JPH05273073A - 極小物体のリークテスト装置及びその方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】被測定物体６に予めリークテスト用穴７を設
け、この穴に密着するゴムパッド５を一端に有するエア
チューブを介して真空発生器２からリークテスト媒体と
しての真空を被測定物体６に送り、エアチューブ３に接
続した真空センサ４により被測定物体６の真空度を検出
し、リークの有無を判定する。真空発生器２には圧縮空
気の圧力を制御するレギュレータ１を接続する。 【効果】物体内部の真空度を直接測定することにより極
小物体のリークテストが精度良く且つ安価に実現でき
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は極小物体のリークテスト
方法及びその装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のこの種のエアリークテスト方法の
構成を図２に示す。先ず、バルブ１２及び１３を閉じ、
バルブ９，１０，１１を開き、レギュレータ８を介して
圧縮空気を管路Ａ及びＢに導入する。一定時間が経過し
たならばバルブ９及び１０，１１を閉じる。この時点で
差圧計１８は管路Ａ，Ｂとの圧力差がない為につり合っ
ている。

【０００３】次にバルブ１２及び１３を開くと、圧力室
１４及び１５に空気が送られる。圧力室１４には測定し
ようとする被測定物体１６が、また圧力室１５には被測
定物体１６と同形状をした漏れない測定物体１７が置い
てある。被測定物体１６にリークがなければ管路ＡとＢ
は平衡を保ち、差圧計１８がつり合うが、被測定物体１
６にリークがあれば管路Ａが管路Ｂより圧力が低くなる
為、差圧計１８により検知し、被測定物体１６が不良品
と判別する事ができる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】この従来のエアーリー
クテスト方法では、管路Ａ及Ｂの容積に比べ測定しよう
とする物体が極めて小さい場合、リークによる圧力差が
小さく、差圧計では検知し得ない場合があった。また、
測定しようとする物体を圧力室に密閉しなければなら
ず、装置が大掛かりとなり自動化が難しかった。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明の極小物体のリー
クテスト装置は、予めリークテスト用の穴を設けた被測
定物体と、リークテストする媒体としての真空を発生さ
せる真空発生器と、前記被測定物体と前記真空発生器と
を接続するエアチューブと、このエアチューブの一端に
設けられ前記被測定物体の前記穴に密着するゴムパッド
と、前記エアチューブに接続して前記被測定物体の真空
度を検出・判定する圧力センサとを備えており、そのリ
ークテスト方法は、被測定物体の予めリークテスト用の
穴を設け、この穴に密着するゴムパッドを一端に有する
エアチューブを介して真空発生器からリークテスト媒体
としての真空を前記被測定物体に送り、前記エアチュー
ブに接続した圧力センサにより前記被測定物体の真空度
を検出・判定するようになっている。

【０００６】

【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。

【０００７】図１は本発明の一実施例を示す構成図であ
る。

【０００８】本実施例は被測定物体６と、リークテスト
媒体としての真空を発生させる真空発生器２と、被測定
物体６と真空発生器２とを接続し先端部にゴムパッド５
を有するエアチューブ３と、エアチューブ３の途中の真
空圧力を検出する真空センサ４とを接続してなってい
る。なお真空発生器２に対してはレギュレータ１で供給
する圧縮空気の圧力を制御する。また被測定物体にはリ
ークテスト用の穴７が予め明いている。

【０００９】次に、このような本実施例の動作を説明す
る。まず、ゴムパッド５を被測定物体６のリークテスト
用の穴７に密着させ、真空発生器２を働かせて真空を発
生させる。エアチューブ３内の真空度と真空センサ４に
予め登録してある良品時の真空度の値とを比較して、被
測定物体６のリークの有・無を判定する。リークの無い
場合には、被測定物体６の内部の真空度が上がり、一
方、リークが有る場合には被測定物体６から大気圧を吸
い込むことによって真空圧力が上がらない為にリークの
有・無を判定することができる。

【００１０】

【発明の効果】以説したように本発明は、被測定物体の
内部の真空度を直接測定するため、従来技術における比
較測定では困難であった極めて小さい物体のリークテス
トが可能となる可能がある。また従来はかなり大掛かり
な装置を必要としたが、本発明ではシンプルな装置で安
価に構成することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示す構成図である。

【図２】従来のリークテスト方法を示す構成図である。

【符号の説明】

１，８ レギュレータ ２ 真空発生器 ３ エアチューブ ４ 真空センサ ５ ゴムパッド ６，１６ 被測定物体 ７ リークテスト用穴 ９，１０，１１，１２，１３ バルブ １４，１５ 圧力室 １７ 漏れない測定物体 １８ 差圧計

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 予めリークテスト用の穴を設けた被測定
   物体と、リークテストする媒体としての真空を発生させ
   る真空発生器と、前記被測定物体と前記真空発生器とを
   接続するエアチューブと、このエアチューブの一端に設
   けられ前記被測定物体の前記穴に密着するゴムパッド
   と、前記エアチューブに接続して前記被測定物体の真空
   度を検出・判定する圧力センサとを備えることを特徴と
   する極小物体のリークテスト装置。
2. 【請求項２】 前記真空発生器には供給される圧縮空気
   の圧力を制御するレギュレータが接続されていることを
   特徴とする請求項１記載の極小物体のリークテスト装
   置。
3. 【請求項３】 被測定物体に予めリークテスト用の穴を
   設け、この穴に密着するゴムパッドを一端に有するエア
   チューブを介して真空発生器からリークテスト媒体とし
   ての真空を前記被測定物体に送り、前記エアチューブに
   接続した圧力センサにより前記被測定物体の真空度を検
   出・判定することを特徴とする極小物体のリークテスト
   方法。