JPH05256376A - ピエゾバルブ - Google Patents
ピエゾバルブInfo
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- JPH05256376A JPH05256376A JP4329316A JP32931692A JPH05256376A JP H05256376 A JPH05256376 A JP H05256376A JP 4329316 A JP4329316 A JP 4329316A JP 32931692 A JP32931692 A JP 32931692A JP H05256376 A JPH05256376 A JP H05256376A
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- Japan
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- 230000036316 preload Effects 0.000 claims description 9
- 238000005452 bending Methods 0.000 abstract 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 3
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 2
- 230000006735 deficit Effects 0.000 description 1
- 230000001627 detrimental effect Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
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- 230000000284 resting effect Effects 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
- F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F15B5/00—Transducers converting variations of physical quantities, e.g. expressed by variations in positions of members, into fluid-pressure variations or vice versa; Varying fluid pressure as a function of variations of a plurality of fluid pressures or variations of other quantities
- F15B5/003—Transducers converting variations of physical quantities, e.g. expressed by variations in positions of members, into fluid-pressure variations or vice versa; Varying fluid pressure as a function of variations of a plurality of fluid pressures or variations of other quantities characterised by variation of the pressure in a nozzle or the like, e.g. nozzle-flapper system
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
- F16K31/004—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by piezoelectric means
- F16K31/005—Piezoelectric benders
- F16K31/006—Piezoelectric benders having a free end
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/2278—Pressure modulating relays or followers
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- Electrically Driven Valve-Operating Means (AREA)
- Fuel-Injection Apparatus (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 電気的及び機械的なリラクゼーションに基づ
き生じる欠点を回避すると共に、たわみ部材が長期の切
換サイクル後でも信頼性よく作動するようにすること。 【構成】 印加された制御電圧に応じて、弾性的な対向
力に逆らって運動可能な制御領域を備えたピエゾ電気的
