JPH05264478A - Ｘ線回折装置 - Google Patents
Ｘ線回折装置Info
- Publication number
- JPH05264478A JPH05264478A JP4090177A JP9017792A JPH05264478A JP H05264478 A JPH05264478 A JP H05264478A JP 4090177 A JP4090177 A JP 4090177A JP 9017792 A JP9017792 A JP 9017792A JP H05264478 A JPH05264478 A JP H05264478A
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- Japan
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 重量の大きいＸ線源またはＸ線検出器を使用
できる試料固定型のＸ線回折装置を提供する。 【構成】 試料５を固定状態に保持する試料ホルダ３
と、試料５に向けてＸ線を照射するＸ線源１０と、試料
５で回折したＸ線を検出するＸ線検出器１１とを有して
おり、試料５を固定させた状態でＸ線源１０及びＸ線検
出器１１を回転移動させながら試料５で回折するＸ線を
測定するＸ線回折装置において、互いに直交する二軸方
向へ平行移動可能なスライダ１２を設け、そのスライダ
１２にＸ線源１０及びＸ線検出器１１の少なくともいず
れか一方を設ける。
できる試料固定型のＸ線回折装置を提供する。 【構成】 試料５を固定状態に保持する試料ホルダ３
と、試料５に向けてＸ線を照射するＸ線源１０と、試料
５で回折したＸ線を検出するＸ線検出器１１とを有して
おり、試料５を固定させた状態でＸ線源１０及びＸ線検
出器１１を回転移動させながら試料５で回折するＸ線を
測定するＸ線回折装置において、互いに直交する二軸方
向へ平行移動可能なスライダ１２を設け、そのスライダ
１２にＸ線源１０及びＸ線検出器１１の少なくともいず
れか一方を設ける。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、試料を固定させた状態
でＸ線源及びＸ線検出器を回転移動させながら試料で回
折するＸ線を測定する、いわゆる試料固定型のＸ線回折
装置に関する。
でＸ線源及びＸ線検出器を回転移動させながら試料で回
折するＸ線を測定する、いわゆる試料固定型のＸ線回折
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】上記形式のＸ線回折装置として、従来、
図２に示すようなＸ線回折装置が知られている。このＸ
線回折装置は、テーブル１上に固定された支持板２と、
支持板２に固定された試料ホルダ３とを有している。試
料ホルダ３には、試料５が詰め込まれた試料板４が着脱
可能に装着されている。
図２に示すようなＸ線回折装置が知られている。このＸ
線回折装置は、テーブル１上に固定された支持板２と、
支持板２に固定された試料ホルダ３とを有している。試
料ホルダ３には、試料５が詰め込まれた試料板４が着脱
可能に装着されている。
【０００３】支持板２の後方には、ゴニオメータ７が配
設され、そのゴニオメータ７からＸ線源アーム８及び検
出器アーム９の２本のアームが伸びている。Ｘ線源アー
ム８の先端にはＸ線源としてのＸ線管１０が固定され、
検出器アーム９の先端にはＸ線検出器１１が固定されて
いる。
設され、そのゴニオメータ７からＸ線源アーム８及び検
出器アーム９の２本のアームが伸びている。Ｘ線源アー
ム８の先端にはＸ線源としてのＸ線管１０が固定され、
検出器アーム９の先端にはＸ線検出器１１が固定されて
いる。
【０００４】Ｘ線回折測定を行なう場合には、ゴニオメ
ータ７によってＸ線源アーム８を矢印Ａ方向へ所定のス
テップ角度でまたは連続的に回転させ、一方、検出器ア
ーム９をそれと反対の方向である矢印Ｂ方向に等しい角
速度でステップ的または連続的に回転させる。
ータ７によってＸ線源アーム８を矢印Ａ方向へ所定のス
テップ角度でまたは連続的に回転させ、一方、検出器ア
ーム９をそれと反対の方向である矢印Ｂ方向に等しい角
速度でステップ的または連続的に回転させる。
【０００５】Ｘ線管１０内のＸ線焦点Ｐから放射された
Ｘ線は試料５に入射し、試料５内の結晶格子面との間で
一定の回折条件が満たされたときにその試料で回折す
る。回折したＸ線はＸ線検出器１１に取り込まれる。Ｘ
線検出器１１にはＸ線の強度を電気的に検出する測定器
（図示せず）が接続されており、その測定器によって回
折Ｘ線の強度が検出される。Ｘ線源アーム８及び検出器
アーム９の上記の回転により、試料５に入射するＸ線の
入射角度を変化させた場合の各入射角度における回折Ｘ
線の強度が測定される。
