JPH05253913A - セラミックグリーンシートの製造方法 - Google Patents
セラミックグリーンシートの製造方法Info
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- JPH05253913A JPH05253913A JP10517692A JP10517692A JPH05253913A JP H05253913 A JPH05253913 A JP H05253913A JP 10517692 A JP10517692 A JP 10517692A JP 10517692 A JP10517692 A JP 10517692A JP H05253913 A JPH05253913 A JP H05253913A
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- green sheet
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Abstract
(57)【要約】
【目的】フィルムにセラミックスラリーを塗布し、剥離
することによってセラミックグリーンシートを製造する
際、この剥離等によりセラミックグリーンシートに静電
気が発生することを防止する。 【構成】静電防止処理した離型性フィルムを用いてセラ
ミックグリーンシートを作成する。 【効果】セラミックグリーンシートをフィルムから剥離
するとき等において静電気が発生しないので、ゴミ等が
付かず、セラミックグリーンシートを用いて得られる電
子部品の不良率を滅らすことができる。
することによってセラミックグリーンシートを製造する
際、この剥離等によりセラミックグリーンシートに静電
気が発生することを防止する。 【構成】静電防止処理した離型性フィルムを用いてセラ
ミックグリーンシートを作成する。 【効果】セラミックグリーンシートをフィルムから剥離
するとき等において静電気が発生しないので、ゴミ等が
付かず、セラミックグリーンシートを用いて得られる電
子部品の不良率を滅らすことができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、フィルムにセラミック
スラリーを塗布し、剥離することによってセラミックグ
リーンシートを製造する際、セラミックグリーンシート
に静電気が発生するのを防止したセラミックグリーンシ
ートの製造方法に関する。
スラリーを塗布し、剥離することによってセラミックグ
リーンシートを製造する際、セラミックグリーンシート
に静電気が発生するのを防止したセラミックグリーンシ
ートの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】積層コンデンサ、積層インダクタ、積層
ＬＣフィルター及び多層基板等に代表される積層セラミ
ック電子部品は、回路塗膜を形成したセラミックグリー
ンシートを積層し、焼成したものである。セラミックグ
リーンシートは、チタン酸バリウム等の誘電体、フェラ
イト等の磁性体及び絶縁体等のセラミック粉末とバイン
ダー等を水あるいは有機溶剤とともにボールミル等で混
練して得られるスラリーを、離型剤処理したポリエチレ
ンテレフタレートフィルム（以下、ＰＥＴフィルムとい
う）上でドクタブレード法等により１０〜５０μｍの厚
さのシート状に成形されたものである。
ＬＣフィルター及び多層基板等に代表される積層セラミ
ック電子部品は、回路塗膜を形成したセラミックグリー
ンシートを積層し、焼成したものである。セラミックグ
リーンシートは、チタン酸バリウム等の誘電体、フェラ
イト等の磁性体及び絶縁体等のセラミック粉末とバイン
ダー等を水あるいは有機溶剤とともにボールミル等で混
練して得られるスラリーを、離型剤処理したポリエチレ
ンテレフタレートフィルム（以下、ＰＥＴフィルムとい
う）上でドクタブレード法等により１０〜５０μｍの厚
さのシート状に成形されたものである。
【０００３】このようにして形成されたセラミックグリ
ーンシートは炉内で乾燥され、さらにその上には回路塗
膜が印刷され、乾燥されるが、例えば積層セラミックコ
ンデンサ用セラミックグリーンシートには金属粉末とバ