なたわみ部材を有するピエゾバルブにおいて、対向力
（２）が外的な別体の負荷装置（８）によって負荷され
ている。
き生じる欠点を回避すると共に、たわみ部材が長期の切
換サイクル後でも信頼性よく作動するようにすること。 【構成】 印加された制御電圧に応じて、弾性的な対向
力に逆らって運動可能な制御領域を備えたピエゾ電気的
なたわみ部材を有するピエゾバルブにおいて、対向力
（２）が外的な別体の負荷装置（８）によって負荷され
ている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は印加された制御電圧に応
じて、弾性的な対向力に逆らって運動可能な制御領域を
備えたピエゾ電気的なたわみ部材を有するピエゾバルブ
に関する。
じて、弾性的な対向力に逆らって運動可能な制御領域を
備えたピエゾ電気的なたわみ部材を有するピエゾバルブ
に関する。
【０００２】
【従来の技術】この種の弁は頻繁に使用され、しばしば
エレクトロニューマチック式の変換器としても役立てら
れるが、調整部材としてピエゾ電気的な、それも多くの
場合ピエゾセラミック的なたわみ部材を備えている。こ
のたわみ部材は片側で緊定されていて、緊定部とは逆の
側の制御領域で例えば無通電時の切換位置で媒体供給側
の座に弾発されて座着し、これにより、媒体供給側の座
が密に閉鎖される。制御電気の印加時にたわみ部材はこ
の弾発力から成る対向力に逆らって媒体供給側の座から
離れ、これによりこの座は媒体の貫流のために開放され
る。さらに、これと同じ原理で媒体供給側の座と媒体排
出側の座との間で切換が行われるような装置も公知であ
り、この場合、たわみ部材の制御領域の位置により媒体
流が選択的に分割される。
エレクトロニューマチック式の変換器としても役立てら
れるが、調整部材としてピエゾ電気的な、それも多くの
場合ピエゾセラミック的なたわみ部材を備えている。こ
のたわみ部材は片側で緊定されていて、緊定部とは逆の
側の制御領域で例えば無通電時の切換位置で媒体供給側
の座に弾発されて座着し、これにより、媒体供給側の座
が密に閉鎖される。制御電気の印加時にたわみ部材はこ
の弾発力から成る対向力に逆らって媒体供給側の座から
離れ、これによりこの座は媒体の貫流のために開放され
る。さらに、これと同じ原理で媒体供給側の座と媒体排
出側の座との間で切換が行われるような装置も公知であ
り、この場合、たわみ部材の制御領域の位置により媒体
流が選択的に分割される。
【０００３】この種のバルブのたわみ変換器若しくはた
わみ部材はピエゾ電気的な材料の特性に基づき、機械的
及び又は電気的な負荷を長時間受けているとその休止時
の形状を変化させるという欠点を有している。このよう
な現象はリラクゼーションともよばれるが、その場合、
２種のリラクゼーションが区別される。長期間の機械的
な負荷時に生じる形状変化は機械的なリラクゼーション
であり、プレロードの方向と逆の方向に向く。長時間に
わたる電気的な制御電圧の印加時に生じたわみの増大を
招く形状変化は電気的なリラクゼーションであり、電気
的に生じるたわみの方向に向く。機械的並びに電気的な
リラクゼーションは周知のとおり、いずれも部分的にし
か可逆的でなく、たわみ部材の調節された位置を全体と
して不所望な程度に変化させる。このことは、例えばた
わみ部材の長期間の負荷の後に、このたわみ部材の制御
領域が制御電圧の遮断後ももはや他の切換位置に戻ら
ず、これにより、例えばバルブの休止位置に対応する座
がもはや閉じられなくなるという事態を招く。
わみ部材はピエゾ電気的な材料の特性に基づき、機械的
及び又は電気的な負荷を長時間受けているとその休止時
の形状を変化させるという欠点を有している。このよう
な現象はリラクゼーションともよばれるが、その場合、
２種のリラクゼーションが区別される。長期間の機械的
な負荷時に生じる形状変化は機械的なリラクゼーション
であり、プレロードの方向と逆の方向に向く。長時間に
わたる電気的な制御電圧の印加時に生じたわみの増大を
招く形状変化は電気的なリラクゼーションであり、電気
的に生じるたわみの方向に向く。機械的並びに電気的な
リラクゼーションは周知のとおり、いずれも部分的にし
か可逆的でなく、たわみ部材の調節された位置を全体と
して不所望な程度に変化させる。このことは、例えばた
わみ部材の長期間の負荷の後に、このたわみ部材の制御
領域が制御電圧の遮断後ももはや他の切換位置に戻ら
ず、これにより、例えばバルブの休止位置に対応する座
がもはや閉じられなくなるという事態を招く。
【０００４】
【発明の課題】本発明の課題は、冒頭に述べた形式のピ
エゾバルブを改良して、電気的及び機械的なリラクゼー
ションに基づき生じる前記欠点を回避すると共に、たわ
み部材が長期の切換サイクル後でも信頼性よく作動する
ようにすることである。
エゾバルブを改良して、電気的及び機械的なリラクゼー
ションに基づき生じる前記欠点を回避すると共に、たわ
み部材が長期の切換サイクル後でも信頼性よく作動する
ようにすることである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決した本発
明の要旨は対向力が外的な別体の負荷装置によって負荷
されていることにある。これにより、本発明の構成によ
