EP0547022A1 - Piezo-Ventil - Google Patents

Piezo-Ventil Download PDF

Info

Publication number
EP0547022A1
EP0547022A1 EP92890258A EP92890258A EP0547022A1 EP 0547022 A1 EP0547022 A1 EP 0547022A1 EP 92890258 A EP92890258 A EP 92890258A EP 92890258 A EP92890258 A EP 92890258A EP 0547022 A1 EP0547022 A1 EP 0547022A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
bending element
counterforce
action
relaxation
piezo valve
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
EP92890258A
Other languages
English (en)
French (fr)
Other versions
EP0547022B1 (de
Inventor
Herbert Frisch
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hygrama AG
Original Assignee
Hoerbiger Ventilwerke GmbH and Co KG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hoerbiger Ventilwerke GmbH and Co KG filed Critical Hoerbiger Ventilwerke GmbH and Co KG
Publication of EP0547022A1 publication Critical patent/EP0547022A1/de
Application granted granted Critical
Publication of EP0547022B1 publication Critical patent/EP0547022B1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B5/00—Transducers converting variations of physical quantities, e.g. expressed by variations in positions of members, into fluid-pressure variations or vice versa; Varying fluid pressure as a function of variations of a plurality of fluid pressures or variations of other quantities
    • F15B5/003—Transducers converting variations of physical quantities, e.g. expressed by variations in positions of members, into fluid-pressure variations or vice versa; Varying fluid pressure as a function of variations of a plurality of fluid pressures or variations of other quantities characterised by variation of the pressure in a nozzle or the like, e.g. nozzle-flapper system
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
    • F16K31/004—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by piezoelectric means
    • F16K31/005—Piezoelectric benders
    • F16K31/006—Piezoelectric benders having a free end
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00—Fluid handling
    • Y10T137/2278—Pressure modulating relays or followers