インダー等からなる電極材料ペーストが印刷され、同様
に炉内で乾燥されて内部電極塗膜が形成される。次に、
これらセラミックグリーンシートを前記ＰＥＴフィルム
から剥がし、その複数枚を内部電極塗膜がセラミックグ
リーンシートを介して重なるように積層し、さらに上下
両側にセラミックグリーンシートを重ね、例えば５０℃
に加熱した加圧装置（金型）により圧着する。そして、
この得られた積層体を製品の内部電極のパターンにした
がってチップ状に切断し、１２００〜１４００℃で焼成
した後、得られた焼結チップ状体の両端面に上記と同様
の金属ペーストを塗布し、７００〜９００℃で焼成して
外部電極を形成し、積層セラミックコンデンサを得る。
ーンシートは炉内で乾燥され、さらにその上には回路塗
膜が印刷され、乾燥されるが、例えば積層セラミックコ
ンデンサ用セラミックグリーンシートには金属粉末とバ
インダー等からなる電極材料ペーストが印刷され、同様
に炉内で乾燥されて内部電極塗膜が形成される。次に、
これらセラミックグリーンシートを前記ＰＥＴフィルム
から剥がし、その複数枚を内部電極塗膜がセラミックグ
リーンシートを介して重なるように積層し、さらに上下
両側にセラミックグリーンシートを重ね、例えば５０℃
に加熱した加圧装置（金型）により圧着する。そして、
この得られた積層体を製品の内部電極のパターンにした
がってチップ状に切断し、１２００〜１４００℃で焼成
した後、得られた焼結チップ状体の両端面に上記と同様
の金属ペーストを塗布し、７００〜９００℃で焼成して
外部電極を形成し、積層セラミックコンデンサを得る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記セラミ
ックグリーンシートをＰＥＴフィルムから剥がす際、Ｐ
ＥＴフィルムは絶縁体であるので、ＰＥＴフィルムとセ
ラミックグリーンシートとに反対電荷の静電気が発生
し、セラミックグリーンシートは帯電する。このセラミ
ックグリーンシートの帯電は、上記ＰＥＴフィルムを巻
回したものを順次繰り出してガイドローラにガイドさせ
て走行させ、その途中でスラリーを塗布するときや、Ｐ
ＥＴフィルム上に形成されたセラミックグリーンシー
ト、その上に形成された内部電極塗膜をそれぞれ炉内で
乾燥するときに、ＰＥＴフィルムを回転可能な複数のロ
ーラ上を走行させるので、その裏面がローラに擦られる
ときに静電気が発生し、ＰＥＴフィルムの裏面が帯電す
ることによっても行われる。このようなセラミックグリ
ーンシートが帯電すると、周辺のゴミやセラミックグリ
ーンシートの破片等が異物のように吸着され、セラミッ
クグリーンシートを積層するときにこれらも一緒に入り
込み、得られた積層セラミックコンデンサの静電容量は
変動し、規格外の不良品を発生することがある。このよ
うなことはセラミックグリーンシートを用いて製造され
る他のセラミック電子部品についても同様である。
ックグリーンシートをＰＥＴフィルムから剥がす際、Ｐ
ＥＴフィルムは絶縁体であるので、ＰＥＴフィルムとセ
ラミックグリーンシートとに反対電荷の静電気が発生
し、セラミックグリーンシートは帯電する。このセラミ
ックグリーンシートの帯電は、上記ＰＥＴフィルムを巻
回したものを順次繰り出してガイドローラにガイドさせ
て走行させ、その途中でスラリーを塗布するときや、Ｐ
ＥＴフィルム上に形成されたセラミックグリーンシー
ト、その上に形成された内部電極塗膜をそれぞれ炉内で
乾燥するときに、ＰＥＴフィルムを回転可能な複数のロ
ーラ上を走行させるので、その裏面がローラに擦られる
ときに静電気が発生し、ＰＥＴフィルムの裏面が帯電す
ることによっても行われる。このようなセラミックグリ
ーンシートが帯電すると、周辺のゴミやセラミックグリ
ーンシートの破片等が異物のように吸着され、セラミッ
クグリーンシートを積層するときにこれらも一緒に入り
込み、得られた積層セラミックコンデンサの静電容量は
変動し、規格外の不良品を発生することがある。このよ
うなことはセラミックグリーンシートを用いて製造され
る他のセラミック電子部品についても同様である。
【０００５】本発明の目的は、フィルムにセラミックス
ラリーを塗布し、剥離することによってセラミックグリ
