JPH05295532A - スパッタ装置 - Google Patents
スパッタ装置Info
- Publication number
- JPH05295532A JPH05295532A JP12282392A JP12282392A JPH05295532A JP H05295532 A JPH05295532 A JP H05295532A JP 12282392 A JP12282392 A JP 12282392A JP 12282392 A JP12282392 A JP 12282392A JP H05295532 A JPH05295532 A JP H05295532A
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- JP
- Japan
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- tray
- chamber
- arm
- sputtering
- robot
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Abstract
(57)【要約】
【目的】ＬＣＤ、ＬＤ等の素地基板ヘのスパッタリング
に際し、スパッタ範囲以外の成膜を極少にし、均一な膜
厚を得、自動化を容易にする。 【構成】トレー受取部１、第１準備室２、スパッタ室
３、第２準備室４、トレー排出部５を直線上に配列し、
それぞれゲート弁Ｇ1 、Ｇ2 、Ｇ3 、Ｇ4 を介して順に
連接し、これらの各室に端部がトレーＴの裏側軸部に着
脱可能でかつ水平移動可能なロボットアーム８1 ８2 を
配設し、隣接するロボットアーム８1 ，８2を互いにト
レーの受渡し可能な位置とし、スパッタ室３内をトレー
Ｔの移動通路を形成した遮蔽板で区画し、該区画内をロ
ボットアーム８1 ，８2 の作動域とした。
に際し、スパッタ範囲以外の成膜を極少にし、均一な膜
厚を得、自動化を容易にする。 【構成】トレー受取部１、第１準備室２、スパッタ室
３、第２準備室４、トレー排出部５を直線上に配列し、
それぞれゲート弁Ｇ1 、Ｇ2 、Ｇ3 、Ｇ4 を介して順に
連接し、これらの各室に端部がトレーＴの裏側軸部に着
脱可能でかつ水平移動可能なロボットアーム８1 ８2 を
配設し、隣接するロボットアーム８1 ，８2を互いにト
レーの受渡し可能な位置とし、スパッタ室３内をトレー
Ｔの移動通路を形成した遮蔽板で区画し、該区画内をロ
ボットアーム８1 ，８2 の作動域とした。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＬＣＤ、ＬＤ、電子部
品等のスパッタ蒸着を行うスパッタ装置に関するもので
ある。
品等のスパッタ蒸着を行うスパッタ装置に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】従来、ＬＣＤ、ＬＤ、電子部品等のスパ
ッタ装置としては、素地基板をセットしたトレーをスパ
ッタ室内に導入し、搬送ローラー等で搬送、通過させる
通過型とターンテーブルを利用した回転型のものが使用
されていた。しかしながら、何れも導入あるいは搬送時
のトレーの摩擦により発塵し、また素地基板への成膜以
外に、搬送用の搬送ローラー、搬送ガイド、ブラケット
等の構造物にも成膜され、これらのスパッタ成膜が摩擦
衝撃により剥がれて、いわゆるスパッタ塵としてスパッ
タ室内に舞い上り、製品に悪影響を与え生産性の低下に
もつながっていた。
ッタ装置としては、素地基板をセットしたトレーをスパ
ッタ室内に導入し、搬送ローラー等で搬送、通過させる
通過型とターンテーブルを利用した回転型のものが使用
されていた。しかしながら、何れも導入あるいは搬送時
のトレーの摩擦により発塵し、また素地基板への成膜以
外に、搬送用の搬送ローラー、搬送ガイド、ブラケット
等の構造物にも成膜され、これらのスパッタ成膜が摩擦
衝撃により剥がれて、いわゆるスパッタ塵としてスパッ
タ室内に舞い上り、製品に悪影響を与え生産性の低下に
もつながっていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、スパッタ範
