JPH05307811A - テープガイドドラムのリードに被膜を形成する方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 ［目的］ テープガイドドラム２６の外周面には被膜４
７を残存させることなく、しかもそのリード４０の部分
に耐摩耗性に優れた酸化珪素から成る被膜４６を形成す
ることを目的とする。 ［構成］ 回転ヘッドドラム４１と組合わせて用いられ
るテーブガイドドラム２６にＰＶＤプロセスを行ない、
被膜４６を形成する方法に係り、被膜材料として酸化珪
素を用いるようにし、テープガイドドラム２６の中心軸
線を被着源物質３７の中心部に向けて対向させてＰＶＤ
プロセスを行なわせることによって、リード４０の部分
にのみ耐摩耗性のある被膜４６を形成するようにし、ア
ニール工程の省略と外径寸法の変化とを抑えるようにし
たもである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はテープガイドドラムのリ
ードに被膜を形成する方法に係り、とくにテープ状記録
媒体の側端部を案内するために螺旋状段部から成るリー
ドをテーブガイドドラムに形成し、しかもこのリードに
耐摩耗性の被膜を形成する方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】ＶＴＲの回転ヘッドドラム装置は、図３
に示すように固定側のガイドドラム２６と回転ヘッドド
ラム４１とから構成されており、しかも回転ヘッドドラ
ム４１の下端側には外周面に臨むように磁気ヘッド４２
が取付けられている。そして軸テープ４３はテープガイ
ドドラム２６の螺旋状段部から成るリード４０によって
その側端部が案内されながらゆっくりと走行するように
なっており、このときに高速で回転される回転ヘッドド
ラム４１の磁気ヘッド４２と摺接し、斜めにトラックが
形成されてヘリカルスキャン方式の記録および／または
再生が行なわれるようになっている。

【０００３】このようにテープガイドドラム２６のリー
ド４０によって磁気テープ４３の側端部を案内するよう
にすると、リード４０の上向きの面が磁気テープ４３に
よって摩耗することになる。従ってテープガイドドラム
２６を耐摩耗性の優れた硬い材料で一体に形成すること
が考察されるが、下側のドラム２６の材料が硬いと研磨
仕上げの工数が多くなり、コストが増大する欠点があ
る。

【０００４】そこで本願発明者等は、特開昭６１−１５
８０６５号公報に開示されているように、酸化アルミニ
ウムから成る被膜を上記リード４０の表面に形成するよ
うにしており、このような被膜によって耐摩耗性を付与
するようにしている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところが酸化アルミニ
ウムによって被膜を形成する場合には、高温での処理を
行なう必要がある。すなわちＰＶＤプロセスによってリ
ードに耐摩耗性の酸化アルミニウムから成る被膜を形成
する場合には、ガイドドラムを２００〜３００℃の高温
にさらす必要がある。従って処理の前後でドラムの寸法
および形状が変化してしまい、寸法精度が極めて厳しい
ものには使用できない欠点がある。

【０００６】またこの方法では下ドラムの外周面にも被
膜が形成されるが、この部分の被膜の表面性状、すなわ
ち表面粗さ等を制御することができず、機械加工によっ
て精度よく制御された表面性状とは違ったものになって
しまい、表面性状の精度が要求されるものに対しては使
用できないという問題がある。

【０００７】本発明はこのような問題点に鑑みてなされ
たものであって、テープガイドドラムを高温にさらすこ
となく、しかもＰＶＤプロセスによってリードの部分に
耐摩耗性の被膜を効果的に形成することができるととも
に、リード以外の部分については後から被膜を除去する
ことができるようにしたテープガイドドラムのリードに
被膜を形成する方法を提供することを目的とするもので
ある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】第１の発明は、テープ状
記録媒体の側端部を案内するために螺旋状段部から成る
リードをテープガイドドラムに形成し、該リードに耐摩
耗性の被膜を形成する方法において、ＰＶＤ装置内に被
着源物質とテープガイドドラムとを配し、しかも前記テ
ープガイドドラムの軸線の延長上に前記被着源物質が位
置するようにし、前記テープガイドドラムのリードに酸
化珪素から成る被膜をＰＶＤプロセスによって形成する
ようにしたことを特徴とするテープガイドドラムのリー
ドに被膜を形成する方法に関するものである。