Definitions

  • the invention relates to a piezo valve with a piezoelectric bending element, which has a control region that is movable in accordance with an applied control voltage against an elastically applied counterforce.
  • Valves of this type which are often also referred to as electropneumatic transducers in accordance with their most frequent use, are known and have a piezoelectric, usually piezoceramic, bending element which is clamped on one side as the actuating element. With the movable control area opposite the clamping, the bending element is, for example, biased against a supply air seat in the de-energized switching position, as a result of which it is closed in a pressure-tight manner. When the control voltage is applied, the bending element is then lifted against the prestressing counterforce from the supply air seat, as a result of which the latter is opened for the passage of the medium. Arrangements are also known in which a switchover between the inflow and outflow seat takes place according to the same principle, or in which a selectable division of a medium flow takes place due to the position of the control region of the bending element.
  • the bending transducers or bending elements of such valves have the disadvantage, because of the properties of the piezoelectric materials, that they change their resting form when subjected to mechanical and / or electrical action over a longer period of time.
  • the corresponding property is also referred to as relaxation, whereby a distinction is made between two basic types.
  • the change in shape that occurs over a long period of time under mechanical stress is referred to as mechanical relaxation - this is directed against the direction of the prestressing force.
  • electrical relaxation - This is effective in the direction of electrical bending.
  • Both the mechanical and the electrical relaxation are known to be only partially reversible and change the adjusted position of the bending element to an undesirable extent, which can lead, for example, to that after prolonged exposure to voltage of the bending element, the control area of the same does not return to the other switching position even after the control voltage has been switched off, so that, for example, the seat of the valve assigned to the rest position can no longer be closed.
  • the object of the present invention is to improve a piezo valve of the type mentioned at the outset in such a way that the disadvantages described as a result of the electrical and mechanical relaxation are avoided and, in particular, it can be ensured that the bending element operates reliably even after prolonged switching cycles.
  • this is achieved in a piezo valve of the type mentioned at the outset in that the counterforce is applied via a separate external load arrangement.
  • This takes advantage of the fact that mechanical relaxation in the bending element occurs only as a result of a prestressing force exerted by the latter itself in cooperation with its clamping.
  • the elastic counterforce required to securely maintain the one switching position of the bending element is applied via a separate external loading arrangement, the effect of mechanical relaxation in the bending element is prevented from the outset.
  • This basic embodiment of the invention is ideally suited for applications in which, for example, it is provided that the piezoelectric bending element seals a valve seat over a long period of time under the effect of the external load arrangement and only for comparatively short times under the effect of an applied control voltage against the Drag from this seat. In this case, the effect of the electrical relaxation not taken into account is negligible.
  • the bending element itself is elastic by means of its clamping is biased against the action of the counterforce. It is thus achieved in a simple manner that the directions of action of the mechanical relaxation on the one hand and the electrical relaxation on the other are opposite, so that in practical operation of such a piezo valve the unavoidable addition of the undesired influences of the electrical and mechanical relaxation in the previously known arrangements is not entry.
  • Embodiment of the invention according to which the pretension of the bending element against the counterforce is so great that the electrical and mechanical relaxation occurring under the effect of the control voltage or the deflection of the bending element caused thereby is at least partially compensated.
  • an extremely advantageous switch-off or mutual compensation of the two types of relaxation mentioned can be achieved, so that even with switching positions to be held for a long time, there is no misalignment of the bending element and the associated functional impairment of the piezo valve as a whole can occur.
  • the bending element can lie in a switching position in a sealing manner against a supply air seat under the action of a spring acting in the control area, preferably a spiral compression spring, and can be biased against the action of the spring with a biasing force smaller than the difference between the spring biasing force and the supply air pressure force, with which this results in an embodiment which, on the one hand, guarantees that the supply air seat is kept tightly sealed in one switching position and, on the other hand, allows at least extensive compensation of the undesirable effects of the electrical and mechanical relaxation in both switching positions.
  • a spring acting in the control area preferably a spiral compression spring
  • FIG. 1 shows a detail from a piezo valve according to the prior art
  • FIG. 2 shows a corresponding detail from an embodiment according to the invention
  • FIG. 3 shows a diagram in which the deflection (path x) of a piezoelectric bending element according to FIG. 1 or 2 according to mechanical relaxation over time (t) is entered
  • FIG. 4 shows a corresponding diagram to show the electrical relaxation.
  • a piezo valve according to the prior art which is not shown completely, has a piezoelectric bending element 1 which has a control region 3 which is movable in accordance with an applied control voltage (connections not shown) against an elastically applied counterforce (arrow 2).
  • the control region 3 rests on the supply air seat 4 under the action of the counterforce (2) and seals it, provided that the counterforce (2) is greater than or equal to that due to the supply air pressure in the direction of the Arrow 5 acting supply air pressure force is.
  • the control voltage is applied, the control region 3 of the piezoelectric bending element 1 becomes in the direction of the arrow against the action of the counterforce (2) 6 lifted off the air intake seat 4.
  • the counterforce (arrow 2) is applied via a separate external load arrangement, which is formed here by a spring 8 acting in the control area 3, for example a spiral compression spring.
  • the bending element 1 itself is now elastically prestressed against the action of the counterforce (2) by means of its clamping 10, which is symbolized by the arrow 7.
  • the preload (7) of the bending element 1 against the opposing force (2) is chosen so large that the electrical relaxation (arrow E) and mechanical relaxation occurring under the effect of the control voltage or the deflection (arrow 6) of the bending element 1 caused thereby Compensate (arrow M) at least partially.
  • FIG. 3 shows the mechanical relaxation
  • a deflection (x) of 25 ⁇ m was initially determined in a concrete piezoelectric bending element in the test after constant loading with 4 g.
  • the long-term test shows an asymptotic curve of a further deflection, which stabilizes beyond a load duration (t) of 100 hours with a final deflection of 32 ⁇ m, the additional deflection of 7 ⁇ m that occurred due to the mechanical relaxation only after the load has been removed decreases slightly or remains for the most part.
  • FIG. 4 The effect of the electrical relaxation on the same bending element as in FIG. 3 is indicated from FIG. 4.
  • a constant voltage of 24 V DC is applied, there is an initial deflection (x) of 60 ⁇ m, which increases asymptotically beyond a duration (t) of 100 hours to about 90 ⁇ m, with the additional deflection of due to the electrical relaxation 30 ⁇ m after the voltage is removed only to a small extent.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Electrically Driven Valve-Operating Means (AREA)
  • Fuel-Injection Apparatus (AREA)
  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