ーンシートを製造する際、セラミックグリーンシートに
静電気が発生するのを防止したセラミックグリーンシー
トの製造方法を提供することにある。
ラリーを塗布し、剥離することによってセラミックグリ
ーンシートを製造する際、セラミックグリーンシートに
静電気が発生するのを防止したセラミックグリーンシー
トの製造方法を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するために、静電防止処理した離型性フィルムにセラ
ミックグリーンシート用組成物を塗布する工程を有する
ことによりセラミックグリーンシートを製造するセラミ
ックグリーンシートの製造方法を提供するものである。
決するために、静電防止処理した離型性フィルムにセラ
ミックグリーンシート用組成物を塗布する工程を有する
ことによりセラミックグリーンシートを製造するセラミ
ックグリーンシートの製造方法を提供するものである。
【０００７】この際、離型性フィルムは表面に離型層を
有するフィルムであり、静電防止処理は離型層とフィル
ムの間及びフィルムの離型層と反対側の面に静電防止層
を設けることであっても良く、これらのいずれかであっ
ても良く、離型層に静電防止剤を含有させることであっ
ても良い。
有するフィルムであり、静電防止処理は離型層とフィル
ムの間及びフィルムの離型層と反対側の面に静電防止層
を設けることであっても良く、これらのいずれかであっ
ても良く、離型層に静電防止剤を含有させることであっ
ても良い。
【０００８】また、静電防止処理は静電防止剤を離型性
フィルムに内在させることであっても良い。
フィルムに内在させることであっても良い。
【０００９】本発明において離型性フィルムとしては、
離型剤を片面に塗布したフィルムが挙げられるが、フィ
ルムそのものが離型性を有するものでも良い。離型剤を
塗布するフィルムにはＰＥＴフィルムが挙げられ、離型
剤にはシリコン系物質が挙げられる。
離型剤を片面に塗布したフィルムが挙げられるが、フィ
ルムそのものが離型性を有するものでも良い。離型剤を
塗布するフィルムにはＰＥＴフィルムが挙げられ、離型
剤にはシリコン系物質が挙げられる。
【００１０】また、本発明において静電防止処理とは、
上記離型性フィルムにセラミックスラリーを塗布し、乾
燥することによりセラミックグリーンシートを形成し、
これを剥がし取るときに、セラミックグリーンシートに
静電気が発生しないような処理を行うことであり、具体
的には離型性フィルムそのものに静電防止剤を内在させ
る方法、フィルムに静電防止層を設けてから離型剤層を
設ける方法、表面に離型剤層を有するフィルムの裏面に
静電防止層を設ける方法、静電防止剤を含有する離型剤
層をフィルムに設ける方法のいずれを用いても良く、ま
た、これらの２つ以上を併用してもよい。上記離型性フ
ィルムに内在させる方法には、そのフィルム成形の際原
料に静電防止剤を含有させて成形する。
上記離型性フィルムにセラミックスラリーを塗布し、乾
燥することによりセラミックグリーンシートを形成し、
これを剥がし取るときに、セラミックグリーンシートに
静電気が発生しないような処理を行うことであり、具体
的には離型性フィルムそのものに静電防止剤を内在させ
る方法、フィルムに静電防止層を設けてから離型剤層を
設ける方法、表面に離型剤層を有するフィルムの裏面に
静電防止層を設ける方法、静電防止剤を含有する離型剤
層をフィルムに設ける方法のいずれを用いても良く、ま
た、これらの２つ以上を併用してもよい。上記離型性フ
ィルムに内在させる方法には、そのフィルム成形の際原
料に静電防止剤を含有させて成形する。
【００１１】上記静電防止剤としては、陰イオン系のも
のとしてアルキルリン酸ジエタノールアミン塩、脂肪族
スルホン酸塩、高級アルコール硫酸エステル塩、高級ア
ルコールエチレンオキサイド付加硫酸エステル塩、高級
アルコール燐酸エステル塩、高級アルコールエチレンオ
キサイド付加燐酸エステル塩等が挙げられる。
のとしてアルキルリン酸ジエタノールアミン塩、脂肪族
スルホン酸塩、高級アルコール硫酸エステル塩、高級ア
ルコールエチレンオキサイド付加硫酸エステル塩、高級
アルコール燐酸エステル塩、高級アルコールエチレンオ
キサイド付加燐酸エステル塩等が挙げられる。
