JPH05264176A - コールドウォール誘導溶解ルツボ炉 - Google Patents

コールドウォール誘導溶解ルツボ炉

Info

Publication number
JPH05264176A
JPH05264176A JP4296667A JP29666792A JPH05264176A JP H05264176 A JPH05264176 A JP H05264176A JP 4296667 A JP4296667 A JP 4296667A JP 29666792 A JP29666792 A JP 29666792A JP H05264176 A JPH05264176 A JP H05264176A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
slit
segment
legs
crucible
segments
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP4296667A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3287031B2 (ja
Inventor
Hitoshi Kono
等 河野
Masanori Tsuda
正徳 津田
Yasuhiro Nakai
泰弘 中井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shinko Electric Co Ltd
Original Assignee
Shinko Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shinko Electric Co Ltd filed Critical Shinko Electric Co Ltd
Priority to JP29666792A priority Critical patent/JP3287031B2/ja
Priority to DE69218871T priority patent/DE69218871T2/de
Priority to US07/961,362 priority patent/US5283805A/en
Priority to EP92309393A priority patent/EP0538024B1/en
Publication of JPH05264176A publication Critical patent/JPH05264176A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3287031B2 publication Critical patent/JP3287031B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27BFURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
    • F27B14/00Crucible or pot furnaces
    • F27B14/08Details peculiar to crucible or pot furnaces
    • F27B14/10Crucibles

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Crucibles And Fluidized-Bed Furnaces (AREA)

Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【目的】 電力投入量を低減し、溶湯を安定化すること
のできる、コールドウォール誘導溶解ルツボ炉構造を提
供する。 【構成】 複数の短冊状セグメント13の隣接する2個
13aと13bを一組とし、一方に冷却水の流入路15
aを、他方に冷却水の流出路15bを設け両セグメント
を上部で連結し電気的に短絡し,短絡部より下はスリッ
ト14aにより分離し全体として垂直な脚部と、脚部か
ら半径方向に伸びる足部13d,13eから成るL字形
単位セグメントとする。炉底は凸字形断面の基部17に
より構成し、中央の凸部17aを単位セグメン13で画
定される側壁の内方に挿入して炉底とし、周辺部をフラ
ンジ17dとしてその上に絶縁部材18を介して所定数
の単位セグメント13を装着し固定した構造とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、1)半導体等の材料と
して知られる高純度の金属または合金、2)チタンある
いはジルコニウム(Zr)など酸素、窒素または炭素と反応
し易いために高純度製品として溶成するのが困難な反応
性金属または合金、3)溶融温度が極めて高いW,Mo,Ta,
Nbなど特殊金属として取り扱われている金属とそれらの
合金の溶解に適した構造を有し、コ−ルドウォ−ル誘導
溶解ルツボ炉と呼ばれる溶解ルツボ炉に関し、特に、ル
ツボ炉の側壁と底部を含むルツボの炉体の構造の改良に
関する。
【0002】
【従来の技術】前述した特殊金属やそれらの合金の溶解
には、従来は電子ビ−ム溶解炉、非消耗式ア−ク炉など
が使用されてきたが、それらの炉には前記の高純度の金
属または合金、溶成するのが困難な反応性金属または合
金などの特殊金属の溶解への適用に欠点が認められた、
例えば、電子ビ−ム溶解炉の場合では、溶解雰囲気を1
-3Torr以下に制限する必要があった,そのため溶解の
簡便性の点から誘導加熱溶解法が一般に広く使用されて
いる。その中でも、前記の特殊金属の溶解に適した溶解
法として、水冷銅ルツボを使用するコ−ルドウォ−ル誘
導溶解法(コ−ルドクルシブル溶解法またはインダクシ
ョン・スカル溶解法と呼ばれる)が採用されるようにな
った。
【0003】今日まで一般に使用されているコールドウ
ォール型誘導溶解ルツボ炉と呼ばれるルツボ炉は、図7
の(A)と(B)に示されるように、導電性と熱伝導度
がともに良好な金属、主として銅製で、全体として底付
き中空円筒状で、該ルツボの側壁部または側壁の頂部か
ら底壁の一部までが、複数の狭いスリット2により円周
方向に複数個の短冊状のセグメント3に分割されたルツ
ボ本体1と、その外周に配置される誘導加熱コイル8と
から成り、セグメント3のそれぞれの内部11が冷却水
などの冷媒により冷却される誘導溶解用の金属製ルツボ
溶解炉である。このコールドウォール型ルツボ炉誘導加
熱において装入された金属又は合金が溶解される状態の
概略を説明する。装入される金属又は母合金は、塊状、
粒状、板状、粉状、またはそれらが混合して配合された
状態で装入される。誘導加熱の開始に伴いこれらの装入
物は、その表面から熔融し始め底部に向かって流れ落
ち、水冷ルツボの底部に至ると凝固して図8(B)に示
すような皿状のスカルを形成し、水冷ルツボの底部に置
かれた第2の容器のように機能し、その上に装入物と、
個々の装入物から生じた少量の熔融金属を支持して溶解
を進行させる。
【0004】溶解が進行して熔融物の量が増加すると熔
融物の液面は上昇し、水冷ルツボのセグメント3の内周
に接触する部分も、前述した皿状のスカルの外周から上
方に向かって立ち上がる側壁を有するスカルとなり、前
述したスカルの皿状の底部と一体になって側壁を形成し
て鍋状のスカルを構成し、その内部に熔融した金属と未
溶解の装入物を収容して溶解を進行させ、溶湯が直接側
壁に固着したりスリット部に侵入するのを防止する。さ
らに溶解が進行し装入物の全部が溶解する状態になる
と、熔融物の液面はさらに上昇し、いわゆる溶湯プール
を形成するようになるが、この時点では誘導加熱コイル
による電磁誘導作用により、溶湯の上面は水冷セグメン
トの内壁から離れて図7(A)に示されるように中心部
9aが盛り上がり、周辺部が低くなる凸曲面状となり側
壁から離れるように挙動し、スリットにより電気的に絶
縁された銅の水冷短冊状セグメント3相互間が溶湯によ
り短絡されるのを防止する。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】一般的な耐火材料に代
わるものとして採用されたのが前述した銅である。銅は
電気と熱の伝導率が高いため、ルツボ炉を構成する銅製
の炉壁を水などの冷却媒体により冷却して内部の溶湯よ
りもかなり低い温度に保つことができる。このように構
成されているので、水冷却が不可能な従来の耐火材料製
ルツボ炉のように、ルツボ自体が高温に達して反応性と
なり必然的に被溶解金属と反応して化合物などを形成し
溶湯を汚染することはなく、溶解される物質はルツボ内
に投入される被溶解材料だけとなるので、不純物が混入
するのは回避され高純度の製品が得られ、また誘導溶解
の特徴である攪拌作用により合金を溶製する際の均一性
も良好になる。その反面、導電性が良いことから、誘導
加熱によりルツボ炉自体が加熱されやすい難点がある
が、炉壁を短冊形に縦割り分割し内部に中空室11を形
成し、水などの冷却媒体により冷却することにより、中
空管状の炉壁自体が誘導加熱コイルに対する2次コイル
として加熱され高温に達することは回避できる。しか
し、短冊形の銅セグメント自体も導電体であるため、被
溶解材と同様、依然として誘導加熱コイルによりある程
度加熱を受けることは不可避である。測定結果によれ
ば、被溶解材に対する電力使用量を1とした場合、ルツ
ボに対する分は1.3であり経路およびコイル1次側の
損失を除外すると、被溶解材に対しては使用された電力
の40%程度しか有効に利用されていないことになる。
【0006】水冷銅短冊形のセグメント自体が加熱され
