JPH05312952A - 参照光型レーザドップラ速度計 - Google Patents

参照光型レーザドップラ速度計

Info

Publication number
JPH05312952A
JPH05312952A JP4113373A JP11337392A JPH05312952A JP H05312952 A JPH05312952 A JP H05312952A JP 4113373 A JP4113373 A JP 4113373A JP 11337392 A JP11337392 A JP 11337392A JP H05312952 A JPH05312952 A JP H05312952A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
frequency
laser
laser beam
reference light
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP4113373A
Other languages
English (en)
Inventor
Makoto Ikeda
誠 池田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippon Sheet Glass Co Ltd
Original Assignee
Nippon Sheet Glass Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Sheet Glass Co Ltd filed Critical Nippon Sheet Glass Co Ltd
Priority to JP4113373A priority Critical patent/JPH05312952A/ja
Publication of JPH05312952A publication Critical patent/JPH05312952A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
  • Optical Radar Systems And Details Thereof (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 参照光型レーザードップラ速度計で、周波数
シフタによってレーザ光に周波数偏移を与える際に発生
する強度変調による速度検出誤差を低減化する。 【構成】 レーザ光源1から出射したレーザ光は、まず
ビームスプリッタ9によって二路に分けられ、これらの
うち、周波数シフタ4によって周波数偏移を受けたレー
ザ光がビームスプリッタ10及びレンズ11を通して測
定物体2に照射するレーザ光3となる。このレーザ光3
によって測定物体2の表面からは散乱光20が発生し、
その一部がレンズ11によって集光された後、ビームス
プリッタ10において反射され、信号光12となる。こ
の信号光12は、ミラー13とビームスプリッタ14を
通過して光検出器8に到達するが、照射レーザ光3に比
べてその光量が大幅に低下しているので、相対的に低下
した周波数Δfのノイズは光検出器8の検出限界以下に
なって検出されなかった。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザ光を被測定物体
に照射し、受光される散乱光ないし反射光の周波数が物
体の運動に伴い偏移することを参照光との干渉によって
検出し、被測定物体の速度を測定する参照光型レーザド
ップラ速度計に関し、特に周波数シフタによって周波数
を偏移させたレーザ光に重畳するノイズを検出限界以下
のレベルに低下させる技術に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の参照光型レーザドップラ速度計を
図1に示す。レーザ光源1から出射した光のうち一部
は、周波数偏移を与えずに測定物体2に照射するレーザ
光3として用いられ、光源光のうち周波数シフタ4によ
って周波数偏移を与えた光5は参照光として用いられて
いた。運動する測定物体2からの散乱光6は、レーザ光
源1の光周波数に対しドップラ効果に伴う周波数偏移δ
fを起こすので、周波数シフタ4によってΔfの周波数偏
移を与えられた参照光5とヘテロダイン干渉させると、
検出されるビート周波数は|Δf−δf|となる。従っ
て、この周波数がΔfより増加あるいは減少のどちらに
偏移するかを検出することで測定物体の速度方向7が分
かり、周波数の偏移量によってその速度が分かる特長を
有している。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、周波数
シフタ4によってレーザ光に周波数偏移を与える際、強
度変調も僅かではあるが生じてしまう。従って、これを
参照光5として用いると、光検出器8に直接その強度変
調を検出させることになり、見かけ上測定物体の速度が
0である時と同じ信号が常に発生していて、測定物体の
実際の速度検出の妨害になるという問題があった。この
ため、測定物体にとっては不要な負荷となるミラーや反
射マークを取り付けて散乱光6の反射光量を上げ、収差
の少ない集光レンズ11を用いることによって、より多
くの信号光12を取り込むことでヘテロダイン干渉の強
度を上げ、SN比を改善する必要があった。
【0004】
【課題を解決するための手段】上記問題を解決するため
本発明では、測定物体に照射するレーザ光は予め周波数
シフタで周波数偏移を与え、参照光はレーザ光源から出
射したレーザ光を分岐して用いる構成とした。
【0005】
【作用】上記構成によれば、周波数シフタによって周波
数偏移Δfを受けたレーザ光には、周波数Δfのノイズが
含まれるが、これを表面が散乱体からなる測定物体へ照
射すると、測定物体表面で散乱されて戻って来るレーザ
光は比率にして数%以下になり、周波数Δfのノイズも
相対的にその強度が下がる。このため、レーザ光源の分
岐で得た参照光とヘテロダイン干渉させると、測定物体
の運動による周波数偏移成分は光検出器によって検出さ
れるが、相対的に強度が下がった周波数Δfのノイズは
検出限界以下となって影響を及ぼさない。
【0006】
【実施例】図2に本発明による参照光型レーザドップラ
速度計の構成を示す。レーザ光源1から出射したレーザ
光は、まずビームスプリッタ9によって二路に分けら
れ、これらのうち、周波数シフタ4によって周波数偏移
を受けたレーザ光がビームスプリッタ10及びレンズ1
1を通して測定物体2に照射するレーザ光3となる。
【0007】図3はこのレーザ光のスペクトル分布を示
したものである。光源はHe−Neレーザーを用いたの
で、レーザ光の周波数であるf0は1014オーダの周波
数となる。また、周波数シフタ4による周波数偏移Δf
はここでは、80MHzとした。このレーザ光3によっ
て測定物体2の表面からは散乱光20が発生し、その一
部がレンズ11によって集光された後、ビームスプリッ
タ10において反射され、信号光12となる。
【0008】この信号光12は、ミラー13とビームス
プリッタ14を通過して光検出器8に到達するが、照射
レーザ光3に比べてその光量が大幅に低下しているの
で、相対的に低下した周波数Δfのノイズは光検出器8
の検出限界以下になって検出されなかった。
【0009】測定物体2が運動すると、散乱光20の各
スペクトルはドップラ効果によって周波数がδfだけ偏
移する。図4にこの様子を示す。また、図5は光源1か
ら出射してビームスプリッタ9で反射した参照光15の
スペクトルである。この参照光15が信号光12とビー
ムスプリッタ14において干渉しビートを発生する。ス
ペクトル17は周波数Δfの位置に観測された。
【0010】
【発明の効果】本発明によると、周波数シフタによって
周波数偏移を受けたレーザ光に僅かな強度変調ノイズが
ある場合でも、SN比の良い速度検出が可能となった。
また、強度変調ノイズのスペクトル成分測定物体の運動
に伴うドップラ効果によって周波数が偏移するので、ノ
イズではなく信号成分に変えることができた。測定物体
にミラーや反射マークを取り付ける必要もなくなった。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来の参照光型レーザドップラ速度計を示す図
【図2】本発明実施例の参照光型レーザドップラ速度計
を示す図
【図3】周波数シフタによって周波数がΔf偏移したレ
ーザ光のスペクトル分布を示す図
【図4】図3のレーザ光による散乱光が測定物体の動き
によって周波数偏移δfを起こしたときのスペクトル分
布の動きを示す図
【図5】レーザ光源のスペクトル分布を示す図
【符号の説明】
1 レーザ光源 2 測定物体 3 測定物体に照射するレーザ光 4 周波数シフタ 5、15 参照光 6、20 測定物体からの散乱光 7 測定物体の速度方向 8 光検出器 9、10、14 ビームスプリッタ 11 集光レンズ 12 信号光 13 ミラー 16 周波数Δfのノイズスペクトル 17 周波数偏移を受けたレーザ光のスペクトル 18、19 スペクトルのビートによって発生するノイ
ズスペクトル