囲以外の成膜を極少にし、トレー搬送時の摩擦部分も少
なく、発塵を抑えて均一な膜厚を得、自動化を容易にす
ることができる生産性の優れたスパッタ装置を提供する
ことを目的とするものである。
囲以外の成膜を極少にし、トレー搬送時の摩擦部分も少
なく、発塵を抑えて均一な膜厚を得、自動化を容易にす
ることができる生産性の優れたスパッタ装置を提供する
ことを目的とするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、トレー受取
部、第１準備室、スパッタ室、第２準備室、トレー排出
部を直線上に配列してそれぞれゲート弁を介して連接
し、先端にトレー着脱部を有し、平面移動可能なアーム
を備えた搬送ロボットを前記各室の外側に複数台配設す
るとともに、隣接した各ロボットのアームの先端部がト
レーの受渡し可能な位置に伸長するようにアームを各室
内に嵌挿し、さらに前記スパッタ室内を前記トレーの移
動通路を形成した遮蔽板で区画し、該区画内を前記ロボ
ットアームの作動域としたことを特徴とするスパッタ装
置である。
部、第１準備室、スパッタ室、第２準備室、トレー排出
部を直線上に配列してそれぞれゲート弁を介して連接
し、先端にトレー着脱部を有し、平面移動可能なアーム
を備えた搬送ロボットを前記各室の外側に複数台配設す
るとともに、隣接した各ロボットのアームの先端部がト
レーの受渡し可能な位置に伸長するようにアームを各室
内に嵌挿し、さらに前記スパッタ室内を前記トレーの移
動通路を形成した遮蔽板で区画し、該区画内を前記ロボ
ットアームの作動域としたことを特徴とするスパッタ装
置である。
【０００５】
【作用】第１準備室の入口側のゲート弁を開いて（出口
側ゲート弁は閉）第１準備室のロボットアームを伸長さ
せ、アーム端部でトレー受取部に運ばれてきた素地基板
がセットされたトレーの裏側の軸部を把持し、アームを
後退させてトレーを第１準備室内に移動し、入口側のゲ
ート弁を閉じて素地基板の加熱を行う。素地基板の加熱
後は、第１準備室の出口側ゲート弁を開き（入口側ゲー
ト弁は閉）、第１準備室のロボットアームをスパッタ室
内に伸長させてスパッタ室のロボットアームにトレーを
移し変えた後後退させ、第１準備室の出口側ゲート弁を
閉じる。
側ゲート弁は閉）第１準備室のロボットアームを伸長さ
せ、アーム端部でトレー受取部に運ばれてきた素地基板
がセットされたトレーの裏側の軸部を把持し、アームを
後退させてトレーを第１準備室内に移動し、入口側のゲ
ート弁を閉じて素地基板の加熱を行う。素地基板の加熱
後は、第１準備室の出口側ゲート弁を開き（入口側ゲー
ト弁は閉）、第１準備室のロボットアームをスパッタ室
内に伸長させてスパッタ室のロボットアームにトレーを
移し変えた後後退させ、第１準備室の出口側ゲート弁を
閉じる。
【０００６】スパッタ室ではスパッタリングによってト
レーにセットされた素地基板表面に成膜を行うが、成膜
の際には、遮蔽板と遮蔽板に形成された移動通路を閉鎖
するトレーとにより、スパッタ部の圧力変動を防止し、
またロボットアーム等はほとんど遮蔽されて成膜される
ことがなく、また摩擦部分が少ないために発塵も少な
い。
レーにセットされた素地基板表面に成膜を行うが、成膜
の際には、遮蔽板と遮蔽板に形成された移動通路を閉鎖
するトレーとにより、スパッタ部の圧力変動を防止し、
またロボットアーム等はほとんど遮蔽されて成膜される
ことがなく、また摩擦部分が少ないために発塵も少な
い。
【０００７】素地基板の成膜後は、スパッタ室の出口側
ゲート弁を開き、第２準備室のロボットアームをスパッ
タ室に伸長させ、スパッタ室のロボットアームとでトレ
ーを移し換え、トレーを第２準備室内に移動し、スパッ
タ室の出口側ゲート弁を閉じる。次に、第２準備室の出
口側ゲート弁を開いてロボットアームでトレーをトレー
排出部へ移動してトレー搬送装置に移載した後、ロボッ
トアームを後退させて出口側ゲート弁を閉じる。
ゲート弁を開き、第２準備室のロボットアームをスパッ
タ室に伸長させ、スパッタ室のロボットアームとでトレ
ーを移し換え、トレーを第２準備室内に移動し、スパッ
タ室の出口側ゲート弁を閉じる。次に、第２準備室の出
