JPH05309513A - 刃具の刃形構造及びその加工方法 - Google Patents
刃具の刃形構造及びその加工方法Info
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- JPH05309513A JPH05309513A JP11783892A JP11783892A JPH05309513A JP H05309513 A JPH05309513 A JP H05309513A JP 11783892 A JP11783892 A JP 11783892A JP 11783892 A JP11783892 A JP 11783892A JP H05309513 A JPH05309513 A JP H05309513A
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- flat
- blade
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明に係わる刃具の刃形構造及びその加工
方法は、清浄な真空を維持するのに必要なシール面の形
成に利用する点。 【構成】 被切削材の平坦面に接触する金属製刃具の平
坦部と立上り部の間に形成する曲率部と備えた金属製刃
具の刃形を、平坦な被切削材に当接して切削することに
より鏡面部から成る凹部を形成する。これにより、従来
の加工方法より手作業が省け更に、共通した工具による
作業ができるために、品質が一定した凹部即ち鏡面によ
りシール面が構成できる。このために、生産性ならびに
信頼性に富んだ製品が得られる上に、手作業より少ない
工数によるので、コストダウンになる他、鏡面によるシ
ール面は、製品の見栄えが良く、商品価値が一段と向上
する利点がある。
方法は、清浄な真空を維持するのに必要なシール面の形
成に利用する点。 【構成】 被切削材の平坦面に接触する金属製刃具の平
坦部と立上り部の間に形成する曲率部と備えた金属製刃
具の刃形を、平坦な被切削材に当接して切削することに
より鏡面部から成る凹部を形成する。これにより、従来
の加工方法より手作業が省け更に、共通した工具による
作業ができるために、品質が一定した凹部即ち鏡面によ
りシール面が構成できる。このために、生産性ならびに
信頼性に富んだ製品が得られる上に、手作業より少ない
工数によるので、コストダウンになる他、鏡面によるシ
ール面は、製品の見栄えが良く、商品価値が一段と向上
する利点がある。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、真空機器即ち減圧機器
の分圧を一定に維持するのに利用するシール構造に好適
である。
の分圧を一定に維持するのに利用するシール構造に好適
である。
【０００２】
【従来の技術】半導体素子の製造とりわけ各種金属の成
膜に当たっては、真空蒸着法に代りスパッタリング技術
が多用されていることは、周知の事実である。このスパ
ッタリングは、真空蒸着即ち昇華に必要なエネルギーに
比べて２０倍から４０倍の高エネルギーを持っており、
成膜に応用するのに特徴となる点である。
膜に当たっては、真空蒸着法に代りスパッタリング技術
が多用されていることは、周知の事実である。このスパ
ッタリングは、真空蒸着即ち昇華に必要なエネルギーに
比べて２０倍から４０倍の高エネルギーを持っており、
成膜に応用するのに特徴となる点である。
【０００３】また、スパッタリング技術が半導体技術に
多用されるのは、ステップカバレージと呼ばれる技術的
問題にある。
多用されるのは、ステップカバレージと呼ばれる技術的
問題にある。
【０００４】超ＬＳＩなど集積度の高い素子では、層間
絶縁膜を挟んで縦横に配線を多層に形成するが、平坦な
場所ばかりでなく、段々になったところにも、切れ目な
く造らなければならない。この段差がステップであり、
これを乗り越えてミクロン単位の桁の幅とその何十分の
一の厚さの金属膜を切れ目なくつなげなければならな
い。これにスパッタ成膜が真空蒸着より勝れている。
絶縁膜を挟んで縦横に配線を多層に形成するが、平坦な
場所ばかりでなく、段々になったところにも、切れ目な
く造らなければならない。この段差がステップであり、
これを乗り越えてミクロン単位の桁の幅とその何十分の
一の厚さの金属膜を切れ目なくつなげなければならな
い。これにスパッタ成膜が真空蒸着より勝れている。
【０００５】理由は、スパッタリングにより切れ目のな
