JPH05253828A - 磁気ヘッド用スライダーの加工方法 - Google Patents
磁気ヘッド用スライダーの加工方法Info
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- JPH05253828A JPH05253828A JP4054519A JP5451992A JPH05253828A JP H05253828 A JPH05253828 A JP H05253828A JP 4054519 A JP4054519 A JP 4054519A JP 5451992 A JP5451992 A JP 5451992A JP H05253828 A JPH05253828 A JP H05253828A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- processing
- slider
- magnetic head
- tool
- processing tool
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
- B24B37/04—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces
- B24B37/048—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces of sliders and magnetic heads of hard disc drives or the like
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 磁気ヘッド用スライダーの加工方法におい
て、特に記録媒体と対向させる磁気ヘッド用スライダー
の表面を高精度並び能率的に所定の形状、面性状に加工
する安価な方法を提供すること。 【構成】 加工工具２は砥石またはラップ定盤であり、
加工工具上面２ａに所定パターン溝３を形成している。
加工工具上面２ａとスライダー面１１とを一定加重で密
着する。この時パターン溝３と磁気ヘッド１の長手方向
とが平行になるように設定する。スライダー面１１と加
工工具２とをパターン溝３に平行かつ相対的に摺動す
る。
て、特に記録媒体と対向させる磁気ヘッド用スライダー
の表面を高精度並び能率的に所定の形状、面性状に加工
する安価な方法を提供すること。 【構成】 加工工具２は砥石またはラップ定盤であり、
加工工具上面２ａに所定パターン溝３を形成している。
加工工具上面２ａとスライダー面１１とを一定加重で密
着する。この時パターン溝３と磁気ヘッド１の長手方向
とが平行になるように設定する。スライダー面１１と加
工工具２とをパターン溝３に平行かつ相対的に摺動す
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気ヘッド用スライダ
ーの表面を所定の形状及び性状に加工する方法に関す
る。
ーの表面を所定の形状及び性状に加工する方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】ハードディスクやフロッピディスクなど
の磁気記録媒体と対向させて信号の書き込みあるいは読
み出しを行う磁気ヘッドを保持するスライダーは、磁気
記録媒体との浮上量をより微小化、安定性よく浮上させ
る目的で溝や突起を形成する。
の磁気記録媒体と対向させて信号の書き込みあるいは読
み出しを行う磁気ヘッドを保持するスライダーは、磁気
記録媒体との浮上量をより微小化、安定性よく浮上させ
る目的で溝や突起を形成する。
【０００３】浮上安定性を目的とした一定浮上ヘッドで
は、スライダー面の片側・両側のサイドエッジ部にＴＰ
Ｃ（Ｔransverse Ｐressure Ｃontour）溝である微小
な段差部を形成する。この溝は浮上量を記録媒体の内周
側と外周側で均一化するためのものである。
は、スライダー面の片側・両側のサイドエッジ部にＴＰ
Ｃ（Ｔransverse Ｐressure Ｃontour）溝である微小