るのを低減する手段の一つとして、セグメントの半径方
向の厚みを薄くするのが効果的であると考えられるが、
従来方式の水冷銅短冊形セグメントは図7の(A)と
(B)に示されるように、中空室11の内部に,冷却水
の流出路となる内管11aが収容されている2重管構造
で単一のセグメント内に冷却水の流入路と流出路を有す
る構造であるため、半径方向の厚さを低減するには制約
がある。また短冊形セグメントの本数を多くするほど、
短冊形のセグメント自体が加熱されるのも低減され、ま
たルツボ壁面付近の磁束密度も一様になり溶湯の安定化
にも寄与するが、セグメントの半径方向の厚さの低減に
限度があるため上述と同じ制約がある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
1)概念的には、図8(A)に示すように、従来の水冷
銅短冊形セグメントの互いに隣接するセグメント3A、
3Bの2個ずつを1対の単位セグメントとし片側のそれ
ぞれのセグメント3A、3B同士は上部において一体に
連結されて短絡部3Cとされ、この短絡部3Cから下は
セグメントの下端に至るまでの高さで、幅はセグメント
の内周から半径方向に外周に至る幅を有して、セグメン
ト3Aと3Bを分離するスリット2Aが設けられ、スリ
ットの部分では両セグメント同士は互いに絶縁されてい
る。また、それぞれのセグメントには、図8(B)に示
されるように、その下端からほぼ垂直に上部に向う孔1
1A(11B)が明けられて、両側の孔は上部の短絡部
3Cに設けられた連絡路により連通する。このようにし
て、一方の孔11Aの底部から冷却水を流入させ、上部
の連通部を経て隣接する他方のセグメントの孔11Bに
流し、その底部から流出させるようにする。これにより
各セグメントには、図7の(A)と(B)に示した従来
の水冷銅短冊形セグメントの細い内管11aと同一程度
の内径の比較的細い孔を1個ずつ明ければよいことにな
り、各セグメントの厚さと幅を低減できる。 2)このような構造にしても上部において一体に連結し
て短絡されているルツボの底部を一体型の炉底とした
り、あるいは単純に導体の基部(ベ−ス部)4と連結し
て炉底を形成したりすると、図8(A)に示すように、
スリットの左のセグメント3A→上部短絡部3C→スリ
ットの右のセグメント3B→導体の基部4を経てスリッ
ト2Aの左のセグメント3Aに戻る、閉ル−プの導通路
が形成されてしまうので、誘導コイル8が励磁される
と、この閉ル−プを流れる電流、つまりスリット2Aの
周囲を流れる周回電流Cが形成され、この周回電流Cに
より生じる磁界により、誘導コイルからの磁束がスリッ
トを通過してルツボ内の非溶融金属9に至るのを低減す
るように作用するという別の問題が発生する。
【0008】この周回電流が形成されるのを阻止するに
は、 a)上部の短絡部3C以外はスリット2Aにより分離さ
れている両側のセグメントの脚の下部で半径方向外方に
延びてフランジとなる足に相当する部分5Aの下端を、
導体の基部4に対し絶縁するための絶縁部材を介在さ
せ、これによりセグメントの両側の足の部分5Aの下端
と導体の基部との間を電気的に絶縁させて周回電流が流
れないようにする。 b)別の手段として、スリットを上部の短絡部を貫通し
て縦断するように上方に延長し、断面がL形の2つのセ
グメント3Aと3Bを、スリット2Aの幅だけ完全に分
離されて並立されるようにし、両セグメントの内部に明
けられた冷却水の流通口11Aと11Bをセグメント3
Aと3Bの上部において絶縁材料製の連結具で連通させ
て両セグメントを互いに絶縁し、両セグメントが周回電
流の回路を構成しないようにする。 上記のa),b)に示した解決手段に基づき本発明の発
明者らは平成3年10月16日に発明の名称を「コール
ドウォール溶解炉のルツボ構造」とする特許出願(特願
平3−294848)をした。
【0009】しかし、1対のセグメントの各セグメント
の上部に短絡部3Cを設けたことにより、停電などによ
り図9(A)に示すように、ルツボ内で溶湯がそのまま
実体円柱状の凝固体5になったり、通常の出湯でも、出
湯した後に残るスカルが図9(B)に示すように全体と
して中空円筒形でルツボの注湯口に接した舌状の部分5
bを有する薄皮状のスカル5’となる際に、それらの凝
固体の表皮の一部には溶湯がルツボのスリット部に進入
し、現場で「さし込み」と呼ばれる状態に凝固し、それ
らの凝固体の外周に、縦皺状の突出部5aが不規則的に
生じて、凝固体やスカルをルツボから取り除くのが困難
になるという問題が生じるため、その解決が必要になっ
た。そこで、短絡部3Cの内周に、スリットの上端から
短絡部3Cの上端まで貫通する長さで、縦皺状の突出部
5aの発生が予測される高さの最大値を上回る程度の深
さを有し、スリットと同じ幅を有する縦溝穴を設けて凝
固物に生じた縦皺状の突出部5aをこの溝穴を通過させ
ルツボの上方に取り出すことができるようにしてこの問
題を解決した。
【0010】
【作用】
1)コールドウォール溶解炉のルツボの炉壁を構成する
セグメントの隣接する2個を1対として、底部から頂部
に近い中間部をスリットにより分離し、その一方に冷却
水の流入孔を他方には流出孔を明け、両者を上部で連結
することによりそれぞれのセグメントに明けられ冷却水
の通路となる孔は、従来の2重管方式での内管の径に等
しい程度のより細い孔1本で済むことになり、セグメン
トの厚さと幅を低減でき、ルツボへの電力投入量を低減
できる。 2)また、セグメントの数を増加できるのでルツボの側
壁面付近での磁束密度が一様になり溶湯の安定性が向上
する。 3)各セグメントの内周と、それらの内部に配置されル
ツボの炉底となる導電性の基部(ベ−ス)の中央凸部の
外周との間に所定の隙間を設け、また両セグメントのフ
ランジ部の底面と、導電性の基部(ベ−ス)のフランジ
部の上面との間を絶縁したので、両側のセグメントの下
端部が導電性の基部を介して導通し、スリットの周囲を
周回電流が流れるのを阻止できる。また、スリットを両
側のセグメントの上部にまで延長して両セグメントを完