Ｘ線は試料５に入射し、試料５内の結晶格子面との間で
一定の回折条件が満たされたときにその試料で回折す
る。回折したＸ線はＸ線検出器１１に取り込まれる。Ｘ
線検出器１１にはＸ線の強度を電気的に検出する測定器
（図示せず）が接続されており、その測定器によって回
折Ｘ線の強度が検出される。Ｘ線源アーム８及び検出器
アーム９の上記の回転により、試料５に入射するＸ線の
入射角度を変化させた場合の各入射角度における回折Ｘ
線の強度が測定される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上記の試料固定型Ｘ線
回折装置においては、ゴニオメータ７から伸びる２本の
回転アーム、すなわちＸ線源アーム８及び検出器アーム
９によってＸ線源１０及びＸ線検出器１１が支持されて
いる。両アーム８，９はゴニオメータ７によって回転駆
動されるものであるから、構造上その機械的強度を強く
することに関して制限がある。その結果、各アームによ
って支持されるＸ線源１０及びＸ線検出器１１の重量に
も制限があった。従って、Ｘ線源１０についてみれば、
主に軽量の密封型Ｘ線管が使用されており、重量の重い
回転対陰極型のＸ線管は用いられていなかった。
回折装置においては、ゴニオメータ７から伸びる２本の
回転アーム、すなわちＸ線源アーム８及び検出器アーム
９によってＸ線源１０及びＸ線検出器１１が支持されて
いる。両アーム８，９はゴニオメータ７によって回転駆
動されるものであるから、構造上その機械的強度を強く
することに関して制限がある。その結果、各アームによ
って支持されるＸ線源１０及びＸ線検出器１１の重量に
も制限があった。従って、Ｘ線源１０についてみれば、
主に軽量の密封型Ｘ線管が使用されており、重量の重い
回転対陰極型のＸ線管は用いられていなかった。
【０００７】本発明は、従来のＸ線回折装置における上
記の問題点に鑑みてなされたものであって、重量の大き
いＸ線源またはＸ線検出器をも使用できる、試料固定型
のＸ線回折装置を提供することを目的とする。
記の問題点に鑑みてなされたものであって、重量の大き
いＸ線源またはＸ線検出器をも使用できる、試料固定型
のＸ線回折装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明にかかるＸ線回折装置は、試料を固定状態に
保持する試料ホルダと、試料に向けてＸ線を照射するＸ
線源と、試料で回折したＸ線を検出するＸ線検出器とを
有しており、試料を固定させた状態でＸ線源及びＸ線検
出器を回転移動させながら試料で回折するＸ線を測定す
るＸ線回折装置において、互いに直交する二軸方向へ平
行移動可能なスライダを設け、そのスライダにＸ線源及
びＸ線検出器の少なくともいずれか一方を設けたことを
特徴としている。
め、本発明にかかるＸ線回折装置は、試料を固定状態に
保持する試料ホルダと、試料に向けてＸ線を照射するＸ
線源と、試料で回折したＸ線を検出するＸ線検出器とを
有しており、試料を固定させた状態でＸ線源及びＸ線検
出器を回転移動させながら試料で回折するＸ線を測定す
るＸ線回折装置において、互いに直交する二軸方向へ平
行移動可能なスライダを設け、そのスライダにＸ線源及
びＸ線検出器の少なくともいずれか一方を設けたことを
特徴としている。
【０００９】
【作用】Ｘ線源及びＸ線検出器の少なくともいずれか一
方を支持するスライダは、互いに直交する二軸方向へ平
行移動する構造となっていて、その機械的強度を大きく
することができる。それ故、重量の大きなＸ線源または
Ｘ線検出器を試料のまわりで回転移動させることができ
る。
方を支持するスライダは、互いに直交する二軸方向へ平
行移動する構造となっていて、その機械的強度を大きく
することができる。それ故、重量の大きなＸ線源または
Ｘ線検出器を試料のまわりで回転移動させることができ
る。
【００１０】
【実施例】図１は本発明にかかる試料固定型のＸ線回折
装置の一実施例を示している。同図において、図２に示
した部材と同一の部材は同一の符号を付して示してあ
る。このＸ線回折装置において、Ｘ線検出器１１を支持
している検出器アーム９が、ゴニオメータ７によって駆
動されて矢印Ｂ方向へステップ的または連続的に回転移
動することは図１に示した従来のＸ線回折装置と同じで
ある。しかしながら、Ｘ線管１０の保持方法に大きな改
良が加えられている。以下、それについて説明する。
装置の一実施例を示している。同図において、図２に示
した部材と同一の部材は同一の符号を付して示してあ
る。このＸ線回折装置において、Ｘ線検出器１１を支持
している検出器アーム９が、ゴニオメータ７によって駆
動されて矢印Ｂ方向へステップ的または連続的に回転移
動することは図１に示した従来のＸ線回折装置と同じで
ある。しかしながら、Ｘ線管１０の保持方法に大きな改
良が加えられている。以下、それについて説明する。
