JPH05288533A - 表面うねり検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 任意の被検査試料表面の微小なうねりの欠陥
の検出を実用レベルで可能とする表面うねり検査装置を
得る。 【構成】 パターンジェネレータの発生する表示パター
ンをパターン表示素子に表示してそれをパターン化光源
として使用し、また偏差演算回路と標準データ発生回
路、パターン幅一致判定回路と比較データ回路、あるい
は座標変換回路と角度検出回路によってパターンジェネ
レータをフィードバック制御し、また表示パターン強度
をアナログ的に規則正しく変化させて、撮像データとの
差分をもとに異常検出を行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、ガラス、金属シート
材、塗装表面等に発生する欠陥のうち、プロフィール変
化の緩やかなうねり状の欠陥を検出する表面うねり検査
装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図１１は、例えば平成３年特許願第１７
５１４０号に添付した明細書および図面に示された、従
来の表面うねり検査装置を示す構成図である。図におい
て、１は所定の光源パターンを発生させるパターン化光
源であり、２はうねり状の欠陥が検査される被検査試料
である。３はこの被検査試料２を間にして前記パターン
化光源１に対向配置され、ピンホールを内蔵して主光線
のみを選択的に結像利用するカメラである。

【０００３】次に動作について説明する。パターン化光
源１とピンホールを内蔵したカメラ３は被検査試料２を
間にして対向し、カメラ３の焦点位置は被検査試料２を
経由してパターン化光源１に合わせる。この時カメラ３
の撮像に寄与する光はピンホールによって主光線（prin
cipal ray ）のみに選択され、パターン化光源１の発生
する光源パターンの像を形成する。このような主光線の
みによる撮像系においては、結像に寄与する光は対象物
体と像面を結びピンホール上で交差する直線光のみとな
る。かかる状態における光学条件は、カメラ３からパタ
ーン化光源１に至る細い直線状のビームのふるまいを考
えればよく、被検査試料２上にうねりのような微小凹凸
が発生すると、凹凸に伴う試料表面のわずかな傾斜を光
ビームが光梃子効果によって増幅し、最終的に撮像した
光源パターンにゆがみを発生させる。したがってこのよ
うな規則性のあるパターンからの変化を検出することに
よって被検査試料２の表面うねりの検査が可能となる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】従来のうねり検査装置
は以上のように構成されているので、検査能力はパター
ン化光源１の光源パターンの形状に依存するものである
が、この光源パターンは実験の繰り返しの結果として最
適なものが決定されるため、検査装置のハードウェアの
標準化およびそれに伴う低価格化を進めることが困難で
あり、また検査原理は平面を想定しているため例えば自
動車，家電製品等のデザイン性のある三次元表面を検査
対象とすると、正常表面に対して撮像パターンのゆがみ
が当初から発生し、うねり検出が不可能となるばかり
か、実際のうねり欠陥検出において限度見本に対する最
適なパターンピッチの決定を行う方式が決められておら
ず、いつまでも試行錯誤を繰り返す必要があって装置準
備効率が非常に悪く、また被検査試料表面に例えば圧
延，研削，切削等の加工痕跡が残っている場合、光源パ
ターンの設定方向によっては撮像パターンのビジビリテ
ィが極端に低下して検査が不可能となることもあり、さ
らには検出すべきうねり欠陥が極端に小さくなった場
合、光源パターンのピッチを一定以上小さくすると電子
モアレ現象が発生し検査が不可能となる可能性があるな
どの問題点があった。

【０００５】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、任意対象表面の微小なうねりの
検査を実用レベルで可能とする表面うねり検査装置を得
ることを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明に
係る表面うねり検査装置は、パターン光源となるパター
ン表示素子に表示する表示パターンを発生させるパター
ンジェネレータと、その表示パターンのパターン表示素
子を駆動するドライバと、このドライバとカメラの走査
との同期をとるための同期信号発生装置を備えたもので
ある。

