JPH05258363A - 光磁気記録媒体 - Google Patents

光磁気記録媒体

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JPH05258363A
JPH05258363A JP8641192A JP8641192A JPH05258363A JP H05258363 A JPH05258363 A JP H05258363A JP 8641192 A JP8641192 A JP 8641192A JP 8641192 A JP8641192 A JP 8641192A JP H05258363 A JPH05258363 A JP H05258363A
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JP
Japan
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film
magneto
recording medium
optical recording
thermal conductivity
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Application number
JP8641192A
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English (en)
Inventor
Hiromi Nakazawa
弘実 中澤
Yuji Takatsuka
裕二 高塚
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Sumitomo Metal Mining Co Ltd
Daicel Corp
Sumitomo Chemical Co Ltd
Original Assignee
Sumitomo Metal Mining Co Ltd
Sumitomo Chemical Co Ltd
Daicel Chemical Industries Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 光磁気記録媒体において、耐久性を改良す
る。 【構成】 透明基板と、該透明基板にPdとCoが交互
に積層されたPd−Co系人工格子膜またはPtとCo
が交互に積層されたPt−Co系人工格子膜と、該人工
格子膜に付着された誘電体膜を有する光磁気記録媒体に
おいて、該誘電体の熱伝導率を0.2W/cm・K以下
に設定し、該誘電体の上に熱伝導率が1.0W/cm・
K以上の膜を成膜する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、光磁気記録媒体に関
し、特に、Pd−Co系人工格子膜またはPt−Co系
人工格子膜を記録層とする光磁気記録媒体に関する。
【0002】
【従来の技術】透明基板上にPdとCoとが交互に積層
されたPd−Co系人工格子膜またはPtとCoとが交
互に積層されたPt−Co系人工格子膜を記録層とする
光磁気記録媒体は、耐食性に優れたものとして知られて
いる(特開平2−29956)。この光磁気記録媒体に
は、記録層の上に例えばSiN、Si3 4 、SiO、
AlNなどの透明誘電体干渉膜またはAlなどの金属膜
が成膜されたものがある。即ち、前記特開平2−299
56号の公報は酸化防止膜として誘電体膜または金属膜
を成膜した光磁気記録媒体を開示している。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、本発明
者は、このような光磁気記録媒体に対してレーザビーム
を照射し、記録と消去を繰り返して行くと、記録媒体の
性能が劣化し、信号強度が次第に低下しノイズが大きく
なることを見出した。
【0004】そこで、本発明の目的は、さらに耐食性を
向上させたPd−Co系人工格子膜またはPt−Co系
人工格子膜を記録層とする光磁気記録媒体を提供するこ
とにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】前述の目的を達成するた
めに、本発明は、透明基板と、該透明基板にPdとCo
