JPH05267221A - 反応性イオンエッチング装置のエッチング圧力インターロック方法 - Google Patents
反応性イオンエッチング装置のエッチング圧力インターロック方法Info
- Publication number
- JPH05267221A JPH05267221A JP6295092A JP6295092A JPH05267221A JP H05267221 A JPH05267221 A JP H05267221A JP 6295092 A JP6295092 A JP 6295092A JP 6295092 A JP6295092 A JP 6295092A JP H05267221 A JPH05267221 A JP H05267221A
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- Japan
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- pressure
- etching
- signal
- interlock
- butterfly valve
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Abstract
(57)【要約】
【目的】真空計の圧力表示が実際の圧力と異なる表示の
ときに作動することなく正確に作動させるＲＩＥのエッ
チング圧力のインターロック方法。 【構成】真空計１の圧力信号Ｓｐを検知して異常と判定
する他に、真空度を一定するために動作するバタフライ
弁４の開度を示す信号Ｓｖにより異常と判定し、装置を
停止させる。
ときに作動することなく正確に作動させるＲＩＥのエッ
チング圧力のインターロック方法。 【構成】真空計１の圧力信号Ｓｐを検知して異常と判定
する他に、真空度を一定するために動作するバタフライ
弁４の開度を示す信号Ｓｖにより異常と判定し、装置を
停止させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体装置の製造にお
ける反応性イオンエッチング装置（以下に単にＲＩＥと
称す）のエッチング圧力インターロック方法に関する。
ける反応性イオンエッチング装置（以下に単にＲＩＥと
称す）のエッチング圧力インターロック方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】図２は従来のＲＩＥの圧力インターロッ
ク方法の一例を説明するためのブロック図である。従来
のＲＩＥのエッチング圧力インターロック方法は、図２
に示すように、真空計１の圧力信号値Ｓｐが一定となる
ようにエッチング制御部３にてバタフライ弁４の開度を
バタフライ弁コントロール信号Ｓｖｃによりコントロー
ルし、その時圧力監視部２において、真空計１からの圧
力値信号Ｓｐのみを監視し、あらかじめ設定された上限
圧力，あるいは下限圧力をこえた場合に圧力インターロ
ック信号Ｓｉをエッチング制御部３に出力し、エッチン
グを停止するという方法を採用していた。
ク方法の一例を説明するためのブロック図である。従来
のＲＩＥのエッチング圧力インターロック方法は、図２
に示すように、真空計１の圧力信号値Ｓｐが一定となる
ようにエッチング制御部３にてバタフライ弁４の開度を
バタフライ弁コントロール信号Ｓｖｃによりコントロー
ルし、その時圧力監視部２において、真空計１からの圧
力値信号Ｓｐのみを監視し、あらかじめ設定された上限
圧力，あるいは下限圧力をこえた場合に圧力インターロ
ック信号Ｓｉをエッチング制御部３に出力し、エッチン
グを停止するという方法を採用していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この従来のＲＩＥのエ
ッチング圧力インターロック方法では、圧力監視部にお
いて、真空計の圧力信号値のみの監視しか行っていな
い。そのため真空計のゼロ点ズレや電気回路上の故障等
があると、実際の圧力とずれて圧力信号値が入力された
場合では、実際の圧力が本来圧力インターロック機構を
働かせるべき圧力であったとしても、それを検出するこ
とが困難であった。このため半導体ウェーハは異常な圧
力でエッチングが行なわれてしまい、エッチング不良を
防止することができないという問題があった。
ッチング圧力インターロック方法では、圧力監視部にお
いて、真空計の圧力信号値のみの監視しか行っていな
い。そのため真空計のゼロ点ズレや電気回路上の故障等
があると、実際の圧力とずれて圧力信号値が入力された
場合では、実際の圧力が本来圧力インターロック機構を
働かせるべき圧力であったとしても、それを検出するこ
とが困難であった。このため半導体ウェーハは異常な圧
力でエッチングが行なわれてしまい、エッチング不良を