い成膜が可能な点にあり、従ってステップカバレージが
良くなり更に、表面移動（マイグレイション）が活発で
あるのに加えて、真空蒸着より高い圧力でスパッタリン
グが行われているためである。
い成膜が可能な点にあり、従ってステップカバレージが
良くなり更に、表面移動（マイグレイション）が活発で
あるのに加えて、真空蒸着より高い圧力でスパッタリン
グが行われているためである。
【０００６】このようなスパッタリング技術を利用する
平板型マグネトロンスパッタ成膜装置の出現により、大
面積のスパッタ源が作られて、一挙に応用範囲が広ま
り、半導体超ＬＳＩの成膜プロセスにも多く使われてい
る。
平板型マグネトロンスパッタ成膜装置の出現により、大
面積のスパッタ源が作られて、一挙に応用範囲が広ま
り、半導体超ＬＳＩの成膜プロセスにも多く使われてい
る。
【０００７】しかしスパッタリング技術により得られる
成膜には、プラズマ放電に用いたガスを膜中に含むのが
問題であり、このため平板型マグネトロンスパッタ成膜
装置などでは、超高真空技術を基礎とする清浄な真空を
造ることが必要となる。また平板型マグネトロンスパッ
タ成膜装置にあっては、圧力差が異なる領域を接続する
のにいわゆるシール（Ｓｅａｌ）部を設置する。
成膜には、プラズマ放電に用いたガスを膜中に含むのが
問題であり、このため平板型マグネトロンスパッタ成膜
装置などでは、超高真空技術を基礎とする清浄な真空を
造ることが必要となる。また平板型マグネトロンスパッ
タ成膜装置にあっては、圧力差が異なる領域を接続する
のにいわゆるシール（Ｓｅａｌ）部を設置する。
【０００８】清浄な真空を確保する一助として使用する
シール部は、図１に示すように通常の構造である。即
ち、平坦な金属面１に蟻溝２を形成し、その底部の平ら
な面３に載せるパッキング材料４上に金属板５を設置し
て後、図示しないボルトなどにより金属板５と平坦な金
属面１を強固に結合して一体とする方式が採られてい
る。
シール部は、図１に示すように通常の構造である。即
ち、平坦な金属面１に蟻溝２を形成し、その底部の平ら
な面３に載せるパッキング材料４上に金属板５を設置し
て後、図示しないボルトなどにより金属板５と平坦な金
属面１を強固に結合して一体とする方式が採られてい
る。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】真空を確保する部品と
して必要なシール部は、前記のように相対向して配置す
る金属面と金属板間にパッキング材料を配置して真空に
よる吸引力によりパッキング材料と、金属面部分ならび
に金属板部分間が密着して圧力が違う領域間を遮断す
る。しかし、パッキング材料に対応する金属面及び金属
板の加工は、通常の切削手段により行った後、手作業に
より仕上げるのが一般的である。
して必要なシール部は、前記のように相対向して配置す
る金属面と金属板間にパッキング材料を配置して真空に
よる吸引力によりパッキング材料と、金属面部分ならび
に金属板部分間が密着して圧力が違う領域間を遮断す
る。しかし、パッキング材料に対応する金属面及び金属
板の加工は、通常の切削手段により行った後、手作業に
より仕上げるのが一般的である。
【００１０】このように手作業を伴うために完了後の見
栄えや、バラツキ更に切削工程などにおける品質の確保
などに難点があった。
栄えや、バラツキ更に切削工程などにおける品質の確保
などに難点があった。
【００１１】本発明は、このような点から成されたもの
で、新規な刃具の刃形構造及びその加工方法を提供する
ことを目的とするものである。
で、新規な刃具の刃形構造及びその加工方法を提供する
ことを目的とするものである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】第一の発明は、被切削材
の平坦面に接触する金属製刃具の平坦部と，これからの
立上り部に形成する曲率部とに本発明に係わる金属製刃
具の刃形構造の特徴がある。
の平坦面に接触する金属製刃具の平坦部と，これからの
立上り部に形成する曲率部とに本発明に係わる金属製刃
具の刃形構造の特徴がある。
【００１３】第二の発明は、金属製刃具の平坦部と立上
り部の中間に形成する曲率部を平坦な被切削材に当接し
て切削することにより鏡面部から成る凹部を形成する工
程にその加工方法の特徴がある。
り部の中間に形成する曲率部を平坦な被切削材に当接し
て切削することにより鏡面部から成る凹部を形成する工
程にその加工方法の特徴がある。