り、たわみ部材内の機械的なリラクゼーションがたわみ
部材自体によりその緊定に関連して作用するプレロード
に依存してのみ生じるという状態が利用される。
明の要旨は対向力が外的な別体の負荷装置によって負荷
されていることにある。これにより、本発明の構成によ
り、たわみ部材内の機械的なリラクゼーションがたわみ
部材自体によりその緊定に関連して作用するプレロード
に依存してのみ生じるという状態が利用される。
【０００６】本発明によれば、たわみ部材の一方の切換
位置を確実に保持するために必要な弾性的な対向力を得
るために外的な別体の負荷装置が設けられるため、たわ
み部材内の機械的なリラクゼーションの作用が予め排除
されている。
位置を確実に保持するために必要な弾性的な対向力を得
るために外的な別体の負荷装置が設けられるため、たわ
み部材内の機械的なリラクゼーションの作用が予め排除
されている。
【０００７】本発明のこの基本的な構成は、ピエゾ電気
的なたわみ部材が張力のない休止位置で外的な負荷装置
の作用下で座を長期にわたりシールし、比較的短時間だ
け印加された制御電圧の作用下で対向力に逆らって座か
ら離れるような使用例に最適である。この場合、考慮す
るほどでない電気的なリラクゼーションの作用は無視さ
れる。
的なたわみ部材が張力のない休止位置で外的な負荷装置
の作用下で座を長期にわたりシールし、比較的短時間だ
け印加された制御電圧の作用下で対向力に逆らって座か
ら離れるような使用例に最適である。この場合、考慮す
るほどでない電気的なリラクゼーションの作用は無視さ
れる。
【０００８】現象として明白に現れる電気的なリラクゼ
ーションの作用を考慮し又は相殺しなければならないそ
の他のすべての使用例に対処するために、本発明の特別
有利な構成では、たわみ部材自体が緊定力によって弾性
的に対向力の作用に逆らっている。これにより、機械的
なリラクゼーションの作用方向と電気的なリラクゼーシ
ョンの作用方向とを互いに逆向きにすることが簡単にで
き、従って、この種のピエゾバルブの実際の稼働では、
従来電気的並びに機械的なリラクゼーションに付随する
不可避の不都合を生じることがない。
ーションの作用を考慮し又は相殺しなければならないそ
の他のすべての使用例に対処するために、本発明の特別
有利な構成では、たわみ部材自体が緊定力によって弾性
的に対向力の作用に逆らっている。これにより、機械的
なリラクゼーションの作用方向と電気的なリラクゼーシ
ョンの作用方向とを互いに逆向きにすることが簡単にで
き、従って、この種のピエゾバルブの実際の稼働では、
従来電気的並びに機械的なリラクゼーションに付随する
不可避の不都合を生じることがない。
【０００９】これに関して特に有利には、本発明の別の
構成では対向力に対するたわみ部材のプレロードが、制
御電圧の作用ひいてはこれにより生じるたわみ部材の偏
倚の作用下で生じる電気機械的なリラクゼーションが少
なくとも部分的に相殺されるような大きさを有してい
る。これにより、ピエゾバルブの効果的な運転状態若し
くは切換位置のために、既に述べた２種のリラクゼーシ
ョンの効果的な切換え若しくは相互の相殺が行われ、従
って長時間切換位置に保持してもたわみ部材の変化、ひ
いてはピエゾバルブの既に述べ機能の障害が生じない。
構成では対向力に対するたわみ部材のプレロードが、制
御電圧の作用ひいてはこれにより生じるたわみ部材の偏
倚の作用下で生じる電気機械的なリラクゼーションが少
なくとも部分的に相殺されるような大きさを有してい
る。これにより、ピエゾバルブの効果的な運転状態若し
くは切換位置のために、既に述べた２種のリラクゼーシ
ョンの効果的な切換え若しくは相互の相殺が行われ、従
って長時間切換位置に保持してもたわみ部材の変化、ひ
いてはピエゾバルブの既に述べ機能の障害が生じない。
【００１０】本発明のさらに別の構成では、前記たわみ
部材が一方の切換位置では、制御領域内に係合するばね
の作用下で媒体供給側の座に当接し、かつばねのプレロ
ードと媒体供給圧力との差に比して小さいプレロードに
よりばねの作用に逆らって弾発されている。これによ
り、一方の切換位置では媒体供給側の座のシールの確実
な保持が保証されると共に、両切換位置では電気的及び
機械的なリラクゼーションの不都合な作用が少なくとも
著しく相殺される。
部材が一方の切換位置では、制御領域内に係合するばね
の作用下で媒体供給側の座に当接し、かつばねのプレロ
ードと媒体供給圧力との差に比して小さいプレロードに
よりばねの作用に逆らって弾発されている。これによ
り、一方の切換位置では媒体供給側の座のシールの確実
な保持が保証されると共に、両切換位置では電気的及び
機械的なリラクゼーションの不都合な作用が少なくとも
著しく相殺される。
【００１１】
【実施例】図１に略示した従来のピエゾバルブはたわみ
部材１を備えており、このたわみ部材は印加された電圧
に応じて弾性的な対向力（矢印２）に逆らって運動可能
な制御領域３を有している。この対向部材の、無通電状
態の図示しない休止位置において、この制御領域３は、
矢印５の方向に作用する媒体供給圧力に比して対向力が
大きい限りにおいて、対向力２の作用下で媒体供給側の
座４に座着してこの座をシールする。制御電圧が印加さ