全に分離し、両者の間を絶縁性の水路連結具で連結して
も両側のセグメントが互いに絶縁され、この絶縁部によ
り周回電流の流れが生じない。 4)上記のように周回電流を阻止するための絶縁部が設
けられても、誘導加熱コイルによる磁束は、セグメン
ト、セグメント対内のスリットを通過し、セグメント対
間のスリットの下方を通過して連続した磁路を形成す
る。 5)このような構造にされていても,図8(A)、
(B)に記号Sで示されているように、ルツボの底で被
溶解金属によりスリット部の短絡が起こるならば、部分
的に周回電流が流れることになるが、この短絡部Sより
下方にスリット部が存在することにより磁束はスリット
の下方を通過する。 6)更に停電などによりルツボ内で溶湯が凝固した凝固
物、又は出湯後に残るスカルのスリット内へ進入した状
態で凝固(さし込み)して縦皺状の突起物が生じた場合
でも、突起物の部分をスリットの一部の延長として短絡
部に垂直に設けた貫通溝を通過させることにより凝固物
を容易に取り出すことができる。
【0011】
【実施例】図1は本発明の第1の実施例を示す部分斜視
図であり、図2は、図1のIIA−IIAに沿って見た概略半
体側面図である。図中の符号10は本発明によるコール
ドウォール溶解ルツボ炉の全体を示し、図中の符号13
は2個を1対とした単位セグメントである。単位セグメ
ント13の各々は、図で左右1対の脚13aと13bか
ら成り、両脚13aと13bはセグメントの上端に近い
部分13cで合体し短絡部とされ、それ以下の部分はス
リット14aにより両脚13aと13bに分離され、こ
れらの両脚のそれぞれには、それぞれの断面のほぼ中央
部を下端面から前記の合体された部分まで明けられて水
などの冷却媒体の通路となる流入孔15a又は流出孔1
5bが設けられ、これらは前記の短絡部にほぼ水平に明
けられた連結孔15cにより連通される。図3は、前記
の冷却媒体の流入孔15aと流出孔15bを連結するた
めの具体的な構造を示すもので、単位セグメント13の
それぞれの脚部13aと13bの下端から連結部13c
の上端のやや下まで流入孔15aと流出口15bを孔明
けし、それぞれの上端に通ずるように脚部13aと13
bの両外側面からほぼ水平に連通孔15cが孔明けさ
れ、それぞれの開放端にフタ部材19を取付けOリング
19aなどで水密にシ−ルしている。両脚13aと13
bのそれぞれの下端には,連続して半径方向外方に伸び
る足部13dと13eが接続され、足部13dと13e
には、それぞれの半径方向の外端から内端まで貫通し前
記両脚部13aと13b間のスリット14aと連通する
スリット14bが明けられ、単位セグメントの全部が組
み立てられた状態で足部13eと13dはルツボ側壁の
下端で断続したフランジを構成し、詳細を後述するよう
にルツボ炉の炉底となる基部(ベ−ス)17のフランジ
上に絶縁板18を介して載置される。
【0012】図1において符号17は、導電性材料で成
型されルツボ炉の炉底を構成する基部(ベ−ス)であ
り、17aは前記単位セグメント13の各々が組立てら
れた状態で、それらの脚の内周面によって画定される炉
壁の内部に挿入され前記の炉壁とともに炉室を構成した
場合に、炉室の底となる中央の凸部であり、17dは前
記中央の凸部17aの下部外周から半径方向外方に張り
出したフランジ部で、ルツボ炉のフランジとして、その
上面に前記単位セグメントの脚部と足部により構成され
る炉壁の断続したフランジを載置して支持する。前記単
位セグメン13の内周と基部17の中央の凸部17aの
外周17cとの間は、炉室の底部付近で被溶解材料の溶
湯(スカルを含む)を介してスリット部の短絡を低減す
るため所定の間隔gを保って組立てられている。図中の
符号18は、ガラス又はエポキシ積層板等の絶縁体が連
続した円環状に成型された絶縁板であって、所定数のボ
ルト穴20aが明けられ各組の単位セグメントユニット
13のスリット14aと14bを挟んで、隣接する脚と
足とを含む下端面が、基部17のフランジ部17dの上
面17eを介して短絡するのを防止するため、基部の凸
部17aの外側面17cに外嵌されて、フランジ部の上
表面17eの上に配置され、その上に、セグメントユニ
ット13の、それぞれの、足(13e,13d)が配置
され、ボルト20が単位セグメント13のそれぞれの足
(13e,13d)と絶縁材18を貫通しフランジ部の
上表面17eに明けられたネジ孔にねじ込まれて固定さ
れる。ボルト20と単位セグメント13の足(13e,
13d)との間は、絶縁材料製のT形カラ−21などに
より絶縁されている。これは、基部17のフランジ部1
7dと単位セグメント13の前記の足との間が、ボルト
20を介して短絡されスリット14の下端を越えスリッ
ト周囲を周回電流が流れるのを阻止するためである。
【0013】次に、上記の本発明の第1の実施例の作動
について説明する。誘導加熱コイル8に所定の周波数の
交流電流を流すとルツボ本体には、図2(B)に示され
るように加熱コイル8の周囲を還流する磁束φが形成さ
れる。加熱コイル8の周囲を還流する磁力線は、ルツボ
炉10の軸心とセグメント13を含む円周上の各点とを
結ぶ平面で切られる断面により多少相違する。図2
(B)は、1つの対の単位セグメントの前記両脚部13
aと13b間のスリット14aの部分で切られた断面に
おける磁力線を示す側面図である。各単位セグメント1
3が細い脚13a,13bにより形成されるので、各単
位セグメント13の内周近傍に形成される磁束密度は従
来のものより均一になる。装入された被熔融金属9は上
記の磁束φによる誘導電流により加熱されて熔融し熔湯
のプールを形成し、磁束φと誘導電流Iとの相互作用及
び被熔融金属9に加わる重力の加速度Gにより撹拌さ
れ、熔湯の中央部は盛り上がり、周辺は沈下して表面は
凸曲面状になる。またルツボの底部17aと水冷側壁1
3に接触する熔湯9は凝固し薄皮状のスカル5となる。
誘導加熱コイル8により誘起されルツボ本体の外周部を
流れる筈の周回電流は単位セグメント13の両脚13と
13b間のスリット14aにより遮断されているので流