【００１１】支持板２の左方において、テーブル１上に
水平移動テーブル１２が設けられている。このテーブル
１２は、パルスモータ１３によって駆動されて矢印Ｄ−
Ｄ’で示すように水平方向に平行移動する。水平移動テ
ーブル１２の上にはガイドバー１４が上方へ向かって延
びるように固定されており、そのガイドバー１４にスラ
イダ１５が取り付けられている。スライダ１５は、ガイ
ドバー１４に沿って上下方向へ摺動可能であり、さらに
ガイドバー１４の上端に固定されたパルスモータ１６に
よって上下方向へ駆動される。
水平移動テーブル１２が設けられている。このテーブル
１２は、パルスモータ１３によって駆動されて矢印Ｄ−
Ｄ’で示すように水平方向に平行移動する。水平移動テ
ーブル１２の上にはガイドバー１４が上方へ向かって延
びるように固定されており、そのガイドバー１４にスラ
イダ１５が取り付けられている。スライダ１５は、ガイ
ドバー１４に沿って上下方向へ摺動可能であり、さらに
ガイドバー１４の上端に固定されたパルスモータ１６に
よって上下方向へ駆動される。
【００１２】スライダ１５の手前側側面には、回転対陰
極型のような大重量のＸ線管１０が回転自在に設けられ
ている。
極型のような大重量のＸ線管１０が回転自在に設けられ
ている。
【００１３】支持板２には、試料ホルダ３を中心として
回転自在な回転板１７が取り付けられており、その回転
板１７の左側周面にガイドロッド１８が固定されてい
る。ガイドロッド１８は図の左方へ延びていて、その先
端がＸ線管１０を貫通している。この場合、Ｘ線管１０
はガイドロッド１８に沿って摺動自在となっている。
回転自在な回転板１７が取り付けられており、その回転
板１７の左側周面にガイドロッド１８が固定されてい
る。ガイドロッド１８は図の左方へ延びていて、その先
端がＸ線管１０を貫通している。この場合、Ｘ線管１０
はガイドロッド１８に沿って摺動自在となっている。
【００１４】以下、上記構成から成るＸ線回折装置の作
用について説明する。Ｘ線回折測定が開始されると、水
平パルスモータ１３によって駆動されて水平移動テーブ
ル１２が図の右方向へステップ的または連続的に移動す
る。そしてそれに同期して垂直パルスモータ１６によっ
て駆動されてスライダ１５が上方へステップ的または連
続的に移動する。この結果、スライダ１５従ってその上
に設けられたＸ線管１０は、試料ホルダ３を中心として
矢印Ａのように回転移動する。
用について説明する。Ｘ線回折測定が開始されると、水
平パルスモータ１３によって駆動されて水平移動テーブ
ル１２が図の右方向へステップ的または連続的に移動す
る。そしてそれに同期して垂直パルスモータ１６によっ
て駆動されてスライダ１５が上方へステップ的または連
続的に移動する。この結果、スライダ１５従ってその上
に設けられたＸ線管１０は、試料ホルダ３を中心として
矢印Ａのように回転移動する。
【００１５】この場合、Ｘ線管１０はガイドロッド１８
に沿って摺動しながら回転移動し、ガイドロッド１８も
回転板１７と共に試料ホルダ３を中心として回転移動す
るので、ガイドロッド１８に対するＸ線管１０の角度が
常に一定であり、それ故、Ｘ線管１０から放射されるＸ
線は常に正確に試料５へ向かって進行する。
に沿って摺動しながら回転移動し、ガイドロッド１８も
回転板１７と共に試料ホルダ３を中心として回転移動す
るので、ガイドロッド１８に対するＸ線管１０の角度が
常に一定であり、それ故、Ｘ線管１０から放射されるＸ
線は常に正確に試料５へ向かって進行する。
【００１６】Ｘ線管１０が上記のように回転駆動される
間、Ｘ線検出器１１は、ゴニオメータ７によって駆動さ
れてＸ線管１０と反対方向（Ｂ方向）へ等しい角速度で
ステップ的又は連続的に回転移動する。Ｘ線管１０及び
Ｘ線検出器１１が試料５を中心として回転移動する間、
Ｘ線管１０から照射され、そして試料５で回折したＸ線
がＸ線検出器１１によって検出される。
間、Ｘ線検出器１１は、ゴニオメータ７によって駆動さ
れてＸ線管１０と反対方向（Ｂ方向）へ等しい角速度で
ステップ的又は連続的に回転移動する。Ｘ線管１０及び
Ｘ線検出器１１が試料５を中心として回転移動する間、
Ｘ線管１０から照射され、そして試料５で回折したＸ線
がＸ線検出器１１によって検出される。
【００１７】以上のように本Ｘ線回折装置においては、
水平方向及び垂直方向の二軸方向へ平行移動するスライ
ダ１５によってＸ線管１０を支持するようにしたので、
Ｘ線管１０を支持するための構造の機械的強度を大きく
することができた。その結果、従来は困難であった大重
量のＸ線管１０の使用が可能となった。これにより、高
強度のＸ線を用いたＸ線回折測定が可能となる。
水平方向及び垂直方向の二軸方向へ平行移動するスライ
ダ１５によってＸ線管１０を支持するようにしたので、
