ回転軸線３２に対して平行である。第３
図、第５図および第６図に最も良く示されている
ように、各案内炉は殆んどその全長に沿つて各セ
クタに１つの開口４２が設けられている管状の外
部支持部材４０を有している（第５図参照）。こ
の中空の支持部材４０は、ほぼ扁平な床部材４４
を取付けており、この床部材４４は支持部材４０
の側壁４０ａおよび４０ｂと共に上向きに面する
通路４６を形成しておつて、この通路４６でIC
を受けて保持し案内を行なう。

通路４６を形成する部材は、案内炉を介しての
ICの摺動を容易にするために、ICの本体を形成
する材料に対して比較的低い摩擦係数を有する材
料から形成するのが好ましい。さらに、床部材４
４は、ICに作用する動的摩擦作用を減少して通
路に沿い「浮動」運動を発生するように強制的に
振動されるように、通路４６内に弛く取付けるの
が好ましい。このようにすれば、小さい角度Ａの
使用が可能となり、したがつて蓄積装置１４を出
るICは、急峻が角度Ａを用いる場合よりも低い
速度を有することになる。床部材４４の幅ならび
に側壁４０ａと４０ｂとの間の横方向離間間隔
は、最大の標準寸法のIC５０（第６図に点線で
示す）を収容するように充分な大きさである。小
さいIC５０′は、第６図に実線で示すように、
「内」壁４０ｂに隣接する一側で床部材４４上に
載つている。いずれの場合にも、板状の支持体４
８ａおよび下端に設けられているフランジ４８ｂ
を有するレール部材４８が通路４６に対向して設
けられており、側方向においてフランジ４８ｂが
ICの寸法もしくは大きさに関係なく該ICの上向
きに突出するリード５０ａ間に位置するように配
設されている。レール４８、特にICの上面から
近接離間位置にあるのが好ましいフランジ４８ｂ
は、通路４６と共に、(1)いろいろな幅のICを弛
くパツクされた状態にも拘らず所望の直線形配列
で保持し且つ(2)ICが案内路４６に装入されたり
該案内路から排出される際に該ICの案内を行な
う確実な案内路を構成する。

第３図および第６図にも最も良く示すように、
レール部材４８は、支持部材４０の隣接部分に固
定されているピン５４上にそれぞれ枢着されたカ
ム板５２を用いて床部材４４に対し垂直方向に調
節可能である。ピン５４の頭部の下側に設けられ
たばね５６は各カム板を、レール部分４８ａの隣
接面と面当接関係になるように弾性的に付勢す
る。各レール４８に関連の２つのカム板５２の角
度位置が該レールの垂直位置を決定する。レール
の位置は、本体の厚さが変動するICの配位およ
び位置に関し正確ではあるが遊びを伴なつた制御
を行なうように調節される。

本発明の主たる特徴は、各案内路を、フレーム
アツセンブリ２４がｎ個の角度位置に亘り歩進回
転するに伴ない、水平方向に対しほぼ一定の角度
配位に維持する歯車装置６０にある。この目的
で、各案内路は（例えば慣用の軸受組立体を用い
るなどして）端板３０に回転自在に取付けられて
おつて、その両端に固定された歯車６２を有して
いる。同様に、端板３０；３０の外面に隣接して
中心軸２８の両端に歯車６４が固定されている
（歯車６４および端板３０を適当に取付けること
ができれば、軸２８を省略し得る点に留意された
い）。各端板は、自由に回転することができるよ
うに取付けられたｎ個の惑星遊び歯車６６からな
る歯車群を担持している。各端板に設けられた歯
車６６は、軸の歯車６４と案内路歯車６２の１つ
との間に咬合する。歯車６６は互いに噛合わな
い。歯車６２，６４，６６からなる歯車列の各々
の歯車比もしくは歯数比は、フレームアツセンブ
リの回転に伴ない歯車６２および６６が固定の軸
歯車６４の周りで回転して水平方向に対する歯車
６６の角度配向を一定に維持するように選択され
ている。歯車６６は自由に回転可能な案内路に取
付けられておつて関連の案内路の回転軸線と一致
しているので、該歯車６６もまた一定の角度範囲
に留まる。

第４図に示すように、端板３０が反時計方向に
回転すると、端板に取付けられている遊び歯車６
６もまた固定の歯車６４上を反時計方向に回転す
る。この結果、各案内路歯車は時計方向に回転駆
動される。歯車６４および案内路歯車６２の直径
が図示の例のように同じである場合には、案内路
が水平配向で組立てられてフレームアツセンブリ
２４に取付けられている（回転軸線に対し垂直な
平面で見て床部材４４が水平方向に平行である）
と仮定すると、該案内路はこの水平方向の配向を
維持する。