れない。左セグメント13a→上部短絡部13c→右セ
グメント13b→基部17を周回する筈の誘導電流は絶
縁材18により遮断され流れない。溶解の進行に伴い、
それによる放射熱、熱伝導によるセグメント13自体内
の局部的な誘導加熱などによりセグメント13自体の温
度も上昇するが、これらの温度上昇は冷却水の流量を増
加させることにより十分冷却できる。
【0014】図4(A)は、第2の実施例を示す斜視図
であり、符号13Aは本実施例による単位セグメントを
示し、第1の実施例と相違するのは、スリット14aが
セグメントの上端を越えて延長され左右の脚部13f,
13gが完全に分離されている点である。冷却水の流入
孔15aと流出孔15bの上端は第1の実施例と同様左
右の脚部13f,13gの頂部より手前まで明けられ、
両者の間は図4(B)に示すように、中間に絶縁性の部
材19aが介在している連結具19により接続される。
この場合は連結具19による絶縁によりセグメント左右
の脚部13fと13gが周回電流の電路とならないの
で、セグメント13Aの下端面と基部17のフランジ1
7dとの間を絶縁する必要はない。上記の連結具が通常
の導電性金属製である場合には、第1の実施例と同様に
セグメント13Aの両足13h,13iの下端面と基部
の17のフランジ17dとの間の絶縁が必要になる。誘
導加熱コイルにより被溶解金属が溶解される点は前述し
た第1の実施例と同じなので、説明を省略する。この第
2実施例が第一の実施例と相違する点は、誘導加熱コイ
ル8を流れる電流による電磁誘導作用により誘起され、
左セグメント13f→連結具19→右セグメント13g
→基部(ベース)17を周回する筈の誘導電流成分は連
結具19を構成する絶縁性部材19aによって遮断され
て流れない。
【0015】図5(A)は本発明の第3の実施例を示す
斜視図で、図5(B)は図5(A)に示した溝穴14c
の部分拡大斜視図で、図6は図5のVI-VIに沿って見た
概略側面図である。第1実施例で示した短絡部13c内
周にスリット14の幅(図1と2参照)と同寸法の幅
と、縦皺状の突出部の予測される最大高さを上回る深さ
を有し短絡部13cの上端からスリット14aに連通す
る溝穴14cを設けて、停電などにより凝固した被熔融
金属やスカル5の凝固物がスリット14a内に進入して
不規則的に生じた縦皺状の突出部5a(図9参照)を通
過させ炉外に取り出すことができるようにした。その他
の構造と作用は第1実施例と同様である。
【0016】
【発明の効果】
1)従来は、各セグメントはそれぞれの内部に冷却水の
流入路と流出路を備えた2重管構造になっていたが、本
発明では隣接するセグメントの2つを1組の単位セグメ
ントとし、一方に冷却水の流入孔のみを、他方に流出孔
のみを設け両者を連通させるるようにしたので、各セグ
メントの厚さと幅を低減することができ、ルツボへの電
力投入量を低減することができる。 2)全体としてのセグメントの数を増加でき、溶湯の安
定化が可能になる。 3)セグメント自体が上部で一体に連結されている場合
は、スリットで分離されているセグメントの下端を、ル
ツボの炉底を構成する導電性の基部に対し絶縁すること
によりスリットの周囲に沿って流れる周回電流を阻止で
きる。 4)1組の単位セグメントが上端から下部までスリット
により完全に分離されている構造にすれば、セグメント
自体の製作は極めて容易になる。ただしこの場合に周回
電流を阻止するためには、冷却水の流入孔と流出孔を連
通させる連結部を絶縁構造にするか、セグメントの下端
をルツボの炉底を構成する導電性の基部に対し絶縁する
必要がある。 5)セグメント自体が上部で一体に連結されている場合
でも、連結部の内周にスリットの幅と同じ幅で深さが停
電の際に発生する縦皺状の突起部の高さより深い貫通溝
が明けられているので、停電などによりスカルや熔湯の
表面に縦皺状の突起部が発生しても突起部が生じたスカ
ルや熔湯を炉外に取り出すことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例によるコ−ルドウォ−ルル
ツボの一部を破断して示す斜視図である。
【図2】(A)は図1のIIA−IIAに沿って見た概略半体
側面図で、(B)は磁力線を付記したものである。
【図3】図1に示した第1実施例の単位セグメントを示
す斜視図である。
【図4】(A)は、本発明の第2実施例の単位セグメン
トを示す斜視図で、(B)は連結部材を示す斜視図であ
る。
【図5】(A)は、本発明の第3実施例によるコ−ルド
ウォ−ルルツボの一部を破断して示す斜視図で、(B)
は、(A)に示した溝穴の部分拡大斜視図である。
【図6】図5のVI−VIに沿って見た概略側面図である。
【図7】(A)と(B)は、それぞれ、従来技術による
コ−ルドウォ−ルルツボを示す部分断面正面図と部分平
面図である。
【図8】(A)と(B)は、それぞれ、セグメントの下
端がスリットにより分離されている場合の周回電流を示
す模式図と、コ−ルドウォ−ルルツボの軸心を含む面で
切断した側断面図である。
【図9】(A)は、停電などにより溶湯がその場で凝固
した中実円筒状の凝固体の斜視図であり、(B)は、同
じくルツボを傾動し注湯した場合に生じた中空円筒状の
スカルの斜視図である。
【符号の説明】
5a 突起部 10 ルツボ本体 13、13A 単位セグメント 13a,13b セグメントの脚部 13c セグメント上部の短絡部 13d,13e,13h,13i セグメントの足部 14a,14b,14A スリット 14c 溝穴 15a,15b,15c 冷却水の、流入、流出および
連通路 17 基部 17a 基部の凸部 17d 基部のフランジ部32a 一体底壁 18 絶縁材 19 フタ部材 20 固定ボルト
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成5年3月17日
【手続補正1】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図9
【補正方法】変更
【補正内容】
【図9】