【００１４】
【作用】本発明に係わる金属製刃具の刃形構造として平
坦部から立上がる部分に曲率部を形成して、これを平坦
な被切削材即ち金属面に当接して切削すると鏡面が形成
できる事実を基にするものである。しかもシール部に適
用するとパッキング材料間の接触面積の増大をもたらし
て、清浄な真空の形成または維持に効果が発揮できる。
坦部から立上がる部分に曲率部を形成して、これを平坦
な被切削材即ち金属面に当接して切削すると鏡面が形成
できる事実を基にするものである。しかもシール部に適
用するとパッキング材料間の接触面積の増大をもたらし
て、清浄な真空の形成または維持に効果が発揮できる。
【００１５】
【実施例】本発明に係わる一実施例を図１乃至図７を参
照して説明する。即ち、図１は、本発明に係わるエンド
ミル刃先形状即ち金属製刃具の刃形１の断面図が、図２
には、金属製刃具の刃形１と仕上げ面形状即ち鏡面部か
ら成る凹部２の形状の断面図が、図３には金属製刃具の
刃形１の刃当たり面の断面図が示されている。
照して説明する。即ち、図１は、本発明に係わるエンド
ミル刃先形状即ち金属製刃具の刃形１の断面図が、図２
には、金属製刃具の刃形１と仕上げ面形状即ち鏡面部か
ら成る凹部２の形状の断面図が、図３には金属製刃具の
刃形１の刃当たり面の断面図が示されている。
【００１６】金属製刃具の刃形１には、表面に硬化処理
を行ったものや、しないものも適用できる。これは，被
切削材３（図２参照）の材質により選択するもので、軟
らかいものには硬化処理を行わない刃形１を、硬いもの
しては硬化処理を行ったいわゆる超硬工具の刃形１を使
用する。また、被切削材としては、金属、セラミック、
プラステイックなどが対象となる。
を行ったものや、しないものも適用できる。これは，被
切削材３（図２参照）の材質により選択するもので、軟
らかいものには硬化処理を行わない刃形１を、硬いもの
しては硬化処理を行ったいわゆる超硬工具の刃形１を使
用する。また、被切削材としては、金属、セラミック、
プラステイックなどが対象となる。
【００１７】図１に明らかにするように、刃形１は、被
切削材３に接触する平坦部４、その端から立上がる立上
り部５、両部の中間に位置する曲率部６により構成す
る。曲率部６のＲは、図１にあるように１±０．５であ
る。
切削材３に接触する平坦部４、その端から立上がる立上
り部５、両部の中間に位置する曲率部６により構成す
る。曲率部６のＲは、図１にあるように１±０．５であ
る。
【００１８】図２に示した鏡面部から成る凹部２は、例
えば平板型マグネトロンスパッタ成膜装置に形成するシ
ール面として利用するものであり、凹部２の深さを０．
１ｍｍ〜０．１２ｍｍ程度であり、極めて切込み量が小
さい。しかも、刃形１の曲率部６のＲ１±０．５即ち鈍
角状が生かされて２Ｓの鏡面を持った凹部２が形成さ
れ、被切削材３のＡ部付近でのバリの発生が防止でき
る。
えば平板型マグネトロンスパッタ成膜装置に形成するシ
ール面として利用するものであり、凹部２の深さを０．
１ｍｍ〜０．１２ｍｍ程度であり、極めて切込み量が小
さい。しかも、刃形１の曲率部６のＲ１±０．５即ち鈍
角状が生かされて２Ｓの鏡面を持った凹部２が形成さ
れ、被切削材３のＡ部付近でのバリの発生が防止でき
る。
【００１９】従来の鋭角状の刃形による切削工程では、
先端が鋭角状のバリが発生して、ここに設置するパッキ
ング材料を破損して真空度の低下をもたらす事故を防止
できる。
先端が鋭角状のバリが発生して、ここに設置するパッキ
ング材料を破損して真空度の低下をもたらす事故を防止
できる。
【００２０】凹部２を利用してシール部７を形成する例
を図４と図５に明らかにした。図４は、パッキング材料
４を設置する前の状態を示しており、図５は、完成した
状態の断面図でまた、図６は蟻溝を形成した後の上面図
である。
を図４と図５に明らかにした。図４は、パッキング材料
４を設置する前の状態を示しており、図５は、完成した
状態の断面図でまた、図６は蟻溝を形成した後の上面図
である。
【００２１】図４にあるようにシール部７を形成するに
は、パッキング材料８を覆う蓋部７と、蟻溝８とで構成
し、この蓋部９と蟻溝１０に夫々凹部２を形成しまた、
蟻溝１０の上部Ｂの径が２ｍｍで底部Ｃのそれは約１．
３倍の２．６ｍｍにする。
は、パッキング材料８を覆う蓋部７と、蟻溝８とで構成
し、この蓋部９と蟻溝１０に夫々凹部２を形成しまた、
蟻溝１０の上部Ｂの径が２ｍｍで底部Ｃのそれは約１．