【０００９】また第２の発明は、上記第１の発明におい
て、複数のテープガイドドラムをそれらの軸線が仮想円
錐の母線と一致するように配するともとに、前記円錐の
頂点に前記被着源物質が配されるようになし、前記仮想
円錐の中心軸線に対して垂直な平面上の円周に沿って前
記複数のテープガイドドラムを自転させながら公転させ
るようにしたことを特徴とするテープガイドドラムのリ
ードに被膜を形成する方法に関するものである。

【００１０】また第３の発明は、上記第１の発明におい
て、予めアニール工程を行なうことなく前記ＰＶＤプロ
セスを行なうようにしたことを特徴とするテープガイド
ドラムのリードに被膜を形成する方法に関するものであ
る。

【００１１】また第４の発明は、上記第１の発明におい
て、前記テープガイドドラムのリード以外の外周面に形
成された酸化珪素から成る被膜を拭き取るかクリーニン
グすることによって除去するようにしたことを特徴とす
るテープガイドドラムのリードに被膜を形成する方法に
関するものである。

【００１２】

【作用】第１の発明によれば、ＰＶＤ装置内に配されて
いる被着源物質を用いたＰＶＤプロセスによって、テー
プガイドドラムのリードに酸化珪素から成る被膜が形成
されるようになる。

【００１３】第２の発明によれば、仮想円錐の中心線に
対して垂直な平面上の円周に沿って複数のテープガイド
ドラムが自転しながら公転するようになり、上記テープ
ガイドドラムの軸線の交点であって仮想円錐の頂点に位
置する被着源物質によって、ＰＶＤプロセスで複数のテ
ープガイドドラムのリードに被膜が一緒に形成されるよ
うになる。

【００１４】第３の発明によれば、アニール工程を行な
うことなく、いきなりＰＶＤ装置内においてテープガイ
ドドラムは、そのリードにＰＶＤプロセスによって被膜
が形成されることになる。

【００１５】第４の発明によれば、テープガイドドラム
のリード以外の外周面に形成された酸化珪素から成る被
膜が拭き取られ、あるいはまたクリーニングされること
によって除去されるようになり、リード以外の部分には
被膜が残存しなくなる。

【００１６】

【実施例】図１および図２は本発明の一実施例に係る方
法の実施に供されるＰＶＤ装置を示すものであって、こ
のＰＶＤ装置は底板１０を備えるとともに、底板１０の
上側にはベルジャ型容器１１が組合わされるようになっ
ている。これらの底板１０とベルジャ型容器１１とによ
って、真空室１２が形成されることになる。そして真空
室１２内にはその上部に公転円板１３が配されている。

【００１７】公転円板１３の外周側にはギヤ１４が形成
されており、このギヤ１４はピニオン１５と噛合ってい
る。ピニオン１５は伝動軸１６の上端に固着されるとと
もに、この伝動軸１６の下端は底板１０の外部に引出さ
れ、しかも傘歯車１７が固着されている。傘歯車１７は
傘歯車１８と噛合っている。なお傘歯車１８は駆動軸１
９先端部に固着されている。

【００１８】公転円板１３の下側にはこの円板１３に対
して垂直に８本の回転軸２２が植設されるように取付け
られている。そして回転軸２２にはそれぞれプーリ２３
が固着されるとともに、さらに回転軸２２の先端側には
傘歯車２４が固着されている。この傘歯車２４はその軸
線が傾斜する別の傘歯車２５と噛合うようになってい
る。そして傘歯車２５の支軸にはテープガイドドラム２
６が固着されるとともに、固定板２７によって固定され
ている。ここでテープガイドドラム２６はその軸線が斜
めに取付けられており、８個のテープガイドドラム２６
の軸線の延長は、このＰＶＤ装置の底部側において互い
に交差するように配されている。