防止することができないという問題があった。
【０００４】本発明の目的は、測定値のずれや、制御回
路の異常によることなく確実に圧力異常を検知し、装置
を停止出来るＲＩＥのエッチング圧力インターロック方
法を提供することである。
路の異常によることなく確実に圧力異常を検知し、装置
を停止出来るＲＩＥのエッチング圧力インターロック方
法を提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明のＲＩＥエッチン
グ圧力インターロック方法は、真空計の圧力値と排気容
量を調節するバタフライ弁の開度の両方を監視すること
により適正な圧力で動作しているか否かを判定し、装置
の停止を行うことを特徴としている。
グ圧力インターロック方法は、真空計の圧力値と排気容
量を調節するバタフライ弁の開度の両方を監視すること
により適正な圧力で動作しているか否かを判定し、装置
の停止を行うことを特徴としている。
【０００６】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。図１は本発明によるＲＩＥのエッチング圧力インタ
ーロック方法の一実施例を説明するためのブロック図で
ある。このＲＩＥのエッチング圧力インターロック方法
は、図１に示すように、バタフライ弁４の開度の信号Ｓ
Ｖｃを圧力監視部２に入力し、ＲＩＥを停止させるイン
タロックとして付加させたことである。
る。図１は本発明によるＲＩＥのエッチング圧力インタ
ーロック方法の一実施例を説明するためのブロック図で
ある。このＲＩＥのエッチング圧力インターロック方法
は、図１に示すように、バタフライ弁４の開度の信号Ｓ
Ｖｃを圧力監視部２に入力し、ＲＩＥを停止させるイン
タロックとして付加させたことである。
【０００７】まず、従来と同様に真空計１は、圧力を検
知し、信号Ｓｐを発生する。次に、圧力監視部２はＳｐ
を入力し、圧力監視部２が入力された圧力値信号Ｓｐが
あらかじめ設定された上限圧力，あるいは下限圧力をこ
えた場合に圧力インターロック信号Ｓｉをエッチング制
御部３に出力し、エッチングを停止させる。さらに本発
明では、バタフライ弁４の開度信号値Ｓｖがあらかじめ
設定された上限開度、あるいは下限開度をこえた場合に
も圧力インターロック信号Ｓｉをエッチング制御部３に
出しエッチングを停止させるというインターロックを設
けたことである。
知し、信号Ｓｐを発生する。次に、圧力監視部２はＳｐ
を入力し、圧力監視部２が入力された圧力値信号Ｓｐが
あらかじめ設定された上限圧力，あるいは下限圧力をこ
えた場合に圧力インターロック信号Ｓｉをエッチング制
御部３に出力し、エッチングを停止させる。さらに本発
明では、バタフライ弁４の開度信号値Ｓｖがあらかじめ
設定された上限開度、あるいは下限開度をこえた場合に
も圧力インターロック信号Ｓｉをエッチング制御部３に
出しエッチングを停止させるというインターロックを設
けたことである。
【０００８】図２（ａ）及び（ｂ）は本発明のＲＩＥの
エッチング圧力インターロック方法を適用した場合にお
ける動作結果を示すグラフである。
エッチング圧力インターロック方法を適用した場合にお
ける動作結果を示すグラフである。
【０００９】ここで、図２（ａ）は正常にエッチング動
作が行なわれた場合の真空計１の圧力信号値Ｓｐと絶対
圧力Ｐによるバタフライ弁４の開度信号値Ｓｖの挙動を
示したものである。また、設定圧力は６Ｐａであり、真
空計の圧力信号値Ｓｐも６Ｐａを示しており、実際のチ
ャンバの圧力も６Ｐａで真空計の圧力値とチャンバの圧
力値はずれは生じていない。さらにバタフライ弁４の開
度信号値Ｓｖは５０％となっている。すなわち、通常の
装置稼働状態ならば、６Ｐａの圧力を実現するためのバ
タフライ弁４の開度信号値Ｓｖは５０±２％となる。
作が行なわれた場合の真空計１の圧力信号値Ｓｐと絶対
圧力Ｐによるバタフライ弁４の開度信号値Ｓｖの挙動を
示したものである。また、設定圧力は６Ｐａであり、真
空計の圧力信号値Ｓｐも６Ｐａを示しており、実際のチ
ャンバの圧力も６Ｐａで真空計の圧力値とチャンバの圧
力値はずれは生じていない。さらにバタフライ弁４の開
度信号値Ｓｖは５０％となっている。すなわち、通常の
装置稼働状態ならば、６Ｐａの圧力を実現するためのバ
タフライ弁４の開度信号値Ｓｖは５０±２％となる。
【００１０】一方、図３（ｂ）は真空計１のゼロ点ズレ
や、電気回路上の故障等がありチャンバの実際の圧力Ｐ
と真空計１の圧力信号値Ｓｐが異なる場合にインターロ
ック機構が動作した場合を示している。すなわち、真空
計１の圧力信号値Ｓｐは設定圧力６Ｐａを示しているの
で本来圧力監視部２においても正常と判断されるが、バ
タフライ弁４の開度信号値Ｓｖは２５％を示しており、
通常の５０％と大きくずれているためインターロック機