が交互に積層されたPd−Co系人工格子膜またはPt
とCoが交互に積層されたPt−Co系人工格子膜と、
該人工格子膜に付着された誘電体膜を有する光磁気記録
媒体において、該誘電体の熱伝導率が0.2W/cm・
K以下であり、該誘電体の上に熱伝導率が1.0W/c
m・K以上の膜が成膜されていることを特徴とする光磁
気記録媒体を採用するものである。
【0006】
【作用】本発明において、Pd−Co系人工格子膜また
はPt−Co系人工格子膜である記録層の透明基板とは
反対側に成膜される熱伝導率が0.2W/cm・K以下
の誘電体膜としては、スパッタリング法、CVD法等に
よるSiN、Si3 4、SiO、Ta2 5 等が使用
できる。
【0007】この誘電体膜は、光学的エンハンス作用を
するものであり、150〜600オングストローム程度
の膜厚とするのが好ましい。膜厚が150オングストロ
ームより薄い場合には、信号の記録に必要なレーザビー
ムのパワーが増大するので好ましくない。また600オ
ングストロームより厚く成膜するのは、時間がかかるの
で好ましくない。
【0008】また、上記誘電体膜の上に成膜される熱伝
導率が1.0W/cm・K以上の膜としては、スパッタ
リング法、CVD法等によるAl、Au、Ag、Pt、
Pd、Cu等の金属、AlCr、AlTi等のAl合
金、AuAg、AuPt、AuCu等の貴金属から成る
合金膜が使用できる。
【0009】この膜は、熱放散の作用をするものであ
り、300〜1000オングストローム程度の膜厚とす
るのが好ましい。膜厚が300オングストロームより薄
い場合は、熱伝導率が減少し、記録に必要なレーザパワ
ーが増加するので好ましくない。また、1000オング
ストロームより厚く成膜するのは、時間がかかるので好
ましくない。
【0010】記録層の透明基板上側では、この記録層が
透明基板上に直接成膜されてもよく、また誘電体干渉膜
を介して成膜されていてもよい。
【0011】上記のような膜構造を持つ光磁気記録媒体
に、通常使用する6mW程度のパワーを持つレーザビー
ムを照射すると、熱伝導率が1.0W/cm・K以上の
膜が付いていることにより、熱が逃げやすくなり、記録
層のPd−Co系またはPt−Co系の人工格子膜が合
金化する温度までは膜の温度が上昇せずにすむ。この層
の熱伝導率が1.0W/cm・K未満であると、記録層
の温度は合金化する温度まで達してしまい、何回かの記
録と消去の繰り返しにより信号特性は劣化してしまう。
【0012】さらに、上記の膜構造の光磁気記録媒体
は、記録層と前述の膜との間に熱伝導率が0.2W/c
m・K以下の誘電体膜を設けて、熱を少しだけ逃げにく
くしているので、記録層が到達する温度を記録と消去に
必要な温度より高くすることができる。もちろん、記録
層の温度は誘電体膜の上に熱伝導率が1.0W/cm・
K以上の膜が付いているため、記録層が合金化する温度
までは到達しない。もしこの誘電体膜の熱伝導率が0.
2W/cm・Kを越えると、熱が逃げやすいので膜の温
度は上昇しにくく、膜が記録と消去に必要な温度に達す
るためには、レーザパワーを増加させねばならない。
【0013】このように、0.2W/cm・K以下の誘
電体膜と1.0W/cm・K以上の膜の両方を成膜する
ことにより、レーザビームの照射時に、記録層の温度を
高めることにより少量のパワーで記録と消去を行うこと
ができるようにすると共に、記録層から熱を効率よく逃
がすことができ、何回もの信号の書き込みと消去が可能
となる。
【0014】
【実施例】以下に、本発明の好ましい実施例と、実施例
と比較するための比較例及び従来例を説明する。 (実施例1、2)スパッタリング法により、ガラス基板
上に、SiN透明誘電体干渉膜(膜厚900オングスト
ローム)、PdとCoが交互に積層したPd−Co系人
工格子膜(全膜厚:300オングストローム、Pd:1
2オングストローム、Co:8オングストローム)、S
iN透明誘電体干渉膜(膜厚500オングストローム)
を順次成膜した。SiN透明誘電体干渉膜(膜厚500
オングストローム)上に成膜する熱放散膜としてAl膜
(実施例1)、AlTi膜A(Ti:0.79atm
%)(実施例2)の2種類を用いた(いずれも膜厚50
0オングストローム)。なお、SiN透明誘電体干渉膜