Ｘ線管１０を支持するための構造の機械的強度を大きく
することができた。その結果、従来は困難であった大重
量のＸ線管１０の使用が可能となった。これにより、高
強度のＸ線を用いたＸ線回折測定が可能となる。
【００１８】以上、１つの実施例をあげて本発明を説明
したが、本発明はその実施例に限定されるものではな
い。例えば、スライダ１５とＸ線管１０との間にＸ線管
１０の角度位置を制御するための回転制御系を介在さ
せ、Ｘ線管１０がスライダ１５によってＡ方向へ回転駆
動される間、Ｘ線管１０から出たＸ線が常に試料５へ入
射するようにＸ線管１０を回転させるようにすれば、回
転板１７及びガイドロッド１８を用いる必要はない。
したが、本発明はその実施例に限定されるものではな
い。例えば、スライダ１５とＸ線管１０との間にＸ線管
１０の角度位置を制御するための回転制御系を介在さ
せ、Ｘ線管１０がスライダ１５によってＡ方向へ回転駆
動される間、Ｘ線管１０から出たＸ線が常に試料５へ入
射するようにＸ線管１０を回転させるようにすれば、回
転板１７及びガイドロッド１８を用いる必要はない。
【００１９】上記実施例では、スライダ１５によってＸ
線管１０を平行移動させる構成とした。しかしながらそ
れに代えて、スライダ１５によってＸ線検出器１１を平
行移動させるように構成することもできる。この構成に
より、Ｘ線検出器１１が大重量になる場合にも対処でき
る。
線管１０を平行移動させる構成とした。しかしながらそ
れに代えて、スライダ１５によってＸ線検出器１１を平
行移動させるように構成することもできる。この構成に
より、Ｘ線検出器１１が大重量になる場合にも対処でき
る。
【００２０】
【発明の効果】本発明によれば、Ｘ線源、Ｘ線検出器等
を支持するための構造の機械的強度を大きくすることが
できるので、試料固定型のＸ線回折装置に大重量のＸ線
源、Ｘ線検出器等を用いることができる。
を支持するための構造の機械的強度を大きくすることが
できるので、試料固定型のＸ線回折装置に大重量のＸ線
源、Ｘ線検出器等を用いることができる。
【図１】本発明にかかるＸ線回折装置の一実施例を示す
正面図である。
正面図である。
【図２】従来の試料固定型のＸ線回折装置の一例を示す
斜視図である。
斜視図である。
３ 試料ホルダ ５ 試料 １０ Ｘ線管 １１ Ｘ線検出器 １２ 水平移動テーブル １３ 水平移動パルスモータ １４ ガイドバー １５ スライダ １６ 上下移動パルスモータ
Claims (2)
- 【請求項１】 試料を固定状態に保持する試料ホルダ
と、試料に向けてＸ線を照射するＸ線源と、試料で回折
したＸ線を検出するＸ線検出器とを有しており、試料を
固定させた状態でＸ線源及びＸ線検出器を回転移動させ
ながら試料で回折するＸ線を測定するＸ線回折装置にお
いて、 互いに直交する二軸方向へ平行移動可能なスライダを設
け、そのスライダにＸ線源及びＸ線検出器の少なくとも
いずれか一方を設けたことを特徴とするＸ線回折装置。 - 【請求項２】 試料ホルダを中心として回転可能な回転
体と、回転体と一体なガイド部材とを有しており、上記
Ｘ線源及びＸ線検出器の少なくともいずれか一方はスラ
イダに回転自在に取り付けられており、さらに該Ｘ線源
及びＸ線検出器の少なくともいずれか一方は上記ガイド
部材に摺動可能に連結されることを特徴とする請求項１
記載のＸ線回折装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4090177A JPH05264478A (ja) | 1992-03-16 | 1992-03-16 | Ｘ線回折装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4090177A JPH05264478A (ja) | 1992-03-16 | 1992-03-16 | Ｘ線回折装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05264478A true JPH05264478A (ja) | 1993-10-12 |
Family
ID=13991207
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4090177A Pending JPH05264478A (ja) | 1992-03-16 | 1992-03-16 | Ｘ線回折装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05264478A (ja) |
-
1992
- 1992-03-16 JP JP4090177A patent/JPH05264478A/ja active Pending
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