上には、歯車装置６０の好ましい実施態様につ
いて図示し説明したが、同じ所望の結果を他の機
械的な構造で達成し得ることは理解に難くない。
例えば、上述の型の歯車装置をフレームアツセン
ブリの両端ではなく一端にだけ用いて、フレーム
アツセンブリの回転に調和した案内路の所望の回
転を発生することが可能である。また歯車以外の
直接的な駆動装置を用いて案内路の上述のものと
同じ周転円運動を発生することも可能である。例
えば、複数のベルトまたは鎖もしくはチエーンを
９０（第５図）用いて、惑星歯車６６の機能に等
価な機能を行なうことができる。ベルトまたはチ
エーンが用いられる場合には、中心プーリあるい
はスプロケツト６４も、プーリまたはスプロケツ
ト６２と同じ直径を有するべきである。

中心軸２８はまた、その端に取付け部材７０，
７２を担持している。部材７０は突出部７０ａを
有しており、この突出部７０ａは係合凹部に受け
られて該部材７０の回転を阻止する。

各案内路の上方の端部は開いておつて、適当な
挿入装置から一列形態でICを受ける。案内路の
下端部は通常ゲート８０によつて閉ざされてい
る。このゲート８０はピン８２に枢着されてい
る。各ゲートの部分８０ａは、案内路の下端部を
閉塞して案内路に蓄積されているICが滑り出る
のを阻止する。ばね８４はゲート８０を、第５図
に案内路もしくは管２６′と関連して示した閉じ
位置に弾性的に付勢する。フレームアツセンブリ
が案内路を放出位置に回転すると、固定のカム棒
８６に設けられているロールがゲート８０を部分
８０ｂに係合して、該ゲートをばね８４の力に抗
し、第５図に案内路２６’と関連して示した開位
置へ回動せしめる。この開位置においては、部分
８０ｂは通路４６から逸れておつて、案内路に蓄
積されているICは自由に案内路から滑り出て試
験アツセンブリ１６内に入ることができる。カム
棒８６はまた、駆動軸３４を取付けている。