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 導電性材料により成形され、円周方向に
    整列されほぼ垂直方向に延在して、それぞれの間がスリ
    ットにより所定の間隔を保って分離され、それぞれの内
    部に冷却用媒体の流通路が配置された複数のセグメント
    により断続して構成されたルツボ側壁と、前記セグメン
    トにより構成される側壁の底部に接続されて前記ルツボ
    の底壁を構成する導電性の底部とを有し、前記側壁の内
    周と前記底部の内表面とが被溶解金属を収容する炉室を
    画定するルツボ本体と、このルツボ本体の前記側壁の外
    周に配置された誘導加熱コイル部とを含んで成るコール
    ドウォール誘導溶解ルツボ炉において:前記複数のセグ
    メントは隣接する2個ごとに対を成し、その対の一方は
    冷却媒体の流入路を、他方はこれに連通された流出路を
    有し単位セグメントとして構成され、各単位セグメント
    は、その下端部から上端に向かって少なくとも中間部ま
    でがスリットにより2分されほぼ直立して配置される両
    脚部と、この両脚部のそれぞれの脚に一体に連続して前
    記脚部のスリットに連続するスリットにより2分され半
    径方向外方に延在する足部とを有して断面がL字形に成
    形され;前記底部は、前記側壁の内周に対し所定の隙間
    を保って挿入され底壁を構成する中央の凸部と、この凸
    部と一体にその下端から半径方向外方に延在する環状の
    フランジ部とを有し断面が凸字状の基部として成形さ
    れ;前記単位セグメントの両脚と両足部とは前記基部の
    環状フランジ部に載置されて支持、固定され、前記基部
    と前記単位セグメントの両脚および両足部は、それらの
    いずれかの部分において、前記脚部のスリットと足部の
    スリットの周囲を周回電流が流れないように絶縁されて
    いることを特徴とするコールドウォール誘導溶解ルツボ
    炉。
  2. 【請求項2】 請求項1記載のルツボ炉において;前記
    の各単位セグメントは、その下端部から上端に至る手前
    の中間部までがスリットにより2分され上端付近が連続
    した短絡部とされ、この短絡部において前記の流入路と
    流出路が連通され、前記基部と前記単位セグメントの両
    脚および両足部とは、前記基部に対し絶縁部材を介して
    固定されていることを特徴とするコールドウォール誘導
    溶解ルツボ炉。
  3. 【請求項3】 請求項2記載のルツボ炉において;前記
    絶縁部材は、前記基部のフランジ部の上面と、前記単位
    セグメントの両脚および両足部との間に配置される絶縁
    板と前記単位セグメントの両足部をフランジ部に固定す
    る固定ボルトとを絶縁するための絶縁カラ−とであるコ
    ールドウォール誘導溶解ルツボ炉。
  4. 【請求項4】 請求項1記載のルツボ炉において;前記
    各単位セグメントは、その下端部から上端部までがスリ
    ットにより完全に2分され、前記の流入路と流出路とは
    少なくとも中間部が絶縁性材料で成形された水路連結具
    により連通されているコールドウォール誘導溶解ルツボ
    炉。
  5. 【請求項5】 請求項1記載のルツボ炉において;前記
    各単位セグメントは、その下端部から上端部までがスリ
    ットにより完全に2分され、前記の流入路と流出路とは
    導電性材料で成形された水路連結具により連通され、前
    記基部と前記単位セグメントの両脚および両足部とは、
    前記基部に対し絶縁部材を介して固定されていることを
    特徴とするコールドウォール誘導溶解ルツボ炉。
  6. 【請求項6】 請求項1記載のルツボ炉において;前記
    の各単位セグメントはその下端部から上端に至る手前の
    中間部までがスリットにより2分され上端付近で連続し
    ている短絡部の内周面の上端から前記スリットに至るま
    で明けられ、前記溶解炉のルツボ内の熔融金属又はスカ
    ルが停電などにより前記スリット内に進入して凝固して
    生じた縦皺状の突起部を通過させるための溝として、前
    記突起部の予測される最大高さを上回る深さで前記スリ
    ットと少なくとも同じ幅の貫通溝を有することを特徴と
    するコールドウォール誘導溶解ルツボ炉。
JP29666792A 1991-10-16 1992-10-09 コールドウォール誘導溶解ルツボ炉 Expired - Fee Related JP3287031B2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP29666792A JP3287031B2 (ja) 1991-10-16 1992-10-09 コールドウォール誘導溶解ルツボ炉
DE69218871T DE69218871T2 (de) 1991-10-16 1992-10-15 Induktionsschmelztiegel mit segmentierter Kaltwand
US07/961,362 US5283805A (en) 1991-10-16 1992-10-15 Segmented cold-wall induction melting crucible
EP92309393A EP0538024B1 (en) 1991-10-16 1992-10-15 Segmented cold-wall induction melting crucible