【００１９】上記回転軸２２に取付けられている８個の
プーリ２３には共通のベルト２９が掛渡されている。そ
してこのベルト２９はさらに駆動プーリ３０に掛渡され
ている。駆動プーリ３０は図１に示す伝動軸３１の上端
に固着されるとともに、この伝動軸３１が底板１０を貫
通してその下側に引出されるとともに、傘歯車３２が固
着されている。そして傘歯車３２は別の傘歯車３３と噛
合っている。傘歯車３３は水平に配されている駆動軸３
４の先端部に固着されるようになっている。

【００２０】ＰＶＤ装置を構成する底板１０の上面であ
ってそのほぼ中央部にはるつぼ３６が配されている。そ
してこのるつぼ３６の凹部には被着源物質３７が収納さ
れている。上記８個のテープガイドドラム２６の軸線の
延長は、この被着源物質３７のほぼ中央部において互い
に交差するようになっており、この交差する点が仮想円
錐の頂点を構成している。また上記るつぼ３６の側部に
は電子銃３８が設けられており、上方に向けて電子ビー
ムを発射するようになっている。

【００２１】つぎに以上のような構成になる装置によっ
てテープガイドドラム２６のリード４０（図３参照）に
耐摩耗性の被膜を形成する動作について説明する。図１
に示す容器１１の内部の真空室１２内を所定の真空度、
例えば１０^-5Ｔｏｒｒ程度の真空にする。そして駆動軸
１９を図外のモータによって駆動することにより、傘歯
車１８、１７、伝動軸１６、ピニオン１５、およびギヤ
１４を介して公転円板１３を容器１１内でゆっくりと公
転させる。

【００２２】またそれぞれのテープガイドドラム２６を
ゆっくりと自転させる。この動作は図外のモータによっ
て駆動軸３４を回転させ、傘歯車３３、３２、伝動軸３
１、プーリ３０、ベルト２９を介して回転軸２２に取付
けられているプーリ２３を回転させる。それぞれのプー
リ２３の回転はさらに支軸２２、傘歯車２４、２５を介
してテープガイドドラム２６に伝達される。従ってテー
プガイドドラム２６はるつぼ３６内の被着源物質３７の
上面の中心部を頂点とする仮想円錐の母線を軸線として
回転するようになる。

【００２３】また電子銃３８によって電子ビームを上方
に向けて発射させる。そして上方に向けて発射させた電
子ビームを図外の偏向装置よって１８０°偏向させ、る
つぼ３６の被着源物質３７の中心部にほぼ真上から電子
ビームを入射させる。これによって被着源物質３７が高
温に加熱され、この被着源物質３７から酸化珪素が蒸発
する。蒸発した酸化珪素は真空室１２内に飛出し、公転
円板１３によってゆっくりと公転しながらしかも被着源
物質３７の中心部に交わる回転軸線を中心として自転す
るテープガイドドラム２６のリード４０に付着して図４
に示すように被膜４６を形成する。なおこのときに同時
にテープガイドドラム２６のリード４０以外の外周面に
も被膜４７が形成される。

【００２４】上記実施例に係る装置によるリード４０に
被膜４６を形成する方法は、特開昭６１−１５８０６０
号において用いた被膜用の材料を酸化アルミニウムから
酸化珪素に代えたことに特徴がある。従来の酸化アルミ
ニウムは被膜を作り易いが、高温での処理が必要であ
り、また円筒面に付着したときにその表面性状が比較的
良好な特徴をもっている。

【００２５】これに対して酸化アルミニウムに代えて酸
化珪素を用いると、アルミニウムから成るテープガイド
ドラム２６に対する被膜の作り易さは中程度であるが、
比較的低温での処理が可能になる。また円筒面に付着す
ると、その表面性状を悪化させる可能性があるという特
徴をもっている。

【００２６】とくに酸化珪素を被着用の材料とすること
により、１５０℃程度の低温での処理が可能なために、
ＰＶＤプロセスにおけるイオンプレーティング処理の前
後で外径形状の寸法の変化がほとんど発生しない。しか
しリード４０以外の外周面に付着した被膜４７の表面性
状がよくないために、磁気テープ４３の走行に悪影響を
及ぼし、このままでは使用できない。そこでリード４０
以外の外周面に形成されている被膜４７を除去する必要
がある。そして被膜４７を除去することによって、テー
プガイドドラム２６の機械加工によって得られた表面性
状をイオンプレーティング処理の後でもそのまま維持す
ることができるようになる。

