JPH05280903A - 検査装置 - Google Patents

検査装置

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JPH05280903A
JPH05280903A JP18362491A JP18362491A JPH05280903A JP H05280903 A JPH05280903 A JP H05280903A JP 18362491 A JP18362491 A JP 18362491A JP 18362491 A JP18362491 A JP 18362491A JP H05280903 A JPH05280903 A JP H05280903A
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ccd camera
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金次郎 高山
Hisashi Suwa
寿志 諏訪
Teruyasu Sakurai
輝泰 桜井
Tadao Yamada
忠雄 山田
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TAIYO DENSAN KK
Sony Corp
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TAIYO DENSAN KK
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 パーツカセットなどの被検査部材の寸法精度
を正確に測定することができ、例えば部品装着機の良品
稼動率を向上することのできる検査装置を提供する。 【構成】 パーツカセット21のスプロケットホイール
26の爪26aをCCDカメラ7で撮像し、CRT28
に映し出された爪26aの像がCRT28の中心にくる
ようにCCDカメラ7をマイクメータ10,11で移動
させて、その移動量を読み取ることによりパーツカセッ
ト21の寸法精度を測定する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば部品装着機に電
子部品を供給するパーツカセットなどの被検査部材の寸
法精度を測定する検査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、家庭用電気機器、自動車の電装部
品、自動制御機器などの電子機器は益々小型化され、こ
れらに用いられる電子部品も数百ミクロンと小さくなっ
てきている。このため部品装着機への部品供給には益々
精度が要求されている。この部品供給には通常、部品が
一定の間隔で保持されたテープを吸着ノズルの下部にく
り出すテープカセットが用いられている。ここで微細な
部品を吸着ノズルで吸着するためには、テープ上の部品
供給位置が正確に吸着ノズルの真下になるようにしなけ
ればならない。従って部品装着機にパーツカセットを取
付け位置決めする基準ピンと、部品供給位置となるテー
プ駆動用のスプロケットホイールとの間の長さは正確に
一定でなければならない。
【0003】このパーツカセットの精度を測定する場
合、従来は基準台上に2本の基準ピンを設け、この基準
ピンにマスターゲージの所定の位置に形成された孔を挿
入し、基準台上に設けられたカメラの光軸をマスターゲ
ージに形成された基準点に一致させて位置決め固定す
る。そしてマスターゲージを測定すべきパーツカセット
と置き換えて、パーツカセットのスプロケットホイール
の爪の中心のずれを測定していた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記のよ
うな従来のパーツカセットの検査装置によると、マスタ
ーゲージとパーツカセットを置き換えなければならず、
取付具合などの変化により正確な測定を行なうことが困
難であり、検査の信頼性が低いという問題があった。ま
た基準ピンから部品供給位置であるホイール爪までの距
離が長いため、測定精度が低く、吸着ミスが発生したと
きの原因を判断することが困難であった。っしかも部品
が保持されたテープが静止した状態でしか測定できず、
動的寸法は測定できなかった。
【0005】本発明は、このような状況に鑑みてなされ
たもので、パーツカセットなどの被検査部材の寸法精度
を正確に測定することができ、例えば部品装着機の良品
稼動率を向上することのできる検査装置を提供すること
を目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明の検査装置は、支
持手段に位置決めして支持された被検査部材の所定の部
分を撮像するカメラと、カメラが撮像した画像を表示す
る表示手段と、カメラの直交する3方向の移動を案内す
る案内手段と、カメラの移動量を計測する計測手段とを
設けたことを特徴とする。
【0007】
【作用】上記構成の検査装置においては、支持手段を移
動して案内手段と平行とした後、被検査部材を支持手段
上の所定の位置に載置し、被検査部材の基準点をカメラ
によって撮像する。そして表示手段に表示された前記基
準点が表示手段の中心に位置するようにカメラを案内手
段に沿って移動し、この移動量を計測手段によって計測
することによって、被検査部材の寸法精度を測定するこ
とができる。
【0008】
【実施例】以下、本発明の検査装置の一実施例を図面を
参照して説明する。
【0009】図1乃至図5に本発明の一実施例の構成を
示す。本実施例では部品装着機に設けられたパーツカセ
ットの寸法精度及び吸着ノズルの振れなどを測定する検
査機を示す。図1乃至図3において、ほぼ矩形状の定盤
1の一方の辺に平行にX軸リニアウェイ2が設けられて
おり、X軸リニアウェイ2にはXステージ3が移動可能
に装着されている。Xステージ3にはX軸リニアウェイ
2に対して直角の方向にY軸リニアウェイ4が設けられ
ており、Y軸リニアウェイ4にはYステージ5が移動可
能に装着されている。さらにYステージ5には垂直方向
にZ軸リニアウェイ6が設けられており、Z軸リニアウ
ェイ6にはCCDカメラ7が昇降可能に取り付けられて