【００１２】また、陽イオン系のものとしてアルキルト
リメチルアンモニウムクロライド等の第４級アンモニウ
ム塩が挙げらる。また、非イオン系のものとしてポリオ
キシエチレンアルキルエーテル、高級アルコールエチレ
ンオキサイド、ポリエチレングリコール脂肪酸エステ
ル、多価アルコール脂肪酸エステル等が挙げられる。ま
た、両性系のものとしてアルキルベタイン等が挙げられ
る。
リメチルアンモニウムクロライド等の第４級アンモニウ
ム塩が挙げらる。また、非イオン系のものとしてポリオ
キシエチレンアルキルエーテル、高級アルコールエチレ
ンオキサイド、ポリエチレングリコール脂肪酸エステ
ル、多価アルコール脂肪酸エステル等が挙げられる。ま
た、両性系のものとしてアルキルベタイン等が挙げられ
る。
【００１３】また、上記のほかの界面活性剤も使用で
き、無機系のオルガノシロキサン系のものも使用でき
る。
き、無機系のオルガノシロキサン系のものも使用でき
る。
【００１４】
【作用】離型性フィルムに静電防止処理をしたので、こ
れにセラミックスラリーを塗布する方法によりセラミッ
クグリーンシートを形成し、乾燥させる工程で離型性フ
ィルムがローラ等に擦られても静電気の発生が防止さ
れ、また、乾燥したセラミックグリーンシートを剥がし
取るときにも静電気の発生が防止される。
れにセラミックスラリーを塗布する方法によりセラミッ
クグリーンシートを形成し、乾燥させる工程で離型性フ
ィルムがローラ等に擦られても静電気の発生が防止さ
れ、また、乾燥したセラミックグリーンシートを剥がし
取るときにも静電気の発生が防止される。
【００１５】
【実施例】次に本発明の実施例を説明する。 実施例１ 下記各成分を秤量して得た配合物を１リットルのポット
に仕込み、６０ｒｐｍ、１５時間ボールミル法により湿
式混合し、セラミックスラリーを得た。
に仕込み、６０ｒｐｍ、１５時間ボールミル法により湿
式混合し、セラミックスラリーを得た。
【００１６】 チタン酸バリウム １００重量部 ポリブチルアクリレート樹脂 １０重量部 ジオクチルフタレート ５重量部 エタノール １００重量部 トルエン １００重量部
【００１７】ＰＥＴフィルムの両面にステアリン酸エス
テル塩の１０％アルコール溶液を塗布し、乾燥させ、さ
らにその片面にシコン系離型剤を塗布し、離型剤層を形
成する。このようにしてキャリヤフィルムが得られる。
テル塩の１０％アルコール溶液を塗布し、乾燥させ、さ
らにその片面にシコン系離型剤を塗布し、離型剤層を形
成する。このようにしてキャリヤフィルムが得られる。
【００１８】上記セラミックスラリーを脱泡処理した
後、上記キャリヤフィルムの離型剤層上に、ドクターブ
レード法にて塗布し、乾燥させて厚さ２０μｍのセラミ
ックグリーンシートを形成した。
後、上記キャリヤフィルムの離型剤層上に、ドクターブ
レード法にて塗布し、乾燥させて厚さ２０μｍのセラミ
ックグリーンシートを形成した。
【００１９】上記キャリヤフィルム上のセラミックグリ
ーンシートにＰｄ、エチルセルロース、テルピネオール
等からなる電極材料ペーストを内部電極塗膜を形成する
ように塗布し、乾燥させ、剥離する。このようにして多
数の内部電極塗膜付きセラミックグリーンシートを作成
し、各内部電極塗膜がセラミックグリーンシートを介し
て対向するように積層し、この積層体を５０℃、１００
Ｋｇ／ｃｍ２（平方ｃｍ当たりのＫｇ）の圧力で圧着し
た。
ーンシートにＰｄ、エチルセルロース、テルピネオール
等からなる電極材料ペーストを内部電極塗膜を形成する
ように塗布し、乾燥させ、剥離する。このようにして多
数の内部電極塗膜付きセラミックグリーンシートを作成
し、各内部電極塗膜がセラミックグリーンシートを介し
て対向するように積層し、この積層体を５０℃、１００
Ｋｇ／ｃｍ２（平方ｃｍ当たりのＫｇ）の圧力で圧着し
た。
【００２０】この圧着積層体を一定形状に切断し加熱し
て脱バインダー処理を行い、さらに焼成して積層セラミ
ックコンデンサ素地を作成した。これを１０００個作成
し、研磨してその内部を見ることにより、ゴミのような
異物が入り込んだ異物混入数と、内部に穴を生じるる内
部欠陥を生じているものの数を数えた結果を表１に示
す。
て脱バインダー処理を行い、さらに焼成して積層セラミ