口側ゲート弁を開いてロボットアームでトレーをトレー
排出部へ移動してトレー搬送装置に移載した後、ロボッ
トアームを後退させて出口側ゲート弁を閉じる。
【０００８】
【実施例】本発明の一実施例を図１を参照して説明する
と、素地基板をセットしたトレーＴが搬入されるトレー
受取部１にゲート弁Ｇ1 を介して加熱装置（図示せず）
を備えた第１準備室２が連なり、第１準備室２の反対側
はゲート弁Ｇ2 を介して素地基板表面に成膜されるター
ゲット物質６を中央に設けたスパッタ室３に連なり、ス
パッタ室３の反対側はゲート弁Ｇ3 を介して第２準備室
４に連なり、さらに第２準備室４の反対側はゲート弁Ｇ
4 を介してトレー排出部５に連なり、これらは直線上に
配列されている。これらの第１準備室２、スパッタ室
３、第２準備室４の各外側には、適宜台数の搬送ロボッ
ト７1 〜７5 が配設され、各ロボット７1 〜７5 のアー
ム８1 ，８2 はそれぞれの室内に嵌挿され、各アーム端
部でトレーＴの搬送および受渡しを行う。
と、素地基板をセットしたトレーＴが搬入されるトレー
受取部１にゲート弁Ｇ1 を介して加熱装置（図示せず）
を備えた第１準備室２が連なり、第１準備室２の反対側
はゲート弁Ｇ2 を介して素地基板表面に成膜されるター
ゲット物質６を中央に設けたスパッタ室３に連なり、ス
パッタ室３の反対側はゲート弁Ｇ3 を介して第２準備室
４に連なり、さらに第２準備室４の反対側はゲート弁Ｇ
4 を介してトレー排出部５に連なり、これらは直線上に
配列されている。これらの第１準備室２、スパッタ室
３、第２準備室４の各外側には、適宜台数の搬送ロボッ
ト７1 〜７5 が配設され、各ロボット７1 〜７5 のアー
ム８1 ，８2 はそれぞれの室内に嵌挿され、各アーム端
部でトレーＴの搬送および受渡しを行う。
【０００９】各搬送ロボット７1 〜７5 におけるトレー
受渡し機構につき説明する。各搬送ロボット７1 〜７5
としては、それぞれ、ファーストアーム８1 とセカンド
アーム８2 とを有し、セカンドアーム８2 を支軸のまわ
りに角度θだけ回転（揺動）させるとファーストアーム
８1 は、逆向きに２θ回転し、その結果ファーストアー
ム８1 はセカンドアーム８2 と対称に折れてＶ字形を形
成し、ファーストアーム８1 先端の出力軸は、セカンド
アーム８2 の回転（揺動）により一つの直線上を往復
し、かつファーストアーム８1 の先端の出力軸は空間に
対する自転は行わないようなロボットが選ばれる。
受渡し機構につき説明する。各搬送ロボット７1 〜７5
としては、それぞれ、ファーストアーム８1 とセカンド
アーム８2 とを有し、セカンドアーム８2 を支軸のまわ
りに角度θだけ回転（揺動）させるとファーストアーム
８1 は、逆向きに２θ回転し、その結果ファーストアー
ム８1 はセカンドアーム８2 と対称に折れてＶ字形を形
成し、ファーストアーム８1 先端の出力軸は、セカンド
アーム８2 の回転（揺動）により一つの直線上を往復
し、かつファーストアーム８1 の先端の出力軸は空間に
対する自転は行わないようなロボットが選ばれる。
【００１０】図２は一部断面平面図、図３はそのＡ−Ａ
線断面図であり、搬送ロボット７1から搬送ロボット７
2 へトレーＴを受渡すところを示したものである。トレ
ーＴ（他のトレーも同じ構造）は裏面中央に正方形断面
の軸９が固定され、軸端部９1 と、この軸端部９1 から
軸方向に隔たった位置にある軸中部９2 とを、隣り合う
搬送ロボットのチャックがかわるがわる把持してトレー
Ｔの受渡しを行う。各搬送ロボットは交互に異なるチャ
ックを備えている。即ち、搬送ロボット７1 のファース
トアーム８1 の出力軸３１には図４に示す如く１組の上
下開閉挟持片３５，３６により軸９の軸端部９1 を垂直
方向に挟むようにした垂直開閉チャック３７が設けら
れ、隣接する搬送ロボット７2 のファーストアーム８1
の出力軸３１には図５に示す如く１組の揺動開閉レバー
３２，３３により軸９の軸中部９2 を水平方向に挟むよ
うにした揺動開閉チャック３４が設けられている。３８
は出力軸３１に固定されたブラケット、３９は揺動開閉
レバー３２，３３の揺動開閉機構、４０は出力軸３１に
固定された、上下開閉挟持片３５，３６の上下開閉機構