【０００７】また、請求項２に記載の発明に係る表面う
ねり検査装置は、パターンジェネレータに縞状の表示パ
ターンを発生させ、カメラからの画像データの縞数を計
数し、設定された縞パターンの幅データとの偏差を演算
する偏差演算回路、および偏差演算回路からの縞数の計
数値に対応する縞パターンの幅データを、偏差演算回路
にフィードバックする標準データ発生回路を設け、偏差
演算回路からの偏差が零となるようにパターンジェネレ
ータの発生する表示パターンを変更するものである。

【０００８】また、請求項３に記載の発明に係る表面う
ねり検査装置は、パターンジェネレータに縞状の表示パ
ターンを発生させ、その表示パターンに対応したパター
ン幅データを生成する比較データ回路、およびカメラか
らの画像データの縞パターン幅データと比較データ回路
からのパターン幅データとの一致比較を行うパターン幅
一致判定回路を設け、パターン幅一致判定回路の判定結
果が不一致を示すまでパターンジェネレータの発生する
表示パターンの縞数を増加させて縞ピッチを縮小するよ
うに変更するものである。

【０００９】また、請求項４に記載の発明に係る表面う
ねり検査装置は、パターンジェネレータにまず放射状の
パターンを発生させ、カメラからの画像データを画像中
心から極座標展開する座標変換回路、および座標変換回
路からの極座標データが最高振幅を示す角度を検出する
角度検出回路を設け、角度検出回路によって検出された
極座標データが最高振幅を示す角度方向に平行な格子縞
状の表示パターンをパターンジェネレータにその後発生
させるものである。

【００１０】また、請求項５に記載の発明に係る表面う
ねり検査装置は、パターンジェネレータにアナログ的に
規則正しい強度変化を示す表示パターンを発生させ、カ
メラからの画像データとパターンジェネレータの出力波
形との差分を演算して異常の検出を行うアナログ差分回
路を設けたものである。

【００１１】

【作用】請求項１に記載の発明におけるパターン表示素
子は、パターンジェネレータの発生する表示パターンに
応じて、任意の最適な光源パターンを発生させることに
より、光源ハードウェアの標準化が可能な表面うねり検
査装置を実現する。

【００１２】また、請求項２に記載の発明におけるパタ
ーンジェネレータは、偏差演算回路が演算した、標準デ
ータ発生回路からの縞パターンの幅データとの偏差が零
となるように、発生する表示パターンを変更することに
より、三次元形状の影響の除去を可能とする。

【００１３】また、請求項３に記載の発明におけるパタ
ーンジェネレータは、パターン幅一致判定回路にて行わ
れる、比較データ回路からのパターン幅データとカメラ
からの画像データの縞パターン幅データとの一致比較の
結果が不一致を示すまで、発生する表示パターンの縞数
と縞ピッチを縮小するように変更することにより、限度
欠陥に対する最適格子条件の決定を可能にする。

【００１４】また、請求項４に記載の発明におけるパタ
ーンジェネレータは、まず放射状のパターンを発生し、
その後、角度検出回路が検出した、座標変換回路にて極
座標展開された極座標データが最高振幅を示す角度方向
に平行な格子縞状の表示パターンを発生することによ
り、任意の加工痕跡を持つ表面に対する表示パターンの
最適な格子方向の決定を可能とする。

【００１５】また、請求項５に記載の発明におけるアナ
ログ差分回路は、パターンジェネレータの発生するアナ
ログ的に規則正しい強度変化を示す表示パターンと、そ
れを撮影したカメラからの画像データとの差分を演算し
て異常の検出を行うことにより、極端に小さなうねりの
検出を可能とする。

【００１６】

【実施例】

実施例１．以下、この発明の実施例１を図について説明
する。図１は請求項１に記載の発明の一実施例による表
面うねり検査装置を示す構成図であり、図において、
２，３は図１１に同一符号を付したものと同一の被検査
試料およびカメラである。また、１ａは図１１に示した
パターン化光源１として使用されるパターン表示素子で
あり、４はこのパターン表示素子１ａの駆動を行うドラ
イバである。５はパターン表示素子１ａに表示する表示
パターンを発生してドライバ４に供給するパターンジェ
ネレータであり、６はドライバ４と前記カメラ３の走査
との同期をとるための同期信号発生回路である。