れると、ピエゾ電気的なたわみ部材１の制御領域３は対
向力２の作用に逆らって矢印６の方向で媒体供給側の座
４から離れる。
部材１を備えており、このたわみ部材は印加された電圧
に応じて弾性的な対向力（矢印２）に逆らって運動可能
な制御領域３を有している。この対向部材の、無通電状
態の図示しない休止位置において、この制御領域３は、
矢印５の方向に作用する媒体供給圧力に比して対向力が
大きい限りにおいて、対向力２の作用下で媒体供給側の
座４に座着してこの座をシールする。制御電圧が印加さ
れると、ピエゾ電気的なたわみ部材１の制御領域３は対
向力２の作用に逆らって矢印６の方向で媒体供給側の座
４から離れる。
【００１２】座から離れた図１の制御位置で生じるたわ
み部材１の付加的な機械的なリラクゼーションは矢印Ｍ
の方向に生じ、電気的なリラクゼーションは矢印Ｅの方
向に生じる。この従来公知のピエゾバルブでは両方のリ
ラクゼーションが同じ方向で、それも座４から離反する
方向で生じる。これにより、長期間連続的に座から離れ
た切換位置にある制御領域３は制御電圧の遮断後も残留
変形により、もはや座４をシールする下方の制御位置へ
戻らない。
み部材１の付加的な機械的なリラクゼーションは矢印Ｍ
の方向に生じ、電気的なリラクゼーションは矢印Ｅの方
向に生じる。この従来公知のピエゾバルブでは両方のリ
ラクゼーションが同じ方向で、それも座４から離反する
方向で生じる。これにより、長期間連続的に座から離れ
た切換位置にある制御領域３は制御電圧の遮断後も残留
変形により、もはや座４をシールする下方の制御位置へ
戻らない。
【００１３】図２に示す本発明のピエゾバルブでは対向
力２が外的な別体の負荷装置を介して生ぜしめられてお
り、この負荷装置はこの場合制御領域３に係合するばね
８、例えばコイルばねによって形成されている。さらに
たわみ部材１自体がその緊定部１０により弾性的に対向
力２の作用に逆らってプレロードを負荷されており、こ
のことを矢印７で表す。対向力２に逆らうたわみ部材１
のプレロード７は、制御電圧の作用若しくはこれにより
生じるたわみ部材１の偏倚によって発生する電気的なリ
ラクゼーションＥ及び機械的なリラクゼーションＭが少
なくとも部分的に相殺されるような大きさを有してい
る。これにより、図１の公知ピエゾバルブで生じるよう
な、たわみ部材への特に長期間の連続的な電圧負荷時に
生じる欠点が確実に回避される。
力２が外的な別体の負荷装置を介して生ぜしめられてお
り、この負荷装置はこの場合制御領域３に係合するばね
８、例えばコイルばねによって形成されている。さらに
たわみ部材１自体がその緊定部１０により弾性的に対向
力２の作用に逆らってプレロードを負荷されており、こ
のことを矢印７で表す。対向力２に逆らうたわみ部材１
のプレロード７は、制御電圧の作用若しくはこれにより
生じるたわみ部材１の偏倚によって発生する電気的なリ
ラクゼーションＥ及び機械的なリラクゼーションＭが少
なくとも部分的に相殺されるような大きさを有してい
る。これにより、図１の公知ピエゾバルブで生じるよう
な、たわみ部材への特に長期間の連続的な電圧負荷時に
生じる欠点が確実に回避される。
【００１４】機械的なリラクゼーションを示す図３から
判るように、テストにおいて、４ｇのコンスタントな負
荷によりたわみ部材を負荷した後、最初に２５μｍの偏
倚量ｘが測定された。長時間の実験によれば、別の偏倚
を示す漸近曲線が得られた。この漸近曲線は、１００時
間（ｔ）の負荷の後に最終的な３２μｍの偏倚で安定し
た。この場合、機械的なリラクゼーションに基づき生じ
た付加的な７μｍの偏倚が負荷の取り除き後に極めてわ
ずかしか復元せず、換言すれば大部分が残された。
判るように、テストにおいて、４ｇのコンスタントな負
荷によりたわみ部材を負荷した後、最初に２５μｍの偏
倚量ｘが測定された。長時間の実験によれば、別の偏倚
を示す漸近曲線が得られた。この漸近曲線は、１００時
間（ｔ）の負荷の後に最終的な３２μｍの偏倚で安定し
た。この場合、機械的なリラクゼーションに基づき生じ
た付加的な７μｍの偏倚が負荷の取り除き後に極めてわ
ずかしか復元せず、換言すれば大部分が残された。
【００１５】図４には図３と同じたわみ部材の電気的な
リラクゼーションが示されている。２４Ｖの一定直流電
圧の印加時に、初期の偏倚量ｘは６０μｍであり、１０
０時間（ｔ）にわたる負荷の後では漸近曲線的にほぼ９
０μｍまで上昇した。この場合も、電気的なリラクゼー
ションに基づいて生じる付加的な３０μｍの偏倚は負荷
の取り除き後、わずかにしか復元しなかった。
リラクゼーションが示されている。２４Ｖの一定直流電
圧の印加時に、初期の偏倚量ｘは６０μｍであり、１０
０時間（ｔ）にわたる負荷の後では漸近曲線的にほぼ９
０μｍまで上昇した。この場合も、電気的なリラクゼー
ションに基づいて生じる付加的な３０μｍの偏倚は負荷
の取り除き後、わずかにしか復元しなかった。
【００１６】図３及び図４からわかるように、同じ時間
（ｔ）にわたる負荷に関連して、電気的なリラクゼーシ
ョンは機械的なリラクゼーションに比してほぼ４倍大き
いことがわかる。このことは、本発明のピエゾバルブの
実際の構成のその他の構造的なパラメータと共に、電気
的なリラクゼーションと機械的なリラクゼーションとの