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP29484891 1991-10-16
JP3-294848 1991-10-16
JP29666792A JP3287031B2 (ja) 1991-10-16 1992-10-09 コールドウォール誘導溶解ルツボ炉

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH05264176A true JPH05264176A (ja) 1993-10-12
JP3287031B2 JP3287031B2 (ja) 2002-05-27

Family

ID=26560014

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP29666792A Expired - Fee Related JP3287031B2 (ja) 1991-10-16 1992-10-09 コールドウォール誘導溶解ルツボ炉

Country Status (4)

Country Link
US (1) US5283805A (ja)
EP (1) EP0538024B1 (ja)
JP (1) JP3287031B2 (ja)
DE (1) DE69218871T2 (ja)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002277169A (ja) * 2001-03-22 2002-09-25 Shinko Electric Co Ltd 誘導加熱溶解炉
JP2002286375A (ja) * 2001-03-28 2002-10-03 Shinko Electric Co Ltd 誘導加熱溶解炉
JP2007522425A (ja) * 2004-01-16 2007-08-09 コンサーク コーポレイション 冷るつぼ誘導炉
JP2013167617A (ja) * 2012-02-14 2013-08-29 Korea Hydro & Nuclear Power Co Ltd 冷却流が改善された低温溶融炉及び金属セクター
JP2014501901A (ja) * 2011-09-26 2014-01-23 韓国水力原子力株式会社 外側面が曲面形状の金属セクター及びこれを含む誘導加熱式低温溶融炉
JP2014504354A (ja) * 2011-09-26 2014-02-20 韓国水力原子力株式会社 内側面が曲面形状の金属セクター及びこれを含む誘導加熱式低温溶融炉

Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4429340C2 (de) * 1994-08-18 2003-04-30 Ald Vacuum Techn Ag Tiegel zum induktiven Schmelzen oder Überhitzen von Metallen, Legierungen oder anderen elektrisch leitfähigen Werkstoffen
DE19504359C1 (de) * 1995-02-10 1996-04-25 Ald Vacuum Techn Gmbh Verfahren zum Herstellen von Legierungen in einem induktiv beheizten Kaltwandtiegel
TW297050B (ja) * 1995-05-19 1997-02-01 Daido Steel Co Ltd
FR2740646B1 (fr) * 1995-10-27 1998-01-16 Electricite De France Cage froide pour dispositif a induction
DE19622884A1 (de) * 1996-06-07 1997-12-11 Ald Vacuum Techn Gmbh Tiegel zum induktiven Schmelzen oder Überhitzen von Metallen, Legierungen oder anderen elektrisch leitfähigen Werkstoffen
DE19629636A1 (de) * 1996-07-23 1998-01-29 Ald Vacuum Techn Gmbh Tiegel zum induktiven Schmelzen oder Überhitzen von Metallen, Legierungen oder anderen elektrisch leitfähigen Werkstoffen
JP3947584B2 (ja) * 1996-09-30 2007-07-25 神鋼電機株式会社 コールドクルーシブル誘導溶解炉
DE19852747A1 (de) * 1998-11-16 2000-05-18 Ald Vacuum Techn Ag Verfahren zum Einschmelzen und Umschmelzen von Materialien zum Herstellen von homogenen Metallegierungen
DE10002020C2 (de) * 2000-01-19 2003-08-14 Schott Glas Beschichtung von gekühlten Vorrichtungen
DE10002019C1 (de) * 2000-01-19 2001-11-15 Schott Glas Vorrichtung zum Erschmelzen oder Läutern von anorganischen Substanzen insbesondere Gläsern oder Glaskeramiken
US6304590B1 (en) * 2000-07-11 2001-10-16 Consarc Corporation Formation of metal wire
US6385230B1 (en) 2001-03-14 2002-05-07 Floswerve Manage Company Homogeneous electrode of a reactive metal alloy for vacuum arc remelting and a method for making the same from a plurality of induction melted charges
FR2835601B1 (fr) * 2002-02-04 2006-07-28 Commissariat Energie Atomique Creuset de four a induction
DE102005054319B4 (de) * 2005-11-11 2013-04-25 Schott Ag Modularer Skulltiegel, Begrenzungs- und Erweiterungselemente und Verfahren zum Schmelzen und/oder Läutern einer anorganischen Substanz, insbesondere von Glas
EP2387546A4 (en) * 2008-12-01 2015-10-28 Inductotherm Corp CLEANING OF SILICON BY ELECTRIC INDUCTION MELTS AND DIRECTED PARTIAL COOLING OF THE MELTS
DE102009033502B4 (de) * 2009-07-15 2016-03-03 Schott Ag Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Glasprodukten aus einer Glasschmelze
US8475711B2 (en) 2010-08-12 2013-07-02 Ati Properties, Inc. Processing of nickel-titanium alloys
CN103442825B (zh) * 2011-03-14 2017-01-18 康萨克公司 用于铸块的电磁铸造中的开底式电感应冷却坩埚
US9279171B2 (en) 2013-03-15 2016-03-08 Ati Properties, Inc. Thermo-mechanical processing of nickel-titanium alloys