である。
線断面図であり、搬送ロボット７1から搬送ロボット７
2 へトレーＴを受渡すところを示したものである。トレ
ーＴ（他のトレーも同じ構造）は裏面中央に正方形断面
の軸９が固定され、軸端部９1 と、この軸端部９1 から
軸方向に隔たった位置にある軸中部９2 とを、隣り合う
搬送ロボットのチャックがかわるがわる把持してトレー
Ｔの受渡しを行う。各搬送ロボットは交互に異なるチャ
ックを備えている。即ち、搬送ロボット７1 のファース
トアーム８1 の出力軸３１には図４に示す如く１組の上
下開閉挟持片３５，３６により軸９の軸端部９1 を垂直
方向に挟むようにした垂直開閉チャック３７が設けら
れ、隣接する搬送ロボット７2 のファーストアーム８1
の出力軸３１には図５に示す如く１組の揺動開閉レバー
３２，３３により軸９の軸中部９2 を水平方向に挟むよ
うにした揺動開閉チャック３４が設けられている。３８
は出力軸３１に固定されたブラケット、３９は揺動開閉
レバー３２，３３の揺動開閉機構、４０は出力軸３１に
固定された、上下開閉挟持片３５，３６の上下開閉機構
である。
【００１１】図２，３の状態で、搬送ロボット７1 の垂
直開閉チャック３７に軸端部９1 を把持されているトレ
ーＴは、隣接の搬送ロボット７2 の揺動開閉チャック３
４に軸端部９2 を把持され、搬送ロボット７2 に移し換
えられる。なお、揺動開閉チャック３４は図５の如く、
揺動開閉レバー３２，３３を軸９の下面より下の鎖線に
示す位置まで開くようになっており、軸９が干渉するこ
となくトレーＴは自由に水平に移動ができる。トレーＴ
が円形であり、作業中などに回転する必要がある場合に
は、出力軸３１と上下開閉機構４０との間にそれぞれ、
電気或いは流体圧などにより駆動され、外部より操作が
可能な回転装置を介在せしめればよい。なお、搬送ロボ
ット間のトレーの受渡しの際に、ファーストアーム８1
とセカンドアーム８2 とは必ずしもＶ字形に折れる必要
はなく、両アームが延びたときに受渡しを行うように、
各アームの長さを、搬送ロボット間の距離の１／４に選
ぶようにしてもよい。
直開閉チャック３７に軸端部９1 を把持されているトレ
ーＴは、隣接の搬送ロボット７2 の揺動開閉チャック３
４に軸端部９2 を把持され、搬送ロボット７2 に移し換
えられる。なお、揺動開閉チャック３４は図５の如く、
揺動開閉レバー３２，３３を軸９の下面より下の鎖線に
示す位置まで開くようになっており、軸９が干渉するこ
となくトレーＴは自由に水平に移動ができる。トレーＴ
が円形であり、作業中などに回転する必要がある場合に
は、出力軸３１と上下開閉機構４０との間にそれぞれ、
電気或いは流体圧などにより駆動され、外部より操作が
可能な回転装置を介在せしめればよい。なお、搬送ロボ
ット間のトレーの受渡しの際に、ファーストアーム８1
とセカンドアーム８2 とは必ずしもＶ字形に折れる必要
はなく、両アームが延びたときに受渡しを行うように、
各アームの長さを、搬送ロボット間の距離の１／４に選
ぶようにしてもよい。
【００１２】さらに、第１準備室２および第２準備室４
の搬送ロボット７1 ，７5 のファーストアーム８1 はそ
れぞれトレー受取部１とスパッタ室３およびトレー排出
部５とスパッタ室３にまで伸長可能としてある。スパッ
タ室３の外側に配設される搬送ロボットは、スパッタ室
３の長さによって１台あるいは複数台とし、図示例では
３台のロボット７2 ，７3 ，７4 が配設されており、各
ロボット７2 ，７3 ，７4 は、ファーストおよびセカン
ドアーム８1 ，８2 が互いに重合した位置、すなわち、
３個のトレーＴが互いに隣接状態でスパッタ室３のスパ
ッタ位置に対向して並列する間隔で配備されている。ロ
ボット７1 とロボット７2 とのトレーＴの受渡しはスパ
ッタ室３内で、またロボット７4 とロボット７5 とのト
レーＴの受渡しはスパッタ室３内で夫々行なわれる。ま
た、スパッタ室３内には、トレーＴの軸９が移動する移
動通路１０を形成した遮蔽板１１が設けられてスパッタ
室とロボットアーム作動域とに区画されている（図２、
３参照）。
の搬送ロボット７1 ，７5 のファーストアーム８1 はそ