【００１７】次に動作について説明する。パターン表示
素子１ａとカメラ３は被検査試料２を間にして対向し、
カメラ３の焦点位置は被検査試料２を経由してパターン
表示素子１ａに合わせる。このとき、カメラ３の撮像に
寄与する光は光軸上に設置されたピンホールによって、
主光線のみが選択され、パターン表示素子１ａの発生す
る光源パターンの像を形成する。ここで、パターンジェ
ネレータ５が例えば規則正しい格子状の空間パターン信
号を発生すると、ドライバ４を経由してパターン表示素
子１ａに格子縞が発生する。またドライバ４とカメラ３
は同期信号発生回路６によって強制同期がとられている
ことから、カメラ３はパターン表示素子１ａ上の格子縞
を安定して撮像することが可能である。かかる状態にお
ける光学条件は、図１１に示した従来の表面うねり検査
装置による、表面プロフィールが緩やかなうねり状欠陥
の検出の基本原理と同一となる。すなわち、主光線のみ
を選択した撮像系として、結像に寄与する光を対象物体
と像面を結びピンホール上で交差する直線光のみに限定
し、光梃子効果を光源パターンのゆがみとして撮像可能
となる。しかも、パターン表示素子１ａの発生する光源
パターンの形状はパターンジェネレータ５によって任意
に発生可能であり、表面うねり検査装置のハードウェア
としての標準化が可能となる。また、上記のパターン表
示素子１ａとしては通常のＣＲＴ，液晶表示パネル，液
晶プロジェクタ，ＴＶモニタ，ＬＥＤ表示パネル等、市
販の汎用表示素子がすべて利用可能であり、これら表示
素子の種類の変更あるいはこれに伴うドライブ方式の変
更等の各種の検査装置実施形態は、本発明に係る特許請
求の範囲を越えるものではない。

【００１８】実施例２．次に、この発明の実施例２を図
について説明する。図２は三次元形状物体の表面うねり
検査が可能な、請求項２に記載の発明の一実施例による
表面うねり検査装置を示す構成図で、図１と同一の部分
には同一符号を付してその説明を省略する。図におい
て、２ａは三次元形状を持つ被検査試料であり、１０は
カメラ３から取り込んだ最終画像データから、当該被検
査試料２ａのうねり欠陥の抽出を行う信号処理回路であ
る。１１はカメラ３か取り込まれた画像データの縞数を
計数出力するとともに、設定された縞パターン幅データ
との偏差を演算出力する偏差演算回路であり、１２はこ
の偏差演算回路１１から出力される計数値に基づいて対
応する縞パターン幅データを生成し、それを偏差演算回
路１１にフィードバックする標準データ発生回路であ
る。また、５ａは縞状の表示パターンを発生するととも
に、偏差演算回路１１の出力する偏差が零となるように
発生する表示パターンを変更する機能を有する点で、図
１に符号５を付したものとは異なるパターンジェネレー
タである。

【００１９】次に動作について説明する。ここで、図３
はカメラ３で撮像された初期画像、図４はフィードバッ
ク修正された最終画像の一例を示す説明図である。図１
に示した実施例１の表面うねり検査装置においては、被
検査試料が平坦であることを前提として、撮像パターン
に不規則性が認められればうねりによるものと特定し
た。しかしながら、デザイン性が重要な車，家電製品等
の表面はこのような平坦な部分は少なく、図２に示すよ
うに、被検査試料２ａは正常表面が既に凹凸を伴った三
次元形状表面となっている。このような表面に対してパ
ターン表示素子に等ピッチの格子を描いて主光線を利用
したうねり検査を作用させると、図３に例示したよう
に、格子像が当初から不規則に観測され、微妙なうねり
の検出が困難となる。従って、まず正規の三次元形状の
みで微小うねり欠陥が存在していない試料を用意し、偏
差演算回路１１はカメラ３からの信号を受けて画像内の
縞数を計数し、計数結果を標準データ発生回路１２に出
力する。標準データ発生回路１２では偏差演算回路１１
からの縞数計数結果から、その縞数に対応する標準の縞
パターン幅データを偏差演算回路１１にフィードバック
する。偏差演算回路１１ではこの標準の縞パターン幅デ
ータとカメラ３から入力する撮像縞データとのパターン
幅データとの偏差を演算し、その偏差情報をパターンジ
ェネレータ５ａに出力する。パターンジェネレータ５ａ
は偏差演算回路１１からの偏差情報に基づいて、この偏
差が零となるように表示パターンのピッチ，縞幅等をフ
ィードバック制御する。実験的な機能検証においてはフ
ィードバック修正が３〜４回かかった後のカメラ３によ
る撮像パターンは図４の如く等ピッチ，等縞幅のものが
得られる。その後、試料を実際の検査対象のものに交換
することによって、信号処理回路１０は三次元形状に依
存せずにうねりのみの検出が可能となる。

【００２０】実施例３．次に、この発明の実施例３を図
について説明する。図５は限度欠陥サンプルに対して最
適な光源パターンを持たせた表面うねり検査装置に関す
る、請求項３に記載の発明の一実施例を示す構成図で、
図１および２と同一の部分には同一符号を付している。
図において、１４はカメラ３からの信号を受け取って画
像内の縞パターン幅データと設定された縞パターン幅デ
ータとの一致比較を行い、その結果を出力するパターン
幅一致判定回路であり、１５は後述するパターンジェネ
レータ５ｂの発生している表示パターンに対応したパタ
ーン幅データを生成してパターン幅一致判定回路１４に
出力する比較データ回路である。また、５ｂはパターン
幅一致判定回路１４の判定結果が不一致を示すまで、発
生する表示パターンの縞数の増加と縞ピッチの縮小を行
うべく前記表示パターンを変更する機能を有している点
で、図１あるいは図２に符号５，５ａを付したものとは
異なるパターンジェネレータである。

【００２１】次に動作について説明する。主光線による
光梃子効果を利用した表面うねり検査装置においては、
被検査試料２を介して、一方にパターン化光源としての
パターン表示素子１ａ、他方に主光線のみを選択的に結
像利用するカメラ３を配置し、このカメラ３によって撮
像された格子パターンのゆがみから、うねりを検出す
る。この時の格子パターンの縞数，ピッチ等の条件は、
どの程度のうねりを検出するかという検出能力に直結し
ており、実用的には与えられた試料表面状態と限度欠陥
サンプルに対して格子条件を定める必要がある。ここで
は、まず適当な格子条件で限度欠陥サンプルをカメラ３
によって主光線像を撮像する。この時のそのカメラ３か
らの信号はパターン幅一致判定回路１４に入力される。
一方、パターンジェネレータ５ｂからは現在表示中の格
子条件が比較データ回路１５に出力され、比較データ回
路１５は表示パターンに対応した比較データをパターン
幅一致判定回路１４に入力する。その結果、パターン幅
一致判定回路１４においてパターンデータと比較用のデ
ータが比較される。この時に両者のパターンが一致して
いれば限度うねり欠陥は検出できないことになり、一致
信号がパターンジェネレータ５ｂに送られる。パターン
ジェネレータ５ｂでは、この一致信号を基に表示格子条
件を縞数の増加、縞ピッチの縮小方向に変更する。この
ようなフィードバック制御がパターン幅一致判定回路１
４が不一致信号を出力するまで続けられ、限度欠陥サン
プルに対する最終的な表示格子条件が決定する。最終的
な表示格子条件が決定した後は、その格子条件を固定し
て信号処理回路１０によって検査が可能となる。なお、
最初の設定パターンにおいてパターン幅一致判定回路１
４が不一致信号を出している時は一旦、格子条件を縞数
の減少、縞ピッチの拡大方向に変更する方向にフィード
バック制御をかけることはいうまでもなく、格子条件と
これに対するフィードバックのかけかたの方向性、すな
わち格子条件の組合せ方の差異による各種の検査装置実
施形態は、本発明に係る特許請求の範囲を越えるもので
はない。