構が動作し、途中でエッチングを停止させている。この
段階において停止できれば半導体ウェーハのエッチング
処理は再加工が可能である。
や、電気回路上の故障等がありチャンバの実際の圧力Ｐ
と真空計１の圧力信号値Ｓｐが異なる場合にインターロ
ック機構が動作した場合を示している。すなわち、真空
計１の圧力信号値Ｓｐは設定圧力６Ｐａを示しているの
で本来圧力監視部２においても正常と判断されるが、バ
タフライ弁４の開度信号値Ｓｖは２５％を示しており、
通常の５０％と大きくずれているためインターロック機
構が動作し、途中でエッチングを停止させている。この
段階において停止できれば半導体ウェーハのエッチング
処理は再加工が可能である。
【００１１】
【発明の効果】以上説明したように本発明による反応性
イオンエッチング装置のエッチング圧力インターロック
方法は、真空計の圧力値とバタフライ弁の開度の両方を
監視することにより、エッチング圧力インターロック機
構を働かせるので、真空計のゼロ点ずれや電気回路の故
障等により真空計の圧力信号値と絶対圧力との間に大き
な差異が生じた場合にも圧力インターロック機構を働か
せることができ、異常を正確に把握し、装置を停止する
ことができるという効果を有する。
イオンエッチング装置のエッチング圧力インターロック
方法は、真空計の圧力値とバタフライ弁の開度の両方を
監視することにより、エッチング圧力インターロック機
構を働かせるので、真空計のゼロ点ずれや電気回路の故
障等により真空計の圧力信号値と絶対圧力との間に大き
な差異が生じた場合にも圧力インターロック機構を働か
せることができ、異常を正確に把握し、装置を停止する
ことができるという効果を有する。
【図１】本発明のＲＩＥのエッチング圧力のインターロ
ック方法を説明するためのブロック図である。
ック方法を説明するためのブロック図である。
【図２】本発明のＲＩＥのエッチング圧力のインタロッ
ク方法を適用した場合における動作結果を示すグラフで
ある。
ク方法を適用した場合における動作結果を示すグラフで
ある。
【図３】従来のＲＩＥのエッチング圧力のインターロッ
ク方法の一実施例を説明するためブロック図である。
ク方法の一実施例を説明するためブロック図である。
１ 真空計 ２ 圧力監視部 ３ エッチング制御部 ４ バタフライ弁
Claims (1)
- 【請求項１】 真空計の圧力値と排気容量を調節するバ
タフライ弁の開度の両方を監視することにより適正な圧
力で動作しているか否かを判定し、装置の停止を行うこ
とを特徴とする反応性イオンエッチング装置のエッチン
グ圧力インターロック方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6295092A JPH05267221A (ja) | 1992-03-19 | 1992-03-19 | 反応性イオンエッチング装置のエッチング圧力インターロック方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6295092A JPH05267221A (ja) | 1992-03-19 | 1992-03-19 | 反応性イオンエッチング装置のエッチング圧力インターロック方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05267221A true JPH05267221A (ja) | 1993-10-15 |
Family
ID=13215108
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6295092A Withdrawn JPH05267221A (ja) | 1992-03-19 | 1992-03-19 | 反応性イオンエッチング装置のエッチング圧力インターロック方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05267221A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012191070A (ja) * | 2011-03-11 | 2012-10-04 | Toshiba Corp | 圧力制御装置 |
-
1992
- 1992-03-19 JP JP6295092A patent/JPH05267221A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012191070A (ja) * | 2011-03-11 | 2012-10-04 | Toshiba Corp | 圧力制御装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990608 |