Zur Kompensation der Auswirkungen der elektrischen und mechanischen Relaxation (E, M) eines piezoelektrischen Biegeelementes (1), welches einen entsprechend einer angelegten Steuerspannung gegen eine elastisch aufgebrachte Gegenkraft (2) beweglichen Steuerbereich (3) aufweist, wird die Gegenkraft (2) über eine separate äußere Belastungsanordnung (8) augebracht, wobei das Biegeelement (1) zusätzlich selbst mittels einer Einspannung (10) elastisch gegen die Wirkung der Gegenkraft (2) vorgespannt sein kann. <IMAGE>

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Piezo-Ventil mit einem piezoelektrischen Biegeelement, welches einen entsprechend einer angelegten Steuerspannung gegen eine elastisch aufgebrachte Gegenkraft beweglichen Steuerbereich aufweist.
  • Derartige Ventile, die entsprechend ihrer häufigsten Anwendung oft auch als elektropneumatische Wandler bezeichnet werden, sind bekannt und weisen als Stellelement ein piezoelektrisches, zumeist piezokeramisches, Biegeelement auf, welches einseitig eingespannt ist. Mit dem der Einspannung gegenüberliegenden beweglichen Steuerbereich liegt das Biegeelement beispielsweise in der spannungslosen Schaltstellung vorgespannt gegen einen Zuluftsitz an, wodurch dieser druckdicht verschlossen ist. Beim Anlegen der Steuerspannung wird das Biegeelement sodann gegen die Vorspann-Gegenkraft vom Zuluftsitz abgehoben, wodurch dieser zum Durchlaß des Mediums geöffnet wird. Bekannt sind weiters auch Anordnungen, bei welchen nach dem gleichen Prinzip eine Umschaltung zwischen Zulauf- und Ablaufsitz stattfindet, bzw. bei welchen durch die Stellung des Steuerbereiches des Biegeelementes eine wählbare Aufteilung eines Mediumstromes erfolgt.
  • Die Biegewandler bzw. Biegeelemente derartiger Ventile haben wegen der Eigenschaften der piezoelektrischen Materialien den Nachteil, daß sie bei länger dauernder mechanischer und/oder elektrischer Beaufschlagung ihre Ruheform verändern. Die entsprechende Eigenschaft wird auch als Relaxation bezeichnet, wobei zwischen zwei Grundtypen unterschieden wird. Die bei mechanischer Belastung über längere Zeit auftretende Formveränderung wird als mechanische Relaxation bezeichnet - diese ist gegen die Richtung der Vorspannkraft gerichtet. Die beim Anlegen einer elektrischen Steuerspannung über längere Zeit auftretende und als Zunahme der Verbiegung feststellbare Formänderung wird als elektrische Relaxation bezeichnet - diese ist in Richtung der elektrischen Verbiegung wirksam. Sowohl die mechanische als auch die elektrische Relaxation sind bekanntermaßen nur zum Teil reversibel und verändern insgesamt in unerwünschtem Maß die justierte Lage des Biegeelementes, was beispielsweise dazu führen kann, daß nach längerer Spannungsbeaufschlagung des Biegeelementes der Steuerbereich desselben auch nach dem Abschalten der Steuerspannung nicht mehr in die andere Schaltstellung zurückkehrt, womit beispielsweise der der Ruhestellung zugeordnete Sitz des Ventils nicht mehr geschlossen werden kann.
  • Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, ein Piezo-Ventil der eingangs genannten Art so zu verbessern, daß die zufolge der elektrischen und mechanischen Relaxation auftretenden beschriebenen Nachteile vermieden werden und daß insbesonders sichergestellt werden kann, daß das Biegeelement auch nach länger dauernden Schaltzyklen zuverlässig arbeitet.
  • Dies wird gemäß der vorliegenden Erfindung bei einem Piezo-Ventil der eingangs genannten Art dadurch erreicht, daß die Gegenkraft über eine separate äußere Belastungsanordnung aufgebracht ist. Damit wird der Umstand ausgenutzt, daß mechanische Relaxation im Biegeelement nur zufolge einer von diesem selbst in Zusammenwirkung mit seiner Einspannung ausgeübten Vorspannkraft auftritt. Bei Aufbringung der zur sicheren Beibehaltung der einen Schaltstellung des Biegeelementes erforderlichen elastischen Gegenkraft über eine separate äußere Belastungsanordnung ist die Auswirkung einer mechanischen Relaxation im Biegeelement von vornherein unterbunden.