ックコンデンサ素地を作成した。これを１０００個作成
し、研磨してその内部を見ることにより、ゴミのような
異物が入り込んだ異物混入数と、内部に穴を生じるる内
部欠陥を生じているものの数を数えた結果を表１に示
す。
【００２１】実施例２ 実施例１において、キャリヤフィルムとして静電防止層
を離型層とフィルムの間にのみ設けた離型剤層付きＰＥ
Ｔフィルムを用いた以外は同様にして積層セラミックコ
ンデンサを１０００個作成し、実施例１と同様に異物混
入数と内部欠陥数を数えた結果を表１に示す。
を離型層とフィルムの間にのみ設けた離型剤層付きＰＥ
Ｔフィルムを用いた以外は同様にして積層セラミックコ
ンデンサを１０００個作成し、実施例１と同様に異物混
入数と内部欠陥数を数えた結果を表１に示す。
【００２２】実施例３ 実施例１において、キャリヤフィルムとして静電防止剤
を裏面にのみ設けた表面離型剤層付きＰＥＴフィルムを
用いた以外は同様にして積層セラミックコンデンサを１
０００個作成し、実施例１と同様に異物混入数と内部欠
陥数を数えた結果を表１に示す。
を裏面にのみ設けた表面離型剤層付きＰＥＴフィルムを
用いた以外は同様にして積層セラミックコンデンサを１
０００個作成し、実施例１と同様に異物混入数と内部欠
陥数を数えた結果を表１に示す。
【００２３】実施例４ 実施例１において、静電防止剤に無機系のオルガノシロ
キサンを用いた以外には同様にして作成したキャリヤフ
ィルムを用いた以外は同様にして積層セラミックコンデ
ンサを１０００個作成し、実施例１と同様に異物混入数
と内部欠陥数を数えた結果を表１に示す。
キサンを用いた以外には同様にして作成したキャリヤフ
ィルムを用いた以外は同様にして積層セラミックコンデ
ンサを１０００個作成し、実施例１と同様に異物混入数
と内部欠陥数を数えた結果を表１に示す。
【００２４】実施例５ 実施例１において、キャリヤフィルムとしてＰＥＴフィ
ルムの片面にオルガノシロキサンを含有するシリコン系
離型剤を塗布することにより離型層を形成した離型層付
きＰＥＴフィルムを用いた以外は同様にして積層セラミ
ックコンデンサを１０００個作成し、実施例１と同様に
異物混入数と内部欠陥数を数えた結果を表１に示す。
ルムの片面にオルガノシロキサンを含有するシリコン系
離型剤を塗布することにより離型層を形成した離型層付
きＰＥＴフィルムを用いた以外は同様にして積層セラミ
ックコンデンサを１０００個作成し、実施例１と同様に
異物混入数と内部欠陥数を数えた結果を表１に示す。
【００２５】実施例６ 静電防止剤としてステアリルベタインを１％添加したポ
リエチレンテレフタレート樹脂原料を用いて成形したＰ
ＥＴフィルムにシリコン系の離型剤層を形成したキャリ
ヤフィルムを用いた以外は同様にして積層セラミックコ
ンデンサを１０００個作成し、実施例１と同様に異物混
入数と内部欠陥数を数えた結果を表１に示す。
リエチレンテレフタレート樹脂原料を用いて成形したＰ
ＥＴフィルムにシリコン系の離型剤層を形成したキャリ
ヤフィルムを用いた以外は同様にして積層セラミックコ
ンデンサを１０００個作成し、実施例１と同様に異物混
入数と内部欠陥数を数えた結果を表１に示す。
【００２６】比較例１ 実施例１において、静電防止処理を行わなかった以外は
同様にして得た離型剤層付きＰＥＴフィルムを用いた以
外は同様にして積層セラミックコンデンサを作成し、実
施例１と同様に異物混入数と内部欠陥数を数えた結果を
表１に示す。
同様にして得た離型剤層付きＰＥＴフィルムを用いた以
外は同様にして積層セラミックコンデンサを作成し、実
施例１と同様に異物混入数と内部欠陥数を数えた結果を
表１に示す。
【００２７】
【表１】
【００２８】
【発明の効果】本発明によれば、静電防止処理した離型
性フィルムを用いてセラミックグリーンシートを製造し
たので、得られるセラミックグリーンシートには静電気
の発生が抑制され、したがってゴミ等が静電気により入
り込まないセラミック電子部品が得られ、その不良品率
を著しく低下させることができる。
性フィルムを用いてセラミックグリーンシートを製造し
たので、得られるセラミックグリーンシートには静電気
の発生が抑制され、したがってゴミ等が静電気により入