な段差部を形成する。この溝は浮上量を記録媒体の内周
側と外周側で均一化するためのものである。
【０００４】ＴＰＣ溝の段差部の加工において、加工面
からの深さ方向でμｍオーダーの加工精度は従来の機械
加工では極めて困難である。代替方法としてはイオンミ
リング法やプラズマエッチング法があり、利用の試みが
なされている。またパウダービームエッチング法は微粒
子を加工面に噴射させる方法として特開平３ー１４９１
８４号公報に開示がある。
からの深さ方向でμｍオーダーの加工精度は従来の機械
加工では極めて困難である。代替方法としてはイオンミ
リング法やプラズマエッチング法があり、利用の試みが
なされている。またパウダービームエッチング法は微粒
子を加工面に噴射させる方法として特開平３ー１４９１
８４号公報に開示がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする問題点】イオンミリング法・
プラズマエッチング法は加工速度が極めて遅く、実加工
前における真空排気が必要であるが、時間を要し、装置
自体が高価である。パウダービームエッチング法は、加
工速度は速いが、微小遊離砥粒をガスによって噴射させ
るので、砥粒径の微粒化、噴射安定性、マスキング材の
耐久性等々の課題と不安定な要因が多い。微小な段差加
工の精度、性状には適さない。
プラズマエッチング法は加工速度が極めて遅く、実加工
前における真空排気が必要であるが、時間を要し、装置
自体が高価である。パウダービームエッチング法は、加
工速度は速いが、微小遊離砥粒をガスによって噴射させ
るので、砥粒径の微粒化、噴射安定性、マスキング材の
耐久性等々の課題と不安定な要因が多い。微小な段差加
工の精度、性状には適さない。
【０００６】上記の技術的課題を解決するために、本発
明は磁気ヘッド用スライダーの表面を高精度、効率的に
加工し、所定の溝形状及び加工面性状を得る安価な方法
を提供することを目的とする。
明は磁気ヘッド用スライダーの表面を高精度、効率的に
加工し、所定の溝形状及び加工面性状を得る安価な方法
を提供することを目的とする。
【０００７】
【問題点を解決するための手段】加工工具２は砥石、若
しくはラップ定盤であり、加工工具上面２ａに所定パタ
ーン溝３を形成する。その加工工具上面２ａとスライダ
ー面１１とを一定加重で密着し、スライダー面１１と加
工工具３とを前記のパターン溝３に平行かつ相対的に摺
動するのである。
しくはラップ定盤であり、加工工具上面２ａに所定パタ
ーン溝３を形成する。その加工工具上面２ａとスライダ
ー面１１とを一定加重で密着し、スライダー面１１と加
工工具３とを前記のパターン溝３に平行かつ相対的に摺
動するのである。
【０００８】
【作用】加工工具上面２ａとスライダー面１１とを摺動
しスライダー面１１を加工面から深さ方向に加工するこ
とができる。なおこの時、加工工具２の所定パターン溝
３の凹部ではスライダー面１１は加工されず、凸部のみ
で加工が進行し、スライダー面１１に所定の凹凸部の形
成及び性状に加工することができる。
しスライダー面１１を加工面から深さ方向に加工するこ
とができる。なおこの時、加工工具２の所定パターン溝
３の凹部ではスライダー面１１は加工されず、凸部のみ
で加工が進行し、スライダー面１１に所定の凹凸部の形
成及び性状に加工することができる。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の実施例につき、図面に基づき
説明する。
説明する。
【００１０】図１は磁気ヘッドと加工工具との位置関係
を示す斜視図、図２は本発明の加工の進行状態概略図、
図３は本発明の１実施例の斜視図、図４はＴＰＣ溝加工
した磁気ヘッド概略図を示す。
を示す斜視図、図２は本発明の加工の進行状態概略図、
図３は本発明の１実施例の斜視図、図４はＴＰＣ溝加工
した磁気ヘッド概略図を示す。
【００１１】図１に示すように磁気ヘッド１のスライダ
ー面１１をパターン溝３を形成している加工工具２の加
工工具上面２ａに密着させる。この時パターン溝３と磁
気ヘッド１とを長手方向に平行になる。