れぞれトレー受取部１とスパッタ室３およびトレー排出
部５とスパッタ室３にまで伸長可能としてある。スパッ
タ室３の外側に配設される搬送ロボットは、スパッタ室
３の長さによって１台あるいは複数台とし、図示例では
３台のロボット７2 ，７3 ，７4 が配設されており、各
ロボット７2 ，７3 ，７4 は、ファーストおよびセカン
ドアーム８1 ，８2 が互いに重合した位置、すなわち、
３個のトレーＴが互いに隣接状態でスパッタ室３のスパ
ッタ位置に対向して並列する間隔で配備されている。ロ
ボット７1 とロボット７2 とのトレーＴの受渡しはスパ
ッタ室３内で、またロボット７4 とロボット７5 とのト
レーＴの受渡しはスパッタ室３内で夫々行なわれる。ま
た、スパッタ室３内には、トレーＴの軸９が移動する移
動通路１０を形成した遮蔽板１１が設けられてスパッタ
室とロボットアーム作動域とに区画されている（図２、
３参照）。
【００１３】本実施例において、トレー受取部１に搬送
コンベアにより垂直状態で運ばれて来た素地基板をセッ
トしたトレーＴの裏面側突出軸９は、ゲート弁Ｇ1 を開
いて第１準備室２内のロボット７1 のセカンドアーム８
2 の回動に伴って伸長されたファーストアーム８1 の端
部の垂直開閉チャック３７で把持され、その後退によっ
てトレーＴが第１準備室２内に移動してゲート弁Ｇ1 を
閉じる。第１準備室２において素地基板が十分に加熱さ
れ、加熱後はゲート弁Ｇ2 を開き、ファーストアーム８
1 をスパッタ室３内に伸長させてトレーＴを移動し、一
方、スパッタ室３内のロボット７2 のファーストアーム
８1 を伸長させてトレーを移し変え、第１準備室２内の
ロボット７1 のファーストアーム８1 を後退させてゲー
ト弁Ｇ2を閉じる。スパッタ室３内に移動したトレーＴ
は、加熱された素地基板の温度を確認後、トレーＴを把
持したロボット７2 のファーストアーム８1 の反対側へ
の伸長により、ロボット７3 のファーストアーム８1 に
トレーＴを移し変え、ここで成膜する物質の特徴に成膜
スピードを合わせるようにロボット７3 のスピードを制
御しつつスパッタリングを行い、素地基板表面にターゲ
ット物質６の成膜を行い、基板成膜後は、ロボット７4
のファーストアーム８1 を伸長させて、ロボット７3 の
ファーストアーム８1 からトレーＴを移し変える。
コンベアにより垂直状態で運ばれて来た素地基板をセッ
トしたトレーＴの裏面側突出軸９は、ゲート弁Ｇ1 を開
いて第１準備室２内のロボット７1 のセカンドアーム８
2 の回動に伴って伸長されたファーストアーム８1 の端
部の垂直開閉チャック３７で把持され、その後退によっ
てトレーＴが第１準備室２内に移動してゲート弁Ｇ1 を
閉じる。第１準備室２において素地基板が十分に加熱さ
れ、加熱後はゲート弁Ｇ2 を開き、ファーストアーム８
1 をスパッタ室３内に伸長させてトレーＴを移動し、一
方、スパッタ室３内のロボット７2 のファーストアーム
８1 を伸長させてトレーを移し変え、第１準備室２内の
ロボット７1 のファーストアーム８1 を後退させてゲー
ト弁Ｇ2を閉じる。スパッタ室３内に移動したトレーＴ
は、加熱された素地基板の温度を確認後、トレーＴを把
持したロボット７2 のファーストアーム８1 の反対側へ
の伸長により、ロボット７3 のファーストアーム８1 に
トレーＴを移し変え、ここで成膜する物質の特徴に成膜
スピードを合わせるようにロボット７3 のスピードを制
御しつつスパッタリングを行い、素地基板表面にターゲ
ット物質６の成膜を行い、基板成膜後は、ロボット７4
のファーストアーム８1 を伸長させて、ロボット７3 の
ファーストアーム８1 からトレーＴを移し変える。
【００１４】なお、スパッタリング中は、スパッタ室３
内の遮蔽板１１によってファーストアーム８1 、セカン
ドアーム８2 等のロボットアーム作動域は遮蔽されてお
り、また遮蔽板１１の移動通路１０はトレーＴによって
遮蔽されているため、スパッタ範囲以外の成膜が極少化
されるが、スパッタリング中のトレーＴの両側の移動通
路１０の隙間によって、微妙にスパッタ部の圧力変動が
生じ、膜物性に影響を及ぼす。そのため、図１のよう
に、スパッタリング中のトレーＴの両側にトレーＴを隣