(膜厚500オングストローム)の熱伝導率は0.15
W/cm・Kである。また、Al膜とAlTi膜Aの熱
伝導率は、それぞれ、1.68W/cm・K、1.1W
/cm・Kである。
【0015】得られた光磁気記録媒体の膜は、すべて6
mWのレーザパワーでCNR値が飽和したので、記録時
には6mWのレーザビームを用い、消去時には10mw
のレーザビームを用いて記録と消去を繰り返し行い、そ
の前後のCNR値を測定した。その結果、いずれの光磁
気記録媒体膜でも、レーザビームを1回当てた後も10
5 回繰り返して当てた後も38dBのままでほとんど変
化がなかった。
【0016】(比較例1〜3)熱放散膜を除いて、実施
例1、2と同一の条件で光磁気記録媒体膜を成膜した。
熱放散膜としては、AlTi膜B(Ti:1.1atm
%)(比較例1)、AlTi膜C(Ti:1.5atm
%)(比較例2)、AlCr膜(Cr:1.9atm
%)(比較例3)の3種類を用いた(いずれも膜厚50
0オングストローム)。なお、これらの膜の熱伝導率
は、それぞれ、0.9W/cm・K、0.81W/cm
・K、0.36W/cm・Kである。
【0017】得られた光磁気記録媒体の膜は、すべて6
mWのレーザパワーでCNR値が飽和したので、記録時
には6mWのレーザビームを用い、消去時には10mw
のレーザビームを用いて記録と消去を繰り返し行い、そ
の前後のCNR値を測定した。その結果、これらの光磁
気記録媒体膜では、レーザビームを1回当てた後は、い
ずれの膜も38dBであったのに対して、105 回繰り
返して当てた後は、それぞれ、35dB、33dB、2
0dBに下がった。
【0018】(実施例3、4)スパッタリング法によ
り、ガラス基板上に、SiN透明誘電体干渉膜(膜厚9
00オングストローム)、PtとCoが交互に積層した
Pt−Co系人工格子膜(全膜厚:300オングストロ
ーム、Pt:12オングストローム、Co:8オングス
トローム)、SiN透明誘電体干渉膜(膜厚500オン
グストローム)を順次成膜した。SiN透明誘電体干渉
膜(膜厚500オングストローム)上に成膜する熱放散
膜としてAl膜(実施例3)、AlTi膜A(Ti:
0.79atm%)(実施例4)の2種類を用いた(い
ずれも膜厚500オングストローム)。なお、SiN透
明誘電体干渉膜(膜厚500オングストローム)の熱伝
導率は0.15W/cm・Kである。また、Al膜とA
lTi膜Aの熱伝導率は、それぞれ、1.68W/cm
・K、1.1W/cm・Kである。
【0019】得られた光磁気記録媒体の膜は、すべて6
mWのレーザパワーでCNR値が飽和したので、記録時
には6mWのレーザビームを用い、消去時には10mw
のレーザビームを用いて記録と消去を繰り返し行い、そ
の前後のCNR値を測定した。その結果、いずれの光磁
気記録媒体膜でも、レーザビームを1回当てた後も10
5 回繰り返して当てた後も40dBのままでほとんど変
化がなかった。
【0020】(比較例4〜6)熱放散膜を除いて、実施
例3、4と同一の条件で光磁気記録媒体膜を成膜した。
熱放散膜としては、AlTi膜B(Ti:1.1atm
%)(比較例4)、AlTi膜C(Ti:1.5atm
%)(比較例5)、AlCr膜(Cr:1.9atm
%)(比較例6)の3種類を用いた。なお、これらの膜
の熱伝導率は、それぞれ、0.9W/cm・K、0.8
1W/cm・K、0.36W/cm・Kである。
【0021】得られた光磁気記録媒体の膜は、すべて6
mWのレーザパワーでCNR値が飽和したので、記録時
には6mWのレーザビームを用い、消去時には10mw
のレーザビームを用いて記録と消去を繰り返し行い、そ
の前後のCNR値を測定した。その結果、これらの光磁
気記録媒体膜では、レーザビームを1回当てた後は、い
ずれの膜も40dBであったのに対して、105 回繰り
返して当てた後は、それぞれ、36dB、32dB、1
7dBに下がった。
【0022】(比較例7)スパッタリング法により、ガ
ラス基板上に、SiN透明誘電体干渉膜(膜厚900オ
ングストローム、熱伝導率0.15W/cm・K)、P
dとCoが交互に積層したPd−Co系人工格子膜(全
膜厚:300オングストローム、Pd:12オングスト
ローム、Co:8オングストローム)、結晶性の良いA
