JPH05264478A - X線回折装置 - Google Patents

X線回折装置

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JPH05264478A
JPH05264478A JP4090177A JP9017792A JPH05264478A JP H05264478 A JPH05264478 A JP H05264478A JP 4090177 A JP4090177 A JP 4090177A JP 9017792 A JP9017792 A JP 9017792A JP H05264478 A JPH05264478 A JP H05264478A
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JP
Japan
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ray
sample
detector
slider
ray source
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Pending
Application number
JP4090177A
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English (en)
Inventor
Kenji Masuda
憲治 増田
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Rigaku Corp
Original Assignee
Rigaku Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Rigaku Corp filed Critical Rigaku Corp
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  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 重量の大きいX線源またはX線検出器を使用
できる試料固定型のX線回折装置を提供する。 【構成】 試料5を固定状態に保持する試料ホルダ3
と、試料5に向けてX線を照射するX線源10と、試料
5で回折したX線を検出するX線検出器11とを有して
おり、試料5を固定させた状態でX線源10及びX線検
出器11を回転移動させながら試料5で回折するX線を
測定するX線回折装置において、互いに直交する二軸方
向へ平行移動可能なスライダ12を設け、そのスライダ
12にX線源10及びX線検出器11の少なくともいず
れか一方を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、試料を固定させた状態
でX線源及びX線検出器を回転移動させながら試料で回
折するX線を測定する、いわゆる試料固定型のX線回折
装置に関する。
【0002】
【従来の技術】上記形式のX線回折装置として、従来、
図2に示すようなX線回折装置が知られている。このX
線回折装置は、テーブル1上に固定された支持板2と、
支持板2に固定された試料ホルダ3とを有している。試
料ホルダ3には、試料5が詰め込まれた試料板4が着脱
可能に装着されている。
【0003】支持板2の後方には、ゴニオメータ7が配
設され、そのゴニオメータ7からX線源アーム8及び検
出器アーム9の2本のアームが伸びている。X線源アー
ム8の先端にはX線源としてのX線管10が固定され、
検出器アーム9の先端にはX線検出器11が固定されて
いる。
【0004】X線回折測定を行なう場合には、ゴニオメ
ータ7によってX線源アーム8を矢印A方向へ所定のス
テップ角度でまたは連続的に回転させ、一方、検出器ア
ーム9をそれと反対の方向である矢印B方向に等しい角
速度でステップ的または連続的に回転させる。
【0005】X線管10内のX線焦点Pから放射された
X線は試料5に入射し、試料5内の結晶格子面との間で
一定の回折条件が満たされたときにその試料で回折す
る。回折したX線はX線検出器11に取り込まれる。X
線検出器11にはX線の強度を電気的に検出する測定器
(図示せず)が接続されており、その測定器によって回
折X線の強度が検出される。X線源アーム8及び検出器
アーム9の上記の回転により、試料5に入射するX線の
入射角度を変化させた場合の各入射角度における回折X
線の強度が測定される。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】上記の試料固定型X線
回折装置においては、ゴニオメータ7から伸びる2本の
回転アーム、すなわちX線源アーム8及び検出器アーム
9によってX線源10及びX線検出器11が支持されて
いる。両アーム8,9はゴニオメータ7によって回転駆
動されるものであるから、構造上その機械的強度を強く
することに関して制限がある。その結果、各アームによ
って支持されるX線源10及びX線検出器11の重量に
も制限があった。従って、X線源10についてみれば、
主に軽量の密封型X線管が使用されており、重量の重い
回転対陰極型のX線管は用いられていなかった。
【0007】本発明は、従来のX線回折装置における上
記の問題点に鑑みてなされたものであって、重量の大き
いX線源またはX線検出器をも使用できる、試料固定型
のX線回折装置を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明にかかるX線回折装置は、試料を固定状態に
保持する試料ホルダと、試料に向けてX線を照射するX
線源と、試料で回折したX線を検出するX線検出器とを
有しており、試料を固定させた状態でX線源及びX線検
出器を回転移動させながら試料で回折するX線を測定す
るX線回折装置において、互いに直交する二軸方向へ平
行移動可能なスライダを設け、そのスライダにX線源及
びX線検出器の少なくともいずれか一方を設けたことを
特徴としている。
【0009】
【作用】X線源及びX線検出器の少なくともいずれか一
方を支持するスライダは、互いに直交する二軸方向へ平
行移動する構造となっていて、その機械的強度を大きく
することができる。それ故、重量の大きなX線源または
X線検出器を試料のまわりで回転移動させることができ
る。
【0010】
【実施例】図1は本発明にかかる試料固定型のX線回折
装置の一実施例を示している。同図において、図2に示
した部材と同一の部材は同一の符号を付して示してあ
る。このX線回折装置において、X線検出器11を支持
している検出器アーム9が、ゴニオメータ7によって駆
動されて矢印B方向へステップ的または連続的に回転移
動することは図1に示した従来のX線回折装置と同じで
ある。しかしながら、X線管10の保持方法に大きな改
良が加えられている。以下、それについて説明する。
【0011】支持板2の左方において、テーブル1上に
水平移動テーブル12が設けられている。このテーブル
12は、パルスモータ13によって駆動されて矢印D−
D’で示すように水平方向に平行移動する。水平移動テ
ーブル12の上にはガイドバー14が上方へ向かって延
びるように固定されており、そのガイドバー14にスラ
イダ15が取り付けられている。スライダ15は、ガイ
ドバー14に沿って上下方向へ摺動可能であり、さらに
ガイドバー14の上端に固定されたパルスモータ16に
よって上下方向へ駆動される。
【0012】スライダ15の手前側側面には、回転対陰
極型のような大重量のX線管10が回転自在に設けられ
ている。
【0013】支持板2には、試料ホルダ3を中心として
回転自在な回転板17が取り付けられており、その回転
板17の左側周面にガイドロッド18が固定されてい
る。ガイドロッド18は図の左方へ延びていて、その先
端がX線管10を貫通している。この場合、X線管10
はガイドロッド18に沿って摺動自在となっている。
【0014】以下、上記構成から成るX線回折装置の作
用について説明する。X線回折測定が開始されると、水
平パルスモータ13によって駆動されて水平移動テーブ
ル12が図の右方向へステップ的または連続的に移動す
る。そしてそれに同期して垂直パルスモータ16によっ
て駆動されてスライダ15が上方へステップ的または連
続的に移動する。この結果、スライダ15従ってその上
に設けられたX線管10は、試料ホルダ3を中心として
矢印Aのように回転移動する。
【0015】この場合、X線管10はガイドロッド18
に沿って摺動しながら回転移動し、ガイドロッド18も
回転板17と共に試料ホルダ3を中心として回転移動す
るので、ガイドロッド18に対するX線管10の角度が
常に一定であり、それ故、X線管10から放射されるX
線は常に正確に試料5へ向かって進行する。
【0016】X線管10が上記のように回転駆動される
間、X線検出器11は、ゴニオメータ7によって駆動さ
れてX線管10と反対方向(B方向)へ等しい角速度で
ステップ的又は連続的に回転移動する。X線管10及び
X線検出器11が試料5を中心として回転移動する間、
X線管10から照射され、そして試料5で回折したX線
がX線検出器11によって検出される。
【0017】以上のように本X線回折装置においては、
水平方向及び垂直方向の二軸方向へ平行移動するスライ
ダ15によってX線管10を支持するようにしたので、
X線管10を支持するための構造の機械的強度を大きく
することができた。その結果、従来は困難であった大重
量のX線管10の使用が可能となった。これにより、高
強度のX線を用いたX線回折測定が可能となる。
【0018】以上、1つの実施例をあげて本発明を説明
したが、本発明はその実施例に限定されるものではな
い。例えば、スライダ15とX線管10との間にX線管
10の角度位置を制御するための回転制御系を介在さ
せ、X線管10がスライダ15によってA方向へ回転駆
動される間、X線管10から出たX線が常に試料5へ入
射するようにX線管10を回転させるようにすれば、回
転板17及びガイドロッド18を用いる必要はない。
【0019】上記実施例では、スライダ15によってX
線管10を平行移動させる構成とした。しかしながらそ
れに代えて、スライダ15によってX線検出器11を平
行移動させるように構成することもできる。この構成に
より、X線検出器11が大重量になる場合にも対処でき
る。
【0020】
【発明の効果】本発明によれば、X線源、X線検出器等
を支持するための構造の機械的強度を大きくすることが
できるので、試料固定型のX線回折装置に大重量のX線
源、X線検出器等を用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明にかかるX線回折装置の一実施例を示す
正面図である。
【図2】従来の試料固定型のX線回折装置の一例を示す
斜視図である。
【符号の説明】
3 試料ホルダ 5 試料 10 X線管 11 X線検出器 12 水平移動テーブル 13 水平移動パルスモータ 14 ガイドバー 15 スライダ 16 上下移動パルスモータ