ー面１１をパターン溝３を形成している加工工具２の加
工工具上面２ａに密着させる。この時パターン溝３と磁
気ヘッド１とを長手方向に平行になる。
【００１２】図２にて加工の進行状態を説明する。磁気
ヘッド１、若しくは加工工具２をパターン溝３と平行し
て往復摺動させ、加工工具上面２ａのパターン溝３凹部
ではスライダー面と接触せず、凸部では接触する。この
ことによりパターン溝３の凸部のみで加工が進行し、ス
ライダー面１１に所定のＴＰＣ溝１２を形成する。ま
た、ＴＰＣ溝の寸法は加工工具のパターン溝の寸法を変
えることであらゆる寸法に対応可能であり、寸法精度も
パターン溝精度がそのまま転写できるため、再現性良く
高精度な加工ができる。また、パターン溝２の本数を変
えて、こうしたＴＰＣ溝加工に関わらずあらゆる加工に
対応が可能である。
ヘッド１、若しくは加工工具２をパターン溝３と平行し
て往復摺動させ、加工工具上面２ａのパターン溝３凹部
ではスライダー面と接触せず、凸部では接触する。この
ことによりパターン溝３の凸部のみで加工が進行し、ス
ライダー面１１に所定のＴＰＣ溝１２を形成する。ま
た、ＴＰＣ溝の寸法は加工工具のパターン溝の寸法を変
えることであらゆる寸法に対応可能であり、寸法精度も
パターン溝精度がそのまま転写できるため、再現性良く
高精度な加工ができる。また、パターン溝２の本数を変
えて、こうしたＴＰＣ溝加工に関わらずあらゆる加工に
対応が可能である。
【００１３】また、加工面の性状に関しては、加工工具
２を砥石とした研削式若しくはラップ定盤にしたラップ
式により加工できる。具体的には研削式に関しては砥粒
径、砥粒材質、結合剤、集中度、ラップ式に関してはラ
ップ砥粒径、砥粒材質、ラップ液（油性若しくは水溶
性）、定盤材質等を任意に選択することにより、所定の
面性状（面粗度等）を得ることができる。図４に本発明
によりＴＰＣ溝加工した磁気ヘッドの概略図を示す。
２を砥石とした研削式若しくはラップ定盤にしたラップ
式により加工できる。具体的には研削式に関しては砥粒
径、砥粒材質、結合剤、集中度、ラップ式に関してはラ
ップ砥粒径、砥粒材質、ラップ液（油性若しくは水溶
性）、定盤材質等を任意に選択することにより、所定の
面性状（面粗度等）を得ることができる。図４に本発明
によりＴＰＣ溝加工した磁気ヘッドの概略図を示す。
【００１４】図３に本発明の１実施例を示し、以下に説
明する。ベース３１の上に摺動部基台２５を設け、摺動
部基台２５上面に加工工具２を設ける。また、磁気ヘッ
ド１は固定ガイド２３及び加圧ツメ２２により基準面２
１ａ及び加工工具上面２ａに密着させる。
明する。ベース３１の上に摺動部基台２５を設け、摺動
部基台２５上面に加工工具２を設ける。また、磁気ヘッ
ド１は固定ガイド２３及び加圧ツメ２２により基準面２
１ａ及び加工工具上面２ａに密着させる。
【００１５】摺動部基台２５は加工工具２をパターン溝
３に対し平行に摺動させるものである。摺動部基台２５
は平行ばね式摺動ガイド２５ａを有し、平行ばね式摺動
ガイド２５ａを駆動させる圧電素子２６及び、平行ばね
式摺動ガイド２５ａを圧電素子２６と摺接させるばね２
８より構成している。ばね２８はフック２５ｂを介し後
述する保持部材２６と平行ばね式摺動ガイド２５ａとに
連結する。
３に対し平行に摺動させるものである。摺動部基台２５
は平行ばね式摺動ガイド２５ａを有し、平行ばね式摺動
ガイド２５ａを駆動させる圧電素子２６及び、平行ばね
式摺動ガイド２５ａを圧電素子２６と摺接させるばね２
８より構成している。ばね２８はフック２５ｂを介し後
述する保持部材２６と平行ばね式摺動ガイド２５ａとに
連結する。
【００１６】また、前記平行ばね式摺動ガイド２５ａに
は加工工具２を位置決め、固定するための摺動方向と平
行した摺動部基準面２５ｃ及び、加工工具固定ツメ２５
ｂを有する。また、加工工具２は加工工具台金２ｂ上に
接着固定する。加工工具固定ツメ２５ｂに取り付け設け
ているボルトを締め付け、加工工具台金２ｂを摺動部基
準面２５ｃに固定することによって、摺動部基準面２５
ｃと密着する面と加工工具２のパターン溝３とが平行に