  • Diese grundsätzliche Ausführung der Erfindung eignet sich bestens für Anwendungen, bei denen beispielsweise vorgesehen ist, daß das piezoelektrische Biegeelement in spannungsloser Ruhestellung unter der Wirkung der äußeren Belastungsanordnung einen Ventilsitz über längere Zeit abdichtet und nur für vergleichsweise kurze Zeiten unter der Wirkung einer angelegten Steuerspannung gegen die Gegenkraft von diesem Sitz abhebt. In diesem Fall ist die Auswirkung der nicht berücksichtigten elektrischen Relaxation zu vernachlässigen.
  • Um auch alle weiteren Anwendungsfälle, bei denen die Wirkung der an sich grundsätzlich deutlicher in Erscheinung tretenden elektrischen Relaxation berücksichtigt bzw. ausgeglichen werden muß, abdecken zu können, ist gemäß einer besonders bevorzugten weiteren Ausbildung der Erfindung vorgesehen, daß das Biegeelement selbst mittels seiner Einspannung elastisch gegen die Wirkung der Gegenkraft vorgespannt ist. Damit ist auf die einfache Weise erreicht, daß die Wirkungsrichtungen der mechanischen Relaxation einerseits und der elektrischen Relaxation andererseits entgegengerichtet sind, sodaß im praktischen Betrieb eines derartigen Piezo-Ventils nicht die bei den bisher bekannten Anordnungen unvermeidbare Addition der unerwünschten Einflüsse der elektrischen und der mechanischen Relaxation eintritt.
  • Im zuletzt genannten Zusammenhang besonders vorteilhaft ist eine weitere Ausgestaltung der Erfindung, gemäß welcher die Vorspannung des Biegeelements gegen die Gegenkraft so groß ist, daß sich die unter der Wirkung der Steuerspannung bzw. der dadurch verursachten Auslenkung des Biegeelementes auftretende elektrische und mechanische Relaxation zumindest teilweise kompensieren. Damit kann zumindest für bevorzugte Betriebszustände bzw. Schaltstellungen des Piezo-Ventils eine äußerst vorteilhafte Ausschaltung bzw. gegenseitige Kompensation der beiden genannten Relaxationsarten erreicht werden, sodaß auch bei über lange Zeiten zu haltenden Schaltstellungen keine Dejustierung des Biegeelementes und damit einhergehende Funktionsbeeinträchtigung des Piezo-Ventils insgesamt auftreten kann.
  • Das Biegeelement kann in weiterer Ausgestaltung der Erfindung in seiner einen Schaltstellung unter der Wirkung einer im Steuerbereich angreifenden Feder, vorzugsweise Spiraldruckfeder, gegen einen Zuluftsitz abdichtend anliegen und mit einer Vorspannkraft kleiner als die Differenz von Federvorspannkraft und Zuluftdruckkraft gegen die Wirkung der Feder vorgespannt sein, womit sich eine Ausführung ergibt, die einerseits in der einen Schaltstellung ein sicheres Dichthalten des Zuluftsitzes garantiert und andererseits in beiden Schaltstellungen eine zumindest weitgehende Kompensation der unerwünschten Auswirkungen der elektrischen und mechanischen Relaxation erlaubt.
  • Die Erfindung wird im folgenden noch anhand der schematischen Zeichnungen näher erläutert. Fig. 1 zeigt dabei ein Detail aus einem Piezo-Ventil nach dem Stande der Technik, Fig. 2 ein entsprechendes Detail aus einer erfindungsgemäßen Ausführungsform, Fig. 3 ein Diagramm, in dem die Auslenkung (Weg x) eines piezoelektrischen Biegeelementes gemäß den Fig. 1 oder 2 zufolge mechanischer Relaxation über der Zeit (t) eingetragen ist und Fig. 4 ein entsprechendes Diagramm zur Darstellung der elektrischen Relaxation.