以上本発明をその好ましい実施例と関連して説
明したが、当業者にはいろいろな変形や変更を想
倒し得るものと理解されたい。このような変形や
変更は本発明の技術思想内に包摂されるものであ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明による蓄積装置を用いるIC
試験用装置の簡略斜視図、第２図は、図示を明瞭
にするために囲繞ハウジングおよび他の要素を省
略して、第１図に示した蓄積装置の管状案内路を
含むフレームアツセンブリおよび駆動軸を略示す
る簡略斜視図、第３図は、第２図に示したフレー
ムアツセンブリの詳細側立面図、第４図は、駆動
軸を省略して、第２図に示した組立体もしくはア
ツセンブリの下端部の簡略側面図、第５図は、第
４図に対応の詳細な図であつて、案内路からの
ICの排出を制御するためのカム駆動されるゲー
ト構造を示す図、そして第６図はICが案内路内
に蓄積されている状態で、第２図ないし第５図に
示した案内路のうちの１つの案内路を示す詳細横
断面図である。 １２……集積回路試験装置、１４……蓄積装
置、１６，２４……アツセンブリ、１８……選別
部、２０……試験回路、２１……フレーム、２２
……ハウジング、２２ａ……ドア、２６……案内
路、２８……軸、３０……端板、３６……駆動歯
車、４０，４８……支持部材、４２……開口、４
４……床部材、４６……通路、４８……レール部
材、５０……IC、４８ａ……支持体、４８ｂ…
…フランジ、５２……カム板、５４，８２……ピ
ン、５６，８４……ばね、６０……歯車装置、６
２……案内路歯車、６４……固定軸歯車、６６…
…惑星遊び歯車、７０……取付け部材、７０ａ…
…突出部、８０……ゲート、８６……カム棒。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 比較的弛みをもつて端部突合せ整列関係で複
   数個の集積回路をそれぞれ保持することができる
   １組の細長い案内路と、 回転軸線を有し該回転軸線の周りに前記案内路
   が配列されるようにして該案内路を担持するフレ
   ームと、 前記集積回路を前記案内路の１つに装入するこ
   とができる装入位置および前記集積回路を前記案
   内路の１つから放出する送出位置を含め予め選択
   された数の角度位置を通つて前記フレームを前記
   回転軸線の周りにステツプ式に回転するための手
   段と、 前記フレームが前記角度位置を通つて回転する
   際に、前記案内路を水平方向に関し実質的に一定
   の角度配向に維持するための配向維持手段とを含
   む集積回路試験装置用蓄積装置。 ２ 前記中心軸線および案内路が水平方向に対し
   て傾斜しており、それにより重力を利用して前記
   集積回路を前記案内路に装入したり前記案内路か
   ら送出するようになされた特許請求の範囲第１項
   記載の蓄積装置。 ３ 前記案内路が、それぞれ、それ自身の縦軸線
   を中心にフレームに対して回転可能であり、前記
   配向維持手段が、前記案内路の各々と係合して該
   案内路の縦軸線を中心とする該案内路の角度配向
   を制御する歯車手段を備えている特許請求の範囲
   第２項記載の蓄積装置。 ４ 前記フレームが、該フレームがその周りを回
   転する中心軸と、該中心軸上に横切るようにして
   取付けられた１対の端板とを備えている特許請求
   の範囲第１項、第２項または第３項記載の蓄積装
   置。 ５ 前記歯車手段が、一方の端板の近傍で中心軸
   に固定された少なくとも１つの歯車と、該端板上
   で自由に回転するように取付けられた一群の惑星
   歯車とを備え、各惑星歯車は前記軸に取付けられ
   た歯車と係合する特許請求の範囲第４項記載の蓄
   積装置。 ６ 前記歯車手段が、案内路の端部に固定されて
   関連の惑星歯車と係合する案内路歯車を備えてお
   り、フレームの回転で前記惑星歯車および案内路
   歯車が回転せしめられて、前記案内路を実質的に
   一定の角度配向に維持するようになされた特許請
   求の範囲第５項記載の蓄積装置。 ７ 前記フレームおよび案内路を囲繞するハウジ
   ングを備え、該ハウジングは１対の離間配置した
   取付けブラケツトを有し、中心軸の端部部分が該
   取付けブラケツトに交換可能に受けられている特
   許請求の範囲第４項記載の蓄積装置。 ８ 前記ハウジングが絶縁されている特許請求の
   範囲第７項記載の蓄積装置。 ９ 前記案内路の各々が、集積回路を蓄積し案内
   する上向きに開いた通路を備えている特許請求の
   範囲第１項、第２項または第３項記載の蓄積装
   置。 １０ 前記案内路の各々が、通路に対向して離間
   配置されて該案内路における集積回路の配向およ
   び運動に対しさらに制御および案内を行なうレー
   ル部材を備えている特許請求の範囲第９項記載の
   蓄積装置。 １１ 前記案内路の各々が、レール部材および通
   路を支持する部材を備えている特許請求の範囲第
   １０項記載の蓄積装置。 １２ 前記細長い支持部材がほぼ管状の形態を有
   している特許請求の範囲第１１項記載の蓄積装
   置。 １３ 前記各通路が、支持部材に取付けられた床
   部材と、該床部材に沿い案内路の長さに亘つて延
   在する１対の側壁を備えている特許請求の範囲第
   １１項記載の蓄積装置。 １４ 前記各床部材が、通路に端部突合せ関係で
   保持されている任意標準寸法の集積回路を収容し
   得るように充分に広幅である特許請求の範囲第１
   ３項記載の蓄積装置。 １５ 前記床部材が、案内路に沿う集積回路の振
   動性運動を促進するように支持部材に弛く取付け
   られている特許請求の範囲第１３項記載の蓄積装
   置。 １６ 前記配向維持手段が案内路に動作上結合さ
   れたベルト手段を含む特許請求の範囲第２項記載
   の蓄積装置。 １７ 前記通路の関連するものに対する各レール
   部材の垂直方向の高さを調節するための手段を備
   えている特許請求の範囲第１０項記載の蓄積装
   置。 １８ 集積回路を案内路内に保持するために閉じ
   るゲート手段が前記案内路の各々の下端部に取付
   けられ、該ゲート手段は、関連の案内路が放出位
   置に在る時に開いて前記案内路からの集積回路の
   放出を可能にする特許請求の範囲第９項記載の蓄
   積装置。 １９ 前記ゲート手段が、枢着されたストツパ部
   材と、該ストツパ部材を閉位置に向けて弾性的に
   付勢する手段と、該付勢手段に抗して前記ストツ
   パ部材を開位置に回動するためのカム手段とを含
   む特許請求の範囲第１８項記載の蓄積装置。