接保持することができるように搬送ロボット７2 ，
７3 ，７4 を配設し、移動通路１０を３つのトレーＴで
遮蔽できるようにすることが望ましい。
内の遮蔽板１１によってファーストアーム８1 、セカン
ドアーム８2 等のロボットアーム作動域は遮蔽されてお
り、また遮蔽板１１の移動通路１０はトレーＴによって
遮蔽されているため、スパッタ範囲以外の成膜が極少化
されるが、スパッタリング中のトレーＴの両側の移動通
路１０の隙間によって、微妙にスパッタ部の圧力変動が
生じ、膜物性に影響を及ぼす。そのため、図１のよう
に、スパッタリング中のトレーＴの両側にトレーＴを隣
接保持することができるように搬送ロボット７2 ，
７3 ，７4 を配設し、移動通路１０を３つのトレーＴで
遮蔽できるようにすることが望ましい。
【００１５】かくして、ロボット７4 のファーストアー
ム８1 の反対側への伸長によりトレーＴをスパッタ室３
内出口側に移動し、次にゲート弁Ｇ3 を開いて第２準備
室４内のロボット７5 のファーストアーム８1 をスパッ
タ室３内に伸長させてトレーＴを移し変え、トレーＴを
第２準備室４内に移動し、ゲート弁Ｇ3 を閉じる。その
後、ゲート弁Ｇ4 を開いてファーストアーム８1 をトレ
ー排出部５にまで伸長させ、トレーＴを排出後、ファー
ストアーム８1 を後退させてゲート弁Ｇ4 を閉じる。基
板成膜後は、ロボット７4 のファーストアーム８1 を伸
長させて、ロボット７3 のファーストアーム８1 からト
レーＴを移し変え、反対側への伸長によりトレーＴをス
パッタ室３内出口側に移動する。次にゲート弁Ｇ3 を開
いて第２準備室４内のロボット７5 のファーストアーム
８1 をスパッタ室３内に伸長させてトレーＴを移し変
え、トレーＴを第２準備室４内に移動し、ゲート弁Ｇ3
を閉じる。その後、ゲート弁Ｇ4 を開いてロボット７5
のファーストアーム８1 をトレー排出部５にまで伸長さ
せ、トレーＴを搬送コンベア上に排出後、ロボット７5
のファーストアーム８1 を後退させてゲート弁Ｇ4 を閉
じる。
ム８1 の反対側への伸長によりトレーＴをスパッタ室３
内出口側に移動し、次にゲート弁Ｇ3 を開いて第２準備
室４内のロボット７5 のファーストアーム８1 をスパッ
タ室３内に伸長させてトレーＴを移し変え、トレーＴを
第２準備室４内に移動し、ゲート弁Ｇ3 を閉じる。その
後、ゲート弁Ｇ4 を開いてファーストアーム８1 をトレ
ー排出部５にまで伸長させ、トレーＴを排出後、ファー
ストアーム８1 を後退させてゲート弁Ｇ4 を閉じる。基
板成膜後は、ロボット７4 のファーストアーム８1 を伸
長させて、ロボット７3 のファーストアーム８1 からト
レーＴを移し変え、反対側への伸長によりトレーＴをス
パッタ室３内出口側に移動する。次にゲート弁Ｇ3 を開
いて第２準備室４内のロボット７5 のファーストアーム
８1 をスパッタ室３内に伸長させてトレーＴを移し変
え、トレーＴを第２準備室４内に移動し、ゲート弁Ｇ3
を閉じる。その後、ゲート弁Ｇ4 を開いてロボット７5
のファーストアーム８1 をトレー排出部５にまで伸長さ
せ、トレーＴを搬送コンベア上に排出後、ロボット７5
のファーストアーム８1 を後退させてゲート弁Ｇ4 を閉
じる。
【００１６】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、搬
送ロボットを使用してトレーの安定搬送を行い、ロボッ
トアームも遮蔽区画内を作動域としたからスパッタ範囲
以外の成膜を極少にし、しかも機械的摩擦部分も少な
く、発塵を抑えて均一な膜厚をうることができ、さらに
全自動化も容易にし、生産性を向上させることができ、
また、成膜する物質の特徴に合わせて成膜スピードも合
わせることが可能であるため、多品種生産にも適応させ
ることができる。
送ロボットを使用してトレーの安定搬送を行い、ロボッ
トアームも遮蔽区画内を作動域としたからスパッタ範囲
以外の成膜を極少にし、しかも機械的摩擦部分も少な
く、発塵を抑えて均一な膜厚をうることができ、さらに
全自動化も容易にし、生産性を向上させることができ、
また、成膜する物質の特徴に合わせて成膜スピードも合
わせることが可能であるため、多品種生産にも適応させ