り込まないセラミック電子部品が得られ、その不良品率
を著しく低下させることができる。
Claims (6)
- 【請求項１】 静電防止処理した離型性フィルムにセラ
ミックグリーンシート用組成物を塗布する工程を有する
ことによりセラミックグリーンシートを製造するセラミ
ックグリーンシートの製造方法。 - 【請求項２】 離型性フィルムは表面に離型層を有する
フィルムであり、静電防止処理は離型層とフィルムの間
及びフィルムの離型層と反対側の面に静電防止層を設け
ることである請求項１記載のセラミックグリーンシート
の製造方法。 - 【請求項３】 離型性フィルムは表面に離型層を有する
フィルムであり、静電防止処理は離型層とフィルムの間
に静電防止層を設けることである請求項１記載のセラミ
ックグリーンシートの製造方法。 - 【請求項４】 離型性フィルムは表面に離型層を有する
フィルムであり、静電防止処理はフィルムの離型層と反
対側の面に静電防止層を設けることである請求項１記載
のセラミックグリーンシートの製造方法。 - 【請求項５】 離型性フィルムは表面に離型層を有する
フィルムであり、静電防止処理は離型層に静電防止剤を
含有させることである請求項１記載のセラミックグリー
ンシートの製造方法。 - 【請求項６】 静電防止処理は静電防止剤を離型性フィ
ルムに内在させることである請求項１記載のセラミック
グリーンシートの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10517692A JPH05253913A (ja) | 1992-03-13 | 1992-03-13 | セラミックグリーンシートの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10517692A JPH05253913A (ja) | 1992-03-13 | 1992-03-13 | セラミックグリーンシートの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05253913A true JPH05253913A (ja) | 1993-10-05 |
Family
ID=14400374
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10517692A Withdrawn JPH05253913A (ja) | 1992-03-13 | 1992-03-13 | セラミックグリーンシートの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05253913A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6793751B2 (en) * | 2002-01-07 | 2004-09-21 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Method for manufacturing laminated ceramic electronic component |
| CN102372485A (zh) * | 2010-07-15 | 2012-03-14 | 花王株式会社 | 陶瓷生片用抗静电剂组合物 |
-
1992
- 1992-03-13 JP JP10517692A patent/JPH05253913A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6793751B2 (en) * | 2002-01-07 | 2004-09-21 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Method for manufacturing laminated ceramic electronic component |
| CN102372485A (zh) * | 2010-07-15 | 2012-03-14 | 花王株式会社 | 陶瓷生片用抗静电剂组合物 |
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