【００２２】実施例４．次に、この発明の実施例４を図
について説明する。図６はその表面に、例えば圧延，研
削，切削などの加工痕跡が残っている被検査試料に対し
て、格子パターンの展開方向を自動的に最適な方向に決
定する機能を持った、請求項４に記載の発明の一実施例
による表面うねり検査装置を示す構成図であり、図５と
同一部分には同一符号を付している。図において、１７
はカメラ３から取り込まれた画像データを画像中心から
極座標展開する座標変換回路であり１８はこの座標変換
回路１７から出力される極座標データが最高振幅を示す
角度を検出する角度検出回路である。５ｃは最初に放射
状の表示パターンを発生した後、前記角度検出回路１８
によって検出された極座標データが最高振幅を示す角度
方向に平行な格子縞状の表示パターンを発生する機能を
有する点で、図１，図２あるいは図５に符号５，５ａ，
５ｂを付したものとは異なるパターンジェネレータであ
る。

【００２３】次に動作について説明する。ここで、図７
は格子パターンの展開方向を自動決定するためにパター
ンジェネレータ５ｃによってパターン表示素子１ａに表
示される放射パターンを示す説明図であり、図８はこの
放射パターンの極座標展開結果を示す説明図である。主
光線による光梃子効果を利用した表面うねり検査装置に
おいては、被検査試料２を介して、一方にパターン化光
源としてのパターン表示素子１ａ、他方に主光線のみを
選択的に結像利用するカメラ３を配置し、このカメラ３
によって撮像された格子パターンのゆがみから、うねり
を検出する。一方、被検査試料２の表面に加工痕跡が残
っている場合、加工痕跡とパターンの方向によっては撮
像パターンのビジビリティが低下して検査が困難になる
ことがある。このために図６に示した実施例４の装置で
は、パターンジェネレータ５ｃが、まず図７に示すよう
な放射状のパターンを発生し、それを表示したパターン
表示素子１ａの主光線像をカメラ３によって被検査試料
２を介して撮像する。この時にカメラ３から取り込まれ
た画像データは座標変換回路１７によって画像中心から
極座標展開し、図８に示すようなデータとして角度検出
回路１８に入力する。角度検出回路１８は図８に示すデ
ータから最高振幅を示す角度がθ₂ ，θ₆ であることを
検出し、その角度データθ₂ ，θ₆ をパターンジェネレ
ータ５ｃに出力する。パターンジェネレータ５ｃはこの
角度データθ₂ ，θ₆ に基づいて被検査試料２に対する
撮像パターンのビジビリティが最大になる角度に展開し
た格子を表示すべく出力を制御する。その結果、安定し
た撮像パターンを得ることが可能となり、信号処理回路
１０によってうねりが検出される。なお、最終的に展開
した格子パターンの標準データを参照用に信号処理回路
１０に入力することによって、信号処理回路１０の処理
が容易になることは予測ができるが、この場合の装置構
成は図２，図５に示す実施例２，３と当該実施例４を合
わせたものであり、その実施形態の組合せ方の差異によ
る各種検査装置の実施形態は、本発明に係る特許請求の
範囲を越えるものではない。

【００２４】実施例５．次に、この発明の実施例５を図
について説明する。図９は格子パターンに埋もれてしま
うような極端に小さなうねり欠陥を検出する、請求項５
に記載の発明の一実施例による表面うねり検査装置を示
す構成図で、図６と同一の部分には同一符号を付してい
る。図において、５ｄはアナログ的に規則正しい強度変
化を示す表示パターンを発生させる点で、図１，図２，
図５あるいは図６に符号５，５ａ〜５ｃを付したものと
は異なるパターンジェネレータである。また、２０はカ
メラ３から取り込まれた画像データとこのパターンジェ
ネレータ５ｄの出力波形との差分を演算して異常を検出
するアナログ差分回路である。