少なくとも部分的な相殺を得るために考慮される。
（ｔ）にわたる負荷に関連して、電気的なリラクゼーシ
ョンは機械的なリラクゼーションに比してほぼ４倍大き
いことがわかる。このことは、本発明のピエゾバルブの
実際の構成のその他の構造的なパラメータと共に、電気
的なリラクゼーションと機械的なリラクゼーションとの
少なくとも部分的な相殺を得るために考慮される。
【図１】従来公知のピエゾバルブの略示図である。
【図２】本発明に基づくピエゾバルブの略示図である。
【図３】本発明に基づく機械的なリラクゼーションにお
ける時間（ｔ）とたわみ部材の偏倚量（ｘ）との関係を
示す線図である。
ける時間（ｔ）とたわみ部材の偏倚量（ｘ）との関係を
示す線図である。
【図４】本発明に基づく電気的なリラクゼーションにお
ける時間（ｔ）とたわみ部材の偏倚量（ｘ）との関係を
示す線図である。
ける時間（ｔ）とたわみ部材の偏倚量（ｘ）との関係を
示す線図である。
１ たわみ部材、 ２ 対向力、 ３ 制御領域、 ４
媒体供給側の座、５ 媒体供給圧力、 ６ 偏倚、
７ プレロード、 ８ ばね、 １０ 緊定部、 Ｅ
電気的なリラクゼーション、 Ｍ 機械的なリラクゼー
ション、 ｘ偏倚量、 ｔ 時間
媒体供給側の座、５ 媒体供給圧力、 ６ 偏倚、
７ プレロード、 ８ ばね、 １０ 緊定部、 Ｅ
電気的なリラクゼーション、 Ｍ 機械的なリラクゼー
ション、 ｘ偏倚量、 ｔ 時間
Claims (4)
- 【請求項１】 印加された制御電圧に応じて、弾性的な
対向力に逆らって運動可能な制御領域を備えたピエゾ電
気的なたわみ部材を有するピエゾバルブにおいて、前記
対向力（２）が外的な別体の負荷装置（８）によって負
荷されていることを特徴とするピエゾバルブ。 - 【請求項２】 前記たわみ部材（１）自体が緊定力（１
０）によって弾性的に対向力（２）の作用に逆らってい
る請求項１記載のピエゾバルブ。 - 【請求項３】 対向力（２）に対するたわみ部材（１）
のプレロード（７）が、制御電圧の作用ひいてはこれに
より生じるたわみ部材（１）の偏倚（６）の作用下で生
じる電気機械的なリラクゼーション（Ｅ，Ｍ）が少なく
とも部分的に相殺されるような大きさを有している請求
項２記載ののピエゾバルブ。 - 【請求項４】 前記たわみ部材（１）が一方の切換位置
では、制御領域（３）内に係合するばね（９）の作用下
で媒体供給側の座（４）に当接し、かつばねのプレロー
ド（２）と媒体供給圧力（５）との差に比して小さいプ
レロード（７）によりばね（８）の作用に逆らって弾発
されている請求項２又は３記載のピエゾバルブ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| AT2464/91 | 1991-12-11 | ||
| AT0246491A AT397700B (de) | 1991-12-11 | 1991-12-11 | Piezo-ventil |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05256376A true JPH05256376A (ja) | 1993-10-05 |
| JP3457020B2 JP3457020B2 (ja) | 2003-10-14 |
Family
ID=3534834
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32931692A Expired - Fee Related JP3457020B2 (ja) | 1991-12-11 | 1992-12-09 | ピエゾバルブ |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5318271A (ja) |
| EP (1) | EP0547022B1 (ja) |
| JP (1) | JP3457020B2 (ja) |
| AT (1) | AT397700B (ja) |
| CA (1) | CA2085039C (ja) |
| DE (1) | DE59209390D1 (ja) |
| ES (1) | ES2117660T3 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013090823A (ja) * | 2011-10-26 | 2013-05-16 | Metoran:Kk | 呼吸補助装置 |
| KR101415969B1 (ko) * | 2012-04-06 | 2014-07-04 | 한국기계연구원 | 보일러 온수용 가스제어 압전식 밸브 |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19621796A1 (de) * | 1996-05-30 | 1997-12-04 | Nass Magnet Gmbh | Ventil |
| DE19649225A1 (de) * | 1996-11-27 | 1998-05-28 | Nass Magnet Gmbh | Ventil |
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