ることができる。
【図１】本発明の一実施例の側面を示す説明図。
【図２】本発明の一実施例の一部断面平面図。
【図３】図２のＡ−Ａ線断面図。
【図４】図３のＢ−Ｂ線断面図。
【図５】図３のＣ−Ｃ線断面図。
１ トレー受取部 ２ 第１準備室 ３ スパッタ室 ４ 第２準備室 ５ トレー排出部 ６ ターゲット物質 ７1 搬送ロボット ８1 ファーストアーム ８2 セカンドアーム ９ 軸 ９1 軸端部 ９2 軸中部 10 移動通路 11 遮蔽板 Ｇ1 ゲート弁 Ｇ2 ゲート弁 Ｇ3 ゲート弁 Ｇ4 ゲート弁 ３１ 出力軸 ３１1 出力軸 ３２ 揺動開閉レバー ３３ 揺動開閉レバー ３４ 揺動開閉チャック ３５ 上下開閉挟持片 ３６ 上下開閉挟持片 ３７ 垂直開閉チャック
Claims (2)
- 【請求項１】 トレー受取部、第１準備室、スパッタ
室、第２準備室、トレー排出部を直線上に配列してそれ
ぞれゲート弁を介して連接し、先端にトレー着脱部を有
し、平面移動可能なアームを備えた搬送ロボットを前記
各室の外側に複数台配設するとともに、隣接した各ロボ
ットのアームの先端部がトレーの受渡し可能な位置に伸
長するようにアームを各室内に嵌挿し、さらに前記スパ
ッタ室内を前記トレーの移動通路を形成した遮蔽板で区
画し、該区画内を前記ロボットアームの作動域としたこ
とを特徴とするスパッタ装置。 - 【請求項２】 前記搬送ロボットはファーストアームと
セカンドアームを備え、これらアームは互いに回動して
伸縮自在とした請求項１記載のスパッタ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12282392A JP3330631B2 (ja) | 1992-04-17 | 1992-04-17 | スパッタ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12282392A JP3330631B2 (ja) | 1992-04-17 | 1992-04-17 | スパッタ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05295532A true JPH05295532A (ja) | 1993-11-09 |
| JP3330631B2 JP3330631B2 (ja) | 2002-09-30 |
Family
ID=14845522
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12282392A Expired - Fee Related JP3330631B2 (ja) | 1992-04-17 | 1992-04-17 | スパッタ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3330631B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004099947A (ja) * | 2002-09-06 | 2004-04-02 | Shincron:Kk | 薄膜形成装置 |
| JP2004099948A (ja) * | 2002-09-06 | 2004-04-02 | Shincron:Kk | 薄膜形成装置 |
-
1992
- 1992-04-17 JP JP12282392A patent/JP3330631B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004099947A (ja) * | 2002-09-06 | 2004-04-02 | Shincron:Kk | 薄膜形成装置 |
| JP2004099948A (ja) * | 2002-09-06 | 2004-04-02 | Shincron:Kk | 薄膜形成装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3330631B2 (ja) | 2002-09-30 |
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