【００２７】リード４０以外の部分の被膜４７を除去す
るために、テープガイドドラム２６の軸線をるつぼ３６
の被着源物質３７の上部に向けて取付ける。これによっ
てドラム２６のリード４０の部分にはより強固な被膜４
６が形成されるとともに、外周面には脆い被膜４７が形
成されることになる。

【００２８】また被膜４６を付着され易くするための常
套手段として用いられているアニール工程、すなわち被
膜を形成する前に真空中でテープガイドドラム２６を１
５０℃程度に加熱する工程を省略することによって、テ
ープガイドドラム２６の被膜がさらに除去され易くなっ
ている。またこのことによって、テープガイドドラム２
６は１００℃程度までしか温度が上昇しなくなり、処理
前後の外径寸法の変化が全くなくなっている。このこと
は表１に示すデータから明らかである。

【表１】 また上記ＰＶＤプロセスにおいて、被膜４６、４７を生
成する速度を従来の１秒当り１５オングストロームの生
成速度を同３０オングストローム程度に大きくするよう
にしている。このように被膜生成速度を速めることによ
って、とくにドラム２６の外周面における被膜４７の付
着力が弱くなり、テープガイドドラム２６の外周面の被
膜４７が非常に剥れ易くなっている。またこのような被
膜４７の積層構造は脆いものとなっている。

【００２９】そこでＰＶＤプロセスを終った後にガイド
ドラム２６を取外して外周面の被膜４７を除去する。こ
の被膜４７の除去は研磨剤を含んだ軟らかい布、すなわ
ちポリマールを用いて拭き取る。あるいはまた多数のと
うもろこしの皮と溶剤を混ぜたものの中で、テープ案内
ドラムを高速で回転させることによって表面をクリーニ
ングするジャイロフィニッシュの方法によって行なうこ
とが可能である。

【００３０】このような方法によって外周面の被膜４７
を除去すると、テープガイドドラム２６の外周面であっ
てテープ走行に悪影響を及ぼす円筒面に余計な被膜を付
着させることがなく、強力な耐摩耗性が要求されるリー
ド４０の部分に強固な被膜４６を残存させることが可能
になる。ここで得られる被膜４６は次表に示すように、
従来の酸化アルミニウムの被膜よりも高い摩擦係数を有
している。

【表２】 以上のように本実施例は、ガイドドラム２６の軸線をる
つぼ３６内の被着源物質３７の蒸発部に向けてドラム２
６を公転させながら自転させてそのリード４０に酸化珪
素から成る被膜を形成するようにしたものである。しか
もこのような被膜４６を形成する際に従来常套手段とし
て用いられていたアニール工程を省略し、しかも被膜生
成速度を調整することによって、外周面の被膜４７の付
着力を低下させ、ジャイロフィニッシュあるいはポリマ
ールによるクリーニングによって外周面の被膜４７を除
去するようにしたものである。

【００３１】従ってテープガイドドラム２６のリード４
０の部分の被膜４７の耐摩耗性を飛躍的に向上させるこ
とが可能になる。またテープガイドドラム２６を高温に
さらすことなく、ＰＶＤプロセスによってリード４０に
被膜４６を形成するようにしているために、処理前後の
寸法変化が全くなく、高精度が要求されるテープガイド
ドラム２６に対しても、処理の後に仕上げの切削加工を
行なう必要がなくなる。またテープガイドドラム２６の
リード４０の部分だけに被膜４６を残し、他の部分の被
膜４７を除去することによって、外周面の被膜４７がテ
ープ走行に悪影響を及ぼすことがなくなる。また前工程
として用いられるアニール工程を省略できるために、コ
ストダウンにつながることになる。

【００３２】

【発明の効果】第１の発明は、ＰＶＤ装置内に被着源物
質とテープガイドドラムとを配し、しかもテープガイド
ドラムの軸線の延長上に被着源物質が位置するように
し、テープガイドドラムのリードに酸化珪素から成る被
膜をＰＶＤプロセスによって形成するようにしたもので
ある。