lN透明誘電体干渉膜(膜厚500オングストロー
ム)、Al熱放散膜(膜厚500オングストローム、熱
伝導率1.68W/cm・K)を順次成膜した。このA
lN透明誘電体干渉膜の熱伝導率は0.25W/cm・
Kである。
【0023】得られた光磁気記録媒体膜に実施例1と同
様に6mWのレーザパワーで信号の記録を行おうとした
ところ、記録することができなかった。そこで、信号を
記録する際のレーザパワーを増加させてCNR値を測定
したところ、記録に必要な最低のレーザパワーは7.0
mWであった。さらにパワーを増加させると、9.0m
WでCNR値は36dBに飽和した。
【0024】(比較例8)スパッタリング法により、ガ
ラス基板上に、SiN透明誘電体干渉膜(膜厚900オ
ングストローム、熱伝導率0.15W/cm・K)、P
tとCoが交互に積層したPt−Co系人工格子膜(全
膜厚:300オングストローム、Pt:12オングスト
ローム、Co:8オングストローム)、結晶性の良いA
lN透明誘電体干渉膜(膜厚500オングストロー
ム)、Al熱放散膜(膜厚500オングストローム、熱
伝導率1.68W/cm・K)を順次成膜した。このA
lN透明誘電体干渉膜の熱伝導率は0.25W/cm・
Kである。
【0025】得られた光磁気記録媒体膜に実施例3と同
様に6mWのレーザパワーで信号の記録を行おうとした
ところ、記録することができなかった。そこで、信号を
記録する際のレーザパワーを増加させてCNR値を測定
したところ、記録に必要な最低のレーザパワーは7.5
mWであった。さらにパワーを増加させると、9.5m
WでCNR値は37dBに飽和した。
【0026】(従来例1)Alなどの熱放散膜を成膜し
なかった以外は、実施例1と同一条件で作製した光磁気
記録媒体膜に対して、実施例1と同様にCNR値を測定
した。その結果、レーザビームを1回当てた後は38d
Bであったのに対して、10回繰り返した後は32dB
に下がった。
【0027】また、従来例1の光磁気記録媒体膜を真空
中50〜600°Cの下におき、記録層の構造変化をX
線回折装置で調査した。得られた回折チャートを図1に
示す。図1から、350°C以上でサテライトピークが
消失しており、周期構造が崩れ合金化していることがわ
かる。
【0028】(従来例2)Alなどの熱放散膜を成膜し
なかった以外は、実施例3と同一条件で作製した光磁気
記録媒体膜に対して、実施例3と同様にCNR値を測定
した。その結果、レーザビームを1回当てた後は40d
Bであったのに対して、10回繰り返した後は35dB
に下がった。
【0029】(従来例3)スパッタリング法により、ガ
ラス基板上に、SiN透明誘電体干渉膜(膜厚900オ
ングストローム)、PdとCoが交互に積層したPd−
Co系人工格子膜(全膜厚:300オングストローム、
Pd:12オングストローム、Co:8オングストロー
ム)、Al膜(膜厚500オングストローム、熱伝導率
1.68W/cm・K)を順次成膜した。
【0030】得られた光磁気記録媒体膜に実施例1と同
様に6mWのレーザパワーで信号の記録を行おうとした
ところ、記録することができなかった。そこで、信号を
記録する際のレーザパワーを増加させてCNR値を測定
したところ、記録に必要な最低のレーザパワーは7.5
mWであった。さらにパワーを増加させると、9.5m
WでCNRの値は32dBに飽和した。
【0031】(従来例4)スパッタリング法により、ガ
ラス基板上に、SiN透明誘電体干渉膜(膜厚900オ
ングストローム)、PtとCoが交互に積層したPt−
Co系人工格子膜(全膜厚:300オングストローム、
Pt:12オングストローム、Co:8オングストロー
ム)、Al膜(膜厚500オングストローム、熱伝導率
1.68W/cm・K)を順次成膜した。
【0032】得られた光磁気記録媒体膜に実施例3と同
様に6mWのレーザパワーで信号の記録を行おうとした
ところ、記録することができなかった。そこで、信号を
記録する際のレーザパワーを増加させてCNR値を測定
したところ、記録に必要な最低のレーザパワーは8.0
mWであった。さらにパワーを増加させると、10.0
mWでCNRの値は35dBに飽和した。
【0033】前述の実施例、比較例、従来例の実験結果