  • Ein nicht vollständig dargestelltes Piezo-Ventil nach dem Stande der Technik weist gemäß Fig. 3 ein piezoelektrisches Biegeelement 1 auf, welches einen entsprechend einer angelegten Steuerspannung (Anschlüsse nicht dargestellt) gegen eine elastisch aufgebrachte Gegenkraft (Pfeil 2) beweglichen Steuerbereich 3 aufweist. Im hier nicht dargestellten spannungslosen Ruhezustand des Biegeelementes 1 liegt der Steuerbereich 3 unter der Wirkung der Gegenkraft (2) auf einem Zuluftsitz 4 auf und dichtet diesen ab, soferne sichergestellt ist, daß die Gegenkraft (2) größer gleich der zufolge des Zuluftdruckes in Richtung des Pfeiles 5 wirkenden Zuluftdruckkraft ist. Beim Anlegen der Steuerspannung wird der Steuerbereich 3 des piezoelektrischen Biegeelementes 1 gegen die Wirkung der Gegenkraft (2) in Richtung des Pfeiles 6 vom Zuluftsitz 4 abgehoben.
  • Die in der abgehobenen Steuerstellung gemäß Fig. 1 auftretende zusätzliche mechanische Relaxation des Biegeelementes 1 ist mit dem Pfeil M in ihrer Richtung angedeutet - die elektrische Relaxation ist durch den Pfeil E charakterisiert. Beide wirken bei dieser bekannten Anordnung nach dem Stande der Technik in gleiche Richtung - weg vom Zuluftsitz 4 - was dazu führt, daß bei länger andauernd abgehobener Schaltstellung der Steuerbereich 3 auch nach dem Abschalten der Steuerspannung zufolge bleibender Verformung nicht mehr in die abdichtende untere Steuerstellung zurückkehrt.
  • Bei dem Beispiel der erfindungsgemäßen Anordnung nach Fig. 2 wird die Gegenkraft (Pfeil 2) über eine separate äußere Belastungsanordnung aufgebracht, die hier von einer im Steuerbereich 3 angreifenden Feder 8, beispielsweise einer Spiraldruckfeder, gebildet ist. Weiters ist hier nun das Biegeelement 1 selbst mittels seiner Einspannung 10 elastisch gegen die Wirkung der Gegenkraft (2) vorgespannt, was durch den Pfeil 7 symbolisiert ist. Die Vorspannung (7) des Biegeelementes 1 gegen die Gegenkraft (2) ist so groß gewählt, daß sich die unter der Wirkung der Steuerspannung bzw. der dadurch verursachten Auslenkung (Pfeil 6) des Biegeelementes 1 auftretende elektrische Relaxation (Pfeil E) und mechanische Relaxation (Pfeil M) zumindest teilweise kompensieren. Damit können die zu Fig. 1 beschriebenen, insbesonders bei länger dauernder Spannungsbeaufschlagung des Biegeelementes 1 auftretenden Nachteile sicher vermieden werden.
  • Aus der die mechanische Relaxation deutlich machenden Fig. 3 ist zu ersehen, daß bei einem konkreten piezoelektrischen Biegeelement im Test nach konstanter Belastung mit 4 g anfänglich eine Auslenkung (x) von 25 µm festgestellt wurde. Im Langzeitversuch zeigt sich dann eine asymptotische Kurve einer weiteren Auslenkung, welche sich jenseits einer Belastungsdauer (t) von 100 Stunden bei einer endgültigen Auslenkung von 32 µm stabilisiert, wobei die zufolge der mechanischen Relaxation aufgetretene zusätzliche Auslenkung von 7 µm nach Wegnahme der Belastung nur mehr geringfügig zurückgeht bzw. zum größten Teil bleibend ist.
  • Aus Fig. 4 ist die Auswirkung der elektrischen Relaxation am gleichen Biegeelement wie in Fig. 3 angedeutet. Bei Anlegen einer konstanten Spannung von 24 V Gleichstrom erfolgt eine anfängliche Auslenkung (x) von 60 µm, welche jenseits einer Dauer (t) von 100 Stunden asymptotisch auf etwa 90 µm ansteigt, wobei auch hier die zusätzliche, zufolge der elektrischen Relaxation auftretende Auslenkung von 30 µm nach Wegnahme der Spannung nur mehr zu einem geringen Teil zurückgeht.
  • Im Vergleich von Fig. 3 und 4 ist zu ersehen, daß - bezogen auf die gleiche Belastungsdauer - die elektrische Relaxation um etwa einen Faktor 4 größer ist als die mechanische Relaxation, was natürlich zusammen mit den sonstigen konstruktiven Parametern einer tatsächlichen Ausführung des Piezo-Ventils nach der vorliegenden Erfindung für die Erzielung der beabsichtigten zumindest teilweisen Kompensation der elektrischen und mechanischen Relaxation zu berücksichtigen ist.