なるようにする。これによりパターン溝３長手方向と摺
動方向とが平行になる。
は加工工具２を位置決め、固定するための摺動方向と平
行した摺動部基準面２５ｃ及び、加工工具固定ツメ２５
ｂを有する。また、加工工具２は加工工具台金２ｂ上に
接着固定する。加工工具固定ツメ２５ｂに取り付け設け
ているボルトを締め付け、加工工具台金２ｂを摺動部基
準面２５ｃに固定することによって、摺動部基準面２５
ｃと密着する面と加工工具２のパターン溝３とが平行に
なるようにする。これによりパターン溝３長手方向と摺
動方向とが平行になる。
【００１７】圧電素子２６は変位量、変動周波数を変え
るコントローラ（図示せず）に接続し、コントローラに
より圧電素子２６は長手方向に伸縮変形する。圧電素子
２６の変形方向に保持部材２５ｄを摺動部基台２５に設
け、圧電素子２６を保持し、圧電素子２６の伸び量分平
行ばね式摺動ガイド２５ａが変形するようにする。尚、
保持部材２５ｄにはギャップ調整ボルト２７を設け、圧
電素子２６の長手方向にて平行ばね式摺動ガイド２５ａ
の初期変形を調整する。
るコントローラ（図示せず）に接続し、コントローラに
より圧電素子２６は長手方向に伸縮変形する。圧電素子
２６の変形方向に保持部材２５ｄを摺動部基台２５に設
け、圧電素子２６を保持し、圧電素子２６の伸び量分平
行ばね式摺動ガイド２５ａが変形するようにする。尚、
保持部材２５ｄにはギャップ調整ボルト２７を設け、圧
電素子２６の長手方向にて平行ばね式摺動ガイド２５ａ
の初期変形を調整する。
【００１８】固定ガイド２３は板ばね（図示せず）の変
形により磁気ヘッド１を基準面２１ａに押圧する。加圧
ツメ２２は磁気ヘッド１と接触する端面に磁気ヘッド１
と合致した切り掛け段差部（図示せず）を設け、加圧ツ
メ２２は磁気ヘッド１の長手方向の動きを規制する。
形により磁気ヘッド１を基準面２１ａに押圧する。加圧
ツメ２２は磁気ヘッド１と接触する端面に磁気ヘッド１
と合致した切り掛け段差部（図示せず）を設け、加圧ツ
メ２２は磁気ヘッド１の長手方向の動きを規制する。
【００１９】また、加圧ツメ２２ａは片曲締金２２と結
合させ、片曲締金２２の揺動部２２ｂは基準板２１に設
けた溝２１ｂに摺接させ、摺動部２２ｂをほぼ中心に片
曲締金２２が揺動できるようにする。片曲締金２２のほ
ぼ中心に貫通穴２２ｃを設け、圧縮ばね２４ａに内通し
た加圧調整ボルト２４を貫通穴２２ｃに貫通させ、基準
板２１のネジ部（図示せず）に連結する。加圧調整ボル
ト２４を調整すると、圧縮ばね２４ａの変形力に比例し
た加重力が片曲締金２２に発生し、加圧ツメ２２ａを介
し磁気ヘッド１のスライダー面１１を加工工具上面２ａ
に所定加重で密着する。
合させ、片曲締金２２の揺動部２２ｂは基準板２１に設
けた溝２１ｂに摺接させ、摺動部２２ｂをほぼ中心に片
曲締金２２が揺動できるようにする。片曲締金２２のほ
ぼ中心に貫通穴２２ｃを設け、圧縮ばね２４ａに内通し
た加圧調整ボルト２４を貫通穴２２ｃに貫通させ、基準
板２１のネジ部（図示せず）に連結する。加圧調整ボル
ト２４を調整すると、圧縮ばね２４ａの変形力に比例し
た加重力が片曲締金２２に発生し、加圧ツメ２２ａを介
し磁気ヘッド１のスライダー面１１を加工工具上面２ａ
に所定加重で密着する。
【００２０】基準板２１はＹ軸調整用マイクロメータ２
９及びＺ軸調整用マイクロメータ３０により加工工具長
手垂直方向及び上下方向に微調整できる。この調整によ
り基準面２１ａとパターン溝３との相対距離の設定及び
加工工具上面２ａとのすきま量を設定する。
９及びＺ軸調整用マイクロメータ３０により加工工具長
手垂直方向及び上下方向に微調整できる。この調整によ
り基準面２１ａとパターン溝３との相対距離の設定及び
加工工具上面２ａとのすきま量を設定する。
【００２１】次に作用について説明する。平行ばね式摺
動ガイド２５ａに加工工具固定ツメ２５ｂにより固定し
た加工工具２は圧電素子２６の伸縮変動（縮方向ではば
ね２８により戻り運動をする）によりパターン溝３と平
行に摺動する。摺動距離、摺動周波数は圧電素子２６と
接続しているコントローラ（図示せず）により調整す
る。尚、摺動部を平行ばね式にしたのは摺動横方向への
剛性を高め、横振れを最小限に抑えるためである。
動ガイド２５ａに加工工具固定ツメ２５ｂにより固定し
た加工工具２は圧電素子２６の伸縮変動（縮方向ではば
ね２８により戻り運動をする）によりパターン溝３と平
行に摺動する。摺動距離、摺動周波数は圧電素子２６と
接続しているコントローラ（図示せず）により調整す
る。尚、摺動部を平行ばね式にしたのは摺動横方向への
剛性を高め、横振れを最小限に抑えるためである。
【００２２】磁気ヘッド１は固定ガイド２３により基準
面２１ａに押しあて保持する。また、スライダー面１１
は加圧調整ボルト２４で設定した加重にて加圧ツメ２２
を介し加工工具上面２ａに押圧する。この状態にて加工
工具２の摺動により加工が進行する。パターン溝３の凹
部ではスライダー面１１と接触せず、凸部のみで加工が
進行し、スライダー面１１に所定の凹凸部を形成する。
面２１ａに押しあて保持する。また、スライダー面１１
は加圧調整ボルト２４で設定した加重にて加圧ツメ２２
を介し加工工具上面２ａに押圧する。この状態にて加工
工具２の摺動により加工が進行する。パターン溝３の凹
部ではスライダー面１１と接触せず、凸部のみで加工が
進行し、スライダー面１１に所定の凹凸部を形成する。
【００２３】本実施例では、加工工具２にレジンボンド
＃３，０００の砥石、研削液に油性オイルを使用し、Ｔ
ｉＣａ系磁気ヘッド材にて加工した結果、加工工具２の
摺動距離を磁気ヘッド長手方向寸法の１／２（約１ｍ
ｍ）、摺動周波数を５０Ｈｚ、加圧力を２Ｋｇｆ、段差
方向加工能率０．０１μｍ／ｓで、段差深さ精度１±
０．１μｍ、加工面粗度は約０．１ｓであった。
＃３，０００の砥石、研削液に油性オイルを使用し、Ｔ
ｉＣａ系磁気ヘッド材にて加工した結果、加工工具２の
摺動距離を磁気ヘッド長手方向寸法の１／２（約１ｍ
ｍ）、摺動周波数を５０Ｈｚ、加圧力を２Ｋｇｆ、段差
方向加工能率０．０１μｍ／ｓで、段差深さ精度１±
０．１μｍ、加工面粗度は約０．１ｓであった。
【００２４】加工工具２をラップ定盤にしたラップ式に
おいてもラップ砥粒径、砥粒材質、ラップ液（油性若し
くは水溶性）、定盤材質等を任意に選択することによ
り、所定の加工精度及び面性状（面粗度等）を得ること
ができる。具体的にはラップ定盤にグラファイトを、ラ
ップ液として水溶性オイルに粒径平均１μｍダイヤモン
ド砥粒を添加したものを使用した場合、段差方向の加工
能率は０．０１μｍ／１０ｓ、加工面の粗度は０．０２
〜０．０５ｓを得、加工時間が極めて短い。更に加工時
間の短縮を考えた場合、研削式で荒加工、ラップ式で仕
上げ加工を行うことも可能である。
おいてもラップ砥粒径、砥粒材質、ラップ液（油性若し
くは水溶性）、定盤材質等を任意に選択することによ
り、所定の加工精度及び面性状（面粗度等）を得ること
ができる。具体的にはラップ定盤にグラファイトを、ラ
ップ液として水溶性オイルに粒径平均１μｍダイヤモン
ド砥粒を添加したものを使用した場合、段差方向の加工
能率は０．０１μｍ／１０ｓ、加工面の粗度は０．０２
〜０．０５ｓを得、加工時間が極めて短い。更に加工時
間の短縮を考えた場合、研削式で荒加工、ラップ式で仕
上げ加工を行うことも可能である。
【００２５】実施例では加工工具上面２ａに複数個の磁
気ヘッド１を配列し同時に加工することができる。また
加工工具上面２ａは加工数により摩耗（パターン溝角部
のだれ等）が進行するが、縦型もしくは横型精密研削盤
を用いてツルーイングすることによって容易に平坦度等
の修正ができる。実例では０．２μｍ／４０ｍｍ程度は
十分に再現性があり、磁気ヘッド１個あたりの平坦度は
０．０５μｍ以下が得られる。
気ヘッド１を配列し同時に加工することができる。また
加工工具上面２ａは加工数により摩耗（パターン溝角部
のだれ等）が進行するが、縦型もしくは横型精密研削盤
を用いてツルーイングすることによって容易に平坦度等
の修正ができる。実例では０．２μｍ／４０ｍｍ程度は
十分に再現性があり、磁気ヘッド１個あたりの平坦度は
０．０５μｍ以下が得られる。
【００２６】上記条件とは別に加工工具２の摺動距離、
摺動周波数、加圧力を任意に設定すると、所定の段差深
さ方向のコントロール、面粗度を変えられるし、実施例
では磁気ヘッド１を保持して加工工具２を摺動するが、
逆に加工工具２を固定し、磁気ヘッド１を摺動させても
同様の加工ができる。
摺動周波数、加圧力を任意に設定すると、所定の段差深
さ方向のコントロール、面粗度を変えられるし、実施例
では磁気ヘッド１を保持して加工工具２を摺動するが、
逆に加工工具２を固定し、磁気ヘッド１を摺動させても
同様の加工ができる。
【００２７】
【発明の効果】本発明によれば、磁気ヘッド１、若しく
は加工工具２をパターン溝３と平行して往復摺動させる
と、スライダー面１１に所定の凹凸部、加工面性状を高
精度に効率良く形成することができるし、加工時間も極
めて短縮でき、加工装置自体も安価になる。
は加工工具２をパターン溝３と平行して往復摺動させる
と、スライダー面１１に所定の凹凸部、加工面性状を高
精度に効率良く形成することができるし、加工時間も極
めて短縮でき、加工装置自体も安価になる。
【図１】本発明の磁気ヘッドと加工工具との位置関係を
示す斜視図
示す斜視図
【図２】本発明の加工の進行状態概略図
【図３】本発明を実機に応用した１実施例の斜視図
【図４】ＴＰＣ溝加工した磁気ヘッドの概略図
１ 磁気ヘッド ２ 加工工具 ２ａ 加工工具上面 ３ パターン溝 １１ スライダー面 １２ ＴＰＣ溝
Claims (2)
- 【請求項１】 磁気ヘッド用スライダーの表面を所定の
形状及び性状に加工する方法において、加工面側に所定
パターン溝を形成した加工工具とスライダー面とを一定
加重で密着し、スライダー面と加工工具とを加工工具の
パターン溝に平行かつ相対的に摺動し、スライダー面に
所定の凹凸部を形成し所定の性状に加工することを特徴
とする磁気ヘッド用スライダーの加工方法 - 【請求項２】 加工工具は砥石、若しくはラップ定盤に
して加工する請求項１記載の磁気ヘッド用スライダーの
加工方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4054519A JPH05253828A (ja) | 1992-03-13 | 1992-03-13 | 磁気ヘッド用スライダーの加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4054519A JPH05253828A (ja) | 1992-03-13 | 1992-03-13 | 磁気ヘッド用スライダーの加工方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05253828A true JPH05253828A (ja) | 1993-10-05 |
Family
ID=12972905
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4054519A Pending JPH05253828A (ja) | 1992-03-13 | 1992-03-13 | 磁気ヘッド用スライダーの加工方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05253828A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014013211A (ja) * | 2012-07-05 | 2014-01-23 | Chuo Motor Wheel Co Ltd | ステージ構造 |
-
1992
- 1992-03-13 JP JP4054519A patent/JPH05253828A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014013211A (ja) * | 2012-07-05 | 2014-01-23 | Chuo Motor Wheel Co Ltd | ステージ構造 |
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