から以下のように推論される。
【0034】比較例1〜6、従来例1、2の光磁気記録
媒体で、10回または105 の記録、消去の繰り返しに
よってCNR値が下がった理由は、レーザビーム照射に
より、記録層の温度が周期構造が崩れて合金化するまで
上昇し、その垂直磁気異方性が悪化したことによると考
えられる。
【0035】一方、実施例1〜4の光磁気記録媒体膜
で、CNR値が105 回の記録、消去の後でも下がらな
かった理由は、熱伝導率のよいAl膜またはAlTi膜
が付いているために、記録層から熱が逃げやすく、記録
層の温度が積層構造が崩れて合金化するまでは上昇しな
かったためと考えられる。
【0036】従来例3、4の光磁気記録媒体で、通常の
6mWのレーザパワーで記録ができなかった理由は、A
l膜だけを記録層の上に付けたため、非常に熱が逃げや
すく、レーザビーム照射時に記録するために上昇しなけ
ればならない200°C以上まで温度が上昇しなかった
ためと考えられる。
【0037】比較例7、8の光磁気記録媒体膜で、通常
の6mWのレーザパワーで記録ができなかった理由は、
記録層とAl膜の間に付けたAlN誘電体膜の熱伝導率
が0.25W/cm・Kと比較的高く、熱が逃げやす
く、レーザビーム照射時に記録するために上昇しなけれ
ばならない200°C以上まで温度が上昇しなかったた
めと考えられる。
【0038】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
耐久性が極めて優れた、Pd−Co系人工格子膜または
Pt−Co系人工格子膜を記録層とする光磁気記録媒体
が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は従来例の光磁気記録媒体の種々の温度に
おけるX線回折チャートである。

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 透明基板と、該透明基板にPdとCoが
    交互に積層されたPd−Co系人工格子膜またはPtと
    Coが交互に積層されたPt−Co系人工格子膜と、該
    人工格子膜に付着された誘電体膜を有する光磁気記録媒
    体において、該誘電体の熱伝導率が0.2W/cm・K
    以下であり、該誘電体の上に熱伝導率が1.0W/cm
    ・K以上の膜が成膜されていることを特徴とする光磁気
    記録媒体。
  2. 【請求項2】 請求項1記載の光磁気記録媒体におい
    て、前記誘電体膜がSiN、Si3 4 、SiOまたは
    Ta2 5 膜から成ることを特徴とする光磁気記録媒
    体。
  3. 【請求項3】 請求項2記載の光磁気記録媒体におい
    て、前記誘電体膜の膜厚が150〜600オングストロ
    ームであることを特徴とする光磁気記録媒体。
  4. 【請求項4】 請求項1記載の光磁気記録媒体におい
    て、前記熱伝導率が1.0W/cm・K以上の膜がA
    l、Au、Ag、Pt、PdまたはCuの金属、AlC
    rまたはAlTiのAl合金、またはAuAg、AuP
    tまたはAuCuの貴金属から成る合金であることを特
    徴とする光磁気記録媒体。
  5. 【請求項5】 請求項4記載の光磁気記録媒体におい
    て、前記熱伝導率が1.0W/cm・K以上の膜の膜厚
    が300〜1000オングストロームであることを特徴
    とする光磁気記録媒体。
  6. 【請求項6】 請求項1乃至5のいずれか1つに記載の
    光磁気記録媒体において、前記Pd−Co系人工格子膜
    またはPt−Co系人工格子膜、前記誘電体、前記熱伝
    導率が1.0W/cm・K以上の膜がスパッタリング法
    またはCVD法で成膜されることを特徴とする光磁気記
    録媒体。
  7. 【請求項7】 請求項1乃至6のいずれか1つに記載の
    光磁気記録媒体において、前記Pd−Co系人工格子膜
    またはPt−Co系人工格子膜が前記透明基板に対して
    直接または誘電体膜を介して成膜されることを特徴とす
    る光磁気記録媒体。
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