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 レーザ光を被測定物体に照射し受光され
    る散乱光又は反射光と参照光との二光波によるヘテロダ
    イン干渉から得られるビート周波数の偏移によって速度
    を計測する参照光型レーザドップラ速度計に於いて、被
    測定物体に照射するレーザ光は、レーザ光源から出射し
    た光に対してその周波数が周波数シフタによって偏移さ
    せてあり、かつ参照光はレーザ光源から出射した光であ
    ることを特徴とする参照光型レーザドップラ速度計。
JP4113373A 1992-05-06 1992-05-06 参照光型レーザドップラ速度計 Pending JPH05312952A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4113373A JPH05312952A (ja) 1992-05-06 1992-05-06 参照光型レーザドップラ速度計

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4113373A JPH05312952A (ja) 1992-05-06 1992-05-06 参照光型レーザドップラ速度計

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH05312952A true JPH05312952A (ja) 1993-11-26

Family

ID=14610649

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4113373A Pending JPH05312952A (ja) 1992-05-06 1992-05-06 参照光型レーザドップラ速度計

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH05312952A (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105445750A (zh) * 2015-11-25 2016-03-30 中国科学院上海光学精密机械研究所 多普勒频移鉴频器
CN111751572A (zh) * 2020-07-02 2020-10-09 安徽大学 强本振型双光束激光多普勒测速方法及系统
CN111780721A (zh) * 2020-07-01 2020-10-16 中国科学院上海光学精密机械研究所 激光分束器栅线垂直度检测装置及检测方法
WO2021027465A1 (zh) * 2019-08-13 2021-02-18 北京航天光新科技有限公司 一种双斜射非对称车载激光测速装置

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105445750A (zh) * 2015-11-25 2016-03-30 中国科学院上海光学精密机械研究所 多普勒频移鉴频器
WO2021027465A1 (zh) * 2019-08-13 2021-02-18 北京航天光新科技有限公司 一种双斜射非对称车载激光测速装置
US11525919B2 (en) 2019-08-13 2022-12-13 Beijing Hangtianguangxin Technology Company Limited Vehicle-mounted laser velocity measurement device
CN111780721A (zh) * 2020-07-01 2020-10-16 中国科学院上海光学精密机械研究所 激光分束器栅线垂直度检测装置及检测方法
CN111751572A (zh) * 2020-07-02 2020-10-09 安徽大学 强本振型双光束激光多普勒测速方法及系统

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6633367B2 (en) Method and device for optoelectronic distance measurement
US5294806A (en) Optical submicron aerosol particle detector
WO2004090466A3 (en) Apparatus and method for measurement of fields of backscattered and forward scattered/reflected beams by an object in interferometry
US5719673A (en) Interferometer arrangement with adjustable optical path length difference for detecting a distance between different layers of an eye
JPS6162885A (ja) 距離速度計
JPH05312952A (ja) 参照光型レーザドップラ速度計
JPH116719A (ja) 干渉測定装置
JPH09297014A (ja) レーザレーダ三次元形状計測装置
JPH06186337A (ja) レーザ測距装置
JPH063128A (ja) 光学式表面形状測定装置
JP3423396B2 (ja) 速度計
JPH09281238A (ja) 速度計測装置
JP2000136960A (ja) レーザー振動計
JPH0749922B2 (ja) 光計測装置
JP7202044B1 (ja) レーザドップラ速度計
JP3491988B2 (ja) レーザードップラー速度計
JPH06294777A (ja) 超音波振動測定方法
JPH06265304A (ja) ヘテロダイン干渉計
JPH0763506A (ja) 干渉測長器
JPH10332527A (ja) 物質検知装置
JPH04323588A (ja) 参照光型レーザドップラ速度計
JP2024070314A (ja) 光コム距離計測装置及びこの光コム距離計測装置を備える位置決め装置
JP3310022B2 (ja) 表面形状測定装置
JP3282370B2 (ja) 速度計、速度検出方法及び変位情報検出装置
JPH0395906U (ja)