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 試料を固定状態に保持する試料ホルダ
    と、試料に向けてX線を照射するX線源と、試料で回折
    したX線を検出するX線検出器とを有しており、試料を
    固定させた状態でX線源及びX線検出器を回転移動させ
    ながら試料で回折するX線を測定するX線回折装置にお
    いて、 互いに直交する二軸方向へ平行移動可能なスライダを設
    け、そのスライダにX線源及びX線検出器の少なくとも
    いずれか一方を設けたことを特徴とするX線回折装置。
  2. 【請求項2】 試料ホルダを中心として回転可能な回転
    体と、回転体と一体なガイド部材とを有しており、上記
    X線源及びX線検出器の少なくともいずれか一方はスラ
    イダに回転自在に取り付けられており、さらに該X線源
    及びX線検出器の少なくともいずれか一方は上記ガイド
    部材に摺動可能に連結されることを特徴とする請求項1
    記載のX線回折装置。
JP4090177A 1992-03-16 1992-03-16 X線回折装置 Pending JPH05264478A (ja)

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JP4090177A JPH05264478A (ja) 1992-03-16 1992-03-16 X線回折装置

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JP4090177A JPH05264478A (ja) 1992-03-16 1992-03-16 X線回折装置

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JPH05264478A true JPH05264478A (ja) 1993-10-12

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ID=13991207

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JP4090177A Pending JPH05264478A (ja) 1992-03-16 1992-03-16 X線回折装置

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