【００３３】従って被着源物質から蒸発した酸化珪素に
よって、テープガイドドラムのリードに被膜を形成する
ことが可能になるとともに、テープガイドドラムの外周
面に形成される酸化珪素被膜が脆くなり、後から容易に
除去できるようになる。

【００３４】第２の発明は、複数のテープガイドドラム
をそれらの軸線が仮想円錐の母線と一致するように配す
るとともに、上記仮想円錐の頂点に被着源物質が配され
るようにし、テープガイドドラムを自転させながら公転
させてそのリードに被膜を形成するようにしたものであ
る。

【００３５】従ってテープガイドドラムのリードの部分
にまんべんなくしかも強固な酸化珪素から成る被膜を形
成できるようになる。

【００３６】第３の発明は、予めアニール工程を行なう
ことなく上記ＰＶＤプロセスを行なうようにしたもので
ある。

【００３７】従ってアニール工程による外径寸法の変化
の発生をなくすことが可能になる。またこのようなアニ
ール工程を省略することによって、プロセスのコストの
低減を図ることが可能になる。

【００３８】第４の発明は、テープガイドドラムのリー
ド以外の外周面に形成された酸化珪素から成る被膜を拭
き取るかクリーニングすることによって除去するように
したものである。従って外周面には酸化珪素から成る被
膜が残存することがなく、機械加工によって得られた表
面性状を維持することが可能になり、外周面の被膜によ
るテープ走行への悪影響を防止できるようになる。

【図面の簡単な説明】

【図１】ＰＶＤプロセスのための装置の縦断面図であ
る。

【図２】図１におけるＩＩ〜ＩＩ線断面図である。

【図３】回転ヘッドドラムと組合わされたテープガイド
ドラムの外観斜視図である。

【図４】テープガイドドラムの要部断面図である。

【図５】外周面の被膜を除去したテープガイドドラムの
要部断面図である。

【符号の説明】

１０ 底板 １１ ベルジャ型容器 １２ 真空室 １３ 公転円板 １４ ギヤ １５ ピニオン １６ 伝動軸 １７、１８ 傘歯車 １９ 駆動軸 ２２ 回転軸 ２３ プーリ ２４、２５ 傘歯車 ２６ テープガイドドラム ２７ 固定板 ２９ ベルト ３０ 駆動プーリ ３１ 伝動軸 ３２、３３ 傘歯車 ３４ 駆動軸 ３６ るつぼ ３７ 被着源物質 ３８ 電子銃 ４０ リード ４１ 回転ヘッドドラム ４２ 磁気ヘッド ４３ 磁気テープ ４６、４７ 被膜

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 テープ状記録媒体の側端部を案内するた
   めの螺旋状段部から成るリードをテープガイドドラムに
   形成し、該リードに耐摩耗性の被膜を形成する方法にお
   いて、 ＰＶＤ装置内に被着源物質とテープガイドドラムとを配
   し、しかも前記テープガイドドラムの軸線の延長上に前
   記被着源物質が位置するようにし、 前記テープガイドドラムのリードに酸化珪素から成る被
   膜をＰＶＤプロセスによって形成するようにしたことを
   特徴とするテープガイドドラムのリードに被膜を形成す
   る方法。
2. 【請求項２】 複数のテープガイドドラムをそれらの軸
   線が仮想円錐の母線と一致するように配するともとに、
   前記円錐の頂点に前記被着源物質が配されるようにな
   し、 前記仮想円錐の中心軸線に対して垂直な平面上の円周に
   沿って前記複数のテープガイドドラムを自転させながら
   公転させるようにしたことを特徴とする請求項１に記載
   のテープガイドドラムのリードに被膜を形成する方法。
3. 【請求項３】 予めアニール工程を行なうことなく前記
   ＰＶＤプロセスを行なうようにしたことを特徴とする請
   求項１に記載のテープガイドドラムのリードに被膜を形
   成する方法。
4. 【請求項４】 前記テープガイドドラムのリード以外の
   外周面に形成された酸化珪素から成る被膜を拭き取るか
   クリーニングすることによって除去するようにしたこと
   を特徴とする請求項１に記載のテープガイドドラムのリ
   ードに被膜を形成する方法。