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3223510A (en) * 1963-02-12 1965-12-14 Pittsburgh Plate Glass Co Apparatus for drawing sheet glass
GB1145769A (en) * 1966-01-28 1969-03-19 Standard Telephones Cables Ltd Improvements in or relating to apparatus for the heat treatment of electrically conductive materials
FR1492063A (fr) * 1966-04-05 1967-08-18 Commissariat Energie Atomique Perfectionnement aux fours électriques haute fréquence pour la fabrication en continu de réfractaires électrofondus
US3775091A (en) * 1969-02-27 1973-11-27 Interior Induction melting of metals in cold, self-lined crucibles
FR2036418A5 (ja) * 1969-03-13 1970-12-24 Commissariat Energie Atomique
GB1221909A (en) * 1969-10-01 1971-02-10 Standard Telephones Cables Ltd Improvements in or relating to apparatus for the heat treatment of electrically conductive materials
GB1269762A (en) * 1970-01-09 1972-04-06 David Ainsworth Hukin Improvements in or relating to crucibles
US4038201A (en) * 1972-03-24 1977-07-26 Optovac, Inc. Polycrystalline bodies and means for producing them
US4058668A (en) * 1976-03-01 1977-11-15 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Interior Cold crucible
FR2497050A1 (fr) * 1980-12-23 1982-06-25 Saphymo Stel Dispositif de fusion par induction directe en cage froide avec confinement electromagnetique de la charge fondue
US4738713A (en) * 1986-12-04 1988-04-19 The Duriron Company, Inc. Method for induction melting reactive metals and alloys
FR2609655B1 (fr) * 1987-01-15 1989-03-24 Cezus Co Europ Zirconium Dispositif de fusion et coulee continue de metaux, son procede de mise en oeuvre et son utilisation
FR2621387B1 (fr) * 1987-10-06 1990-01-05 Commissariat Energie Atomique Creuset de four a induction
DE3910777C2 (de) * 1989-04-04 2001-08-09 Ald Vacuum Techn Ag Induktionsofen mit einem metallischen Tiegel
US4923508A (en) * 1989-05-08 1990-05-08 Howmet Corporation Segmented induction skull melting crucible and method
FR2647196B1 (fr) * 1989-05-19 1991-06-28 Cezus Co Europ Zirconium Creuset froid a vidange par le fond
US5084091A (en) * 1989-11-09 1992-01-28 Crucible Materials Corporation Method for producing titanium particles
US5090022A (en) * 1990-05-21 1992-02-18 Inductotherm Corp. Cold crucible induction furnace

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002277169A (ja) * 2001-03-22 2002-09-25 Shinko Electric Co Ltd 誘導加熱溶解炉
JP2002286375A (ja) * 2001-03-28 2002-10-03 Shinko Electric Co Ltd 誘導加熱溶解炉
JP2007522425A (ja) * 2004-01-16 2007-08-09 コンサーク コーポレイション 冷るつぼ誘導炉
JP2014501901A (ja) * 2011-09-26 2014-01-23 韓国水力原子力株式会社 外側面が曲面形状の金属セクター及びこれを含む誘導加熱式低温溶融炉
JP2014504354A (ja) * 2011-09-26 2014-02-20 韓国水力原子力株式会社 内側面が曲面形状の金属セクター及びこれを含む誘導加熱式低温溶融炉
US9265095B2 (en) 2011-09-26 2016-02-16 Korea Hydro & Nuclear Power Co., Ltd. Metal sector having curved inner surface and cold crucible induction melter having the same
US9265096B2 (en) 2011-09-26 2016-02-16 Korea Hydro & Nuclear Power Co., Ltd. Metal sector having curved outer surface and cold crucible induction melter having the same
JP2013167617A (ja) * 2012-02-14 2013-08-29 Korea Hydro & Nuclear Power Co Ltd 冷却流が改善された低温溶融炉及び金属セクター

Also Published As

Publication number Publication date
DE69218871D1 (de) 1997-05-15
US5283805A (en) 1994-02-01
EP0538024A1 (en) 1993-04-21
DE69218871T2 (de) 1997-09-04
EP0538024B1 (en) 1997-04-09
JP3287031B2 (ja) 2002-05-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH05264176A (ja) コールドウォール誘導溶解ルツボ炉
CA1265179A (en) Electrode structure for a bath of molten metal
JPH05280871A (ja) 誘導溶解用水冷分割銅るつぼ
JPH10103875A (ja) コールドクルーシブル誘導溶解炉
JP4263366B2 (ja) 希土類磁石スクラップの溶解方法及び溶解装置
JP2007163057A (ja) コールドクルーシブル誘導加熱溶解炉
JPS62130755A (ja) 電子ビ−ム溶解法による連続鋳造法
US6219372B1 (en) Guide tube structure for flux concentration
JP2007024396A (ja) 誘導加熱溶解炉
JPH0684589A (ja) 直流電気冶金炉の炉壁電極
JP3097169B2 (ja) 凝固したスカルの取出しが容易なコールドウォールルツボ炉とその製造方法
US4475205A (en) Apparatus for the electroslag remelting of alloys, especially steel
JP3055243B2 (ja) 取鍋の溶湯加熱装置
US3708279A (en) Process of refining metal in a vacuum with coaxially mounted non-consumable electrodes
JP2001316734A (ja) 案内管の流束集中を制御する方法
JP2917515B2 (ja) コールドクルシブル溶解炉の炉壁の溶融防止方法と防止装置
US3772449A (en) Plant for the electric slag refining of metals
JP2000167648A (ja) 金属溶解装置
JPH04362144A (ja) 誘導溶解方法
SU617481A1 (ru) Тигель дл гарниссажной печи
KR100694332B1 (ko) 하부 유출 시스템, 하부 유출 일렉트로슬래그 정련 시스템 및 방법
JP2004060996A (ja) 誘導溶解用水冷るつぼ
JP2008051376A (ja) 誘導溶解装置
JPH028821B2 (ja)
JPH03274382A (ja) 真空アーク溶解方法

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090315

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090315

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100315

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100315

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110315

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110315

Year of fee payment: 9

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees