JPH06188146A - 表面非突出導体部具備薄膜体及びその製造方法 - Google Patents
表面非突出導体部具備薄膜体及びその製造方法Info
- Publication number
- JPH06188146A JPH06188146A JP35483392A JP35483392A JPH06188146A JP H06188146 A JPH06188146 A JP H06188146A JP 35483392 A JP35483392 A JP 35483392A JP 35483392 A JP35483392 A JP 35483392A JP H06188146 A JPH06188146 A JP H06188146A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】内部電極を塗布したセラミックグリーンシート
を重ねて圧着すると圧力が不均一にかかり積層づれ等の
支障が起こるのを改善する。 【構成】導電性磁性材料を添加した、非導電体材料を含
有するスラリーの薄膜の表面に導体パターンに従った磁
界を印加して導電性磁性材料を集積し、電極とする。 【効果】内部電極を形成したグリーンシートを重ねても
内部電極が表面に突出していないので隙間なく重ねら
れ、これを圧着すると圧力は均一にかかり、積層づれ等
の支障をなくす。また、内部電極塗布工程を省略でき、
導体部の薄層化ができる。
を重ねて圧着すると圧力が不均一にかかり積層づれ等の
支障が起こるのを改善する。 【構成】導電性磁性材料を添加した、非導電体材料を含
有するスラリーの薄膜の表面に導体パターンに従った磁
界を印加して導電性磁性材料を集積し、電極とする。 【効果】内部電極を形成したグリーンシートを重ねても
内部電極が表面に突出していないので隙間なく重ねら
れ、これを圧着すると圧力は均一にかかり、積層づれ等
の支障をなくす。また、内部電極塗布工程を省略でき、
導体部の薄層化ができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば積層コンデンサ
を製造する際に用いる電極付きセラミックグリーンシー
ト等の導体部具備薄膜体の構造及びその製造方法に関す
る。
を製造する際に用いる電極付きセラミックグリーンシー
ト等の導体部具備薄膜体の構造及びその製造方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】表面に導体部を印刷した薄膜体は、積層
コンデンサやフィルムコンデンサ等を製造する際に用い
られる。たとえば積層コンデンサを製造するには、誘電
体セラミックグリーンシートにＰｂ、Ｎｉ等からなる電
極材料ペーストをスクリーン印刷により塗布して多数組
の内部電極パターンを形成し、そのシートの複数枚の各
組の内部電極パターンを下地の誘電体セラミックグリー
ンシートを介して対向させて積層し、各組ごとに裁断し
たのち圧着してから焼成し、端面に外部電極を形成し、
誘電体磁器内部に電極を対向させた積層コンデンサが得
られる。
コンデンサやフィルムコンデンサ等を製造する際に用い
られる。たとえば積層コンデンサを製造するには、誘電
体セラミックグリーンシートにＰｂ、Ｎｉ等からなる電
極材料ペーストをスクリーン印刷により塗布して多数組
の内部電極パターンを形成し、そのシートの複数枚の各
組の内部電極パターンを下地の誘電体セラミックグリー
ンシートを介して対向させて積層し、各組ごとに裁断し
たのち圧着してから焼成し、端面に外部電極を形成し、
誘電体磁器内部に電極を対向させた積層コンデンサが得
られる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな積層コンデンサの製造方法では、内部電極パターン
が誘電体セラミックグリーンシートの表面に印刷されて
いるので、内部電極パターンはその厚さ分表面に突出す
ることになり、これら内部電極パターンを有するセラミ
ッミックグリーンシートが内部電極パターンを対向され
て積層され、圧着されると、内部電極パターンの重なっ
た部分に多くの圧力がかかり、その他の部分にかかる圧
力との差が生じ、セラミッミックグリーンシートの伸び
や積層づれを起こし、これをそのまま各積層コンデンサ
単位ごとに裁断し、焼成すると、容量値が低くなった
り、その値が不均一になったりする。これらのことは、
電子機器の小型化に伴って、内部電極及びこれらに挟ま
れる誘電体セラミック層がますます薄くなる傾向にある
状況にあっては、一層起こり易く、その改善が望まれて
いた。
うな積層コンデンサの製造方法では、内部電極パターン
が誘電体セラミックグリーンシートの表面に印刷されて
いるので、内部電極パターンはその厚さ分表面に突出す
ることになり、これら内部電極パターンを有するセラミ
ッミックグリーンシートが内部電極パターンを対向され
て積層され、圧着されると、内部電極パターンの重なっ
た部分に多くの圧力がかかり、その他の部分にかかる圧
力との差が生じ、セラミッミックグリーンシートの伸び
や積層づれを起こし、これをそのまま各積層コンデンサ
単位ごとに裁断し、焼成すると、容量値が低くなった
り、その値が不均一になったりする。これらのことは、
電子機器の小型化に伴って、内部電極及びこれらに挟ま
れる誘電体セラミック層がますます薄くなる傾向にある
状況にあっては、一層起こり易く、その改善が望まれて
いた。
【０００４】本発明の目的は、表面に突出しない導体部
を具備する薄膜体及びその製造方法を提供することにあ
る。
を具備する薄膜体及びその製造方法を提供することにあ
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するために、非導電性薄膜体にその表面から突出しな
い導体部を形成した表面非突出導体部具備薄膜体を提供
するものである。また、本発明は、非磁性非導電体材料
と導電性磁性材料を含有するスラリーを薄膜化する工程
と、このスラリーの薄膜に導体パターンに従った磁界を
印加する工程を有する表面非突出導体部具備薄膜体の製
造方法を提供するものである。
決するために、非導電性薄膜体にその表面から突出しな
い導体部を形成した表面非突出導体部具備薄膜体を提供
するものである。また、本発明は、非磁性非導電体材料
と導電性磁性材料を含有するスラリーを薄膜化する工程
と、このスラリーの薄膜に導体パターンに従った磁界を
印加する工程を有する表面非突出導体部具備薄膜体の製
造方法を提供するものである。
【０００６】本発明において、非導電性薄膜体とは、例
えば積層コンデンサ、積層インダクタの素地に用いられ
るセラミック粉末等の非導電材料、フィルムコンデンサ
等の素地に用いられる樹脂、さらにはこれらのほかの無
機、有機の非導電材料の単独あるいは２種以上の混合体
から得られる薄膜体が含まれる。
えば積層コンデンサ、積層インダクタの素地に用いられ
るセラミック粉末等の非導電材料、フィルムコンデンサ
等の素地に用いられる樹脂、さらにはこれらのほかの無
機、有機の非導電材料の単独あるいは２種以上の混合体
から得られる薄膜体が含まれる。
【０００７】また、導体部に用いる材料としては、金属
材料が挙げられ、本発明の表面非突出導体部具備薄膜体
の製造方法の場合にはこの金属材料としては磁性材料が
用いられるが、本発明の表面非突出導体部具備薄膜体は
その他の方法、例えば従来のように非導電性薄膜に導体
薄膜を形成し、これをプレスして導体薄膜を非導電性薄
膜に埋め込み、導体薄膜が非導電性薄膜から突出しない
ようにする方法も用いることができるので、この場合に
は金属材料としては非磁性材料も用いられる。金属の磁
性材料としては、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ、これらの合金が挙
げられる。
材料が挙げられ、本発明の表面非突出導体部具備薄膜体
の製造方法の場合にはこの金属材料としては磁性材料が
用いられるが、本発明の表面非突出導体部具備薄膜体は
その他の方法、例えば従来のように非導電性薄膜に導体
薄膜を形成し、これをプレスして導体薄膜を非導電性薄
膜に埋め込み、導体薄膜が非導電性薄膜から突出しない
ようにする方法も用いることができるので、この場合に
は金属材料としては非磁性材料も用いられる。金属の磁
性材料としては、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ、これらの合金が挙
げられる。
【０００８】本発明の表面非突出導体部具備薄膜体の製
造方法は、スラリーの薄膜の表面に磁界の作用により導
電性磁性材料を集積するが、その方法にはスラリー中に
導電性磁性材料を予め混合させておいてから磁界を印加
しても良いし、非磁性材料のスラリーの薄膜の一方の表
面上に導電性磁性材料を添加し、他の面側にこれらが集
積するように磁界を加えるようにしても良い。この後者
の場合、導電性磁性材料そのものを散布しても良いが、
他の成分と混合した溶液を塗布しても良い。
造方法は、スラリーの薄膜の表面に磁界の作用により導
電性磁性材料を集積するが、その方法にはスラリー中に
導電性磁性材料を予め混合させておいてから磁界を印加
しても良いし、非磁性材料のスラリーの薄膜の一方の表
面上に導電性磁性材料を添加し、他の面側にこれらが集
積するように磁界を加えるようにしても良い。この後者
の場合、導電性磁性材料そのものを散布しても良いが、
他の成分と混合した溶液を塗布しても良い。
【０００９】また、上記いずれの方法においても、スラ
リーの薄膜化には剥離性のキャリアフィルムを使用する
ことが好ましいが、スラリーの薄膜は未乾燥状態で磁界
が印加されることが好ましいので、スラリーの溶剤が揮
発しない条件、例えば低温下あるいはスラリーの薄膜の
露出表面にさらに剥離性のフィルムを被覆する等により
磁界を加えることもできる。また、スラリーには可塑剤
等を加え、導電性磁性材料粉末粒子が移動し易くするこ
ともできる。また、熱を加えスラリーの薄膜を軟化する
ことにより導電性磁性材料粉末粒子が移動し易くするこ
ともできる。磁界を印加するには、永久磁石も用いられ
るが、ソレノイドも用いられる。
リーの薄膜化には剥離性のキャリアフィルムを使用する
ことが好ましいが、スラリーの薄膜は未乾燥状態で磁界
が印加されることが好ましいので、スラリーの溶剤が揮
発しない条件、例えば低温下あるいはスラリーの薄膜の
露出表面にさらに剥離性のフィルムを被覆する等により
磁界を加えることもできる。また、スラリーには可塑剤
等を加え、導電性磁性材料粉末粒子が移動し易くするこ
ともできる。また、熱を加えスラリーの薄膜を軟化する
ことにより導電性磁性材料粉末粒子が移動し易くするこ
ともできる。磁界を印加するには、永久磁石も用いられ
るが、ソレノイドも用いられる。
【００１０】本発明による表面非突出導体部具備薄膜体
は、積層コンデンサ、積層インダクタ、フィルムコンデ
ンサ等のほか、セラミック部品の他の薄膜体、例えば圧
電ブザー等に用いられる圧電振動板、すなわちセラミッ
ク薄膜体に電極を形成したもの等にも利用できる。ま
た、磁界を回路配線に従ったものにすれば回路を形成し
た薄膜体も作成できる。
は、積層コンデンサ、積層インダクタ、フィルムコンデ
ンサ等のほか、セラミック部品の他の薄膜体、例えば圧
電ブザー等に用いられる圧電振動板、すなわちセラミッ
ク薄膜体に電極を形成したもの等にも利用できる。ま
た、磁界を回路配線に従ったものにすれば回路を形成し
た薄膜体も作成できる。
【００１１】
【作用】表面非突出導体部具備薄膜体は表面に導体部が
突出してないので、その表面に凹凸がなく、隙間なく重
ねられ、均一に圧着される。また、表面非突出導体部具
備薄膜体の製造に当たって、スラリーの薄膜体の表面に
磁界を印加すると、スラリーに添加した磁性材料はその
表面に集積し、これを乾燥すれば、表面非突出導体部具
備薄膜体が得られる。
突出してないので、その表面に凹凸がなく、隙間なく重
ねられ、均一に圧着される。また、表面非突出導体部具
備薄膜体の製造に当たって、スラリーの薄膜体の表面に
磁界を印加すると、スラリーに添加した磁性材料はその
表面に集積し、これを乾燥すれば、表面非突出導体部具
備薄膜体が得られる。
【００１２】
【実施例】次に本発明の実施例を説明する。 実施例１ 下記配合によりセラミックスラリーを調製する。 メチルエチルケトン ９０ｇ トルエン ９０ｇ オレイン酸 １．１２ｇ セラミック粉末 ５００ｇ ＤＯＰ（ジオクチルフタレート） １６．０ｇ ＰＶＢ（ポリビニルブチラール樹脂）溶液（固形分４０） ２００ｇ
【００１３】このスラリーに対し、Ｎｉ粉末４．０重量
％添加し、充分に撹拌する。図１に示すように、得られ
たスラリー１を５０μｍのＰＥＴフィルム２上にドクタ
ーブレード法により３０〜３５μｍの厚さ（乾燥状態）
になるように塗布し、その未乾燥状態でＰＥＴフィルム
側から永久磁石３により４０００ガウスの磁界を印加す
る。これにより、スラリー１中のＮｉ粉末１ａ・・・は
ＰＥＴフィルム側に引き寄せられ、セラミック粉末等の
非磁性非導電材料１ｂ・・・から分かれてＰＥＴフィル
ムとの界面に集積される。その後乾燥し、ＰＥＴフィル
ムから剥離することにより、表面非突出内部電極４を有
するセラミックグリーンシートの薄膜体５が得られる。
％添加し、充分に撹拌する。図１に示すように、得られ
たスラリー１を５０μｍのＰＥＴフィルム２上にドクタ
ーブレード法により３０〜３５μｍの厚さ（乾燥状態）
になるように塗布し、その未乾燥状態でＰＥＴフィルム
側から永久磁石３により４０００ガウスの磁界を印加す
る。これにより、スラリー１中のＮｉ粉末１ａ・・・は
ＰＥＴフィルム側に引き寄せられ、セラミック粉末等の
非磁性非導電材料１ｂ・・・から分かれてＰＥＴフィル
ムとの界面に集積される。その後乾燥し、ＰＥＴフィル
ムから剥離することにより、表面非突出内部電極４を有
するセラミックグリーンシートの薄膜体５が得られる。
【００１４】この薄膜体についてＮｉ粉末の存在を電子
顕微鏡による組成分析により確認したところ、ＰＥＴフ
ィルム側に集積していることが確かめられ、導電率を測
定したところ内部電極として十分に機能することがわか
った。実際の製造に当たっては、表面非突出内部電極４
は一枚のセラミックグリーンシートに多数組形成され、
その複数枚が積層された後、圧着され、ついで各組ごと
に裁断されてから焼成され、さらに端子電極が形成され
て積層セラミックコンデサチップができあがる。
顕微鏡による組成分析により確認したところ、ＰＥＴフ
ィルム側に集積していることが確かめられ、導電率を測
定したところ内部電極として十分に機能することがわか
った。実際の製造に当たっては、表面非突出内部電極４
は一枚のセラミックグリーンシートに多数組形成され、
その複数枚が積層された後、圧着され、ついで各組ごと
に裁断されてから焼成され、さらに端子電極が形成され
て積層セラミックコンデサチップができあがる。
【００１５】実施例２ 図２に示すように、上記と同様のＰＥＴフィルム２に上
記のメチルエチルケトン〜ＰＶＢからなるセラミック粉
末等の非磁性非導体材料６ｂ・・・を有するスラリー６
をドクタブレード法にて上記と同様に塗布し、その未乾
燥状態の表面にＮｉ粉末６ａ・・・を散布し、ついでＰ
ＥＴフィルム側から上記と同様に永久磁石３により磁界
を印加する。そして乾燥し、ＰＥＴフィルムから剥離す
ると表面非突出内部電極７を有するセラミックグリーン
シートの薄膜体８が得られる。この薄膜体についてＮｉ
粉末の存在を電子顕微鏡による組成分析により確認した
ところ、ＰＥＴフィルム側に集積していることが確かめ
られ、導電率を測定したところ内部電極として十分に機
能することがわかった。このように導電性磁性材料を別
に加えると、内部電極に相当する部分に多く導電性磁性
材料を添加し、他の部分に添加しないこともできるので
好ましい。
記のメチルエチルケトン〜ＰＶＢからなるセラミック粉
末等の非磁性非導体材料６ｂ・・・を有するスラリー６
をドクタブレード法にて上記と同様に塗布し、その未乾
燥状態の表面にＮｉ粉末６ａ・・・を散布し、ついでＰ
ＥＴフィルム側から上記と同様に永久磁石３により磁界
を印加する。そして乾燥し、ＰＥＴフィルムから剥離す
ると表面非突出内部電極７を有するセラミックグリーン
シートの薄膜体８が得られる。この薄膜体についてＮｉ
粉末の存在を電子顕微鏡による組成分析により確認した
ところ、ＰＥＴフィルム側に集積していることが確かめ
られ、導電率を測定したところ内部電極として十分に機
能することがわかった。このように導電性磁性材料を別
に加えると、内部電極に相当する部分に多く導電性磁性
材料を添加し、他の部分に添加しないこともできるので
好ましい。
【００１６】
【発明の効果】本発明によれば、表面非突出導体部具備
薄膜体を提供できるので、これらは隙間なく重ねられ、
これを圧着すれば圧力は均一にかかるので、たとえば積
層コンデンサを製造する場合にも積層ずれ等の構造的な