Claims (4)

  1. Piezo-Ventil mit einem piezoelektrischen Biegeelement, welches einen entsprechend einer angelegten Steuerspannung gegen eine elastisch aufgebrachte Gegenkraft beweglichen Steuerbereich aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß die Gegenkraft (2) über eine separate äußere Belastungsanordnung (8) aufgebracht ist.
  2. Piezo-Ventil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Biegeelement (1) selbst mittels seiner Einspannung (10) elastisch gegen die Wirkung der Gegenkraft (2) vorgespannt ist.
  3. Piezo-Ventil nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorspannung (7) des Biegeelements (1) gegen die Gegenkraft (2) so groß ist, daß sich die unter der Wirkung der Steuerspannung bzw. der dadurch verursachten Auslenkung (6) des Biegeelementes (1) auftretende elektrische und mechanische Relaxation (E, M) zumindest teilweise kompensieren.
  4. Piezo-Ventil nach einem der Ansprüche 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Biegeelement (1) in seiner einen Schaltstellung unter der Wirkung einer im Steuerbereich (3) angreifenden Feder (9), vorzugsweise Spiraldruckfeder, gegen einen Zuluftsitz (4) abdichtend anliegt und mit einer Vorspannkraft (7) kleiner als die Differenz von Federvorspannkraft (2) und Zuluftdruckkraft (5) gegen die Wirkung der Feder (8) vorgespannt ist.
EP92890258A 1991-12-11 1992-12-09 Piezo-Ventil Expired - Lifetime EP0547022B1 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
AT0246491A AT397700B (de) 1991-12-11 1991-12-11 Piezo-ventil
AT2464/91 1991-12-11

Publications (2)

Publication Number Publication Date
EP0547022A1 true EP0547022A1 (de) 1993-06-16
EP0547022B1 EP0547022B1 (de) 1998-07-01

Family

ID=3534834

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP92890258A Expired - Lifetime EP0547022B1 (de) 1991-12-11 1992-12-09 Piezo-Ventil

Country Status (7)

Country Link
US (1) US5318271A (de)
EP (1) EP0547022B1 (de)
JP (1) JP3457020B2 (de)
AT (1) AT397700B (de)
CA (1) CA2085039C (de)
DE (1) DE59209390D1 (de)
ES (1) ES2117660T3 (de)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1158182A1 (de) * 2000-05-25 2001-11-28 FESTO AG & Co Ventileinrichtung
DE20210042U1 (de) * 2002-06-28 2002-09-26 FESTO AG &amp; Co., 73734 Esslingen Piezoelektrische Aktoreinrichtung

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19621796A1 (de) * 1996-05-30 1997-12-04 Nass Magnet Gmbh Ventil
DE19649225A1 (de) * 1996-11-27 1998-05-28 Nass Magnet Gmbh Ventil
JPH1133471A (ja) * 1997-07-23 1999-02-09 Tokyo Electron Ltd 塗布装置
ATE272430T1 (de) * 1998-06-15 2004-08-15 Tyrolia Freizeitgeraete Dämpfer für fahrbedingte skivibrationen
GB9922069D0 (en) 1999-09-17 1999-11-17 Technolog Ltd Water distribution pressure control method and apparatus
EP1374739A3 (de) * 2002-06-18 2004-04-14 Hygrama Ag Konturverstellbarer Sitz und Modulträger
JP5925463B2 (ja) * 2011-10-26 2016-05-25 株式会社メトラン 呼吸補助装置
KR101415969B1 (ko) * 2012-04-06 2014-07-04 한국기계연구원 보일러 온수용 가스제어 압전식 밸브

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3608550A1 (de) * 1986-03-14 1987-09-17 Festo Kg Piezo-elektrisch betaetigbares ventil

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU608011A1 (ru) * 1974-09-13 1978-05-25 Marchenko Vladimir A Пневматический регулируемый дроссель с электрическим управлением
FR2445920A1 (fr) * 1979-01-03 1980-08-01 Zaegel Held Sa Element thermostatique du type robinet pour circuit a liquide caloporteur
JPS6174901A (ja) * 1984-09-19 1986-04-17 Yamatake Honeywell Co Ltd ノズル・フラツパ機構の変位調整機構
US4629926A (en) * 1985-10-21 1986-12-16 Kiwi Coders Corporation Mounting for piezoelectric bender of fluid control device
JPS62246667A (ja) * 1986-04-18 1987-10-27 Ube Ind Ltd 圧電バルブ及びその駆動方法
JPS63101588A (ja) * 1986-10-15 1988-05-06 Koganei Seisakusho:Kk 電歪素子を用いたアクチュエータの組立方法
DE3833157A1 (de) * 1988-09-29 1990-04-12 Siemens Ag Monostabiler piezoelektrischer weggeber
JPH02146380A (ja) * 1988-11-25 1990-06-05 Matsushita Electric Ind Co Ltd 流体制御弁

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3608550A1 (de) * 1986-03-14 1987-09-17 Festo Kg Piezo-elektrisch betaetigbares ventil

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 014, no. 388 (M-1014)22. August 1990 & JP-A-2 146 380 ( YUKINORI ) 5. June 1990 *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1158182A1 (de) * 2000-05-25 2001-11-28 FESTO AG & Co Ventileinrichtung
DE20210042U1 (de) * 2002-06-28 2002-09-26 FESTO AG &amp; Co., 73734 Esslingen Piezoelektrische Aktoreinrichtung

Also Published As

Publication number Publication date
CA2085039C (en) 2003-02-11
JPH05256376A (ja) 1993-10-05
US5318271A (en) 1994-06-07
DE59209390D1 (de) 1998-08-06
CA2085039A1 (en) 1993-06-12
JP3457020B2 (ja) 2003-10-14
ES2117660T3 (es) 1998-08-16
ATA246491A (de) 1993-10-15
EP0547022B1 (de) 1998-07-01
AT397700B (de) 1994-06-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0538236B1 (de) Piezo-Ventil
EP0704032B1 (de) Servoventil
DE3608550A1 (de) Piezo-elektrisch betaetigbares ventil
DE2917933A1 (de) Regelventil
EP0547022B1 (de) Piezo-Ventil
EP0361183B1 (de) Schaltventil mit Keramik-Ventilelementen
DE102021203190A1 (de) Pneumatisches Ventil und Vorrichtung zur pneumatischen Verstellung eines Sitzes
AT412366B (de) Ventil
DE202004021836U1 (de) Sitzventil
EP0810398B1 (de) Elektrisch ansteuerbares Schieberventil
EP0289712B1 (de) Druckregelventil
DE19952774B4 (de) Vorrichtung zum Ablassen von Fluid aus einem System
EP0433633B1 (de) Elektromagnetisches Relais mit Rückstellfeder
DE3723287C2 (de)
DE102022119142A1 (de) Proportionalventil mit dielektrischem Elastomerwandler
AT212101B (de) Absperr- oder Drosselvorrichtung
AT400494B (de) Ventilanordnung für einen servo-gasdruckregler
DE8607094U1 (de) Piezo-elektrisch betätigbares Ventil
DE102019213631A1 (de) Tankvorrichtung zur Speicherung eines gasförmigen Mediums
EP0301202B1 (de) Ventileinrichtung für Druckmittel
WO2014202473A1 (de) Druckregelventil
DE102022201981A1 (de) Absperrventil für ein Tanksystem, Tanksystem
EP0932784A1 (de) Piezoelektrisch betätigtes fluidventil
DE29706194U1 (de) Ventil
DE3443078A1 (de) Ventileinrichtung

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): CH DE ES FR GB IT LI

17P Request for examination filed

Effective date: 19931020

17Q First examination report despatched

Effective date: 19950623

GRAG Despatch of communication of intention to grant

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOS AGRA

GRAG Despatch of communication of intention to grant

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOS AGRA

GRAH Despatch of communication of intention to grant a patent

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOS IGRA

RAP1 Party data changed (applicant data changed or rights of an application transferred)

Owner name: HYGRAMA AG

GRAH Despatch of communication of intention to grant a patent

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOS IGRA

GRAA (expected) grant

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009210

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: B1

Designated state(s): CH DE ES FR GB IT LI

REG Reference to a national code

Ref country code: CH

Ref legal event code: NV

Representative=s name: ISLER & PEDRAZZINI AG

Ref country code: CH

Ref legal event code: EP

GBT Gb: translation of ep patent filed (gb section 77(6)(a)/1977)

Effective date: 19980713

REF Corresponds to:

Ref document number: 59209390

Country of ref document: DE

Date of ref document: 19980806

REG Reference to a national code

Ref country code: ES

Ref legal event code: FG2A

Ref document number: 2117660

Country of ref document: ES

Kind code of ref document: T3

ITF It: translation for a ep patent filed
ET Fr: translation filed
PLBE No opposition filed within time limit

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009261

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: NO OPPOSITION FILED WITHIN TIME LIMIT

26N No opposition filed
REG Reference to a national code

Ref country code: GB

Ref legal event code: IF02

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: ES

Payment date: 20041214

Year of fee payment: 13

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: IT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES;WARNING: LAPSES OF ITALIAN PATENTS WITH EFFECTIVE DATE BEFORE 2007 MAY HAVE OCCURRED AT ANY TIME BEFORE 2007. THE CORRECT EFFECTIVE DATE MAY BE DIFFERENT FROM THE ONE RECORDED.

Effective date: 20051209

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: ES

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20051210

REG Reference to a national code

Ref country code: ES

Ref legal event code: FD2A

Effective date: 20051210

REG Reference to a national code

Ref country code: GB

Ref legal event code: 732E

REG Reference to a national code

Ref country code: CH

Ref legal event code: PUE

Owner name: HOERBIGER AUTOMATISIERUNGSTECHNIK HOLDING GMBH

Free format text: HOERBIGER-ORIGA HOLDING AG#BAARERSTRASSE 18#6304 ZUG (CH) -TRANSFER TO- HOERBIGER AUTOMATISIERUNGSTECHNIK HOLDING GMBH#SUEDLICHE ROEMERSTRASSE 15#86972 ALTENSTADT (DE)

Ref country code: CH

Ref legal event code: PFA

Owner name: HOERBIGER-ORIGA HOLDING AG

Free format text: HYGRAMA AG#BIRKENSTRASSE 49#CH-6343 ROTKREUZ (CH) -TRANSFER TO- HOERBIGER-ORIGA HOLDING AG#BAARERSTRASSE 18#6304 ZUG (CH)

REG Reference to a national code

Ref country code: CH

Ref legal event code: PCAR

Free format text: ISLER & PEDRAZZINI AG;POSTFACH 1772;8027 ZUERICH (CH)

REG Reference to a national code

Ref country code: FR

Ref legal event code: TP

REG Reference to a national code

Ref country code: FR

Ref legal event code: TP

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: CH

Payment date: 20081215

Year of fee payment: 17

REG Reference to a national code

Ref country code: CH

Ref legal event code: PL

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: LI

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20091231

Ref country code: CH

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20091231

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: GB

Payment date: 20101221

Year of fee payment: 19

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: FR

Payment date: 20120103

Year of fee payment: 20

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: DE

Payment date: 20120225

Year of fee payment: 20

REG Reference to a national code

Ref country code: DE

Ref legal event code: R071

Ref document number: 59209390

Country of ref document: DE

REG Reference to a national code

Ref country code: DE

Ref legal event code: R071

Ref document number: 59209390

Country of ref document: DE

REG Reference to a national code

Ref country code: GB

Ref legal event code: PE20

Expiry date: 20121208

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: GB

Free format text: LAPSE BECAUSE OF EXPIRATION OF PROTECTION

Effective date: 20121208