３倍の２．６ｍｍにする。
【００２２】図５の完成断面図に示すように蓋部９と蟻
溝１０の底部Ｃには、金属製刃具の刃形１の曲率部６に
より凹部２を設け、両者間に例えばＯリングなどのパッ
キング材料８を充填して完成し、その上面図が図６であ
る。
溝１０の底部Ｃには、金属製刃具の刃形１の曲率部６に
より凹部２を設け、両者間に例えばＯリングなどのパッ
キング材料８を充填して完成し、その上面図が図６であ
る。
【００２３】このようなシール部は、図７に明らかにし
た試験装置１２によりリークテストを行った。上面に計
器の表示面１１を備えたリークＤｅｔｅｃｔｏｒである
試験装置１２には、補助ポンプ１３が設置されており、
これに連結する筒体１４に被試験シール部７を取付け
る。これは矢印の上側に記載されており，はっきりとし
ないが、凹部２を備えたシール部７がある。シール部７
に形成した排気管１５を試験装置１２の筒体１４に連結
する。
た試験装置１２によりリークテストを行った。上面に計
器の表示面１１を備えたリークＤｅｔｅｃｔｏｒである
試験装置１２には、補助ポンプ１３が設置されており、
これに連結する筒体１４に被試験シール部７を取付け
る。これは矢印の上側に記載されており，はっきりとし
ないが、凹部２を備えたシール部７がある。シール部７
に形成した排気管１５を試験装置１２の筒体１４に連結
する。
【００２４】シール部７は、上板１６と下板１７の間に
バイトンＶ３８０のＯリング１８を挟んで取付けてか
ら、ヘリュウムボンベ１９からヘリュウムガスを吹付け
てリークテストを行った。通常の測定では、バイトンＶ
３８０のＯリング１８にシリコングリースを塗ってから
上板１６と下板１７をボルトにより締付けてから試験を
行うのに対して、本発明に係わるシール部７の試験で
は、バイトンＶ３８０のＯリング１８にシリコングリー
スを塗らず、上板１６を乗せたままで、試験を行った。
バイトンＶ３８０のＯリング１８を挟んで取付けてか
ら、ヘリュウムボンベ１９からヘリュウムガスを吹付け
てリークテストを行った。通常の測定では、バイトンＶ
３８０のＯリング１８にシリコングリースを塗ってから
上板１６と下板１７をボルトにより締付けてから試験を
行うのに対して、本発明に係わるシール部７の試験で
は、バイトンＶ３８０のＯリング１８にシリコングリー
スを塗らず、上板１６を乗せたままで、試験を行った。
【００２５】しかし、何等異常がなかったので、前記の
切削加工に欠陥がなく、従来の手作業を含む切削工程の
完成品より、凹部２に形成した鏡面とパッキング材料８
との接触面積が大きくてより完全なシール部７が形成で
きる証拠である。
切削加工に欠陥がなく、従来の手作業を含む切削工程の
完成品より、凹部２に形成した鏡面とパッキング材料８
との接触面積が大きくてより完全なシール部７が形成で
きる証拠である。
【００２６】
【発明の効果】このように本発明に係わる刃具の刃形構
造及びその加工方法は、従来の加工方法に較べて手作業
が省け更に共通した工具による作業ができるために、品
質が一定した凹部即ち鏡面によりシール面が構成できる
ので、生産性ならびに信頼性に富んだ製品が得られる。
その上手作業より少ない工数によるので、コストダウン
になる他、鏡面によるシール面は、製品の見栄えが良
く、商品価値が一段と向上する利点がある。
造及びその加工方法は、従来の加工方法に較べて手作業
が省け更に共通した工具による作業ができるために、品
質が一定した凹部即ち鏡面によりシール面が構成できる
ので、生産性ならびに信頼性に富んだ製品が得られる。
その上手作業より少ない工数によるので、コストダウン
になる他、鏡面によるシール面は、製品の見栄えが良
く、商品価値が一段と向上する利点がある。
【図１】本発明に係わる刃形の刃先形状を示す断面図で
ある。
ある。
【図２】本発明に係わる刃形による仕上げ面即ち鏡面部
から成る凹部の形状を示す断面図である。
から成る凹部の形状を示す断面図である。
【図３】本発明に係わる刃当たり面の断面図である。
【図４】本発明に係わる加工方法により形成するシール
部の要部を示す断面図である。
部の要部を示す断面図である。
【図５】本発明に係わる加工方法により形成するシール
部の完成状態を示す断面図である。
部の完成状態を示す断面図である。
【図６】本発明に係わる加工方法により形成するシール
部用として形成する凹部付近の上面図である。
部用として形成する凹部付近の上面図である。
【図７】本発明に係わる加工方法により完成したシール