歪みによる支障をなくすことができる。また、本発明の
方法によれば、表面の凹凸のない導体部具備薄膜体を提
供できるのみならず、導体部の薄層化が容易にでき、ま
た、従来のように導体部を別の塗布工程により形成しな
いようにもできるので工程を単純化できる。
薄膜体を提供できるので、これらは隙間なく重ねられ、
これを圧着すれば圧力は均一にかかるので、たとえば積
層コンデンサを製造する場合にも積層ずれ等の構造的な
歪みによる支障をなくすことができる。また、本発明の
方法によれば、表面の凹凸のない導体部具備薄膜体を提
供できるのみならず、導体部の薄層化が容易にでき、ま
た、従来のように導体部を別の塗布工程により形成しな
いようにもできるので工程を単純化できる。
【図１】本発明の表面非突出導体部具備薄膜体の製造方
法の一実施例の工程説明図である。
法の一実施例の工程説明図である。
【図２】その他の実施例の工程説明図である。
１ スラリー １ａ、６ａ Ｎｉ粉末 １ｂ、６ｂ 非磁性非導体材料 ２ ＰＥＴフィルム ３ 永久磁石 ４、７ 表面非突出内部電極 ５、８ 薄膜体
Claims (2)
- 【請求項１】 非導電性薄膜体にその表面から突出しな
い導体部を形成した表面非突出導体部具備薄膜体。 - 【請求項２】 非磁性非導電体材料と導電性磁性材料を
含有するスラリーを薄膜化する工程と、このスラリーの
薄膜に導体パターンに従った磁界を印加する工程を有す
る表面非突出導体部具備薄膜体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35483392A JPH06188146A (ja) | 1992-12-18 | 1992-12-18 | 表面非突出導体部具備薄膜体及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35483392A JPH06188146A (ja) | 1992-12-18 | 1992-12-18 | 表面非突出導体部具備薄膜体及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06188146A true JPH06188146A (ja) | 1994-07-08 |
Family
ID=18440215
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35483392A Withdrawn JPH06188146A (ja) | 1992-12-18 | 1992-12-18 | 表面非突出導体部具備薄膜体及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06188146A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010205993A (ja) * | 2009-03-04 | 2010-09-16 | Nec Corp | 導電性樹脂を用いるキャパシタ構造及びその製造方法 |
| WO2011155078A1 (ja) * | 2010-06-10 | 2011-12-15 | 日本シリコン・エレクトロニクス・テクノロジー株式会社 | 電気エネルギー蓄積装置 |
-
1992
- 1992-12-18 JP JP35483392A patent/JPH06188146A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010205993A (ja) * | 2009-03-04 | 2010-09-16 | Nec Corp | 導電性樹脂を用いるキャパシタ構造及びその製造方法 |
| WO2011155078A1 (ja) * | 2010-06-10 | 2011-12-15 | 日本シリコン・エレクトロニクス・テクノロジー株式会社 | 電気エネルギー蓄積装置 |
| JPWO2011155078A1 (ja) * | 2010-06-10 | 2013-08-01 | 清水 幹治 | 電気エネルギー蓄積装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20000307 |