【００２５】次に動作について説明する。ここで、図１
０は各部の出力電圧を示す波形図であり、同図（ａ）は
パターンジェネレータ５ｄの出力波形、同図（ｂ）はカ
メラ３の出力波形、同図（ｃ）はアナログ差分回路の出
力波形をそれぞれ示している。主光線による光梃子効果
を利用した表面うねり検査装置においては、被検査試料
２を介して、一方にパターン化光源としてのパターン表
示素子１ａ、他方に主光線のみを選択的に結像利用する
カメラ３を配置し、このカメラ３によって撮像された格
子パターンのゆがみから、うねりを検出する。一方、検
出したいうねり欠陥が極端に小さくなってくると、うね
りによる変化がパターン中に埋もれてしまい、パターン
形状に変化が発生しなくなる。このために図９に示した
実施例５の装置においては、まずパターンジェネレータ
５ｄが、図１０（ａ）に示すようなアナログ的に規則正
しい強度変化を示す表示パターンを発生し、それをパタ
ーン表示素子１ａに表示する。それによる光源パターン
の主光線像を撮像したカメラ３の出力は、被検査試料２
の表面にうねり欠陥が無い場合には図１０（ａ）に示す
ものと同じ波形を示すが、もし被検査試料２の表面にう
ねり欠陥が発生した場合にはそれに対応して、図１０
（ｂ）に示すように微妙な波形ひずみを示すことが実験
的にも確認されている。したがって、アナログ差分回路
２０によってアナログパターンジェネレータ５ｄと、カ
メラ３の出力電圧の差分を取ることにより図１０（ｃ）
に示すようにアナログ的な変化量として微小うねりが検
出可能となる。なお、図１０（ｃ）に示されるようなア
ナログ差分回路２０の出力の変化から、その異常を検出
する信号処理は既存技術の範囲内で実現可能であり、こ
の信号処理の工夫による各種の検査装置実施形態は、本
発明に係る特許請求の範囲を越えるものではない。

【００２６】

【発明の効果】以上のように、請求項１に記載の発明に
よれば、パターンジェネレータの発生する表示パターン
をパターン表示素子に表示し、それをパターン化光源と
するように構成したので、主光線像の撮像による微小う
ねり検査装置の光源ハードウェアの標準化、およびそれ
に伴う低価格化が推進可能な表面うねり検査装置を得る
ことができる。

【００２７】また、請求項２に記載の発明によれば、偏
差演算回路と標準データ発生回路とによってパターンジ
ェネレータにフィードバック制御をかけるように構成し
たので、三次元形状を有する被検査試料表面のうねり欠
陥の検出も可能な表面うねり検査装置を得ることができ
る。

【００２８】また、請求項３に記載の発明によれば、パ
ターン幅一致判定回路と比較データ回路とによってパタ
ーンジェネレータにフィードバック制御をかけるように
構成したので、限度欠陥に対する最適格子条件の決定が
可能な表面うねり検査装置を得ることができる。

【００２９】また、請求項４に記載の発明によれば、ま
ず放射パターンを投影し、座標変換回路と角度検出回路
とによってパターンジェネレータにフィードバック制御
をかけるように構成したので、加工痕跡を持つ被検査試
料に対して格子パターンを最適方向に自動設定可能な表
面うねり検査装置を得ることができる。

【００３０】また、請求項５に記載の発明によれば、表
示パターン強度をアナログ的に規則正しく変化させ、撮
像データとの差分をもとに異常検出を行うように構成し
たので、極端に小さなうねりも検出可能な表面うねり検
査装置を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施例１による表面うねり検査装置
を示す構成図である。