部のリーク試験を行う状態を示す概略図である。
部のリーク試験を行う状態を示す概略図である。
１：刃形、 ２：凹部、 ３：被切削材、 ４：平坦部、 ５：立上り部、 ６：曲率部、 ７：シール部、 ８：パッキング材料、 ９：蓋部、 １０：蟻溝、 １１：表示面、 １２：試験装置、 １３：補助ポンプ、 １４：筒体、 １５：排気管、 １６：上板、 １７：下板、 １８：Ｏリング、 １９：ボンベ。
Claims (2)
- 【請求項１】 被切削材の平坦面に接触する金属製刃具
の平坦部と，これからの立上り部に形成する曲率部とを
具備することを特徴とする金属製刃具の刃形構造 - 【請求項２】 金属製刃具の平坦部と立上り部の中間に
形成する曲率部を平坦な被切削材に当接して切削するこ
とにより鏡面部から成る凹部を形成する工程を具備する
ことを特徴とする加工方法
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11783892A JPH05309513A (ja) | 1992-05-12 | 1992-05-12 | 刃具の刃形構造及びその加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11783892A JPH05309513A (ja) | 1992-05-12 | 1992-05-12 | 刃具の刃形構造及びその加工方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05309513A true JPH05309513A (ja) | 1993-11-22 |
Family
ID=14721514
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11783892A Pending JPH05309513A (ja) | 1992-05-12 | 1992-05-12 | 刃具の刃形構造及びその加工方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05309513A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012016772A (ja) * | 2010-07-07 | 2012-01-26 | Hitachi High-Technologies Corp | 平坦な封止面を有する封止部材及びその加工方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61152312A (ja) * | 1984-12-24 | 1986-07-11 | Mitsubishi Electric Corp | ありみぞの加工方法および構造 |
| JPH01228711A (ja) * | 1988-03-09 | 1989-09-12 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | ボールエンドミル工具 |
| JPH0230176U (ja) * | 1988-08-11 | 1990-02-26 |
-
1992
- 1992-05-12 JP JP11783892A patent/JPH05309513A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61152312A (ja) * | 1984-12-24 | 1986-07-11 | Mitsubishi Electric Corp | ありみぞの加工方法および構造 |
| JPH01228711A (ja) * | 1988-03-09 | 1989-09-12 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | ボールエンドミル工具 |
| JPH0230176U (ja) * | 1988-08-11 | 1990-02-26 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012016772A (ja) * | 2010-07-07 | 2012-01-26 | Hitachi High-Technologies Corp | 平坦な封止面を有する封止部材及びその加工方法 |
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