いる。X軸リニアウェイ2及びZ軸リニアウェイ6に沿
ってそれぞれ計測手段であるスケール8,9が設けられ
ており、Xステージ3及びYステージ5にはそれぞれマ
イクロメータ10,11が取り付けられている。
【0010】CCDカメラ7の下端には同心上に鏡筒1
2が取り付けられており、鏡筒12の下端にはレンズ1
3及び照明灯14が設けられている。またCCDカメラ
7の上端には図示しない表示手段であるCRTに接続さ
れるケーブル15が取り付けられている。
【0011】一方、定盤1上にはX軸リニアウェイ2に
平行に基準台リニアウェイ16が設けられており、基準
台リニアウェイ16には基準台17がX軸方向に平行に
移動可能に取り付けられている。基準台17は下側から
平行調整器18、垂直取付基準台19及び水平取付基準
台20が順次積層されてなっている。そして水平取付基
準台20上には図4に示すパーツカセット21を位置決
めして取付けるための1対の基準筒22,23が設けら
れている。基準筒22,23の位置はパーツカセット2
1の下面に設けられた1対の基準ピン24,25に整合
する位置になっている。またパーツカセット21の先端
には図示しない部品が保持されたテープを一定のピッチ
で送給するスプロケットホイール26が設けられてお
り、スプロケットホイール26は基準台17に設けられ
たテープ送り装置27によって回転駆動される。
【0012】次に本実施例の作用を説明する。まず基準
台17を基準台リニアウェイ16に対して平行になるよ
うに調整する。この調整は基準台17をリニアウェイ1
6に沿って移動し、CCDカメラ7の下に位置させ、平
行調整器18によって傾きを変えて基準台17の基準面
のフォーカスを合わせることにより行なう。この調整は
別に用意されたZ軸垂直調整治具により確認される。
【0013】次に基準台17上に正しい寸法のパーツカ
セット21を基準ピン24,25をそれぞれ基準台20
の基準筒22,23に嵌合することによって位置決め固
定する。そしてCCDカメラをXY方向に移動し、パー
ツカセット21のスプロケットホイール26の爪26a
の画像が、図5に示すように表示手段であるCRT28
の中心にくるように調整する。同時にCCDカメラ7を
Z軸方向に移動してピント合わせを行なう。この状態で
別のパーツカセット21を同様に基準台20上に位置決
め固定し、同様にCRT28上に爪26aの画像を表示
する。そしてマイクロメータ10,11を回して爪26
aの画像がCRT28の中心にくるように調整する。こ
のときのマイクロメータ10,11の移動量が爪26a
の正しい位置からの変位となり、パーツカセット21の
寸法精度を測定することができる。
【0014】本実施例によれば、パーツカセット21の
部品供給位置となるスプロケットホイール26の爪26
aの位置精度を、CCDカメラ7を移動させその移動量
をマイクロメータ10,11によって読み取るので、パ
ーツカセット21の寸法精度を作業性よく正確に測定す
ることができる。またカメラ7をZ軸方向に移動させて
爪26aの位置に合焦させ、その変位をスケール9で読
み取ることにより、Z軸方向の変位を測定することもで
きる。さらにテープ送り装置27によりテープを移動さ
せることにより、スプロケットホイール26の動的位置
精度も測定できる。このときはビデオプリンタなどを用
いて観察測定する。
【0015】上記実施例ではパーツカセット21の検査
について説明したが、図1に示すように定盤1のCCD
カメラ7の下部の位置に孔部29を形成し、孔部29に
図6,7に示す回転台30を嵌合固定し、回転台30に
吸着ノズル31を取り付けて回転させ、CCDカメラ7
により観察することにより、吸着ノズル31の振れの検
査を行なうこともできる。このとき回転台30に直径3
mm乃至10mmのシャンク径のノズルを、1mmおき
に取付け可能なチャックを介して装着することにより、
多種類の吸着ノズル31の検査を行なうこともできる。
さらにノズルに限らず円筒状または円柱状の部材の振れ
の測定も可能である。
【0016】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の検査装置
によれば、カメラが撮像した被検査部材の所定の部分の
像が表示手段の中心にくるようにカメラを移動し、その
移動量を計測手段で計測して被検査部材の寸法精度を測
定するようにしたので、被検査部材の寸法精度を正確に
測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の検査装置の一実施例の構成を示す平面
図である。
【図2】図1の正面図である。
【図3】図1の側面図である。
【図4】本実施例の被検査部材の一例のパーツカセット
の構成を示す斜視図である。
【図5】本実施例に用いる表示手段の一例のCRTの構
成を示す正面図である。
【図6】本発明の他の実施例による吸着ノズルの検査に
用いる回転台を示す正面図である。
【図7】図6の平面図である。
【符号の説明】
2,4,6,16 リニアウェイ(案内手段) 7 CCDカメラ 8,9 スケール(計測手段) 10,11 マイクロメータ(計測手段) 17 基準台(支持手段) 21 パーツカセット(被検査部材) 28 CRT(表示手段) 30 回転台(支持手段) 31 吸着ノズル(被検査部材)
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 桜井 輝泰 東京都品川区北品川6丁目7番35号 ソニ ー株式会社内 (72)発明者 山田 忠雄 兵庫県尼崎市猪名寺3−9−9 大洋電産 株式会社内

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 支持手段に位置決めして支持された被検
    査部材の所定の部分を撮像するカメラと、前記カメラが
    撮像した画像を表示する表示手段と、前記カメラの直交
    する3方向の移動を案内する案内手段と、前記カメラの
    移動量を計測する計測手段とを設けたことを特徴とする
    検査装置。
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