【図２】この発明の実施例２による表面うねり検査装置
を示す構成図である。

【図３】上記実施例にてカメラで撮像された初期画像を
示す説明図である。

【図４】上記実施例にてフィードバック修正された最終
画像を示す説明図である。

【図５】この発明の実施例３による表面うねり検査装置
を示す構成図である。

【図６】この発明の実施例４による表面うねり検査装置
を示す構成図である。

【図７】上記実施例における表示放射パターンを示す説
明図である。

【図８】上記放射パターンの極座標展開結果を示す説明
図である。

【図９】この発明の実施例５による表面うねり検査装置
を示す構成図である。

【図１０】上記実施例における各部の動作電圧を示す波
形図である。

【図１１】従来のうねり検査装置を示す構成図である。

【符号の説明】

１ａ パターン表示素子 ２，２ａ 被検査試料 ３ カメラ ４ ドライバ ５，５ａ〜５ｄ パターンジェネレータ ６ 同期信号発生回路 １１ 偏差演算回路 １２ 標準データ発生回路 １４ パターン幅一致判定回路 １５ 比較データ回路 １７ 座標変換回路 １８ 角度検出回路 ２０ アナログ差分回路

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被検査試料を間にして、一方にパターン
   化光源、他方に前記被検査試料を介して前記パターン化
   光源に焦点を合わせた、主光線のみを選択的に結像利用
   するカメラを配置した表面うねり検査装置において、前
   記パターン化光源として使用されるパターン表示素子
   と、前記パターン表示素子に表示する表示パターンを発
   生するパターンジェネレータと、前記パターンジェネレ
   ータが発生した表示パターンの前記パターン表示素子へ
   の表示を駆動するドライバと、前記ドライバと前記カメ
   ラの走査との同期をとるための同期信号発生回路とを備
   えたことを特徴とする表面うねり検査装置。
2. 【請求項２】 前記カメラから取り込まれた画像データ
   の縞数を計数するとともに、設定された縞パターン幅デ
   ータとの偏差を演算する偏差演算回路と、前記偏差演算
   回路から出力される前記縞数の計数値に対応する前記縞
   パターン幅データを生成し、それを前記偏差演算回路に
   フィードバックする標準データ発生回路とを設け、前記
   パターンジェネレータに、縞状の表示パターンを発生す
   るとともに、前記偏差演算回路の出力する偏差が零とな
   るように発生する前記表示パターンを変更する機能を持
   たせたことを特徴とする請求項１に記載の表面うねり検
   査装置。
3. 【請求項３】 前記カメラから取り込まれた画像データ
   の縞パターン幅データと設定されたパターン幅データと
   の一致比較を行うパターン幅一致判定回路と、前記パタ
   ーンジェネレータの発生している表示パターンに対応し
   たパターン幅データを生成して前記パターン幅一致判定
   回路に出力する比較データ回路とを設け、前記パターン
   ジェネレータに、縞状の表示パターンを発生するととも
   に、前記パターン幅一致判定回路の判定結果が不一致を
   示すまで、発生する前記表示パターンを、その縞数の増
   加と縞ピッチの縮小を行うように変更する機能を持たせ
   たことを特徴とする請求項１に記載の表面うねり検査装
   置。
4. 【請求項４】 前記カメラから取り込まれた画像データ
   を画像中心から極座標展開する座標変換回路と、前記座
   標変換回路から出力される極座標データが最高振幅を示
   す角度を検出する角度検出回路とを設け、前記パターン
   ジェネレータに、最初に放射状の表示パターンを発生し
   た後、前記角度検出回路によって検出された前記極座標
   データが最高振幅を示す角度方向に平行な格子縞状の表
   示パターンを発生する機能を持たせたことを特徴とする
   請求項１に記載の表面うねり検査装置。
5. 【請求項５】 前記パターンジェネレータにアナログ的
   に規則正しい強度変化を示す表示パターンを発生させ、
   前記カメラから取り込まれた画像データと前記パターン
   ジェネレータの出力波形との差分を演算してサブフリン
   ジ領域に発生する異常を検出するアナログ差分回路を設
   けたことを特徴とする請求項１に記載の表面うねり検査
   装置。